JPH0669300B2 - 超音波モ−タ装置 - Google Patents
超音波モ−タ装置Info
- Publication number
- JPH0669300B2 JPH0669300B2 JP60139440A JP13944085A JPH0669300B2 JP H0669300 B2 JPH0669300 B2 JP H0669300B2 JP 60139440 A JP60139440 A JP 60139440A JP 13944085 A JP13944085 A JP 13944085A JP H0669300 B2 JPH0669300 B2 JP H0669300B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic motor
- piezoelectric
- frequency
- driving body
- normal operation
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/142—Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. speed, torque, starting, stopping, reversing
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は圧電体を用いて駆動力を発生する超音波モータ
装置に関するものである。
装置に関するものである。
従来の技術 近年圧電セラミック等の圧電体を用いて超音波振動を励
振することにより、回転あるいは直線又は曲線運動をす
る超音波モータが発表され、構造が簡単、小型・軽量な
どの特徴から注目されている。
振することにより、回転あるいは直線又は曲線運動をす
る超音波モータが発表され、構造が簡単、小型・軽量な
どの特徴から注目されている。
以下、図面を参照しながら超音波モータの従来の技術に
ついて説明を行う。
ついて説明を行う。
第３図は超音波モータの一例であり、円環形の弾性体１
の円環面の一方に圧電体として円環形圧電セラミック２
を貼合せて圧電駆動体３を構成している。４は耐磨耗性
材料のスライダで、５は弾性体であり、互いに貼合せら
れて動体６を構成している。動体６はスライダ４を介し
て駆動体３と接触している。圧電体２に電界を印加する
と駆動体３の周方向に曲げ振動が励起され、これが進行
波となることにより、動体６が回転する。
の円環面の一方に圧電体として円環形圧電セラミック２
を貼合せて圧電駆動体３を構成している。４は耐磨耗性
材料のスライダで、５は弾性体であり、互いに貼合せら
れて動体６を構成している。動体６はスライダ４を介し
て駆動体３と接触している。圧電体２に電界を印加する
と駆動体３の周方向に曲げ振動が励起され、これが進行
波となることにより、動体６が回転する。
第４図は第３図の超音波モータに使用した圧電セラミッ
ク２の電極構造の一例を示している。同図では円周方向
に曲げ振動が９波長のるようにしてある。同図におい
て、Ａ、Ｂはそれぞれ２分の１波長相当の小領域から成
る電極群で、Ｃは４分の３波長、Ｄは４分の１波長の長
さの電極である。従って、Ａの電極群とＢの電極群とは
位置的に４分の１波長（＝90度）の位相ずれがある。電
極群Ａ、Ｂ内の隣合う小電極部は互いに反対に厚み方向
に分極されている。圧電セラミック２の弾性体１との接
着面は第４図に示された面と反対の面であり、電極はベ
タ電極である。使用時には電極群Ａ、Ｂは第４図に斜線
で示されたように、それぞれ短絡して用いられる。
ク２の電極構造の一例を示している。同図では円周方向
に曲げ振動が９波長のるようにしてある。同図におい
て、Ａ、Ｂはそれぞれ２分の１波長相当の小領域から成
る電極群で、Ｃは４分の３波長、Ｄは４分の１波長の長
さの電極である。従って、Ａの電極群とＢの電極群とは
位置的に４分の１波長（＝90度）の位相ずれがある。電
極群Ａ、Ｂ内の隣合う小電極部は互いに反対に厚み方向
に分極されている。圧電セラミック２の弾性体１との接
着面は第４図に示された面と反対の面であり、電極はベ
タ電極である。使用時には電極群Ａ、Ｂは第４図に斜線
で示されたように、それぞれ短絡して用いられる。
以上のように構成された超音波モータについて、その動
作を以下に説明する。前記圧電体２の電極群ＡにV0・si
n（ωｔ）で表される電圧を印加すると（ただしV0は電
圧の瞬時値、ωは角周波数、ｔは時間）、駆動体３は円
周方向に曲げ振動をする。
作を以下に説明する。前記圧電体２の電極群ＡにV0・si
n（ωｔ）で表される電圧を印加すると（ただしV0は電
圧の瞬時値、ωは角周波数、ｔは時間）、駆動体３は円
周方向に曲げ振動をする。
第５図は第３図の超音波モータの一部分の斜視図であ
り、同図（ａ）は圧電体２に電圧を印加していない時で
あり、同図（ｂ）は圧電体２に電圧を印加した時の様子
を示す。
り、同図（ａ）は圧電体２に電圧を印加していない時で
あり、同図（ｂ）は圧電体２に電圧を印加した時の様子
を示す。
第６図は動体６と駆動体３の接触状況を拡大して描いた
ものである。前記圧電体２の電極群ＡにV0・sin（ω
ｔ）、電極群ＢにV0・cos（ωｔ）の互いに位相がπ／
２だけずれた電圧を印加すれば、駆動体３の円周方向に
曲げ振動の進行波を作ることができる。一般に進行波は
振幅をξとすれば ξ＝ξ０・cos（ωｔ−kx） ……（１） ただし ξ0:波の大きさの瞬時値 k:波数（＝２π／λ） λ：波長 x:位置 で表せる。（１）式は ξ＝ξ０・（cos（ωｔ）・cos（kx）＋sin（ωｔ）・s
in（kx）） ……（２） と書き直せ、（２）式は進行波が時間的にπ／２だけ位
相のずれた波cos（ωｔ）とsin（ωｔ）、および位置的
にπ／２だけ位相のずれたcos（kx）とsin（kx）とのそ
れぞれの積の和で得られることを示している。前述の説
明より、圧電体２は互いに位置的にπ／２（＝λ／４）
だけ位相のずれた電極群Ａ、Ｂを持っているので、駆動
体３の共振周波数に等しい周波数出力を持つ発振器の出
力から、それぞれに時間的に位相のπ／２だけずれた交
流電圧を作り、前記電極群に印加すれば駆動体３に曲げ
振動の進行波を作れる。
ものである。前記圧電体２の電極群ＡにV0・sin（ω
ｔ）、電極群ＢにV0・cos（ωｔ）の互いに位相がπ／
２だけずれた電圧を印加すれば、駆動体３の円周方向に
曲げ振動の進行波を作ることができる。一般に進行波は
振幅をξとすれば ξ＝ξ０・cos（ωｔ−kx） ……（１） ただし ξ0:波の大きさの瞬時値 k:波数（＝２π／λ） λ：波長 x:位置 で表せる。（１）式は ξ＝ξ０・（cos（ωｔ）・cos（kx）＋sin（ωｔ）・s
in（kx）） ……（２） と書き直せ、（２）式は進行波が時間的にπ／２だけ位
相のずれた波cos（ωｔ）とsin（ωｔ）、および位置的
にπ／２だけ位相のずれたcos（kx）とsin（kx）とのそ
れぞれの積の和で得られることを示している。前述の説
明より、圧電体２は互いに位置的にπ／２（＝λ／４）
だけ位相のずれた電極群Ａ、Ｂを持っているので、駆動
体３の共振周波数に等しい周波数出力を持つ発振器の出
力から、それぞれに時間的に位相のπ／２だけずれた交
流電圧を作り、前記電極群に印加すれば駆動体３に曲げ
振動の進行波を作れる。
また同図は駆動体のＡ点が進行波によって、長軸2w、短
軸2uの楕円運動をしている様子を示し駆動体３上に置か
れた動体６が楕円の頂点で接触することにより、波の進
行方向とは逆方向にｖ＝ωｕの速度で運動する様子を示
している。即ち動体６は任意の静圧で駆動体３に押し付
けられて、駆動体３の表面に接触し、動体６と駆動体３
との摩擦力で波の進行方向と逆方向に速度ｖで駆動され
る。両者の間にすべりがある時は、速度が上記のｖより
も小さくなる。上記に示した超音波モータの速度ｖは、 ｖ＝ωｔ∝ωξ０ ……（３） で表せ、駆動体３の曲げ振動の振幅瞬時値ξ０に比例す
る。そのため超音波モータの駆動は小さな電圧で大きな
電流が流れる駆動体３の共振周波数で駆動する。
軸2uの楕円運動をしている様子を示し駆動体３上に置か
れた動体６が楕円の頂点で接触することにより、波の進
行方向とは逆方向にｖ＝ωｕの速度で運動する様子を示
している。即ち動体６は任意の静圧で駆動体３に押し付
けられて、駆動体３の表面に接触し、動体６と駆動体３
との摩擦力で波の進行方向と逆方向に速度ｖで駆動され
る。両者の間にすべりがある時は、速度が上記のｖより
も小さくなる。上記に示した超音波モータの速度ｖは、 ｖ＝ωｔ∝ωξ０ ……（３） で表せ、駆動体３の曲げ振動の振幅瞬時値ξ０に比例す
る。そのため超音波モータの駆動は小さな電圧で大きな
電流が流れる駆動体３の共振周波数で駆動する。
発明が解決しようとする問題点 しかし、超音波モータの始動時と動作中では、第７図に
示すように駆動体３のアドミッタンスの周波数特性が異
なる。これは始動時では駆動体３は動体６と面と面で接
触しているが、動作中には第６図に示したように線状に
接触しているからである。第７図において、ａは静止
時、および始動時の、そしてｂは動作中の駆動体３のア
ドミッタンスの周波数特性である。また同図において、
ｆr1は動作時での共振周波数であり、ｆr2は始動時での
共振周波数である。つまり、始動時と動作時では最適駆
動周波数である共振周波数が変動する。故に従来のよう
に、始動時と動作中で同周波数で超音波モータを駆動し
たのでは、常に安定で効率の良い駆動はできない。
示すように駆動体３のアドミッタンスの周波数特性が異
なる。これは始動時では駆動体３は動体６と面と面で接
触しているが、動作中には第６図に示したように線状に
接触しているからである。第７図において、ａは静止
時、および始動時の、そしてｂは動作中の駆動体３のア
ドミッタンスの周波数特性である。また同図において、
ｆr1は動作時での共振周波数であり、ｆr2は始動時での
共振周波数である。つまり、始動時と動作時では最適駆
動周波数である共振周波数が変動する。故に従来のよう
に、始動時と動作中で同周波数で超音波モータを駆動し
たのでは、常に安定で効率の良い駆動はできない。
本発明はかかる点に鑑みてなされたもので、常に効率の
良い、しかも安定な動作が可能な超音波モータ装置を提
筑供することを目的としている。
良い、しかも安定な動作が可能な超音波モータ装置を提
筑供することを目的としている。
問題点を解決するための手段 本発明は上記問題点を解決するものであり、他励方式の
駆動回路では発振周波数が始動時と動作中とで変えられ
る発振器と、利得の変えられる増幅器のうちの、前記発
振器のみが、又は、双方とも有する。また、自励方式で
はその中心周波数が可変な周波数選択回路と利得が可変
な増幅器のうちの前記周波数選択回路のみが、双方とも
を有するものである。
駆動回路では発振周波数が始動時と動作中とで変えられ
る発振器と、利得の変えられる増幅器のうちの、前記発
振器のみが、又は、双方とも有する。また、自励方式で
はその中心周波数が可変な周波数選択回路と利得が可変
な増幅器のうちの前記周波数選択回路のみが、双方とも
を有するものである。
作 用 他励方式，自励方式ともに、超音波モータの駆動周波数
を始動時および動作時の駆動体の共振周波数に一致させ
て、始動時と動作時のインピーダンスの変化を増幅器の
利得を変えて吸収する。また前記駆動周波数のみを常に
駆動周波数に一致させて、常に効率の良い、安定な動作
が行なえるようにしている。
を始動時および動作時の駆動体の共振周波数に一致させ
て、始動時と動作時のインピーダンスの変化を増幅器の
利得を変えて吸収する。また前記駆動周波数のみを常に
駆動周波数に一致させて、常に効率の良い、安定な動作
が行なえるようにしている。
実施例 以下図面を参照しながら本発明の一実施例について説明
する。第１図は本発明の超音波モータ装置の一実施例を
示すブロック図である。同図において、７は発振器で８
は増幅器である。発振器７の発振周波数は抵抗R1,R2お
よびコンデンサC1によって決まり、増幅器８の利得は抵
抗R3,R4,R5によって決まる。電源電圧Ｖccが印加される
と、バッファ９の入力に抵抗R6とコンデンサC2で決まる
充電電圧が印加され、電源電圧Ｖccが印加された直後は
バッファ９の出力はロジックレベルの“L"になり、充電
電圧がバッファ９のスレッシホールド電圧を越えると、
バッファ９の出力はロジックレベルの“H"になる。つま
り、超音波モータの始動時には発振器７の発振周波数ｆ
ｒは ただしＫは定数 で決まり、発振周波数ｆｒを第７図のｆr2に等しくして
おく。また増幅器８の利得Ｇは Ｇ＝−R4／R3 ……（５） で決まる。発振器７の出力は増幅器８で超音波モータを
起動するに充分なレベルにまで増幅される。増幅後の信
号は一方は90゜移相器11に入力されて電力増幅器12に入
力される。また他方は直接電力増幅器13に入力される。
これら２つの90゜位相の異なる駆動信号は超音波モータ
の駆動体３の圧電セラミック２に印加され、安定に超音
波モータが起動される。
する。第１図は本発明の超音波モータ装置の一実施例を
示すブロック図である。同図において、７は発振器で８
は増幅器である。発振器７の発振周波数は抵抗R1,R2お
よびコンデンサC1によって決まり、増幅器８の利得は抵
抗R3,R4,R5によって決まる。電源電圧Ｖccが印加される
と、バッファ９の入力に抵抗R6とコンデンサC2で決まる
充電電圧が印加され、電源電圧Ｖccが印加された直後は
バッファ９の出力はロジックレベルの“L"になり、充電
電圧がバッファ９のスレッシホールド電圧を越えると、
バッファ９の出力はロジックレベルの“H"になる。つま
り、超音波モータの始動時には発振器７の発振周波数ｆ
ｒは ただしＫは定数 で決まり、発振周波数ｆｒを第７図のｆr2に等しくして
おく。また増幅器８の利得Ｇは Ｇ＝−R4／R3 ……（５） で決まる。発振器７の出力は増幅器８で超音波モータを
起動するに充分なレベルにまで増幅される。増幅後の信
号は一方は90゜移相器11に入力されて電力増幅器12に入
力される。また他方は直接電力増幅器13に入力される。
これら２つの90゜位相の異なる駆動信号は超音波モータ
の駆動体３の圧電セラミック２に印加され、安定に超音
波モータが起動される。
起動直後、バッファ９の出力は“H"になり、アナログス
イッチ10は両方とも閉じる。これにより発振器７の発振
周波数ｆｒは ２に印加される駆動信号をトランス16で抜き出し、バッ
ファ15を通した後に所定の周波数範囲のみを通過させる
ことにより、発振周波数を駆動体３の共振周波数に一致
させる役目を果たす。このバンドパスフィルタがないと
すると、発振条件さえ満たせば、どの周波数でも発振す
るので、注目のモード以外でも発振してしまう。
イッチ10は両方とも閉じる。これにより発振器７の発振
周波数ｆｒは ２に印加される駆動信号をトランス16で抜き出し、バッ
ファ15を通した後に所定の周波数範囲のみを通過させる
ことにより、発振周波数を駆動体３の共振周波数に一致
させる役目を果たす。このバンドパスフィルタがないと
すると、発振条件さえ満たせば、どの周波数でも発振す
るので、注目のモード以外でも発振してしまう。
起動時には、インバータ18の入力はそのスレッシホール
ド電圧まで達していないので、その出力は“H"となりア
ナログスイッチ17は双方とも閉じられる。この時のバン
ドパスフィルタの特性は ただしＡｒは増幅率,fｒは中心周波数,Qはフィルタの選
択度 で表わされる。上記の中心周波数ｆｒを第７図のｆr2に
等しくして、抵抗R7,R8,R10,R11を（９）式より増幅器
の利得を決めて、（８），（９）式よりｆｒ＝ｆr2とな
るようにＱを決める。
ド電圧まで達していないので、その出力は“H"となりア
ナログスイッチ17は双方とも閉じられる。この時のバン
ドパスフィルタの特性は ただしＡｒは増幅率,fｒは中心周波数,Qはフィルタの選
択度 で表わされる。上記の中心周波数ｆｒを第７図のｆr2に
等しくして、抵抗R7,R8,R10,R11を（９）式より増幅器
の利得を決めて、（８），（９）式よりｆｒ＝ｆr2とな
るようにＱを決める。
次にインバータ18の入力は抵抗R12を介じてコンデンサC
4が電源電圧Ｖccから充電されているのでスレッシホー
ルド電圧を越える。その時より出力は“L"となり、アナ
ログスイッチ17は双方ともに開き、バンドパスフィルタ
の特性は により決まる。前述と同様に中心周波数ｆｒを第７図の
ｆr1に等しくし、利得Ａｒ，選択度Ｑを抵抗R7,R10によ
り決める。
4が電源電圧Ｖccから充電されているのでスレッシホー
ルド電圧を越える。その時より出力は“L"となり、アナ
ログスイッチ17は双方ともに開き、バンドパスフィルタ
の特性は により決まる。前述と同様に中心周波数ｆｒを第７図の
ｆr1に等しくし、利得Ａｒ，選択度Ｑを抵抗R7,R10によ
り決める。
バンドパスフィルタを通過した信号は増幅器19により一
定量だけ増幅されて、90゜移相器9,電力増幅器10,11に
より、超音波モータの駆動信号になる。
定量だけ増幅されて、90゜移相器9,電力増幅器10,11に
より、超音波モータの駆動信号になる。
上記に述べたように、起動時にも動作中にも第２図の実
施例は駆動体３の共振周波数で超音波モータを駆動し、
インピーダンスの変化を利得を調節することにより吸収
しているので安定な自励駆動装置となる。
施例は駆動体３の共振周波数で超音波モータを駆動し、
インピーダンスの変化を利得を調節することにより吸収
しているので安定な自励駆動装置となる。
本実施例では始動時と動作中で駆動周波数と駆動電圧の
両方とも変えたが、駆動周波数を変えるだけでも十分な
効果がある。
両方とも変えたが、駆動周波数を変えるだけでも十分な
効果がある。
発明の効果 以上述べてきたように、本発明によれば超音波モータの
始動時にも動作中にも、常に効率の良い、そして安定し
た駆動ができる。
始動時にも動作中にも、常に効率の良い、そして安定し
た駆動ができる。
第１図は本発明の一実施例の超音波モータ装置のブロッ
ク図、第２図は本発明の別の実施例の超音波モータ装置
のブロック図、第３図は超音波モータの断面図、第４図
は超音波モータに用いられている圧電体の形状と電極構
造を示す平面図、第５図超音波モータの駆動体部の振動
状態を示すモデル図、第６図は超音波モータの原理の説
明図、第７図は超音波モータの駆動体のインピーダンス
の周波数特性図である。 ７……発振器、８……演算増幅器、９……バッファ、10
……アナログスイッチ、11……90度移相器、12,13……
電力増幅器、14……演算増幅器、15……バッファ、16…
…トランス、17……アナログスイッチ、18……インバー
タ、19……増幅器。
ク図、第２図は本発明の別の実施例の超音波モータ装置
のブロック図、第３図は超音波モータの断面図、第４図
は超音波モータに用いられている圧電体の形状と電極構
造を示す平面図、第５図超音波モータの駆動体部の振動
状態を示すモデル図、第６図は超音波モータの原理の説
明図、第７図は超音波モータの駆動体のインピーダンス
の周波数特性図である。 ７……発振器、８……演算増幅器、９……バッファ、10
……アナログスイッチ、11……90度移相器、12,13……
電力増幅器、14……演算増幅器、15……バッファ、16…
…トランス、17……アナログスイッチ、18……インバー
タ、19……増幅器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大内 宏 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−22480（ＪＰ，Ａ)
Claims (4)
- 【請求項１】弾性体と圧電体を結合して圧電駆動体を構
成し、上記圧電駆動体の上記圧電に交流電圧を印加する
ことにより、上記圧電駆動体に弾性振動を励振し、上記
弾性体に接触して設置された動体を移動させる超音波モ
ータであって、 始動時と通常動作時で発振周波数が変わる発振器と、始
動時と通常動作時を判別し上記発振器の周波数を変える
制御を行う制御器からなる他励駆動回路を有することを
特徴とする超音波モータ装置。 - 【請求項２】更に、始動時と通常動作時で利得の変えら
れる増幅器を具備した特許請求の範囲第１項に記載の超
音波モータ装置。 - 【請求項３】弾性体と圧電体を結合して圧電駆動体を構
成し、上記圧電駆動体の上記圧電体に交流電圧を印加す
ることにより、上記圧電駆動体に弾性振動を励振し、上
記弾性体に接触して設置された動体を移動させる超音波
モータであって、 始動時と通常動作時で中心周波数が変わる周波数選択回
路と、始動時と通常動作時を判別し上記周波数選択回路
の中心周波数を変える制御を行う制御器からなる自励駆
動回路を有することを特徴とする超音波モータ装置。 - 【請求項４】更に、始動時と通常動作時で利得の変えら
れる増幅器を具備した特許請求の範囲第３項に記載の超
音波モータ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60139440A JPH0669300B2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 超音波モ−タ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60139440A JPH0669300B2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 超音波モ−タ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS622868A JPS622868A (ja) | 1987-01-08 |
| JPH0669300B2 true JPH0669300B2 (ja) | 1994-08-31 |
Family
ID=15245245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60139440A Expired - Lifetime JPH0669300B2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 超音波モ−タ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0669300B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2025004724A1 (ja) | 2023-06-30 | 2025-01-02 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェット用インク、ソルダーレジスト、プリント配線基板、塗膜形成方法及び塗膜形成装置 |
| WO2025004730A1 (ja) | 2023-06-30 | 2025-01-02 | コニカミノルタ株式会社 | 塗膜形成方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59156168A (ja) * | 1983-02-23 | 1984-09-05 | Canon Inc | 振動波モ−タの制御装置 |
| JPS59156169A (ja) * | 1983-02-23 | 1984-09-05 | Canon Inc | 振動波モーター用制御回路 |
| JPS59204477A (ja) * | 1983-05-04 | 1984-11-19 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 超音波モーターの駆動制御回路 |
| JPS6022480A (ja) * | 1983-07-18 | 1985-02-04 | Shinsei Kogyo:Kk | 表面波モ−タの圧電素子 |
-
1985
- 1985-06-26 JP JP60139440A patent/JPH0669300B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2025004724A1 (ja) | 2023-06-30 | 2025-01-02 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェット用インク、ソルダーレジスト、プリント配線基板、塗膜形成方法及び塗膜形成装置 |
| WO2025004730A1 (ja) | 2023-06-30 | 2025-01-02 | コニカミノルタ株式会社 | 塗膜形成方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS622868A (ja) | 1987-01-08 |
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