JPS622868A - 超音波モ−タ装置 - Google Patents
超音波モ−タ装置Info
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- JPS622868A JPS622868A JP60139440A JP13944085A JPS622868A JP S622868 A JPS622868 A JP S622868A JP 60139440 A JP60139440 A JP 60139440A JP 13944085 A JP13944085 A JP 13944085A JP S622868 A JPS622868 A JP S622868A
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/142—Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. speed, torque, starting, stopping, reversing
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は圧電体を用いて駆動力を発生する超音波モータ
装置に関するものである。
装置に関するものである。
従来の技術
近年圧電セラミック等の圧電体を用いて超音波振動を励
振することにより、回転あるいは直線又は曲線運動をす
る超音波モータが発表され、構造が簡単、小型・軽量な
どの特徴から注目されている。
振することにより、回転あるいは直線又は曲線運動をす
る超音波モータが発表され、構造が簡単、小型・軽量な
どの特徴から注目されている。
以下、図面を参照しながら超音波モータの従来技術につ
いて説明を行う。
いて説明を行う。
第３図は超音波モータの一例であり、円環形の弾性体１
の円環面の一方に圧電体として円環形圧電セラミック２
を貼合せて圧電駆動体３を構成している。４は耐磨耗性
材料のスライダで、６は弾性体であり、互いに貼合せら
れて動体６を構成している。動体６はスライダ４を介し
て駆動体３と接触している。圧電体２に電界を印加する
と駆動体３の周方向に曲げ振動が励起され、これが進行
波となることにより、動体６が回転する。
の円環面の一方に圧電体として円環形圧電セラミック２
を貼合せて圧電駆動体３を構成している。４は耐磨耗性
材料のスライダで、６は弾性体であり、互いに貼合せら
れて動体６を構成している。動体６はスライダ４を介し
て駆動体３と接触している。圧電体２に電界を印加する
と駆動体３の周方向に曲げ振動が励起され、これが進行
波となることにより、動体６が回転する。
第４図は第３図の超音波モータに使用した圧電セラミッ
ク２の電極構造の一例を示している。同図では円周方向
に曲げ振動が９波長のるようにしである。同図において
、Ａ、Ｂはそれぞれ２分の１波長相当の小領域から成る
電極群で、Ｃは４分の３波長、Ｄは４分の１波長の長さ
の電極である。
ク２の電極構造の一例を示している。同図では円周方向
に曲げ振動が９波長のるようにしである。同図において
、Ａ、Ｂはそれぞれ２分の１波長相当の小領域から成る
電極群で、Ｃは４分の３波長、Ｄは４分の１波長の長さ
の電極である。
従って、Ａの電極群とＢの電極群とは位置的に４分の１
波長（＝９０度）の位相ずれがある。電極群Ａ、Ｂ内の
隣合う小電極部は互いに反対に厚み方向に分極されてい
る。圧電セラミツク２０弾性体１との接着面は第４図に
示された面と反対の面であり、電極はベタ電極である。
波長（＝９０度）の位相ずれがある。電極群Ａ、Ｂ内の
隣合う小電極部は互いに反対に厚み方向に分極されてい
る。圧電セラミツク２０弾性体１との接着面は第４図に
示された面と反対の面であり、電極はベタ電極である。
使用時には電極群Ａ、Ｂは第４図に斜線で示されたよう
に、それぞれ短絡して用いられる。
に、それぞれ短絡して用いられる。
以上のように構成された超音波モータについて、その動
作を以下に説明する。前記圧電体２の電極群Ａにｖｏ・
ｓｉｎ （ωｔ）で表される電圧を印加すると（ただし
ｖｏは電圧の瞬時値、ωは角周波数、ｔは時間）、駆動
体３は円周方向に曲げ振動をする。
作を以下に説明する。前記圧電体２の電極群Ａにｖｏ・
ｓｉｎ （ωｔ）で表される電圧を印加すると（ただし
ｖｏは電圧の瞬時値、ωは角周波数、ｔは時間）、駆動
体３は円周方向に曲げ振動をする。
第６図は第３図の超音波モータの一部分の斜視図であり
、同図（ａ）は圧電体２に電圧を印加していない時であ
り、同図（ｂ）は圧電体２に電圧を印加した時の様子を
示す。
、同図（ａ）は圧電体２に電圧を印加していない時であ
り、同図（ｂ）は圧電体２に電圧を印加した時の様子を
示す。
第６図は動体６と駆動体３の接触状況を拡大して描いた
ものである。前記圧電体２の電極群ＡにＶ −５ｉｎ（
ωｔ）、電極群Ｂ Ｋ Ｖｏ ・ｃｏｓ （ωｔ ）
ノ互’／’ Ｋ位相がπ／２ だけずれた電圧を印加す
れば、駆動体３の円周方向に曲げ振動の進行波を作るこ
とができる。一般に進行波は振幅をξとすればξ＝ξ。
ものである。前記圧電体２の電極群ＡにＶ −５ｉｎ（
ωｔ）、電極群Ｂ Ｋ Ｖｏ ・ｃｏｓ （ωｔ ）
ノ互’／’ Ｋ位相がπ／２ だけずれた電圧を印加す
れば、駆動体３の円周方向に曲げ振動の進行波を作るこ
とができる。一般に進行波は振幅をξとすればξ＝ξ。
ｅｃｏｓ（ａ＋ｔ−ｋｘ） ・−−−−・
（１）ただし ξ。二液の大きさの瞬時値 ｋ ：波数（＝２π／λ） λ ：波長 Ｘ ：位置 で表せる。（１）式は ξ＝ξ。・（ωｓ（ａ＋ｔ ） −ｃｏｓ（ｋｘ）＋５
ｉｎ（ａ＋ｔ ）−ｓｉｎ（ｌｃｃ））・・・・・・（
２） と書き直せ、（２）式は進行波が時間的にπ／２ だけ
位相のずれた波ｃｏｓ（ωｔ）とｓｉｎ （ωｔ）、お
よび位置的にπ／２ だけ位相のずれたω５（ｋｘ）と
５ｉｎ（ｋｘ）とのそれぞれの積の和で得られることを
示している。前述の説明より、圧電体２は互いに位置的
にπ／２（＝λ／４）だけ位相のずれた電極群Ａ、Ｂを
持っているので、駆動体３の共振周波数に等しい周波数
出力を持つ発振器の出力から、それぞれに時間的に位相
のπ／２ だけずれた交流電圧を作り、前記電極群に印
加すれば駆動体３に曲げ振動の進行波を作れる。
（１）ただし ξ。二液の大きさの瞬時値 ｋ ：波数（＝２π／λ） λ ：波長 Ｘ ：位置 で表せる。（１）式は ξ＝ξ。・（ωｓ（ａ＋ｔ ） −ｃｏｓ（ｋｘ）＋５
ｉｎ（ａ＋ｔ ）−ｓｉｎ（ｌｃｃ））・・・・・・（
２） と書き直せ、（２）式は進行波が時間的にπ／２ だけ
位相のずれた波ｃｏｓ（ωｔ）とｓｉｎ （ωｔ）、お
よび位置的にπ／２ だけ位相のずれたω５（ｋｘ）と
５ｉｎ（ｋｘ）とのそれぞれの積の和で得られることを
示している。前述の説明より、圧電体２は互いに位置的
にπ／２（＝λ／４）だけ位相のずれた電極群Ａ、Ｂを
持っているので、駆動体３の共振周波数に等しい周波数
出力を持つ発振器の出力から、それぞれに時間的に位相
のπ／２ だけずれた交流電圧を作り、前記電極群に印
加すれば駆動体３に曲げ振動の進行波を作れる。
また同図は駆動体のＡ点が進行波によって、長軸２ｗ、
短軸２ｕの楕円運動を゛している様子を示し駆動体３上
に置かれた動体６が楕円の頂点で接触することにより、
波の進行方向とは逆方向にＶ＝ωＵの速度で運動する様
子を示している。即ち動体６は任意の静圧で駆動体３に
押し付けられて、駆動体３の表面に接触し、動体６と駆
動体３との摩擦力で波の進行方向と逆方向に速度Ｖで駆
動される。両者の間にすべりがある時は、速度が上記の
マよりも小さくなる。また、上記に示した超音波モータ
の速度Ｖは、 Ｖ＝ωｔｏｅωξ０ ・・・・・・
０）で表せ、駆動体３の曲げ振動の振幅瞬時値ξ。に比
例する。そのため超音波モータの駆動は小さな電圧で大
きな電流が流れる駆動体３の共振周波数で駆動する。
短軸２ｕの楕円運動を゛している様子を示し駆動体３上
に置かれた動体６が楕円の頂点で接触することにより、
波の進行方向とは逆方向にＶ＝ωＵの速度で運動する様
子を示している。即ち動体６は任意の静圧で駆動体３に
押し付けられて、駆動体３の表面に接触し、動体６と駆
動体３との摩擦力で波の進行方向と逆方向に速度Ｖで駆
動される。両者の間にすべりがある時は、速度が上記の
マよりも小さくなる。また、上記に示した超音波モータ
の速度Ｖは、 Ｖ＝ωｔｏｅωξ０ ・・・・・・
０）で表せ、駆動体３の曲げ振動の振幅瞬時値ξ。に比
例する。そのため超音波モータの駆動は小さな電圧で大
きな電流が流れる駆動体３の共振周波数で駆動する。
発明が解決しようとする問題点
しかし、超音波モータの始動時と動作中では、第７図に
示すように駆動体３のインピーダンスの周波数特性が異
なる。これは始動時では駆動体３は動体６と面と面で接
触しているが、動作中には第６図に示したように線状に
接触しているからである。第７図において、とは静止時
、および始動時の、そしてｂは動作中の駆動体３のイン
ピーダンスの周波数特性である。また同図において、ｆ
ｒｌは動作時での共振周波数であり、’ｒ２は始動時で
の共振周波数である。つまシ、始動時と動作時では最適
駆動周波数である共振周波数が変動する。
示すように駆動体３のインピーダンスの周波数特性が異
なる。これは始動時では駆動体３は動体６と面と面で接
触しているが、動作中には第６図に示したように線状に
接触しているからである。第７図において、とは静止時
、および始動時の、そしてｂは動作中の駆動体３のイン
ピーダンスの周波数特性である。また同図において、ｆ
ｒｌは動作時での共振周波数であり、’ｒ２は始動時で
の共振周波数である。つまシ、始動時と動作時では最適
駆動周波数である共振周波数が変動する。
故に従来のように、始動時と動作中で同周波数で超音波
モータを駆動したのでは、常に効率の良い駆動はできな
い。
モータを駆動したのでは、常に効率の良い駆動はできな
い。
本発明はかかる点に鑑みてなされたもので、常に効率の
良い、しかも安定・な動作が可能な超音波モータ装置を
提供することを目的としている。
良い、しかも安定・な動作が可能な超音波モータ装置を
提供することを目的としている。
問題点を解決するための手段
本発明は上記問題点を解決するものであり、他励方式の
駆動回路では発振周波数が始動時と動作中とで変えられ
る発振器と、利得の変えられる増幅器のうちの、前記発
振器のみが、又は、双方とも有する。また、自励方式で
はその中心周波数が可変な周波数選択回路と利得が可変
な増幅器のうちの前記周波数選択回路のみが、双方とも
を有するものである。
駆動回路では発振周波数が始動時と動作中とで変えられ
る発振器と、利得の変えられる増幅器のうちの、前記発
振器のみが、又は、双方とも有する。また、自励方式で
はその中心周波数が可変な周波数選択回路と利得が可変
な増幅器のうちの前記周波数選択回路のみが、双方とも
を有するものである。
作 用
他励方式、自励方式ともに、超音波モータの駆動周波数
を始動時および動作時の駆動体の共振周波数に一致させ
て、始動時と動作時のインピーダンスの変化を増幅器の
利得を変えて吸収する。また前記駆動周波数のみを常に
駆動周波数に一致させて、常に効率の良い、安定な動作
が行なえるようにしている。
を始動時および動作時の駆動体の共振周波数に一致させ
て、始動時と動作時のインピーダンスの変化を増幅器の
利得を変えて吸収する。また前記駆動周波数のみを常に
駆動周波数に一致させて、常に効率の良い、安定な動作
が行なえるようにしている。
実施例
以下図面を参照しながら本発明の一実施例について説明
する。第１図は本発明の超音波モータ装置の一実施例を
示すブロック図である。同図において、７は発振器で８
は増幅器である。発振器７の発振周波数は抵抗Ｒ１，Ｒ
２およびコンデンサＣ１によって決まり、増幅器８の利
得は抵抗Ｒ３，Ｒ４゜Ｒ６によって決まる。電源電圧Ｖ
。Ｃが印加されると、バッファ９の入力に抵抗Ｒ６とコ
ンデンサＣ２で決まる充電電圧が印加され、充電電圧が
バック７９のスレッシホールド電圧を越えると、パック
１９の出力はロジックレベルの”Ｈ”になる。つまり、
超音波モータの始動時には発振器７の発振周波数ｆ、は ｆ＝□ ・−・・・・（４）ｒＲｌ
・Ｃま ただしＫは定数 で決まり、発振周波数量、を第７図のｆｒ２ に等し
くしておく。また増幅器８の利得ＧはＧ＝−Ｒ４／Ｒ３
・・・・・・（６） で決まる。発振器７の出力は増幅器８で超音波モータを
起動するに充分なレベルにまで増幅される。
する。第１図は本発明の超音波モータ装置の一実施例を
示すブロック図である。同図において、７は発振器で８
は増幅器である。発振器７の発振周波数は抵抗Ｒ１，Ｒ
２およびコンデンサＣ１によって決まり、増幅器８の利
得は抵抗Ｒ３，Ｒ４゜Ｒ６によって決まる。電源電圧Ｖ
。Ｃが印加されると、バッファ９の入力に抵抗Ｒ６とコ
ンデンサＣ２で決まる充電電圧が印加され、充電電圧が
バック７９のスレッシホールド電圧を越えると、パック
１９の出力はロジックレベルの”Ｈ”になる。つまり、
超音波モータの始動時には発振器７の発振周波数ｆ、は ｆ＝□ ・−・・・・（４）ｒＲｌ
・Ｃま ただしＫは定数 で決まり、発振周波数量、を第７図のｆｒ２ に等し
くしておく。また増幅器８の利得ＧはＧ＝−Ｒ４／Ｒ３
・・・・・・（６） で決まる。発振器７の出力は増幅器８で超音波モータを
起動するに充分なレベルにまで増幅される。
増幅後の信号は一方は９０°移相器１１に入力されて電
力増幅器１２に入力される。また他方は直接電力増幅器
１３に入力される。これら２つの９００位相の異なる駆
動信号は超音波モータの駆動体３の圧電セラミック２に
印加され、安定に超音波モータが起動される。
力増幅器１２に入力される。また他方は直接電力増幅器
１３に入力される。これら２つの９００位相の異なる駆
動信号は超音波モータの駆動体３の圧電セラミック２に
印加され、安定に超音波モータが起動される。
起動直後、バッファ９の出力はＨ”になり、アナログス
イッチ１ｏは両方とも閉じる。これにより発振器７の発
振周波数量、は １ ＝ ・・・・・
・（６）（Ｒ１／Ｒ２’）・Ｃ１ ただしＲ１／Ｒ２はＲ１とＲ２の並列抵抗値となり、（
４）式が与える周波数よりも高くなる。（６）式が与え
る周波数ｆ、を第７図の’ｒ１になるようにＲ２を選ん
でおく。そして増幅器８の利得ＧはＧ ＝ −（Ｒ４／
Ｒ６）／Ｒ３−−−−−−（７）とな夛、（６）式の与
える利得よりも小さい。
イッチ１ｏは両方とも閉じる。これにより発振器７の発
振周波数量、は １ ＝ ・・・・・
・（６）（Ｒ１／Ｒ２’）・Ｃ１ ただしＲ１／Ｒ２はＲ１とＲ２の並列抵抗値となり、（
４）式が与える周波数よりも高くなる。（６）式が与え
る周波数ｆ、を第７図の’ｒ１になるようにＲ２を選ん
でおく。そして増幅器８の利得ＧはＧ ＝ −（Ｒ４／
Ｒ６）／Ｒ３−−−−−−（７）とな夛、（６）式の与
える利得よりも小さい。
超音波モータは上記の実施例によって、起動時および動
作中の双方において常に効率の良い、安定な駆動ができ
る。
作中の双方において常に効率の良い、安定な駆動ができ
る。
第２図は本発明の超音波モータ装置の他の実施例を示す
ブロック図である。第１図の実施例が他励方式であった
のに対し、第２図の実施例は駆動電流を帰還させる自励
方式である。第２図において、１４は演算増幅器であり
、抵抗Ｒ７，Ｒ８，Ｒ９゜Ｒ１゜、Ｒ１，およびコンデ
ンサＣ３，Ｃ４とでバンドパスフィルタを構成している
。このバンドパスフィルタは、駆動体３を構成している
圧電セラミック２に印加される駆動信号をトランス１６
で抜き出し、バッファ１６を通した後に所定の周波数範
囲のみを通過させることにより、発振周波数を駆動体３
の共振周波数に一致させる役目を果たす。こ゛ のバ
ンドパスフィルタがないとすると、発振条件さえ満たせ
ば、どの周波数でも発振するので、注目のモード以外で
も発振してしまう。
ブロック図である。第１図の実施例が他励方式であった
のに対し、第２図の実施例は駆動電流を帰還させる自励
方式である。第２図において、１４は演算増幅器であり
、抵抗Ｒ７，Ｒ８，Ｒ９゜Ｒ１゜、Ｒ１，およびコンデ
ンサＣ３，Ｃ４とでバンドパスフィルタを構成している
。このバンドパスフィルタは、駆動体３を構成している
圧電セラミック２に印加される駆動信号をトランス１６
で抜き出し、バッファ１６を通した後に所定の周波数範
囲のみを通過させることにより、発振周波数を駆動体３
の共振周波数に一致させる役目を果たす。こ゛ のバ
ンドパスフィルタがないとすると、発振条件さえ満たせ
ば、どの周波数でも発振するので、注目のモード以外で
も発振してしまう。
起動時には、インバータ１８の入力はそのスレッシホー
ルド電圧まで達していないので、その出力は′Ｈ″″と
なりアナログスイッチ１７は双方とも閉じられる。この
時のバンドパスフィルタの特性は ただしＡ工は増幅率、ｆ、は中心周波数。
ルド電圧まで達していないので、その出力は′Ｈ″″と
なりアナログスイッチ１７は双方とも閉じられる。この
時のバンドパスフィルタの特性は ただしＡ工は増幅率、ｆ、は中心周波数。
Ｑはフィルタの選択度
で表わされる。上記の中心周波数ｆｒ を第７図のｆｒ
２に等しくして、抵抗Ｒ７１Ｒ８，Ｒ１０１Ｒ１１を（
９）式より増幅器の利得を決めて、（８） 、 （９）
式よ！”ｒ＝’ｒ２となるようにＱを決める。
２に等しくして、抵抗Ｒ７１Ｒ８，Ｒ１０１Ｒ１１を（
９）式より増幅器の利得を決めて、（８） 、 （９）
式よ！”ｒ＝’ｒ２となるようにＱを決める。
次にインバータ１Ｂの入力は抵抗Ｒ１２を介してコンデ
ンサＣ４が電源電圧ｖｃｃから充電されているのでスレ
ッシホールド電圧を越える。その時より出力は“Ｌ”と
なり、アナログスイッチ１７は双方ともに開き、バンド
パスフィルタの特性はＲ７−・・・・・・（１１） πｆｒＣ３ により決まる。前述と同様に中心周波数ｆ、を第７図の
（２，に等しくし、利得Ａｒ ＋選択度Ｑを抵抗Ｒ７，
Ｒ１゜によシ決める。
ンサＣ４が電源電圧ｖｃｃから充電されているのでスレ
ッシホールド電圧を越える。その時より出力は“Ｌ”と
なり、アナログスイッチ１７は双方ともに開き、バンド
パスフィルタの特性はＲ７−・・・・・・（１１） πｆｒＣ３ により決まる。前述と同様に中心周波数ｆ、を第７図の
（２，に等しくし、利得Ａｒ ＋選択度Ｑを抵抗Ｒ７，
Ｒ１゜によシ決める。
バンドパスフィルタを通過した信号は増幅器１９により
一定量だけ増幅されて、９０°移相器９．電力増幅器１
０．１１により、超、音波モータの駆動信号になる。
一定量だけ増幅されて、９０°移相器９．電力増幅器１
０．１１により、超、音波モータの駆動信号になる。
上記に−述べたように、起動時にも動作中にも第２図の
゛実施例は駆動体３の共振周波数で超音波モータを駆動
し、インピーダンスの変化を利得を調節することによシ
吸収しているので安定な自励駆動装置となる。
゛実施例は駆動体３の共振周波数で超音波モータを駆動
し、インピーダンスの変化を利得を調節することによシ
吸収しているので安定な自励駆動装置となる。
本実施例では始動時と動作中で駆動周波数と駆動電圧の
両方とも変えたが、駆動周波数を変えるだけでも十分な
効果がある。
両方とも変えたが、駆動周波数を変えるだけでも十分な
効果がある。
発明の効果
以上述べてきたように、本発明によれば超音波モ・−夕
の始動時にも動作中にも、常に効率の良い、そして安定
した駆動が°できる。
の始動時にも動作中にも、常に効率の良い、そして安定
した駆動が°できる。
第１図は本発明の一実施例の超音波モータ装置のブロッ
ク図、第２図は本発明の別の実施例の超音波モータ装置
のブロック図、第３図は超音波モータの断面図、第４図
は超音波モータに用いられている圧電体の形状と電極構
造を示す平面図、第６図超音波モータの駆動体部の振動
状態を示すモデル図、第６図は超音波モータの原理の説
明図、第７図は超音波モータの駆動体のインピーダンス
の周波数特性図である。 ７・・・・・・発振器、ａ・・・・・・演算増幅器、９
・・・・・・バッファ、１０・・・・・・アナログスイ
ッチ、１１・・・・・・９０度移相器、１２．１３・・
・・・・電力増幅器、１４・・・・・・演算増幅器、１
６・・・・・・バッファ、１６・・・・・・トランス、
１７・・・・・・アナログスイッチ、１８・・・・・・
インバータ、１９・・・・・・増幅器。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１ 図 男 ２ 図 第４図 第 ５ 図
ク図、第２図は本発明の別の実施例の超音波モータ装置
のブロック図、第３図は超音波モータの断面図、第４図
は超音波モータに用いられている圧電体の形状と電極構
造を示す平面図、第６図超音波モータの駆動体部の振動
状態を示すモデル図、第６図は超音波モータの原理の説
明図、第７図は超音波モータの駆動体のインピーダンス
の周波数特性図である。 ７・・・・・・発振器、ａ・・・・・・演算増幅器、９
・・・・・・バッファ、１０・・・・・・アナログスイ
ッチ、１１・・・・・・９０度移相器、１２．１３・・
・・・・電力増幅器、１４・・・・・・演算増幅器、１
６・・・・・・バッファ、１６・・・・・・トランス、
１７・・・・・・アナログスイッチ、１８・・・・・・
インバータ、１９・・・・・・増幅器。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１ 図 男 ２ 図 第４図 第 ５ 図
Claims (3)
- （１）弾性体と圧電体とを貼合わせて圧電駆動体を構成
し、上記圧電駆動体に電圧を印加することにより、上記
駆動体に曲げ振動を励起して進行波を作り、上記弾性体
の貼合せ面に相体する面上の質点を楕円運動させること
により、前記弾性体上に置かれた物体を移動させる超音
波モータであって、始動時と動作時で、上記駆動体の駆
動周波数と駆動電圧のうち少なくとも駆動周波数を変え
、上記駆動周波数を上記駆動体の始動時および動作時に
おけるそれぞれの共振周波数近傍とすることを特徴とす
る超音波モータ装置。 - （２）始動時と動作時で発振周波数を変えられる発振器
と、始動時と動作時で利得の変えられる増幅器のうち少
なくとも上記発振器を有することを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の超音波モータ装置。 - （３）始動時と動作時で中心周波数が変えられる周波数
選択回路と、始動時と動作時で利得の変えられる増幅器
のうち少なくとも上記周波数選択回路を有することを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の超音波モータ装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60139440A JPH0669300B2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 超音波モ−タ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60139440A JPH0669300B2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 超音波モ−タ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS622868A true JPS622868A (ja) | 1987-01-08 |
| JPH0669300B2 JPH0669300B2 (ja) | 1994-08-31 |
Family
ID=15245245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60139440A Expired - Lifetime JPH0669300B2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 超音波モ−タ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0669300B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Citations (4)
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|---|---|---|---|---|
| JPS59156168A (ja) * | 1983-02-23 | 1984-09-05 | Canon Inc | 振動波モ−タの制御装置 |
| JPS59156169A (ja) * | 1983-02-23 | 1984-09-05 | Canon Inc | 振動波モーター用制御回路 |
| JPS59204477A (ja) * | 1983-05-04 | 1984-11-19 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 超音波モーターの駆動制御回路 |
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-
1985
- 1985-06-26 JP JP60139440A patent/JPH0669300B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0669300B2 (ja) | 1994-08-31 |
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