JPH0669405U - 流体圧サーボモータ - Google Patents
流体圧サーボモータInfo
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- JPH0669405U JPH0669405U JP1503793U JP1503793U JPH0669405U JP H0669405 U JPH0669405 U JP H0669405U JP 1503793 U JP1503793 U JP 1503793U JP 1503793 U JP1503793 U JP 1503793U JP H0669405 U JPH0669405 U JP H0669405U
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- Actuator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ピストン60の周囲からの漏油がないように
して動作の応答性,制御性の変化,劣化を防止する。 【構成】 サーボ弁20によって制御された油圧を受け
てシリンダ51内でピストン60及びピストンロッド6
5が移動する油圧サーボモータにおいて、シリンダ51
に一端部を固着し他端部をピストン60に固着してピス
トンロッド65と同軸にベローズ80を設けた。
して動作の応答性,制御性の変化,劣化を防止する。 【構成】 サーボ弁20によって制御された油圧を受け
てシリンダ51内でピストン60及びピストンロッド6
5が移動する油圧サーボモータにおいて、シリンダ51
に一端部を固着し他端部をピストン60に固着してピス
トンロッド65と同軸にベローズ80を設けた。
Description
【0001】
この考案は、蒸気タービン,ガスタービン,水車,その他の動力装置類を制御 するために適用される流体(油)圧サーボモータに関するものである。
【0002】
図3は従来の油圧サーボモータを示す。図示しない油圧ポンプから高圧油路1 1を経て送られる高圧油はオリフィス12を通り、制御油路13,15を経て油 入口26からサーボ弁筐21内に入り、ばね25により押し下げられているカッ プ弁23を押し上げ、カップ弁23の下周辺にできる隙間を通って油出口27か ら出てゆく。カップ弁23に固着されている弁棒22は図示しないガバナに連結 されている。また、オリフィス12を通過した油は、制御油路13,16を経て 油入口52からシリンダ51のピストン上室5a内に入り、ばね70で押し上げ られているピストン60を油圧で押し下げる。ピストン60に固着されているピ ストンロッド65は図示しない蒸気加減弁等に連結されている。図示しないガバ ナにより弁棒22を介してカップ弁23が押し下げられると、カップ弁23の下 周辺を油が抜け難くなるのでピストン上室5aへの油圧が上がり、高くなった油 圧はピストン60を押し下げ、ピストンロッド65を介して図示しない蒸気加減 弁等を開け又は閉める方向に駆動する。以上と反対に、ガバナにより弁棒22が 引き上げられると、カップ弁23の下周辺の隙間が大きくなって油が通り易くな るので油圧が下がり、ピストン60を押し下げる油圧力が小さくなり、ばね70 によりピストンロッド65は押し上げられ、ピストンロッド65を介して図示し ない蒸気加減弁等を上記と反対方向に駆動する。
【0003】
従来の油圧サーボモータは上記のようであり、オリフィス12の径,ばね25 の強さ等は、動作の応答性,制御性が最適になるように設定される。ところが、 ピストン60の周面とシリンダ51の内面との間の隙間から漏れる油の量によっ ても応答性等は影響を受けるので、最初に最適状態に設定しても、運転にともな う摩耗等によりピストン60の周囲の隙間が大きくなり漏油量が多くなると、応 答性等が変化し劣化するというような課題があった。
【0004】 この考案は上記課題を解消するためになされたもので、ピストン60の周囲か らの漏油がないようにして、長期間運転しても動作の応答性,制御性が変化した り劣化することがない流体圧サーボモータを得ることを目的とする。
【0005】
この考案に係る流体圧サーボモータは、シリンダに一端部を固着し他端部をピ ストンに固着してピストンロッドと同軸にベローズを設けたものである。
【0006】
この考案における流体圧サーボモータのベローズは、シリンダに一端部を固着 し他端部をピストンに固着してピストンロッドと同軸に設けられているので、ピ ストン及びピストンロッドが軸方向に移動することを許容するとともに、ピスト ンの一方側と他方側とを隔離し、ピストンの一方側から他方側へ油が漏れること を完全に阻止する。これにより、動作の応答性,制御性が油の漏れにより変化, 劣化することが完全に防止される。
【0007】
以下、この考案の一実施例を図について説明する。図1において、20はこの 流体(油)圧サーボモータの入力部であるサーボ弁であり、サーボ弁20の弁棒 22は図示しない制御対象動力装置のガバナに連結されている。50は出力部で あるパイロットシリンダであり、パイロットシリンダ50のピストンロッド65 は図示しない制御対象動力装置の蒸気加減弁等に連結されている。11は図示し ない油圧ポンプの吐出部に連結された高圧油路であり、高圧油路11には流路を 絞って流量を制限するオリフィス12が連結され、オリフィス12には制御油路 13及び分岐油路14が連結され、分岐油路14から分岐して、制御油路15を 経て油入口26からサーボ弁20のサーボ弁筐21内に入る油路と、制御油路1 6を経て油入口52からパイロットシリンダ50のシリンダ51内に入る油路と が設けられている。
【0008】 サーボ弁20は、図1に示すように、サーボ弁筐21と、サーボ弁筐21の天 板を貫通して昇降可能に設けられた弁棒22と、弁棒22の下端部に取り付けら れたカップ弁23と、カップ弁23を押し下げるようにカップ弁23の上面とサ ーボ弁筐21の天板下面との間に圧縮して設けられたばね25とからなる。サー ボ弁筐21には、底板の中央部に油入口26があけられて制御油路15が連結さ れ、側板下部に油出口27があけられて戻り油路18が連結されている。弁棒2 2の図の上方には図示しない制御対象動力装置のガバナが連結されている。カッ プ弁23は逆さまにした浅いお椀状であり、カップ弁23が下がったとき、カッ プ弁23の下端部のお椀の縁の全周がサーボ弁筐21の底板上面に密接するよう に、サーボ弁筐21の底板上面は平面に形成され、カップ弁23の下端部のお椀 の縁の全周も高低なく一平面になるように形成されている。
【0009】 パイロットシリンダ50は、図1に示すように、シリンダ51と、シリンダ5 1の天板を貫通して昇降可能に設けられたピストンロッド65と、ピストンロッ ド65の下端部に取り付けられたピストン60と、ピストンロッド65を押し上 げるようにつば67の下面とシリンダ51の天板上面との間に圧縮して設けられ たばね70と、ベローズ80とからなる。シリンダ51の天板には油入口52が あけられて制御油路16が連結されている。ピストンロッド65の図の上方には 図示しない制御対象動力装置の蒸気加減弁等が連結されている。このパイロット シリンダ50には、シリンダ51とピストン60とを相対移動可能に連結するよ うにピストンロッド65と同軸にベローズ80が設けられている。ベローズ80 の上端フランジ80aはシリンダ51の側板上部に油密に固着され、ベローズ8 0の下端フランジ80bはピストン60に油密に固着されている。したがって、 ピストン60の昇降はベローズ80により拘束されることなく、かつ、シリンダ 51内はベローズ80及びピストン60によりピストン上室であるベローズ内室 5cとピストン下室であるベローズ外室5dとに油の漏れが不可能に隔離されて いる。なお、ピストン60の下端面中心部に取り付けられて下向きにシリンダ5 1の底板を昇降可能に貫通する案内ロッド69が設けられているが、これはピス トン60の昇降動作を円滑にするためのものである。
【0010】 次に、図1に示す実施例の動作について説明する。図示しない油圧ポンプから 高圧油路11を経て送られる高圧油はオリフィス12を通過するとき絞られて流 量が制限され、オリフィス12を通過した後の油の圧力は、流量が少ないと高く なり、流量が多いと低くなる。オリフィス12を通過した油は制御油路13を経 て分岐油路14で分岐して、制御油路15を経て油入口26からサーボ弁筐21 内のカップ弁23の下面に入り、また、制御油路16を経て油入口52からシリ ンダ51のベローズ内室5c内に入る。油入口26からサーボ弁筐21内に入っ た油はカップ弁23を押し上げてカップ弁23の下端周縁にできる隙間を通過し て油出口27から戻り油路18を通って図示しない油圧源の油タンクに戻る。
【0011】 図1において、図示しない制御対象動力装置のガバナによりサーボ弁20の弁 棒22に下方への力が加えられると、その下方への力とばね25の押し下げ力と の合力はカップ弁23を強く押し下げる。カップ弁23が強く押し下げられると 、カップ弁23の下端周縁の隙間が小さくなり、その隙間を通る油量が少なくな り、オリフィス12を通過する流量が少なくなり、オリフィス12以降の油路内 の油圧が高くなり、ある油圧になったところで、カップ弁23を上から押し下げ る上記の力と下から押し上げる油圧の力とがバランスする。このバランスした高 い圧力の油は制御油路16を経てパイロットシリンダ50の油入口52からシリ ンダ51のベローズ内室5c内に入り、ピストン60を押し下げ、ピストン60 に取り付けられているピストンロッド65を引き下げ、ピストンロッド65は図 示しない制御対象動力装置の蒸気加減弁等を開け又は閉める方向に駆動する。
【0012】 以上と反対に、図1において、図示しない制御対象動力装置のガバナからサー ボ弁20の弁棒22に上方への力が加えられると、その力だけばね25の押し下 げ力を減殺してカップ弁23を押し下げる力が小さくなる。すると、カップ弁2 3は油圧で押し上げられて、カップ弁23の下端周縁の隙間が大きくなり、その 隙間を通る油量が多くなる。供給油量はオリフィス12で絞られているので、オ リフィス12以降の油路内の油圧が低くなってバランスする。したがって、ベロ ーズ内室5c内の油圧も低くなり、油圧による押し下げ力は小さくなるので、ば ね70によりピストンロッド65が押し上げられ、ピストンロッド65は図示し ない制御対象動力装置の蒸気加減弁等を前記と逆の方向に駆動する。
【0013】 図1に示すように、このパイロットシリンダ50においては、上端フランジ8 0aをシリンダ51の側板上部に油密固着し、下端フランジ80bをピストン6 0に油密固着して、ピストンロッド65の軸心と同軸にベローズ80が設けられ ている。したがって、上記の動作において、ベローズ80はピストン60の昇降 動作を拘束しないとともに、ピストン60の上側であるベローズ内室5cとピス トン60の下側であるベローズ外室5dとを完全に隔離するので、油がベローズ 内室5cからベローズ外室5dへ漏れることは全くない。これにより、従来のピ ストン60の周囲の摩耗等による漏油量増加によって応答性,制御性が変化,劣 化するというような問題は全く解消される。
【0014】 次に、図2に示す実施例について説明する。オリフィス12等の油路及びサー ボ弁20については図1と同様であり、説明は省略する。図2に示す実施例のパ イロットシリンダ50では、シリンダ51内に設けるピストンとして、自由昇降 可能な比較的大径の第1ピストン61を下方に設け、ピストンロッド65に取り 付けられた比較的小径の第2ピストン62を上方に設けている。また、上端フラ ンジ81aをシリンダ51の側板上部に油密固着し、下端フランジ81bを第1 ピストン61に油密固着してピストンロッド65と同軸に比較的大径の第1ベロ ーズ81が設けられており、上端フランジ82aを第2ピストン62に油密固着 し、下端フランジ82bを第1ピストン61に油密固着してピストンロッド65 と同軸に比較的小径の第2ベローズ82が設けられている。したがって、シリン ダ51内は、第1ベローズ81内のピストン上室である上室5eと、第2ベロー ズ82内の中室5fと、第1ベローズ81外のピストン下室である下室5gとに 油密隔離されている。
【0015】 次に、図2に示す実施例の動作について説明する。図示しないガバナによりサ ーボ弁20の弁棒22,カップ弁23に下向きの力が加えられると、図1に示す 実施例についての説明と同様に、シリンダ51内の上室5e内の油圧が高くなり 、その高い油圧は、第2ピストン62を直接に押し下げ、第1ピストン61を押 し下げて第2ベローズ82を介して第2ピストン62を引き下げ、第2ピストン 62と一体的なピストンロッド65が下降し、ピストンロッド65は図示しない 蒸気加減弁等を開け又は閉める方向に駆動する。以上と逆に、図示しないガバナ によりサーボ弁20の弁棒22,カップ弁23に上向きの力が加えられると、上 室5e内の油圧が低くなり、ばね70の力によりピストンロッド65は押し上げ られ、ピストンロッド65は図示しない蒸気加減弁等を上記と逆の方向に駆動す る。
【0016】 図2に示す実施例においても、図1についての説明と同様に、第1ベローズ8 1及び第2ベローズ82を設けて完全に隔離したので、油の漏れが全くなく、従 来のピストン60の周囲の摩耗による漏油量増加によって応答性,制御性が変化 ,劣化するというような問題が全く解消される。なお、図2に示す実施例では、 第1ベローズ81及び第2ベローズ82の形状や弾性を適当に設定することによ り、応答制御特性を適当に設定することができる。
【0017】 なお、図1に示す実施例において、シリンダ51のベローズ外室5dは案内ロ ッド69の貫通隙間以外は密閉されているが、シリンダ51の下部にベローズ外 室5dに大気が通じる穴をあけて開放とし、ピストン60の昇降動作を容易にさ せることもできる。また、図2に示す実施例においても、シリンダ51の下部に 穴をあけて下室5gを大気に開放とすることができ、また、例えば案内ロッド6 9内に大気が中室5fに通じる穴をあけて中室5fを開放とすることもできる。 中室5f内を密閉とするか開放とするかによって応答特性が異なる。
【0018】
以上のように、この考案によれば、シリンダとピストンとの間にベローズを設 けたので、漏油が全くない構造となり、従来のピストン周囲の摩耗による漏油量 の増加によって応答性,制御性が変化,劣化するというような問題を全く解消す ることができる。
【図1】この考案の一実施例による油圧サーボモータの
断面構成図である。
断面構成図である。
【図2】この考案の他の実施例による油圧サーボモータ
の断面構成図である。
の断面構成図である。
【図3】従来の油圧サーボモータの断面構成図である。
11:高圧油路、 12:オリフィス、13,15,1
6:制御油路、 14:分岐油路、20:サーボ弁、
21:サーボ弁筐、22:弁棒、 23:カップ弁、
25:ばね、50:パイロットシリンダ、 51:シリ
ンダ、60,61,62:ピストン、 65:ピストン
ロッド、70:ばね、80,81,82:ベローズ。
6:制御油路、 14:分岐油路、20:サーボ弁、
21:サーボ弁筐、22:弁棒、 23:カップ弁、
25:ばね、50:パイロットシリンダ、 51:シリ
ンダ、60,61,62:ピストン、 65:ピストン
ロッド、70:ばね、80,81,82:ベローズ。
Claims (1)
- 【請求項1】 サーボ弁によって制御された流体圧を受
けてシリンダ内でピストンがピストンロッドの軸方向に
移動する流体圧サーボモータにおいて、前記シリンダに
一端部を固着し他端部を前記ピストンに固着して前記ピ
ストンロッドと同軸にベローズを設けたことを特徴とす
る流体圧サーボモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1503793U JPH0669405U (ja) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | 流体圧サーボモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1503793U JPH0669405U (ja) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | 流体圧サーボモータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0669405U true JPH0669405U (ja) | 1994-09-30 |
Family
ID=11877642
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1503793U Withdrawn JPH0669405U (ja) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | 流体圧サーボモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0669405U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5727647B1 (ja) * | 2014-02-27 | 2015-06-03 | エネスジー、カンパニー、リミテッドEnesg Co.,Ltd. | 発電所用油圧アクチュエータアセンブリー |
| JP5727648B1 (ja) * | 2014-02-27 | 2015-06-03 | エネスジー、カンパニー、リミテッドEnesg Co.,Ltd. | 発電所用油圧アクチュエータアセンブリー |
| JP5727646B1 (ja) * | 2014-04-01 | 2015-06-03 | エネスジー、カンパニー、リミテッドEnesg Co.,Ltd. | 油圧アクチュエータ用空気排出装置及びこれを有する発電所用油圧アクチュエータ |
| KR20230063589A (ko) * | 2021-11-02 | 2023-05-09 | 주식회사 에네스지 | 유량조절이 가능한 솔레노이드 밸브가 구비된 액츄에이터 |
-
1993
- 1993-03-08 JP JP1503793U patent/JPH0669405U/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5727647B1 (ja) * | 2014-02-27 | 2015-06-03 | エネスジー、カンパニー、リミテッドEnesg Co.,Ltd. | 発電所用油圧アクチュエータアセンブリー |
| JP5727648B1 (ja) * | 2014-02-27 | 2015-06-03 | エネスジー、カンパニー、リミテッドEnesg Co.,Ltd. | 発電所用油圧アクチュエータアセンブリー |
| JP5727646B1 (ja) * | 2014-04-01 | 2015-06-03 | エネスジー、カンパニー、リミテッドEnesg Co.,Ltd. | 油圧アクチュエータ用空気排出装置及びこれを有する発電所用油圧アクチュエータ |
| KR20230063589A (ko) * | 2021-11-02 | 2023-05-09 | 주식회사 에네스지 | 유량조절이 가능한 솔레노이드 밸브가 구비된 액츄에이터 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19970703 |