JPH0669486A - カラーコンタクトイメージセンサー及びその製造方法 - Google Patents

カラーコンタクトイメージセンサー及びその製造方法

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JPH0669486A
JPH0669486A JP4322491A JP32249192A JPH0669486A JP H0669486 A JPH0669486 A JP H0669486A JP 4322491 A JP4322491 A JP 4322491A JP 32249192 A JP32249192 A JP 32249192A JP H0669486 A JPH0669486 A JP H0669486A
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    • H10FINORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F39/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
    • H10F39/10Integrated devices
    • H10F39/12Image sensors
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    • H10F39/182Colour image sensors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10FINORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、カラー化された文書にある文字、
図形及び絵を感知して、感知された信号を伝送すること
のできるカラーコンタクトイメージセンサーを提供する
ことにある。 【構成】 このカラーコンタクトイメージセンサーは、
文書上の一点に印刷された色情報を感知するための赤
色、緑色及び青色成分を感知する感知素子を有するドッ
トセルからなるドットセルアレーを備える。前記ドット
セルにより生成される赤色、緑色及び青色成分の感知信
号は駆動部の制御下に順次信号出力部に供給され、前記
赤色、緑色及び青色成分の感知信号をデジタルデータの
形態に変換する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は文書にある文字、図形及
び絵を感知するコンタクトイメージセンサーに関するも
ので、特にカラー化された文書の文字、図形及び絵を感
知して伝送することのできるカラーコンタクトイメージ
センサーに関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般的に、前記コンタクトイメージセン
サー(Contact ImageSensor;以下
“CIS”という)はファクシミリ(Facsimil
e)に用いられ、ファクシミリが伝送すべき文書にある
文字、図形及び絵の形態及びグレーレベル(Gray
Level)を感知するか、又はパーソナルコンピュー
ター(Personal Computer)の周辺装
置のハンドスキャナー(Hand Scanner)に
用いられてパーソナルコンピューターが処理すべき文書
にある画像の形態及びグレーレベルを感知するものであ
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】このように、CISは
黒白の文書を感知することができるが、しかしながらカ
ラー化された文書は感知することができないという問題
点があり、この問題点を添付の図面を参照して説明する
と次の通りである。
【0004】図4を参照すると、n個のデータラインD
L1、…DLnに共通的に接続され、m個のアドレスラ
インAD1、…ADmに各々接続されたm個の感知部B
1、…Bmを備えるCISが示されている。前記m個の
感知部B1、…Bmは各々1つのフォトダイオードPD
11、…PDmn及び1つの薄膜トランジスター(以下
“TFT”という)からなるn個のドットセルDS1
1、…DSmnで構成される。前記フォトダイオードP
D11、…PDmnのアナード(anode)は逆バイ
アス電圧源14に共通的に接続され、前記TFT(Q1
1、…Qmn)のソース端子は前記フォトダイオードP
D11、PDmnのカソード(Cathode)に各々
接続される。
【0005】そして、第1感知部B1内のTFT(Q1
1、…Q1n)のドレーン端子はn個のデータラインD
L1、…DLnに各々接続され、前記第1感知部B1内
のTFT(Q11、…Q1n)のゲート端子は第1アド
レスラインAD1に共通的に接続されている。又、第m
番目の感知部Bm内のTFT(Qm1、…Qmm)のド
レーン端子もn個のデータラインDL1、…DLnに各
々接続され、前記m番目の感知部Bm内のTFT(Qm
1、…Qmn)のゲートは、第m番目のアドレスライン
ADmに共通的に接続されている。
【0006】前記CISは前記1〜mのアドレスライン
AD1〜ADmに接続された駆動部10及び第1〜nの
データラインDL1〜DLnに接続された信号出力部1
2を更に備える。
【0007】前記駆動部10は、前記第1〜mのアドレ
スラインADL〜ADmを通じて前記第1〜mの感知部
B1〜Bmを順次的に駆動して、前記第1〜mの感知部
B1〜Bmの出力が順次的に前記信号出力部12に供給
されるようにする。そして、前記信号出力部12は、順
次的に流入される第1〜mの感知部B1〜Bmの出力を
信号処理系(図示せず)の方に伝送する。一方、前記第
1〜mの感知部B1〜Bm内のフォトダイオードPD1
1〜PDmnは文書により反射されて入射する光源(図
示せず)からの光量に該当する電流を発生し、この発生
した電流を内部のキャパシター(図示せず)に貯蔵す
る。
【0008】そして、前記TFT(Q11〜Qmn)は
駆動部10からの自身のゲートへ駆動信号が印加される
とき、前記フォトダイオードPD11〜PDmnに貯蔵
された電流を前記信号出力部12の方に伝送する。詳し
く説明すると、第1感知部B1のn個のTFT(Q11
〜Q1n)は駆動部10から第1アドレスラインAD1
を通じて駆動信号が供給されたとき、前記フォトダイオ
ードPD11〜PD1nに貯蔵された電流を信号出力部
12に伝送する。そして、第mの感知部Bmのn個のT
FT(Qm1〜Qmn)は駆動部10から第mのアドレ
スラインADmを通じて駆動信号が印加されたとき、前
記フォトダイオードPDm1〜PDmnに貯蔵された電
流を前記信号出力部12に伝送する。そうすると、信号
出力部12は前記フォトダイオードPD11〜PDmn
により生成された電流をデジタルデータの形態に変換す
る。前記デシタルデータはフォトダイオードPD11〜
PDmnにより生成された電流量により他の論理値を有
する。
【0009】前記フォトダイオードPD11〜PDmn
で生成される電流量は文書にある文字、図形及び絵のグ
レーレベルにより変化する。
【0010】図5は図4に示されたCISの第1の感知
部B1の第1〜3のドットセルDS11〜DS13の配
置を示す図面である。図5を参照すると、アナードを逆
バイアス電圧ライン14に接続した第1〜3のフォトダ
イオードPD11〜PD13は水平に並んで配列されて
いる。
【0011】そして、ソース電極を前記第1〜3のフォ
トダイオードPD11〜PD13のカソードに各々接続
した第1〜3のTFT(Q11〜Q13)は、前記第1
〜3のフォトダイオードPD11〜PD13と平列に配
置されている。前記第1〜3のフォトダイオードPD1
1〜PD13は文書上の一点に対して、より大きい受光
面積を確保するため水平軸の長さより垂直軸の長さが大
きくなるように形成されている。そして、前記第1〜3
のTFT(Q11〜Q13)のゲートは第1のアドレス
ラインAD1に共通に接続し、第1〜3のTFT(Q1
1〜Q13)のドレーン電極は第1〜3のデータライン
DL1〜DL3に各々接続される。
【0012】図6は図5に示された第1〜3のフォトダ
イオードPD11〜PD13のA−A′線上の断面図で
ある。図6において、SiNからなる絶縁膜が塗布され
た基板20を備えたCISが説明されている。前記絶縁
膜21の上には多数の金属電極22が蒸着され、前記金
属電極22は例えばクローム(Cr)で形成される。そ
して、前記多数の金属電極22上には受光物質層23及
び透明電極24が積層されて構成される。
【0013】前記受光物質層23は、非結晶シリコンで
形成され、また前記絶縁膜21及び前記透明電極24上
にはポリイミドからなる保護膜25が蒸着される。
【0014】上述したように、従来のCISは文書にあ
る文字、図形又は絵のグレーレベルを感知して、処理で
きるように構成されているので黒白の情報を有する文書
は処理することができるが、カラー化された文書は処理
することができなかった。
【0015】従って、本発明の目的はカラー化された文
書を感知して処理することのできるカラーコンタクトイ
メージセンサー及びその製造方法を提供することであ
る。
【0016】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の第1の実施態様は文書の一点に印刷された
色情報の赤色、緑色及び青色の成分を感知するための赤
色、緑色及び青色感知素子と、該赤色、緑色及び青色の
感知素子の出力を選択的に出力するため前記感知素子に
各々接続された3つの制御用スイッチ素子を有するドッ
トセルからなるドットセルアレーと、該ドットセルアレ
ーのドットセルからの赤色、緑色及び青色成分感知信号
をデジタルデータになるように処理する出力手段と、色
成分感知素子を色成分により前記制御用スイッチを駆動
するための駆動手段と、を備えるカラーコンタクトイメ
ージセンサーを要旨とし、また第2の実施態様は基板を
提供する工程と、該基板上に多数のアノード電極、受光
物質層及び透明電極が積層された多数のフォトダイオー
ド及び該フォトダイオードを駆動するための多数の薄膜
トランジスターとを形成する工程と、前記透明電極の上
に絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜に貫通孔を形成
し、該貫通孔を通じて前記多数の透明電極と前記多数の
薄膜トランジスターのソース電極が各々接続されるよう
に配線を形成する工程と、前記配線及び絶縁膜の上に保
護膜を塗布する工程と、前記保護膜の中に前記透明電極
が形成された領域を赤色、青色及び緑色で染色してフィ
ルターを形成する工程と、からなるカラーコンタクトイ
メージセンサーの製造方法を要旨とするものである。
【0017】
【作用】前記の構成により、本発明では、黒白の情報を
有する文書のみならず、カラー化した文書に印刷された
文字、図形及び絵を感知することができる。
【0018】
【実施例】図1を参照すると、m個の感知部B1、…B
mを備えた本発明の実施例に係るカラーCISが示され
ている。前記m個の感知部B1、…Bmは文書のn個の
点に印刷されたn個の色情報を感知するため、n個のド
ットセルDS11、…DSmnでなっている。
【0019】前記ドットセルDS11、…DSmnは各
々逆バイアス電圧ライン34に自身のアナードを接続し
た赤色用フォトダイオードRPD11、…RPDmn、
緑色用フォトダイオードGPD11、…GPDmn及び
青色用フォトダイオードBPD11、…BPDmnと、
前記赤色用、緑色用及び青色用フォトダイオーのカソー
ドに自身のソース電極を各々接続した赤色用薄膜トラン
ジスターRQ11、…RQmn、緑色用薄膜トランジス
ターGQ11、…GQmn及び青色用薄膜トランジスタ
ーBQ11、…BQmnを備える。前記各ドットセルD
S11、…DSmnの赤色用、緑色用及び青色用薄膜ト
ランジスターRQ11、…RQmn、GQ11、…GQ
mn及びBQ11、…BQmnのドレーン電極は互いに
接続されている。そして、前記赤色用薄膜トランジスタ
ーRQ11、…RQmnのゲートは感知部B1、…Bm
別に第1〜mの赤色用アドレスラインADR1〜ADR
mに各々共通的に接続されている。
【0020】詳細に説明すると、第1感知部B1内の赤
色用薄膜トランジスターRQ11〜RQ1nのゲートは
第1赤色用アドレスラインADR1に共通的に接続さ
れ、第mの感知部Bm内の赤色用薄膜トランジスターR
Q11〜RQmnのゲート電極は第mの赤色用アドレス
ラインADRmに共通的に接続される。このように、第
2〜(m−1)の感知部B2〜(Bm−1)内の赤色用
薄膜トランジスターRQ21〜RQ(m−1)nのゲー
ト電極も感知部別に対応する第2〜(m−1)の赤色用
アドレスラインADR2〜ADR(m−1)に共通的に
接続される。前記赤色用薄膜トランジスターRQ11〜
RQmnのゲートと同一の形態で緑色用薄膜トランジス
ターGQ11〜GQmnのゲートと青色用薄膜トランジ
スターBQ11〜BQmnのゲートも感知部別に対応す
る各々の緑色用アドレスラインADG1〜ADGm及び
青色用アドレスラインADB1〜ADBmに共通に接続
されている。
【0021】又、前記各感知部B1〜Bm内の赤色、緑
色及び青色用薄膜トランジスターRQ11〜RQmn、
GQ11〜GQmn及びBQ11〜BQmnのドレーン
電極はドットセル別に対応するデータラインDL1〜D
Lnに共通に接続されている。
【0022】これを詳細に説明すると、第1〜mの感知
部B1〜Bmの第1のドットセルDS11、DS21、
DS31、…DSm1にある赤色用薄膜トランジスター
RQ11、RQ21、RQ31、…RQm1、緑色用薄
膜トランジスターGQ11、GQ21、GQ31、…G
Qm1、青色用薄膜トランジスターBQ11、BQ2
1、BQ31、…BQm1のドレーン電極は第1のデー
タラインDL1に共通に接続され、第1〜mの感知部B
1〜Bmの第nのドットセルDS1n、DS2n、DS
3n、…DSmnにある赤色用薄膜トランジスターRQ
1n、RQ2n、RQ3n、…RQmn、緑色用薄膜ト
ランジスターGQ1n、GQ2n、GQ3n、…GQm
n及び青色用薄膜トランジスターBQ1n、BQ2n、
…BQmnのドレーン電極は第nのデータラインDLn
に共通に接続される。同じ形態で第1〜mの感知部B1
〜Bmの第2〜(n−1)のドットセルDS12〜DS
1(n−1)、DS22〜DS2(n−1)、…DSm
2〜DSm(n−1)にある赤色用薄膜トランジスター
RQ12〜RQ1(n−1)、RQ22〜RQ2(n−
1) 、…RQm2〜RQm(n−1)、緑色用薄膜トラ
ンジスターGQ12〜GQ1(n−1)、GQ22〜G
Q2(n−1)、…GQm2〜GQm(n−1)及び青
色用薄膜トランジスターBQ12〜BQ1(n−1)、
BQ22〜BQ2( n−1)、…BQm2〜BQm(n
−1)のドレーン電極はドットセル別に対応するデータ
ラインDL2〜DL(n−1)に共通的に接続されてい
る。
【0023】前記カラーCISは、前記第1〜nのデー
タラインDL1〜DLnに接続された信号出力部32及
びアドレスラインADR1〜ADRm、ADG1〜AD
Gm及びADB1〜ADBmに接続された駆動部30を
更に備える。前記信号出力部32は、前記第1〜mの感
知部B1〜Bmにより感知された赤色、緑色及び青色成
分信号を順次的に流入してデシタルデータの形態に変換
して信号処理部(図示せず)に伝送する。そして、駆動
部30はアドレスラインADR1〜ADRm、ADG1
〜ADGm及びADB1〜ADBmを通じて、前記薄膜
トランジスターRQ11〜RQmn、GQ11〜GQm
n、BQ11〜BQmnのゲートに感知部別及び感知す
べき色成分によって印加して、赤色用フォトダイオード
RQ11〜RQmnにより感知された赤色成分信号、緑
色用フォトダイオードGQ11〜GQmnにより感知さ
れた緑色成分信号及び青色用フォトダイオードBQ11
〜BQmnにより感知された青色成分信号が感知部別に
順次的に前記データラインDL1〜DLmを通じて信号
出力部32の方に伝送される。一方、前記赤色用フォト
ダイオードRPD11〜RPDmn、前記緑色フォトダ
イオードGPD11〜GPDmn及び前記青色フォトダ
イオードBPD11〜BPDmnは文書により反射され
て入射する光源からの光量に相応する電流を発生して内
部のキャパシター(図示せず)に貯蔵する。そして、前
記赤色用薄膜トランジスターRQ11〜RQmn、緑色
用薄膜トランジスターGQ11〜GQmn及び青色用薄
膜トランジスターBQ11〜BQmnは感知部により自
身のゲート電極に各々ハイ論理状態の駆動信号が供給さ
れるとき、前記赤色用フォトダイオードRPDn〜RP
Dmn、緑色用フォトダイオードGPD11〜GPDm
n及び青色用フォトダイオードBPD11〜BPDmn
に貯蔵された電流信号を前記信号出力部32に伝送す
る。そうすると、信号出力部32は前記第1〜mの感知
部B1〜Bmから色成分及び感知部により順次的に供給
される感知された赤色、緑色及び青色成分信号をデジタ
ルデータ形態に変換されて変換して、赤色、緑色及び青
色成分データを信号処理部に供給する。図2において、
2行に交互的に配列された赤色、緑色及び青色フォトダ
イオードRPD11、RPD12、GPD11、GPD
12、BPD11、BPD12を備えた図2に示された
第1の感知部B1が示されている。前記赤色用フォトダ
イオードRPD11、緑色用フォトダイオードGPD1
1及び青色用フォトダイオードBPD11は三角形をな
すように配置されて文書上の一点に印刷された色情報を
感知する第1のドットセルDS11の色感知素子を形成
する。
【0024】前記赤色用フォトダイオードRPD12、
緑色用フォトダイオードGPD12及び青色用フォトダ
イオードBPD12は逆三角形をなすように配置されて
第2のドットセルDS12の色感知素子を形成する。前
記第1、2のドットセルDS11、DS12の赤色、緑
色及び青色用フォトダイオードRPD11、RPD1
2、GPD11、GPD12、BPD11、BPD12
のアノード(下部電極)は逆バイアス電圧ライン34に
接続される。この中、下方の行に配列されたフォトダイ
オードRPD11、GPD11、BPD12は上方の行
のフォトダイオードBPD11、RPD12、GPD1
2の間に形成された導線により前記逆バイアス電圧ライ
ン34に接続される。
【0025】前記第1感知部B1は3行で配列された薄
膜トランジスターRQ11、RQ12、BQ11、BQ
12、GQ11、GQ12を備える。前記第1の行の赤
色用トランジスターRQ11、RQ12のゲート電極は
第1の赤色用アドレスラインADR1に接続されて、第
2の行の青色用薄膜トランジスターBQ11、BQ12
のゲート電極は第1の青色用アドレスラインADB1
に、そして第3の行の緑色用薄膜トランジスターGQ1
1、GQ12のゲート電極は第1緑色用アドレスライン
ADG1に各々接続されている。前記薄膜トランジスタ
ーRQ11、RQ12、GQ11、GQ12、BQ1
1、BQ12のソース電極は前記フォトダイオードRP
D11、RPD12、GPD11、GPD12、BPD
11、BPD12のカソード(上部電極)に接続し、こ
のうち薄膜トランジスターBQ11、RQ12、GQ1
2のソース電極は下方のフォトダイオードRPD11、
GPD12、BPD12の間に形成された導線により接
続される。
【0026】そして、第1のデータラインDL1に自身
のドレーン電極を共通に接続した薄膜トランジスターR
Q11、GQ11、BQ11は、前記フォトダイオード
RPD11、GPD11、BPD11と共に第1ドット
セルDS11を形成して、第2のデータラインDL2に
自身のドレーン電極を共通に接続した薄膜トランジスタ
ーRQ12、GQ12、BQ12は、前記3つのフォト
ダイオードRPD12、GPD12、BPD12と共に
第2ドットセルDS12を形成する。
【0027】図3は図2に示されたフォトダイオードR
PD11、GPD12、BPD12のA−A′線上の断
面図である。図3を参照すると、上面に窒化珪素からな
る絶縁膜41が塗布された基板40が示されている。
【0028】前記基板40はガラスで形成され、前記絶
縁膜41の上には横軸の方に配列された多数のアノード
電極42及び連結導線43が形成されている。前記アノ
ード電極42及び連結導線43は金属物質を蒸着した
後、蒸着した金属物質を写真エッチングすることにより
パターン化される。前記アノード電極の上には非結晶シ
リコンでなる受光物質44が積層される。そして、前記
受光物質44の上にはITOからなるカソード電極の透
明電極45が形成される。
【0029】前記受光物質層44及び透明電極45は写
真エッチング法によりパターン化される。
【0030】前記透明電極45上には、窒化珪素からな
る絶縁膜(図示せず)が塗布され、この絶縁膜を貫通し
て前記透明電極45を薄膜トランジスター(図示せず)
のソース電極に連結する導線(図示せず)が形成され
る。
【0031】前記導線及び絶縁膜上にはポリイミドから
なる保護膜46がコーティングされ、前記保護膜46で
透明電極45が位置する部分は赤色、緑色或いは青色で
染色されて、赤色、緑色或いは青色フィルター47、4
8、49を形成する。
【0032】前記赤色、緑色及び青色フィルター47、
48、49は三角形をなすように位置する。
【0033】
【発明の効果】上述したように、本発明はCISのドッ
トセルが赤色、緑色及び青色フォトダイオードを有する
ようにして文書の一点に印刷された色情報を感知するこ
とのできるカラーCISを提供し得る利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に従うカラーCISの等価回
路図である。
【図2】図1に示された第1感知部の一部分の配置を示
す図面である。
【図3】図2のA−A′線上のフォトダイオードの断面
図である。
【図4】従来のCISの等価回路図である。
【図5】図4に図示された第1の感知部の第1〜3のド
ットセルの配置を示した図面である。
【図6】図5のA−A′線上の第1〜3のフォトダイオ
ードの断面図である。
【符号の説明】
B1〜Bmn 第1〜m感知部 RPD11〜RPDmn 赤色フォトダイオード GPD11〜GPDmn 緑色フォトダイオード BPD11〜BPDmn 青色フォトダイオード RQ11〜RQmn 赤色用薄膜トランジスター GQ11〜GQmn 緑色用薄膜トランジスター BQ11〜BQmn 青色用薄膜トランジスター 30 駆動部 32 信号出力部

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 文書の一点に印刷された色情報の赤色、
    緑色及び青色成分を感知するための赤色、緑色及び青色
    の感知素子と、該赤色、緑色及び青色の感知素子の出力
    を選択的に出力するため前記感知素子に各々接続された
    3個の制御用スイッチ素子を有するドットセルからなる
    ドットセルアレーと、該ドットセルアレーのドットセル
    からの赤色、緑色及び青色成分の感知信号をデジタルデ
    ータになるように処理する信号出力手段と、色成分感知
    素子を色成分により前記制御用スイッチを駆動するため
    の駆動手段と、を備えることを特徴とするカラーコンタ
    クトイメージセンサー。
  2. 【請求項2】 前記赤色、緑色及び青色感知素子が三角
    形をなすように2行で配列されたことを特徴とする請求
    項1記載のカラーコンタクトイメージセンサー。
  3. 【請求項3】 前記感知素子がフォトダイオードからな
    ることを特徴とする請求項2記載のカラーコンタクトイ
    メージセンサー。
  4. 【請求項4】 前記2行で配列されたフォトダイオード
    のうち上行のフォトダイオードの出力が前記下行に配列
    されたフォトダイオードの間に形成された配線を通じて
    前記制御用スイッチ素子に伝送されることを特徴とする
    請求項3記載のカラーコンタクトイメージセンサー。
  5. 【請求項5】 前記制御用スイッチ素子が薄膜トランジ
    スターからなることを特徴とする請求項4記載のカラー
    コンタクトイメージセンサー。
  6. 【請求項6】 基板を提供する工程と、該基板の上に多
    数のアノード電極、受光物質層及び透明電極が積層され
    た多数のフォトダイオード及び該フォトダイオードを駆
    動するための多数の薄膜トランジスターとを形成する工
    程と、前記透明電極上に絶縁膜を形成する工程と、前記
    絶縁膜に貫通孔を形成し、該貫通孔を通じて前記多数の
    透明電極と前記多数の薄膜トランジスターのソース電極
    が各々接続されるように配線を形成する工程と、前記配
    線及び絶縁膜の上に保護膜を塗布する工程と、前記保護
    膜の中に前記透明電極が位置した領域を赤色、緑色及び
    青色で染色して赤色、緑色及び青色フィルターを形成す
    る工程と、からなることを特徴とするカラーコンタクト
    イメージセンサーを製造するための方法。
  7. 【請求項7】 前記フォトダイオードが三角形をなすよ
    うに2行で配列され、前記赤色、緑色及び青色フィルタ
    ーが三角形をなすように配列されたことを特徴とする請
    求項6記載の方法。
  8. 【請求項8】 前記2行で配列された前記フォトダイオ
    ードのうち上行のものの透明電極を前記薄膜トランジス
    ターに接続する前記配線が前記下行のフォトダイオード
    の透明電極の間の領域に位置することを特徴とする請求
    項7記載の方法。
  9. 【請求項9】 前記受光物質が非結晶シリコンで形成さ
    れたことを特徴とする請求項8記載の方法。
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