JPH06698Y2 - クリーンルーム汚染防止用マニホールド - Google Patents
クリーンルーム汚染防止用マニホールドInfo
- Publication number
- JPH06698Y2 JPH06698Y2 JP292688U JP292688U JPH06698Y2 JP H06698 Y2 JPH06698 Y2 JP H06698Y2 JP 292688 U JP292688 U JP 292688U JP 292688 U JP292688 U JP 292688U JP H06698 Y2 JPH06698 Y2 JP H06698Y2
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- manifold
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Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、クリーンルーム等の清浄空間内に配置される
とともに流体機器が接続されるマニホールドからクリー
ンルーム内への流体の漏れを防止するようにしたクリー
ンルーム汚染防止用マニホールドに関する。
とともに流体機器が接続されるマニホールドからクリー
ンルーム内への流体の漏れを防止するようにしたクリー
ンルーム汚染防止用マニホールドに関する。
［従来の技術］ 第５図は、外部環境から遮蔽されたクリーンルームＲ内
に配置され、弁等の流体機器３が接続されたマニホール
ドつまりサブベース１を示す図であり、マニホールド１
の流体供給ポート１１ａには外部環境に配置された流体
供給源１０が流体供給流路１１により接続されている。
これにより、弁等の流体機器３を介して図示しないシリ
ンダに流体が供給されるようになっている。
に配置され、弁等の流体機器３が接続されたマニホール
ドつまりサブベース１を示す図であり、マニホールド１
の流体供給ポート１１ａには外部環境に配置された流体
供給源１０が流体供給流路１１により接続されている。
これにより、弁等の流体機器３を介して図示しないシリ
ンダに流体が供給されるようになっている。
このようなマニホールドつまりサブベースへの接続構造
は、通常、マニホールド１と弁等の流体機器３とが図示
しないシール部材を介して接続されている。
は、通常、マニホールド１と弁等の流体機器３とが図示
しないシール部材を介して接続されている。
そして、たとえばこの接続構造に適用されるシール部材
は、複数の内側シール部と、これらの内側シール部の外
周囲に形成され該内側シール部を囲っている外側シール
部とを有していて、マニホールド等と流体機器との夫々
の流体ポートどうしの接続部位が内側シールによって直
接的にシールされ、またマニホールド等と流体機器との
接続部位の対向面に夫々外側シール部が密接されて該部
位がシールされている。
は、複数の内側シール部と、これらの内側シール部の外
周囲に形成され該内側シール部を囲っている外側シール
部とを有していて、マニホールド等と流体機器との夫々
の流体ポートどうしの接続部位が内側シールによって直
接的にシールされ、またマニホールド等と流体機器との
接続部位の対向面に夫々外側シール部が密接されて該部
位がシールされている。
［考案が解決しようとする課題］ しかしながら、前記した接続構造は、そのシール部材か
ら外部に流体漏れが生じると、該漏れ流体によってクリ
ーンルーム等の清浄空間が汚染されるという問題点があ
る。
ら外部に流体漏れが生じると、該漏れ流体によってクリ
ーンルーム等の清浄空間が汚染されるという問題点があ
る。
ところで、空気圧等のシール部材からの流体漏れは、通
常、製品出荷検査時や定期点検時等において、シール部
材の外周囲に石鹸液等を塗布して検査される。
常、製品出荷検査時や定期点検時等において、シール部
材の外周囲に石鹸液等を塗布して検査される。
しかし、前記した接続構造は、シール部材が介設された
マニホールド等と流体機器との接続部位の対向面の間が
極めて狭いため、石鹸液等の塗布による流体漏れの検査
が困難である。
マニホールド等と流体機器との接続部位の対向面の間が
極めて狭いため、石鹸液等の塗布による流体漏れの検査
が困難である。
このため、流体漏れに気付かずに、あるいは流体漏れの
発見が遅れて、クリーンルーム等の清浄空間が該流体漏
れによって著しく汚染されるという特有の問題点もあ
る。
発見が遅れて、クリーンルーム等の清浄空間が該流体漏
れによって著しく汚染されるという特有の問題点もあ
る。
本考案の目的は、流体漏れによるクリーンルーム等の清
浄空間の汚染を容易かつ確実に防止することができるよ
うにすることにある。
浄空間の汚染を容易かつ確実に防止することができるよ
うにすることにある。
［課題を解決するための手段］ 本考案は、流体機器が接続されるマニホールドに流体給
排ポートを形成し、前記流体機器を前記マニホールドと
共に、外部環境に対して遮蔽されたクリーンルーム内に
配置するようにしたクリーンルーム汚染防止用マニホー
ルドであって、前記流体機器に形成された流体ポートに
対向させて前記マニホールドに形成された流体ポートと
前記流体給排ポートと連通させる流路を前記マニホール
ド内に形成すると共に、前記外部環境に配置された流体
供給源と前記流体給排ポートとを流体給排流路により接
続し、前記両流体ポートとの接続部をシールする内側シ
ール部とこの内側シール部の外側に形成された外側シー
ル部とを有するシール部材を前記流体機器と前記マニホ
ールドとの間に設け、前記内側シール部と前記外側シー
ル部との間の空間に連通された排気ポートと前記外部環
境との間に、前記内側シール部から漏出した流体を前記
クリーンルームに対して遮蔽させて前記外部環境に排出
する流体排出流路を接続したことを特徴とするクリーン
ルーム汚染防止用マニホールドである。
排ポートを形成し、前記流体機器を前記マニホールドと
共に、外部環境に対して遮蔽されたクリーンルーム内に
配置するようにしたクリーンルーム汚染防止用マニホー
ルドであって、前記流体機器に形成された流体ポートに
対向させて前記マニホールドに形成された流体ポートと
前記流体給排ポートと連通させる流路を前記マニホール
ド内に形成すると共に、前記外部環境に配置された流体
供給源と前記流体給排ポートとを流体給排流路により接
続し、前記両流体ポートとの接続部をシールする内側シ
ール部とこの内側シール部の外側に形成された外側シー
ル部とを有するシール部材を前記流体機器と前記マニホ
ールドとの間に設け、前記内側シール部と前記外側シー
ル部との間の空間に連通された排気ポートと前記外部環
境との間に、前記内側シール部から漏出した流体を前記
クリーンルームに対して遮蔽させて前記外部環境に排出
する流体排出流路を接続したことを特徴とするクリーン
ルーム汚染防止用マニホールドである。
［作用］ 前記した手段によれば、マニホールドないしサブベース
と流体機器との夫々の流体ポートの接続部位から漏出し
た流体は、前記内側シール部と外側シール部との間の空
間を通じて排出ポートから、クリーンルーム等の外部に
確実に排出されるので、流体漏れによるクリーンルーム
等の清浄空間の汚染を容易かつ確実に防止することがで
きる。
と流体機器との夫々の流体ポートの接続部位から漏出し
た流体は、前記内側シール部と外側シール部との間の空
間を通じて排出ポートから、クリーンルーム等の外部に
確実に排出されるので、流体漏れによるクリーンルーム
等の清浄空間の汚染を容易かつ確実に防止することがで
きる。
［実施例１］ 第１図は本考案の一実施例であるクリーンルーム汚染防
止用マニホールドを一部切欠して示す平面図、第２図は
第１図のII-II線における断面図である。
止用マニホールドを一部切欠して示す平面図、第２図は
第１図のII-II線における断面図である。
本実施例は、ブロツク状のマニホールド１と、このマニ
ホールド１にシール部材２を介して接続される電磁弁等
の弁３（流体機器）とを備えており、マニホールド１は
弁３と一体となって第５図に示すようにクリーンルーム
Ｒ内に配置されている。
ホールド１にシール部材２を介して接続される電磁弁等
の弁３（流体機器）とを備えており、マニホールド１は
弁３と一体となって第５図に示すようにクリーンルーム
Ｒ内に配置されている。
前記マニホールド１の上面には、入口ポート１ａ（流体
ポート）と、排気ポート１ｂ，１ｃ（流体ポート）と、
一対のねじ螺合孔１ｄと、一対の漏れ流体排出用ポート
一ｅとが各３組開設され、３組の弁３が夫々接続される
構造とされている。
ポート）と、排気ポート１ｂ，１ｃ（流体ポート）と、
一対のねじ螺合孔１ｄと、一対の漏れ流体排出用ポート
一ｅとが各３組開設され、３組の弁３が夫々接続される
構造とされている。
また、第２図に示すように、マニホールド１の内部に
は、流入路１ｆと、流出路１ｇ，１ｈと、一対の漏れ流
体排出用の排出路１ｉとが該マニホールド１の長手方向
に沿って互いに平行して延在され、夫々が該マニホール
ド１の端面で開口されていて、第１図に示すようにその
排出路１ｉの開口部が流体漏れ排出用の排出ポート４と
されている。流入路１ｆは第５図に示す流体給気ポート
１１ａに接続された流体供給流路１１により流体圧源１
０に接続され、流出路１ｇ，１ｈはそれぞれ図示しない
流体排気ポートに接続された流体排気流路により外部環
境に開口され、排出ポート４は二点鎖線で示す流体排出
流路１３により外部環境に開口されている。
は、流入路１ｆと、流出路１ｇ，１ｈと、一対の漏れ流
体排出用の排出路１ｉとが該マニホールド１の長手方向
に沿って互いに平行して延在され、夫々が該マニホール
ド１の端面で開口されていて、第１図に示すようにその
排出路１ｉの開口部が流体漏れ排出用の排出ポート４と
されている。流入路１ｆは第５図に示す流体給気ポート
１１ａに接続された流体供給流路１１により流体圧源１
０に接続され、流出路１ｇ，１ｈはそれぞれ図示しない
流体排気ポートに接続された流体排気流路により外部環
境に開口され、排出ポート４は二点鎖線で示す流体排出
流路１３により外部環境に開口されている。
各組の入口ポート１ａ、排気ポート１ｂ，１ｃ、一対の
排出ポート１ｅは、夫々流入路１ｆ、流出１ｇ，１ｈ、
一対の排出路１ｉに連通されている。
排出ポート１ｅは、夫々流入路１ｆ、流出１ｇ，１ｈ、
一対の排出路１ｉに連通されている。
前記弁３の下面には、マニホールド１の一組の入口ポー
ト１ａ、排気ポート１ｂ，１ｃに夫々接続される図示し
ない入口ポート（流体ポート）、一対の排気ポート（流
体ポート）が開設されている。
ト１ａ、排気ポート１ｂ，１ｃに夫々接続される図示し
ない入口ポート（流体ポート）、一対の排気ポート（流
体ポート）が開設されている。
前記シール部材２は、たとえば合成ゴム、樹脂等の弾性
材製とされ、矩形板状の主体部２ａと、この主体部２ａ
の略中央長手方向に沿って穿設されている流通孔２ｂ，
２ｃ，２ｄと、主体部２ａの略対角線上の角部に穿設さ
れている一対のねじ孔２ｅとを備えている。また、シー
ル部材２の主体部２ａには、マニホールド１の漏れ流体
排出用ポート１ｅに夫々対向する位置に一対の連通孔２
ｆが穿設されている。
材製とされ、矩形板状の主体部２ａと、この主体部２ａ
の略中央長手方向に沿って穿設されている流通孔２ｂ，
２ｃ，２ｄと、主体部２ａの略対角線上の角部に穿設さ
れている一対のねじ孔２ｅとを備えている。また、シー
ル部材２の主体部２ａには、マニホールド１の漏れ流体
排出用ポート１ｅに夫々対向する位置に一対の連通孔２
ｆが穿設されている。
主体部２ａの一面には、リング状の内側シール部２ｇ，
２ｈ，２ｉと、外側シール部２ｊとが凸設されている。
２ｈ，２ｉと、外側シール部２ｊとが凸設されている。
内側シール部２ｇ，２ｈ，２ｉは、夫々流通孔２ｂ，２
ｃ，２ｄの開口端縁沿って形成されている。
ｃ，２ｄの開口端縁沿って形成されている。
外側シール部２ｊは、内側シール部２ｇ，２ｈ，２ｉと
連通孔２ｆを所定の間隔をおいて囲むように主体部２ａ
の外周囲附近に形成されている。
連通孔２ｆを所定の間隔をおいて囲むように主体部２ａ
の外周囲附近に形成されている。
シール部材２の他面は、前記したシール部材２の一面と
同様に、内側シール部２ｇ，２ｈ，２ｉと、外側シール
部２ｊとが夫々形成されている。
同様に、内側シール部２ｇ，２ｈ，２ｉと、外側シール
部２ｊとが夫々形成されている。
このような構造のシール部材２は、マニホールド１と各
弁３との接続部位に介設され、該マニホールド１と各弁
３とがねじ５の締結によって、すなわち弁３に螺合され
たねじ５がシール部材２のねじ孔２ｅを貫通しマニホー
ルド１のねじ螺合孔１ｄに螺合されて接続されている。
弁３との接続部位に介設され、該マニホールド１と各弁
３とがねじ５の締結によって、すなわち弁３に螺合され
たねじ５がシール部材２のねじ孔２ｅを貫通しマニホー
ルド１のねじ螺合孔１ｄに螺合されて接続されている。
第２図に示すように、この接続状態においてマニホール
ド１の入口ポート１ａと弁３の入口ポート（図示せず）
とがシール部材２の流通孔２ｃを通じて連通されて接続
され、その接続部位が内側シール部２ｈによってシール
されている。
ド１の入口ポート１ａと弁３の入口ポート（図示せず）
とがシール部材２の流通孔２ｃを通じて連通されて接続
され、その接続部位が内側シール部２ｈによってシール
されている。
同様に、マニホールド１の排出ポート１ｂ，１ｃと弁３
の一対の排気ポート（図示せず）とがシール部材２の流
通孔２ｂ，２ｄを通じて夫々連通されて接続され、それ
らの接続部位が内側シール部２ｇ，２ｉによってシール
されている。
の一対の排気ポート（図示せず）とがシール部材２の流
通孔２ｂ，２ｄを通じて夫々連通されて接続され、それ
らの接続部位が内側シール部２ｇ，２ｉによってシール
されている。
一方、外側シール部２ｊは、マニホールド１と弁３との
接続部位の対向面に夫々密接されて該部位をシールして
いる。
接続部位の対向面に夫々密接されて該部位をシールして
いる。
そして、弁３側における内側シール部２ｇ，２ｈ，２ｉ
と外側シール部２ｊとの間に空間６ａが形成され、ま
た、マニホールド１側における内側シール部２ｇ，２
ｈ，２ｉと外側シール部２ｊとの間に空間６ｂが形成さ
れ、これらの空間６ａ，６ｂが連通孔２ｆを通じて連通
されている。
と外側シール部２ｊとの間に空間６ａが形成され、ま
た、マニホールド１側における内側シール部２ｇ，２
ｈ，２ｉと外側シール部２ｊとの間に空間６ｂが形成さ
れ、これらの空間６ａ，６ｂが連通孔２ｆを通じて連通
されている。
また、空間６ａが連通孔２ｆと空間６ｂと漏れ流体排出
用ポート１ｅと排出路１ｉとを通じて、また区間６ｂが
漏れ流体排出用ポート１ｅと排出路１ｉとを通じて夫々
排出ポート４に連通されている。
用ポート１ｅと排出路１ｉとを通じて、また区間６ｂが
漏れ流体排出用ポート１ｅと排出路１ｉとを通じて夫々
排出ポート４に連通されている。
次に、本実施例の作用について説明する。
本実施例の接続構造において、いずれかのシール部材２
の内側シール部２ｇ，２ｈ，２ｉから空気圧漏れが生じ
ていれば、その空気圧は該シール部材２の空気圧漏れ側
の空間６ａないし空間６ｂに漏出する。
の内側シール部２ｇ，２ｈ，２ｉから空気圧漏れが生じ
ていれば、その空気圧は該シール部材２の空気圧漏れ側
の空間６ａないし空間６ｂに漏出する。
そして、空間６ａに漏出した空気圧は、連通孔２ｆと空
間６ｂと漏れ流体排出用ポート１ｅと排出路１ｉとを通
じて排出ポート４に排出され、また、空間６ｂに漏出し
た空気圧は、漏れ流体排出用ポート１ｅと排出路１ｉと
を通じて排出ポート４に排出され、この排出ポート４に
接続された配管等からなる流体排出流路１３を経てクリ
ーンルーム等の清浄空間外に排出される。
間６ｂと漏れ流体排出用ポート１ｅと排出路１ｉとを通
じて排出ポート４に排出され、また、空間６ｂに漏出し
た空気圧は、漏れ流体排出用ポート１ｅと排出路１ｉと
を通じて排出ポート４に排出され、この排出ポート４に
接続された配管等からなる流体排出流路１３を経てクリ
ーンルーム等の清浄空間外に排出される。
したがって、本実施例による接続構造によれば、各シー
ル部材２の内側シール部２ｇ，２ｈ，２ｉからの空気圧
漏れが排出ポート４から外部に確実に排出されるので、
各シール部材２の外側シール部２ｊからの空気圧漏れに
よるクリーンルーム等の清浄空間の汚染を容易かつ確実
に防止することができる。
ル部材２の内側シール部２ｇ，２ｈ，２ｉからの空気圧
漏れが排出ポート４から外部に確実に排出されるので、
各シール部材２の外側シール部２ｊからの空気圧漏れに
よるクリーンルーム等の清浄空間の汚染を容易かつ確実
に防止することができる。
［実施例２］ 第３図は本考案の他の実施例であるマニホールドを一部
切欠して示す平面図、第４図は第３図のIV-IV線におけ
る断面図である。
切欠して示す平面図、第４図は第３図のIV-IV線におけ
る断面図である。
実施例２における各排出ポート４は、各漏れ流体排出用
ポート１ｅに夫々個別的に連通され、第３図に示すよう
にマニホールド１の一側面で開口されている。
ポート１ｅに夫々個別的に連通され、第３図に示すよう
にマニホールド１の一側面で開口されている。
そして、各排出ポート４は、単数の配管（図示せず）に
互いに接続されて、該各排出ポート４から排出された漏
れ流体が該単数の配管を通じて所定の外部に排出される
構造とされている。
互いに接続されて、該各排出ポート４から排出された漏
れ流体が該単数の配管を通じて所定の外部に排出される
構造とされている。
このような実施例２の接続構造においても前記した実施
例１と同様に、いずれかのシール部材２の内側シール部
２ｇ，２ｈ，２ｉから空間６ａないし空間６ｂに漏出し
た空気圧は、その連通孔２ｆと空間６ｂと漏れ流体排出
用ポート１ｅとを通じて、あるいは空間６ｂと漏れ流体
排出用ポート１ｅを通じて排出ポート４に夫々排出さ
れ、この排出ポート４に接続された配管等からなる流体
排出流路１３を経てクリーンルーム外等の外部に排出さ
れる。
例１と同様に、いずれかのシール部材２の内側シール部
２ｇ，２ｈ，２ｉから空間６ａないし空間６ｂに漏出し
た空気圧は、その連通孔２ｆと空間６ｂと漏れ流体排出
用ポート１ｅとを通じて、あるいは空間６ｂと漏れ流体
排出用ポート１ｅを通じて排出ポート４に夫々排出さ
れ、この排出ポート４に接続された配管等からなる流体
排出流路１３を経てクリーンルーム外等の外部に排出さ
れる。
したがって、実施例２によるマニホールドによっても前
記した実施例１と同様に、各シール部材２からの空気圧
漏れによるクリーンルーム等の清浄空間の汚染を容易か
つ確実に防止することができる。
記した実施例１と同様に、各シール部材２からの空気圧
漏れによるクリーンルーム等の清浄空間の汚染を容易か
つ確実に防止することができる。
以上、本考案を実施例に基づき具体的に説明したが、本
考案は前記実施例１〜２に限定されるものではなく、そ
の要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
考案は前記実施例１〜２に限定されるものではなく、そ
の要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
たとえば、本実施例１〜２においては、弁３のマニホー
ルド１への接続構造とされているが、本考案において
は、たとえばマニホールドと弁等の流体機器との間に介
在されて夫々を接続するサブベースへの接続構造に適用
することが可能である。
ルド１への接続構造とされているが、本考案において
は、たとえばマニホールドと弁等の流体機器との間に介
在されて夫々を接続するサブベースへの接続構造に適用
することが可能である。
また、弁３以外の流体機器がマニホールド１ないしサブ
ベースに接続されている構造とすることも可能である。
ベースに接続されている構造とすることも可能である。
更に、実施例１，２における排出ポート４は、半径方向
上の断面が孔状の排出路１ｉ等の開口部によって形成さ
れているが、たとえば排出路１ｉをマニホールド１の一
面上に刻設された溝によって形成し、この溝の端面側の
開口部に排出ポート４を形成することも可能である。
上の断面が孔状の排出路１ｉ等の開口部によって形成さ
れているが、たとえば排出路１ｉをマニホールド１の一
面上に刻設された溝によって形成し、この溝の端面側の
開口部に排出ポート４を形成することも可能である。
また更に、実施例１，２において、マニホールド１の漏
れ流体排出用ポート１ｅと流出路１ｇとは連通せずに、
互いに独立しているが、たとえば該漏れ流体排出用ポー
ト１ｅと流出路１ｇとを連通させることにより、排出路
１ｉを設けることなく、漏れ流体が流出路１ｇを通じて
該流出路１ｇ中を流れる排出被制御流体に同伴されて外
部に排出される構造とすることも可能である。この場合
には、漏れ流体排出用ポート１ｅの内径を流出路１ｇの
内径より小さく形成して、流出路１ｇを流れる被制御流
体が漏れ流体排出用ポート１ｅやシール部材２側に流れ
込まない構造とすることが考えられる。
れ流体排出用ポート１ｅと流出路１ｇとは連通せずに、
互いに独立しているが、たとえば該漏れ流体排出用ポー
ト１ｅと流出路１ｇとを連通させることにより、排出路
１ｉを設けることなく、漏れ流体が流出路１ｇを通じて
該流出路１ｇ中を流れる排出被制御流体に同伴されて外
部に排出される構造とすることも可能である。この場合
には、漏れ流体排出用ポート１ｅの内径を流出路１ｇの
内径より小さく形成して、流出路１ｇを流れる被制御流
体が漏れ流体排出用ポート１ｅやシール部材２側に流れ
込まない構造とすることが考えられる。
［考案の効果］ 本考案によれば、以下の効果を得ることができる。
(1)マニホールドないしサブベースと流体機器との夫々
の流体ポートの接続部位から漏出した流体は、前記内側
シール部と外側シール部との間の空間を通じて排出ポー
トからクリーンルーム外の外部環境に確実に排出される
ので、流体漏れによるクリーンルーム等の清浄空間の汚
染を容易かつ確実に防止することができる。
の流体ポートの接続部位から漏出した流体は、前記内側
シール部と外側シール部との間の空間を通じて排出ポー
トからクリーンルーム外の外部環境に確実に排出される
ので、流体漏れによるクリーンルーム等の清浄空間の汚
染を容易かつ確実に防止することができる。
(2)(1)の効果により、マニホールドないしサブベースと
流体機器との接続構造の信頼性の向上を図ることができ
る。
流体機器との接続構造の信頼性の向上を図ることができ
る。
第１図は本考案の一実施例であるマニホールドへの接続
構造を一部切欠して示す平面図、第２図は第１図のII-I
I線における断面図、第３図は本考案の他の実施例であ
るマニホールドへの接続構造を一部切欠して示す平面
図、第４図は第３図のIV-IV線における断面図、第５図
は流体機器と一体となってクリーンルーム内に配置され
たマニホールドを示す概略配置図である。 １・・・・・・・マニホールド、 １ａ・・・・・・入口ポート（流体ポート）、 １ｂ，１ｃ・・・排気ポート（流体ポート）、 １ｄ・・・・・・ねじ螺合孔、 １ｅ・・・・・・漏れ流体排出用ポート、 １ｆ・・・・・・流入路、 １ｇ，１ｈ・・・流出路、 １ｉ・・・・・・排出路、 ２・・・・・・・シール部材、 ２ａ・・・・・・主体部、 ２ｂ，２ｃ，２ｄ・・・・・流通孔、 ２ｅ・・・・・・ねじ孔、 ２ｆ・・・・・・連通孔、 ２ｇ，２ｈ，２ｉ・・・・・内側シール部、 ２ｊ・・・・・・外側シール部、 ３・・・・・・・弁（流体機器）、 ４・・・・・・・排出ポート、 ５・・・・・・・ねじ、 ６ａ，６ｂ・・・・・空間、 １０・・・・・・・・流体源、 １１・・・・・・・・流体供給流路、 １３・・・・・・・・流体排出流路、 Ｒ・・・・・・・・クリーンルーム。
構造を一部切欠して示す平面図、第２図は第１図のII-I
I線における断面図、第３図は本考案の他の実施例であ
るマニホールドへの接続構造を一部切欠して示す平面
図、第４図は第３図のIV-IV線における断面図、第５図
は流体機器と一体となってクリーンルーム内に配置され
たマニホールドを示す概略配置図である。 １・・・・・・・マニホールド、 １ａ・・・・・・入口ポート（流体ポート）、 １ｂ，１ｃ・・・排気ポート（流体ポート）、 １ｄ・・・・・・ねじ螺合孔、 １ｅ・・・・・・漏れ流体排出用ポート、 １ｆ・・・・・・流入路、 １ｇ，１ｈ・・・流出路、 １ｉ・・・・・・排出路、 ２・・・・・・・シール部材、 ２ａ・・・・・・主体部、 ２ｂ，２ｃ，２ｄ・・・・・流通孔、 ２ｅ・・・・・・ねじ孔、 ２ｆ・・・・・・連通孔、 ２ｇ，２ｈ，２ｉ・・・・・内側シール部、 ２ｊ・・・・・・外側シール部、 ３・・・・・・・弁（流体機器）、 ４・・・・・・・排出ポート、 ５・・・・・・・ねじ、 ６ａ，６ｂ・・・・・空間、 １０・・・・・・・・流体源、 １１・・・・・・・・流体供給流路、 １３・・・・・・・・流体排出流路、 Ｒ・・・・・・・・クリーンルーム。
Claims (2)
- 【請求項１】流体機器が接続されるマニホールドに流体
給排ポートを形成し、前記流体機器を前記マニホールド
と共に、外部環境に対して遮蔽されたクリーンルーム内
に配置するようにしたクリーンルーム汚染防止用マニホ
ールドであって、 前記流体機器に形成された流体ポートに対向させて前記
マニホールドに形成された流体ポートと前記流体給排ポ
ートと連通させる流路を前記マニホールド内に形成する
と共に、前記外部環境に配置された流体供給源と前記流
体給排ポートとを流体給排流路により接続し、 前記両流体ポートとの接続部をシールする内側シール部
とこの内側シール部の外側に形成された外側シール部と
を有するシール部材を前記流体機器と前記マニホールド
との間に設け、 前記内側シール部と前記外側シール部との間の空間に連
通された排気ポートと前記外部環境との間に、前記内側
シール部から漏出した流体を前記クリーンルームに対し
て遮蔽させて前記外部環境に排出する流体排出流路を接
続したことを特徴とするクリーンルーム汚染防止用マニ
ホールド。 - 【請求項２】前記流体機器が弁であることを特徴とする
請求項１記載のクリーンルーム汚染防止用マニホール
ド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP292688U JPH06698Y2 (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 | クリーンルーム汚染防止用マニホールド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP292688U JPH06698Y2 (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 | クリーンルーム汚染防止用マニホールド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01108468U JPH01108468U (ja) | 1989-07-21 |
| JPH06698Y2 true JPH06698Y2 (ja) | 1994-01-05 |
Family
ID=31204113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP292688U Expired - Lifetime JPH06698Y2 (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 | クリーンルーム汚染防止用マニホールド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06698Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109154388A (zh) * | 2016-06-10 | 2019-01-04 | 纳博特斯克有限公司 | 垫片以及阀装置 |
-
1988
- 1988-01-13 JP JP292688U patent/JPH06698Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109154388A (zh) * | 2016-06-10 | 2019-01-04 | 纳博特斯克有限公司 | 垫片以及阀装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01108468U (ja) | 1989-07-21 |
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