JPH067062B2 - 位置検出装置 - Google Patents

位置検出装置

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JPH067062B2
JPH067062B2 JP62069937A JP6993787A JPH067062B2 JP H067062 B2 JPH067062 B2 JP H067062B2 JP 62069937 A JP62069937 A JP 62069937A JP 6993787 A JP6993787 A JP 6993787A JP H067062 B2 JPH067062 B2 JP H067062B2
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Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は被測定物体の回転や移動等に伴なう変位を測定
する位置検出装置に関し、特に被測定物体に連結された
符号板に設けたトラック部に入射させた光束の反射又は
透過光の有無により電気的なデータを得、これより該被
測定物体の絶対的な位置を求めることのできる位置検出
装置に関するものである。
（従来の技術） 従来より被測定物体の回転、移動、位置等の検出や回転
機構の回転量、回転速度等の検出を行う測定装置として
光電的なエンコーダが多く利用されている。
第５図は従来の被測定物体の変位状態の絶対量を測定す
る為の所謂アブソリュート型のエンコーダの一例を示す
概略図である。同図において４１は回転軸４０を中心に
回転する回転円板であり、該回転円板４１上には、任意
の角度位置に応じて２値化したデータを発生させるべく
同心円状に複数のトラックが設けられている。そして各
トラックには光学的に２値化されたデータ、例えば透過
領域と不透過領域より成る複数のスリット４２が規則的
に設けられており、回転円板４１の半径方向に特定のデ
ータ列が形成されている。４３は固定スリット列であり
各トラック上に設けたスリットから選択的に光束を通過
させる為に複数の開口を有している。４４は複数の投光
素子を有する投光手段、４５は複数の受光素子を有する
受光手段であり、両手段は回転円板４１及び固定スリッ
ト列４３を挟んで各投光素子と各受光素子が各々該固定
スリット列４３の各開口に各々対応するように配置され
ている。
同図に示す構成において受光手段４５には投光手段４４
の各投光素子から放射される光束がスリット４２及び固
定スリット４３を通過して入射してくる。このとき各受
光素子の出力信号の組合せから回転円板４１の絶対回転
位置を求めている。このような装置における回転円板４
１の回転位置の検出分解能は回転円板４１のスリットの
配列ピッチ及びトラック数に依存してくる。
即ち検出分解能を高めるには回転円板４１上に配するト
ラック数を増加させて組合せ要素を増やす必要がある。
しかしながらトラック数を増加させると回転円板４１の
直径が大きくなり装置全体が大型化し、又信号出力系統
の数も増加してきて信号処理が複雑化してくる問題があ
る。
（発明が解決しようとする問題点） 本発明は被検物体上に設けるトラック数を増加させるこ
となく、反転周期の短いトラックから得られるデータを
補間することにより、装置全体の大型化を防止し、被検
出物体の回転や移動等に伴なう変位の絶対量を高分解能
で検出することのできる位置検出装置の提供を目的とす
る。
（問題点を解決するための手段） 変位方向に延びる複数個のトラックに互いに異なる周期
の格子を形成するよう各トラック毎にパターンを配列し
て各トラックのパターンの組合わせにより変位方向の位
置情報が記録してある被検体の位置を、各トラックのパ
ターンを光学的に読み取ることにより検出する位置検出
装置において、光源からの光を回折せしめて夫々が複数
の回折光より成る第１光束群と第２光束群とを形成する
光回折手段を有し、該第１光束群の複数の回折光の各々
を前記複数個のトラックの対応するトラックに照射する
と共に、該第２光束群の複数の回折光を前記複数個のト
ラックの内の所定トラックに変位方向に沿って照射する
照射手段と、前記複数個のトラックに照射した前記第１
光束群の複数の回折光を個別に検出する第１検出手段
と、前記所定のトラックに照射した前記第２光束群の複
数の回折光を個別に検出する第２検出手段とを有し、前
記第１検出手段を介して得られる各トラックのパターン
の組み合わせが示す位置情報と前記第２検出手段を介し
て得られる前記所定トラックのパターンの位置情報とを
用いて前記被検体の位置を検出することである。
上記任意のトラックとしては複数のトラックの内の反転
周期の短いビット信号列を有するトラックが好ましく、
このトラックのデータの反転位置に関する情報を上記第
２検出手段で読み取り、上記第１検出手段から得られる
データと組合わせて被検物体の絶対位置を得ている。
（実施例） 第１図は本発明をロータリーエンコーダーに適用したと
きの一実施例の概略図である。同図において１は被測定
物としての回転円板、２は回転円板１上に設けた複数の
トラック２ａ〜２ｉより成る符号板、６はレーザーダイ
オード等の光源、７はコリメータレンズ、８は直交回折
格子板、９はレンズ、１０は半透明ミラー、１１，１２
は各々第１検出手段と第２検出手段であり、これらは複
数の受光素子より成る受光素子列より成っている。１３
は回転円板１の回転方向を示している。
光源１より射出した光束はコリメーターレンズ７により
平行光束となり直交回折格子板（光回析手段）８に入射
する。このとき直交回折格子板８のｘ軸方向とｙ軸方向
の格子ピッチによって決定される角度で各々複数の回折
光が発生する。これら複数の回折光はレンズ９により互
いに平行光束とされ回転円板１上の複合板２の各々のト
ラック２ａ〜２ｉに集光される。
光源６、コリメーターレンズ７、直交回折格子板８、そ
してレンズ９等は照射手段の一要素を構成している。
第２図(A)，(B)は第１図ほ符号板２に照射されるビーム
の説明図である。本実施例では符号板２は９つのトラッ
ク２ａ〜２ｉより成り、又各トラックは複数の透過領域
と不透過領域のスリットより構成されている。又、各ト
ラックはグレイ２進コードを構成している。
本実施例では直交回折格子板８によりｘ軸方向とｙ軸方
向に回折された回折光のうち、零次回折光に相当する中
心の光束が最も反転周期の短いトラック２ａに入射する
ように構成している。
各トラックのスリットのうち透過部に入射した回折光は
透過し、そのうち回転円板１の変位方向と直交する径方
向のｘ軸方向に回折した複数の回折光の一群は、第２図
（Ａ）に示す様に半透過ミラー１０で反射し受光素子列
１１の各々の受光素子に入射する。
又、回転円板１の変位方向と同方向の円周方向のｙ軸方
向に回折した複数の回折光のトラック２ａ上に相当する
一群は、第２図（Ｂ）に示す様に半透明ミラー１０を透
過し、受光素子列１２の各々の受光素子に入射する。受
光素子列１１から得られる信号は被測定物である回転円
板１における各トラックの被検位置におけるデータの組
合わせであり、所謂アブソリュートエンコーダとしての
２値化符号であり、これより絶対位置を求めている。今
ここでトラック数をＮとするとグレイ２進コードを用い
た複合板の場合、分解能は２Ｎとなる。
一方受光素子列１２から得られる信号はトラック２ａ上
の回転円板１の被検位置前後のデータをその順序に従っ
て出力したものである。
第３図はこのときの受光素子列１２の各受光素子２ａ１
〜２ａｎから得られる出力信号の説明図である。同図よ
りある時間における各受光素子からの出力信号の関係よ
り２値化データが反転する箇所、及びその方向を検出し
て特定のトラックのデータ内の被検出位置のデータ反転
位置までのずれ量及び方向を算出してデータ内即ち非反
転領域内における内挿された更に細かい絶対位置（角
度）を求めることができる。受光素子列１２の各出力信
号は時間的に並列に若しくは時系列的に単に出力しても
良いが、後段の処理回路で２値化データの反転位置及び
方向を示す２値化符号に変換した後に出力しても良い。
この他データの反転位置までのずれ量及び方向に応じて
階段状に複数の電位が発生させてアナログ量として伝送
出力するようにしても良い。
又、２値化データが反転する箇所が変化する毎にパルス
を発生させてそれらをカウントすることにより境界位置
までのずれ量を求めても良い。
本実施例では回転円板１上の間口列を配して透過光のON
/OFFを各受光素子で検出しているが、反射部と非反射部
の配列を有する回転円板を利用して反射光のON/OFFを検
出しても良い。
トラック２ａに入射させるビームの間隔を微細化して高
分解能化を図る場合には例えば受光素子列１２の代わり
に微細なピッチを有するＣＣＤ（固体撮像素子）等を用
いて時系列に出力するようにしても良い。
受光素子列１２にＣＣＤを用いて１トラック上の１デー
タ内に入射させるビーム数を増加させれば補間の高分解
能化ができる。
ところでアブソリュート型のエンコーダの位置検出は迅
速、正確に行なわれるのが望ましいがトラック数の多い
高分解能なタイプのエンコーダの回転円板を高速回転さ
せると出力信号の周波数が高くなり信号処理系が大規模
になりやすい。しかしながら本発明のようにトラック数
を減らして反転周期を比較的長くすれば高速回転させて
も出力信号の周波数の増大を防ぐことができ信号処理系
が構成しやすくなる。そして受光素子列１２からの出力
信号により更に細かな絶対位置微調整が行なえるから結
局同じ分解能を得るのに小型な回転円板、応答周波数の
低い受光素子信号処理系で足りることになり、全体の小
型化、電気系の簡単化のメリットが生じる。
更にＣＣＤを用いれば補間を細かく行なえるので、特に
高分解能タイプのエンコーダのトラック数を著しく減少
させれば伝送線の数が減るのでエンコーダ出力配線を簡
素化することが容易となる等の特長がある。
補間を細かく行なうにはトラック上に入射させるビーム
の間隔を縮めた方がよいが、受光素子列１２の各要素は
あまり小さくできない。そこで受光素子列１２に入射す
るビーム間の間隔を拡げる為に、第４図（Ａ）の如く受
光素子列１２前に拡大光学系９′を配置するが、回転円
板入射光束の向き、及び回転円板と受光素子列の位置関
係により、拡大投影される配置にする。
又、直交回折格子の代わりに２枚の互いに直交する回折
格子板を用いても良い。この場合、第４図（Ｃ）のごと
くｘ方向の回折格子板８ｘを符号板１に近接して配置す
ればトラック移動方向の情報を受光素子１２に拡大投影
される。尚第４図（Ｂ）は同図（Ｃ）と直交する平面上
の断面図である。
本実施例ではロータリーエンコーダについて示したがリ
ニアエンコーダについても全く同様に本発明を適用する
ことができる。
（発明の効果） 本発明によれば従来のエンコーダに主として反転周期の
短いトラックの被検出位置前後のデータ反転位置に関す
るデータを読み取ることのできる光学系を付加すること
により、アブソリュート信号の一周期を補間することが
出来、従来と同様のトラック数で高分解能な小型のアブ
ソリュート型の位置検出装置を達成することができる。
又、アブソリュート信号のビート数を抑えることができ
高速変位時の応答周波数を追いつきの問題もなくなり信
号処理系統、及び信号線路の数の簡素化を図ったエンコ
ーダを達成することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明をロータリーエンコーダに適用したとき
の一実施例の概略図、第２図(A)，(B)は第１図の一部分
の説明図、第３図は第１図の検出手段から得られる信号
の説明図、第４図(A)，(B)，(C)は本発明の他の一実施
例の一部分の説明図、第５図は従来のロータリーエンコ
ーダの概略図である。 図中１は回転円板、２は符号部、６は光源、７はコリメ
ーターレンズ、８，８ｘ，８ｙは回折格子板、９はレン
ズ、１０は半透過ミラー、１１は第１検出手段、１２は
第２検出手段である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石井 哲 神奈川県川崎市高津区下野毛770番地 キ ヤノン株式会社玉川事業所内 (56)参考文献 特開 昭60−67821（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】変位方向に延びる複数個のトラックに互い
    に異なる周期の格子を形成するよう各トラック毎にパタ
    ーンを配列して各トラックのパターンの組合わせにより
    変位方向の位置情報が記録してある被検体の位置を、各
    トラックのパターンを光学的に読み取ることにより検出
    する位置検出装置において、光源からの光を回折せしめ
    て夫々が複数の回折光より成る第１光束群と第２光束群
    とを形成する光回折手段を有し、該第１光束群の複数の
    回折光の各々を前記複数個のトラックの対応するトラッ
    クに照射すると共に、該第２光束群の複数の回折光を前
    記複数個のトラックの内の所定トラックに変位方向に沿
    って照射する照射手段と、前記複数個のトラックに照射
    した前記第１光束群の複数の回折光を個別に検出する第
    １検出手段と、前記所定のトラックに照射した前記第２
    光束群の複数の回折光を個別に検出する第２検出手段と
    を有し、前記第１検出手段を介して得られる各トラック
    のパターンの組み合わせが示す位置情報と前記第２検出
    手段を介して得られる前記所定トラックのパターンの位
    置情報とを用いて前記被検体の位置を検出することを特
    徴とする位置検出装置。
JP62069937A 1987-03-24 1987-03-24 位置検出装置 Expired - Lifetime JPH067062B2 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001031292A1 (fr) * 1999-10-26 2001-05-03 Citizen Watch Co., Ltd. Dispositif de mesure de deplacement optique

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2629948B2 (ja) * 1989-03-03 1997-07-16 キヤノン株式会社 エンコーダー
JP2697919B2 (ja) * 1989-09-29 1998-01-19 キヤノン株式会社 信号内挿回路及び該回路を備えた変位測定装置
JPH04136716A (ja) * 1990-09-28 1992-05-11 Okuma Mach Works Ltd 光学式エンコーダ
JP2714492B2 (ja) * 1991-02-25 1998-02-16 オークマ株式会社 位置検出器
DE4111562C2 (de) * 1991-04-10 1994-12-22 Hohner Elektrotechnik Kg Winkelstellungs-Meßwertaufnehmer
JP3066923B2 (ja) * 1991-07-29 2000-07-17 キヤノン株式会社 エンコーダ及びこれを有するシステム
DE69317499T2 (de) * 1992-04-22 1998-07-09 Copal Co Ltd Absolute kodiereinrichtung
JP3005131B2 (ja) * 1992-12-28 2000-01-31 キヤノン株式会社 変位検出装置
JP3196459B2 (ja) * 1993-10-29 2001-08-06 キヤノン株式会社 ロータリーエンコーダ
SE501950C2 (sv) * 1993-11-02 1995-06-26 Leine & Linde Ab Förfarande vid givarenhet samt givarenhet innefattande ett med ett mönster försett kodorgan
JP3001149B2 (ja) * 1994-08-26 2000-01-24 矢崎総業株式会社 エンコーダ
US5665974A (en) * 1995-11-16 1997-09-09 The Boeing Company Self-monitoring optical encoder for wavelength division multiplexing optical sensors
US5883384A (en) * 1996-04-16 1999-03-16 Canon Kabushiki Kaisha Rotational displacement information detection apparatus
DE19629005A1 (de) * 1996-07-18 1998-01-22 Teves Gmbh Alfred Mechanische Toleranzabgrenzung einer optischen Übertragungsstrecke
TW411419B (en) * 1997-10-09 2000-11-11 Primax Electronics Ltd Photo-grid system with positioning holes
US6327791B1 (en) 1999-06-09 2001-12-11 The Government Of The United States As Represented By The Secretary Of Commerce Chain code position detector
US6396052B1 (en) 2000-04-07 2002-05-28 Lexmark International, Inc. High precision analog encoder system
US6683543B1 (en) * 2003-01-30 2004-01-27 Agilent Technologies, Inc. Absolute encoder based on an incremental encoder
DE10342326B4 (de) * 2003-09-11 2007-10-04 Preh Gmbh Integrierter optischer Encoder
DE10353429B4 (de) * 2003-11-15 2006-10-19 Preh Gmbh Optischer Absolutwertgeber
DE102005033880A1 (de) * 2005-07-20 2007-02-01 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Vorrichtung zur optischen Erfassung von Schaltstellungen eines Schaltmittels
DE102016217690A1 (de) 2016-09-15 2018-03-15 Rolls-Royce Deutschland Ltd & Co Kg Vorrichtung und Verfahren zur Messung einer Rotationsbewegung, insbesondere einer Rotationsrichtung, sowie zur Erkennung eines Wellenbruchs
DE102016217687A1 (de) 2016-09-15 2018-03-15 Rolls-Royce Deutschland Ltd & Co Kg Vorrichtung und Verfahren zur Messung einer Rotationsbewegung eines drehbaren Bauteils, insbesondere einer Rotationsrichtung
CA2945256C (en) * 2016-10-13 2023-09-05 Lmi Technologies Inc. Fringe projection for in-line inspection
JP2019211360A (ja) * 2018-06-06 2019-12-12 ファナック株式会社 エンコーダ
JP7411325B2 (ja) * 2018-12-26 2024-01-11 富士通コンポーネント株式会社 計測器

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5355055A (en) * 1976-10-27 1978-05-19 Yamato Scale Co Ltd Gray code reader
US4301447A (en) * 1979-12-12 1981-11-17 Sperry Corporation Scan control for light beam position indicator
US4465928A (en) * 1981-08-17 1984-08-14 Itek Corporation Optically multiplexed encoder system
US4572952A (en) * 1982-07-28 1986-02-25 Adrian March Research Ltd. Position sensor with moire interpolation
US4621256A (en) * 1983-07-15 1986-11-04 Lockheed Missiles & Space Company, Inc. Apparatus for measuring rate of angular displacement
JPS6067821A (ja) * 1983-09-22 1985-04-18 Fuji Xerox Co Ltd パルス発生装置
US4588982A (en) * 1984-09-13 1986-05-13 Sangamo Weston, Inc. Optical shaft encoder
US4633224A (en) * 1985-05-06 1986-12-30 Caterpillar Inc. Absolute and incremental optical encoder

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001031292A1 (fr) * 1999-10-26 2001-05-03 Citizen Watch Co., Ltd. Dispositif de mesure de deplacement optique
JP5345269B2 (ja) * 1999-10-26 2013-11-20 シチズンホールディングス株式会社 光学式変位測定装置

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DE3809804C2 (ja) 1991-07-18

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