JPH0670664B2 - ショート・オープンチェッカーおよびその使用によるチェック方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板上に形成されたラ
イン状のパターン電極におけるショート（短絡）または
オープン（断線）箇所の位置確認に使用されるショート
・オープンチェッカーおよびその使用によるチェック方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、液晶やプラズマディスプレイパネ
ル等を主とする平面ディスプレイの電極として用いられ
るラインパターン電極のショートまたはオープン箇所の
位置確認は、例えばテスターなどのように電流供給源と
電流値または抵抗値測定器とを兼ね備えた機器に、電流
供給端子および測定用プローブを電気的に接続させた装
置と顕微鏡とを用い、電気的チェックと目視チェックと
を併用した手段によって行われていた。その具体例を図
３ないし図５を用いて説明すると以下の通りである。

【０００３】図３は、ライン状の透明な電極パターンが
形成されたガラス基板を示す図であって、並列するライ
ンパターン電極２は電極の長さ方向に交互にずらして形
成されており、基板１上の２か所のコーナーには基準点
３が記されている。このような基板１上に形成されたラ
インパターン電極２のショートチェック方法は、まず、
テスター４の一方の電極と電気的に接続された電流供給
端子６を、並列するラインパターン電極のうち１本おき
の電極端部に接触させて電流を供給した後、テスター４
の他方の電極と電気的に接続された測定用プローブ５
を、電極の長さ方向と直交する方向に移動させて電流が
供給されていないラインパターン電極の端部に順次接触
させる（図４）。この時、テスターに少しでも反応があ
ったら、そのパターンは他のパターンとショートしてい
るということである（本来、隣接するパターン同士は絶
縁されているため抵抗値は∞Ωである）。次いで、∞Ω
以外の抵抗値を示したラインパターン電極に沿ってゆっ
くりと顕微鏡を移動させ、ショート箇所を目視によって
確認し、基準点３との位置関係を測定する。

【０００４】一方、上記同様の基板１上に形成されたラ
インパターン電極のオープンチェック方法は、まず、テ
スター４の一方の電極と電気的に接続された電流供給端
子６を、並列するすべてのラインパターン電極２に接触
させて電流を供給した後、テスター４の他方の電極と電
気的に接続された測定用プローブ５を、電極の長さ方向
と直交する方向に移動させてすべてのラインパターン電
極２の端部に順次接触させる（図５）。この時、テスタ
ーに反応がなかったら、そのパターンはどこかでオープ
ンしているということである（隣接するパターン同士
は、電流供給端子によって接続されているため抵抗値は
∞Ω以外の値を示す）。次いで、∞Ωを示したラインパ
ターン電極２に沿ってゆっくりと顕微鏡を移動させ、オ
ープン箇所を目視によって確認し、基準点３との位置関
係を測定する。

【０００５】すなわち、上記従来のショートおよびオー
プンチェック方法によると、電気的手段によりショート
またはオープン箇所を有するラインパターン電極を発見
し、その電極について顕微鏡での目視観察を行うことに
より、ショートまたはオープン箇所の位置確認がなされ
ていたのである。しかしながら、目視によりショートま
たはオープン箇所の位置確認を行うには、ラインパター
ン電極の全長にわたって見落としがないようにゆっくり
と視野を移動させなければならないため、時間がかかり
極めて能率が悪いという問題点があった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述従来の
技術の問題点を解決し、作業能率を向上させ、短時間で
確実にオープンやショート箇所を発見することができる
ショート・オープンチェッカーおよびその使用によるチ
ェック方法を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記目的
を達成するために鋭意研究の結果、測定用プローブをラ
インパターン電極の長さ方向に可動とし、該プローブで
ラインパターン電極をなぞった時の抵抗値または電流値
の変化から、ショートおよびオープン箇所を特定するこ
とができることを見い出し、本発明に到達した。

【０００８】すなわち、本発明は、電流供給源からの検
出用電流をラインパターン電極に供給する電流供給端
子、同電極に供給された電流を検出する測定用プロー
ブ、および該プローブにより検出された電流を電流値ま
たは抵抗値で示すメーターを有して成り、上記電流供給
端子および測定用プローブは、上記メーターと電気的に
接続されていて、上記測定用プローブは、少なくともラ
インパターン電極の長さ方向およびそれと直交する方向
に可動であり、かつ、測定用プローブの可動範囲を包含
する領域内の定位置に、ラインパターン電極が形成され
た基板を固定する位置決め治具が装備されていることを
特徴とするショート・オープンチェッカー；および、複
数のラインパターン電極が形成された基板を位置決め治
具に固定して、基板上に基準点を設定し、一部のライン
パターン電極に電流供給端子を接触させて通電し、測定
用プローブを電極の長さ方向と直交する方向に移動させ
ながら、電流供給端子から電流が供給されていないライ
ンパターン電極に順次接触させることにより、電流が検
出されるラインパターン電極の存否を検定し、電流が検
出されたら、そのラインパターン電極に沿って該測定用
プローブを電極の長さ方向に移動させ、電流値が最大ま
たは抵抗値が最小となる点を確認し、その点と基準点と
の位置関係を測定することを特徴とするショートチェッ
ク方法；および、複数のラインパターン電極が形成され
た基板を位置決め治具に固定して、基板上に基準点を設
定し、電流供給端子を該端子長内に含まれるすべてのラ
インパターン電極に接触させて通電し、測定用プローブ
を電極の長さ方向と直交する方向に移動させながら、上
記のすべてのラインパターン電極に測定用プローブを順
次接触させることにより、電流が検出されないラインパ
ターン電極の存否を検定し、電流が検出されないライン
パターン電極が検出されたら、その電極に沿って該測定
用プローブを電極の長さ方向に移動させ、電流が検出さ
れる点を確認し、その点と基準点との位置関係を測定す
ることを特徴とするオープンチェック方法を提供するも
のである。

【０００９】また、本発明においては、測定用プローブ
に測長顕微鏡の対物レンズを取付けたものを使用し、シ
ョート箇所を有するラインパターン電極に沿って測定用
プローブを電極の長さ方向に移動させ、電流値が最大ま
たは抵抗値が最小となった位置近辺を上記対物レンズを
通して目視観察することによりさらに正確にショート箇
所の位置確認をすることもでき、同様に、オープン箇所
を有するラインパターン電極に沿って上記対物レンズ付
きの測定用プローブを電極の長さ方向に移動させ、電流
が検出された位置近辺を目視観察することによりオープ
ン箇所の位置確認をすることもできる。

【００１０】

【作用】本発明のチェック方法においては、オープン箇
所の位置確認は、まず、並列するすべてのラインパター
ン電極の一方の端部に電流供給端子を接触させて電流を
供給し、対物レンズに取り付けられた測定用プローブ
を、前記すべてのラインパターン電極の他方の端部に順
次接触させ、各ラインパターン電極の導通を調べること
によりオープン箇所のあるパターン電極を確認してい
る。次に、オープン箇所のあるパターン電極が見つかれ
ば、その電極に沿って該測定用プローブを移動させ、抵
抗値や電流値の変化からオープン箇所の位置確認をして
いる。オープン箇所の正確な位置確認が困難な場合、該
プローブが取り付けられている対物レンズにより、その
近辺を目視観察することによって正確に位置確認するこ
とができる。

【００１１】一方、ショート箇所の位置確認は、上記電
流供給端子を並列するラインパターン電極のうち、一つ
おきの電極の一方の端部に接触させ、該端子を接触させ
ていないラインパターン電極の他方の端部に上記プロー
ブを順次接触させ、隣接するパターン間のショートを確
認している。次に、ショート箇所のあるパターン電極が
見つかれば、その電極に沿って該測定用プローブを移動
させ、抵抗値や電流値の変化からショート箇所の位置確
認をしている。すなわち、抵抗値は該測定用プローブが
パターン電極におけるショート箇所に近づくにつれて低
下していくため、最小抵抗値を示す地点がショート箇所
なのである。また、最小抵抗値の見極めが困難な場合、
最小抵抗値を示したと思われたところで上記対物レンズ
により、その近辺を目視観察することによって正確に位
置確認することができる。

【００１２】以下、実施例により本発明をさらに詳細に
説明する。しかし本発明の範囲は以下の実施例により制
限されるものではない。

【００１３】

【実施例】本発明のショート・オープンチェッカーを用
いたラインパターン電極のショートおよびオープンチェ
ック方法を、図１および図２を用いて以下に説明する。

【００１４】ラインパターン電極２が形成されたガラス
基板１を、ショート・オープンチェッカーの位置決め治
具８にセットし、基板１上に基準点３を設定する。

【００１５】（１）オープンチェック まず、ショート・オープンチェッカーに装備されている
テスター４の一方の電極と電気的に接続された電流供給
端子６を、並列するすべてのラインパターン電極２の一
方の端部に接触させ、テスター４に内蔵された電池によ
り電流を供給する。次いで、該テスター４の他方の電極
と電気的に接続された測定用プローブ５が取り付けられ
ている測長顕微鏡の対物レンズ７を、基板１上のライン
パターン電極面に下ろし、該測定用プローブ５をライン
パターン電極２の長さ方向と直交する方向に移動させ、
すべてのラインパターン電極２の他方の端部に順次接触
させていく（図１）。その際、テスターにおける抵抗値
は、各ラインパターン電極にオープン箇所があれば∞Ω
を示し、オープン箇所がなければそれ以外の値を示す。

【００１６】次に、上記測定により発見したオープン箇
所のあるラインパターン電極２に沿って、上記測定用プ
ローブ５を電極の長さ方向に移動させていく。測定用プ
ローブ５を移動させた際、抵抗値が∞Ωよりも下がった
所がオープン箇所であるため、その点と上記基板上に設
定した基準点３との位置関係を測定する。なお、抵抗値
が∞Ωよりも下がったところで、対物レンズ７により、
目視によってその近辺の様子を観察し、オープン箇所の
位置確認を行うこともできる。

【００１７】（２）ショートチェック まず、ショート・オープンチェッカーに装備されている
テスター４の一方の電極と電気的に接続された電流供給
端子６を、並列するラインパターン電極２のうち一つお
きの電極の端部に接触させて電流を供給する。すなわ
ち、隣接する電極が接続されないように該端子を接触さ
せるのである。次いで該テスター４の他方の電極と電気
的に接続された測定用プローブ５が取り付けられている
測長顕微鏡の対物レンズ７を、基板１上のラインパター
ン電極面に下ろし、該測定用プローブ５をラインパター
ン電極２の長さ方向と直交する方向に移動させ、該端子
６を接触させていないラインパターン電極２の他方の端
部に順次接触させていく（図２）。その際、テスターに
おける抵抗値は、隣接するラインパターン電極間におい
てショート箇所がなければ∞Ωを示し、ショート箇所が
あればそれ以外の値を示す。

【００１８】次に、上記測定により発見したショート箇
所のあるラインパターン電極２に沿って、上記測定用プ
ローブ５を電極の長さ方向に移動させていく。測定用プ
ローブ５を移動させた際、抵抗値が最小値を示した所が
ショート箇所であるため、その点と上記基板上に設定し
た基準点３との位置関係を測定する。なお、抵抗値が最
も低下したところで、対物レンズ７により、目視によっ
てその近辺の様子を観察し、ショート箇所の位置確認を
行うこともできる。

【００１９】上記方法により実際にオープンおよびショ
ート箇所の位置確認を行ったところ、オープンまたはシ
ョート箇所を確認するために要した時間は、１箇所につ
き１分であった。

【００２０】

【比較例】オープンまたはショート箇所のあるラインパ
ターン電極について、顕微鏡を使った目視検査のみで位
置確認をしたこと以外は実施例と同様にしてオープンま
たはショート箇所の位置確認を行ったところ、オープン
またはショート箇所を確認するために要した時間は、１
箇所につき10分であった。

【００２１】

【発明の効果】基板上に形成されたラインパターン電極
におけるオープンやショートなどの欠陥箇所の位置確認
が電気的チェックのみにより行えるようになり、また、
電気的チェックと目視チェックとを併用する場合であっ
ても、ラインパターン電極の全長のうち電気的特性が異
常である部分近辺のみを目視チェックすれば良いため、
従来法と比較して作業能率が著しく向上した。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の方法により、基板上に形成されたライ
ンパターン電極のオープン箇所を探索する際におけるシ
ョート・オープンチェッカーの使用態様を示す平面図で
ある。

【図２】本発明の方法により、基板上に形成されたライ
ンパターン電極のショート箇所を探索する際におけるシ
ョート・オープンチェッカーの使用態様を示す平面図で
ある。

【図３】ラインパターン電極が形成された基板を示す平
面図である。

【図４】従来の方法により、基板上に形成されたライン
パターン電極のショート箇所を探索する際におけるショ
ート・オープンチェッカーの使用態様を示す平面図であ
る。

【図５】従来の方法により、基板上に形成されたライン
パターン電極のオープン箇所を探索する際におけるショ
ート・オープンチェッカーの使用態様を示す平面図であ
る。

【符号の説明】

１‥‥‥基板 ２‥‥‥ラインパターン電極 ３‥‥‥基準点 ４‥‥‥テスター ５‥‥‥測定用プローブ ６‥‥‥電流供給端子 ７‥‥‥対物レンズ ８‥‥‥位置決め治具

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 柄沢 美津子 東京都台東区上野６丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内 (56)参考文献 特開 平３−121413（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−230188（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−242972（ＪＰ，Ａ)

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電流供給源からの検出用電流をラインパ
   ターン電極に供給する電流供給端子、同電極に供給され
   た電流を検出する測定用プローブ、および該プローブに
   より検出された電流を電流値または抵抗値で示すメータ
   ーを有して成り、上記電流供給端子および測定用プロー
   ブは、上記メーターと電気的に接続されていて、上記測
   定用プローブは、少なくともラインパターン電極の長さ
   方向およびそれと直交する方向に可動であり、かつ、測
   定用プローブの可動範囲を包含する領域内の定位置に、
   ラインパターン電極が形成された基板を固定する位置決
   め治具が装備されていることを特徴とするショート・オ
   ープンチェッカー。
2. 【請求項２】 複数のラインパターン電極が形成された
   基板を位置決め治具に固定して、基板上に基準点を設定
   し、一部のラインパターン電極に電流供給端子を接触さ
   せて通電し、測定用プローブを電極の長さ方向と直交す
   る方向に移動させながら、電流供給端子から電流が供給
   されていないラインパターン電極に順次接触させること
   により、電流が検出されるラインパターン電極の存否を
   検定し、電流が検出されたら、そのラインパターン電極
   に沿って該測定用プローブを電極の長さ方向に移動さ
   せ、電流値が最大または抵抗値が最小となる点を確認
   し、その点と基準点との位置関係を測定することを特徴
   とするショートチェック方法。
3. 【請求項３】 複数のラインパターン電極が形成された
   基板を位置決め治具に固定して、基板上に基準点を設定
   し、電流供給端子を該端子長内に含まれるすべてのライ
   ンパターン電極に接触させて通電し、測定用プローブを
   電極の長さ方向と直交する方向に移動させながら、上記
   のすべてのラインパターン電極に測定用プローブを順次
   接触させることにより、電流が検出されないラインパタ
   ーン電極の存否を検定し、電流が検出されないラインパ
   ターン電極が検出されたら、その電極に沿って該測定用
   プローブを電極の長さ方向に移動させ、電流が検出され
   る点を確認し、その点と基準点との位置関係を測定する
   ことを特徴とするオープンチェック方法。