JPH0671096B2 - 受光素子 - Google Patents
受光素子Info
- Publication number
- JPH0671096B2 JPH0671096B2 JP60050025A JP5002585A JPH0671096B2 JP H0671096 B2 JPH0671096 B2 JP H0671096B2 JP 60050025 A JP60050025 A JP 60050025A JP 5002585 A JP5002585 A JP 5002585A JP H0671096 B2 JPH0671096 B2 JP H0671096B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- receiving element
- light receiving
- light
- spectral sensitivity
- protective film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/30—Coatings
- H10F77/306—Coatings for devices having potential barriers
Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Facsimile Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は所望の波長域において滑らかな分光感度特性を
もつ受光素子に関するものである。
もつ受光素子に関するものである。
従来の技術 均一な膜厚の多層構造からなる受光素子では一般に各層
によって屈折率が異なる事によって光の多重干渉が生
じ、分光感度特性を見たとき波長が少し異なれば感度が
大きく変化する。
によって屈折率が異なる事によって光の多重干渉が生
じ、分光感度特性を見たとき波長が少し異なれば感度が
大きく変化する。
発明が解決しようとする問題点 このような素子では膜厚のばらつきによって同一波長に
対する感度ばらつきが極めて大きくなる。従って単一な
いしは狭波長域の光をセンスする際に感度ばらつきが生
じる。
対する感度ばらつきが極めて大きくなる。従って単一な
いしは狭波長域の光をセンスする際に感度ばらつきが生
じる。
この事はイメージセンサ等の長尺素子ではセンサアレイ
内で或る波長に対しての感度ばらつきが生じる事を意味
する。従って特定の波長域の光に対して均一な感度を要
する素子にとって重大な問題点となる。近年、半導体保
護膜としてSiO2よりも屈折率の大きいSi3N4が素子の劣
化防止の為に使われているのでこのような感度のばらつ
きはより生じ易くなっている。
内で或る波長に対しての感度ばらつきが生じる事を意味
する。従って特定の波長域の光に対して均一な感度を要
する素子にとって重大な問題点となる。近年、半導体保
護膜としてSiO2よりも屈折率の大きいSi3N4が素子の劣
化防止の為に使われているのでこのような感度のばらつ
きはより生じ易くなっている。
問題点を解決するための手段 本発明は上記問題点の解決を図るため、受光素子の受光
部の表面保護膜厚を同一受光部内で変化をつける。また
は受光部の表面保護膜上の一部に同質，異質の物質を堆
積する事を基本にするものである。
部の表面保護膜厚を同一受光部内で変化をつける。また
は受光部の表面保護膜上の一部に同質，異質の物質を堆
積する事を基本にするものである。
作 用 本発明は上記の構成によって、種々の膜厚の存在によっ
て生じる位相のずれを利用して、干渉による分光感度特
性の波打ちを一素子の中で相殺させて、所望の波長域に
おいて滑らかな分光感度特性を得るものである。
て生じる位相のずれを利用して、干渉による分光感度特
性の波打ちを一素子の中で相殺させて、所望の波長域に
おいて滑らかな分光感度特性を得るものである。
実施例 第１図は本発明の構成からなる受光素子の一実施例の断
面を示すものである。第１図において、１は表面保護
膜、２は光検知するための不純物拡散領域、３は基板で
ある。１の表面保護膜は（例えば窒化シリコンまたは酸
化シリコンなど）光検知域の丁度中央部にて段差を持っ
ている。この段差は局部エッチング又は局部堆積なるプ
ロセスにて実現できる。一般に分光感度特性の波打ち
は、ｎｐを保護膜屈折率、ｈを保護膜厚としたとき、特
定のλなる波長付近において なる周期にて生じる。これは分光感度特性を表わす数式
中に なる項が含まれている為である。従って本実施例は受光
部をうまく選んだ２つの異なる厚みの保護膜の部分にて
構成することにより、所望の波長域において、波打ちを
相殺した滑らかな分光感度特性を得るようにしたもので
ある。また異種の物質を堆積して、波打ちを相殺する場
合は（例えば窒化シリコン上への酸化シリコンの堆積な
ど）波打ち振幅が異種物質の屈折率に依存するので、受
光部上の堆積域面積の考慮を行う（第２図）。
面を示すものである。第１図において、１は表面保護
膜、２は光検知するための不純物拡散領域、３は基板で
ある。１の表面保護膜は（例えば窒化シリコンまたは酸
化シリコンなど）光検知域の丁度中央部にて段差を持っ
ている。この段差は局部エッチング又は局部堆積なるプ
ロセスにて実現できる。一般に分光感度特性の波打ち
は、ｎｐを保護膜屈折率、ｈを保護膜厚としたとき、特
定のλなる波長付近において なる周期にて生じる。これは分光感度特性を表わす数式
中に なる項が含まれている為である。従って本実施例は受光
部をうまく選んだ２つの異なる厚みの保護膜の部分にて
構成することにより、所望の波長域において、波打ちを
相殺した滑らかな分光感度特性を得るようにしたもので
ある。また異種の物質を堆積して、波打ちを相殺する場
合は（例えば窒化シリコン上への酸化シリコンの堆積な
ど）波打ち振幅が異種物質の屈折率に依存するので、受
光部上の堆積域面積の考慮を行う（第２図）。
第２図において４は分光感度特性の波打ちを緩和するた
めに堆積した１に示す表面保護膜とは異種の物質からな
る層を示す。第３図は、第１図や第２図に示したような
構成をとらない場合の受光素子の断面を、第４図は第３
図に示す受光素子の分光感度特性を示す。
めに堆積した１に示す表面保護膜とは異種の物質からな
る層を示す。第３図は、第１図や第２図に示したような
構成をとらない場合の受光素子の断面を、第４図は第３
図に示す受光素子の分光感度特性を示す。
第５図には第１図をはじめとする多重干渉効果の緩和を
図った受光素子の分光感度特性例を示す。
図った受光素子の分光感度特性例を示す。
第６図には段階状でなく連続的に保護膜厚を変化させた
第７図に示す構成からなる場合の分光感度特性を示し、
やはり分光感度特性の波打ちの緩和効果を示す。
第７図に示す構成からなる場合の分光感度特性を示し、
やはり分光感度特性の波打ちの緩和効果を示す。
発明の効果 以上述べてきたように、本発明によれば、比較的に簡便
なる最外層膜への加工によって、所望の波長域において
滑らかな分光感度特性を得る事ができ、実用的な効果が
大である。
なる最外層膜への加工によって、所望の波長域において
滑らかな分光感度特性を得る事ができ、実用的な効果が
大である。
第１図は本発明の一実施例の受光素子断面図、第２図は
本発明の他の実施例の受光素子の断面図、第３図は従来
の厚みが均一の保護膜で形成された受光素子の断面図、
第４図は第３図のような構成による受光素子の分光感度
特性を示す図、第５図は第１図のような構成による受光
素子の分光感度特性を示す図、第６図は表面保護膜を単
一受光素子上で滑らかに変化を与えた構成よりなる受光
素子の分光感度特性を示す図、第７図は第６図に示す分
光感度特性を示すところの受光素子の断面図である。 １……受光素子の表面保護膜、２……受光素子感応部、
３……受光素子基板、４……１に示す表面保護膜とは異
種の表面層。
本発明の他の実施例の受光素子の断面図、第３図は従来
の厚みが均一の保護膜で形成された受光素子の断面図、
第４図は第３図のような構成による受光素子の分光感度
特性を示す図、第５図は第１図のような構成による受光
素子の分光感度特性を示す図、第６図は表面保護膜を単
一受光素子上で滑らかに変化を与えた構成よりなる受光
素子の分光感度特性を示す図、第７図は第６図に示す分
光感度特性を示すところの受光素子の断面図である。 １……受光素子の表面保護膜、２……受光素子感応部、
３……受光素子基板、４……１に示す表面保護膜とは異
種の表面層。
Claims (2)
- 【請求項１】保護層も含めて屈折率の異なる物質による
多層構造からなる受光素子において、その表面層膜厚を
単一素子内において変化をさせる構成によって、光の多
重干渉による分光感度特性の波打ち現象を所望の波長域
において緩和することを特徴とする受光素子。 - 【請求項２】保護層も含めて屈折率の異なる物質による
多層構造からなる受光素子において、その表面層膜上に
更に複数の物質よりなる膜を受光素子の一部に堆積する
ことによって、光の多重干渉による分光感度特性の波打
ち現象を所望の波長域において緩和することを特徴とす
る受光素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60050025A JPH0671096B2 (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 受光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60050025A JPH0671096B2 (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 受光素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61208259A JPS61208259A (ja) | 1986-09-16 |
| JPH0671096B2 true JPH0671096B2 (ja) | 1994-09-07 |
Family
ID=12847457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60050025A Expired - Lifetime JPH0671096B2 (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 受光素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0671096B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5444270A (en) * | 1994-11-04 | 1995-08-22 | At&T Corp. | Surface-normal semiconductor optical cavity devices with antireflective layers |
| US6489642B1 (en) * | 2000-09-28 | 2002-12-03 | Eastman Kodak Company | Image sensor having improved spectral response uniformity |
| US6924472B2 (en) * | 2002-11-12 | 2005-08-02 | Eastman Kodak Company | Image sensor with improved optical response uniformity |
| JP5110060B2 (ja) * | 2009-09-16 | 2012-12-26 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法 |
| WO2018138851A1 (ja) * | 2017-01-26 | 2018-08-02 | 国立大学法人東北大学 | 固体光検出器 |
-
1985
- 1985-03-13 JP JP60050025A patent/JPH0671096B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61208259A (ja) | 1986-09-16 |
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