JPH06735A - 摺動体の案内支持装置 - Google Patents
摺動体の案内支持装置Info
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- JPH06735A JPH06735A JP18577192A JP18577192A JPH06735A JP H06735 A JPH06735 A JP H06735A JP 18577192 A JP18577192 A JP 18577192A JP 18577192 A JP18577192 A JP 18577192A JP H06735 A JPH06735 A JP H06735A
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- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract description 10
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、静圧軸受でガイド体に案内支持され
る摺動体の負荷重量の変化や外力に対して一定の摺動抵
抗を保持し、接触量の調整を容易にして希望通りの摺動
抵抗を設定可能とした摺動体の案内支持装置を提供す
る。 【構成】ガイド体１に設けられている上下、左右の案内
面２ａ〜２ｄに、この各案内面２ａ〜２ｄに対向するス
ライド面４ａ〜４ｄを有する摺動体３を静圧軸受によっ
て案内支持し、ガイド体１の案内面２ａ〜２ｄ又は摺動
体３のスライド面４ａ〜４ｄの何れか一方の面に微細な
凹凸面１０を形成し、前記上下、左右の軸受ポケット５
ａ〜５ｄに供給する圧力をそれぞれ独立に調整可能とし
た圧力供給手段９とを備えたことを特徴とする。
る摺動体の負荷重量の変化や外力に対して一定の摺動抵
抗を保持し、接触量の調整を容易にして希望通りの摺動
抵抗を設定可能とした摺動体の案内支持装置を提供す
る。 【構成】ガイド体１に設けられている上下、左右の案内
面２ａ〜２ｄに、この各案内面２ａ〜２ｄに対向するス
ライド面４ａ〜４ｄを有する摺動体３を静圧軸受によっ
て案内支持し、ガイド体１の案内面２ａ〜２ｄ又は摺動
体３のスライド面４ａ〜４ｄの何れか一方の面に微細な
凹凸面１０を形成し、前記上下、左右の軸受ポケット５
ａ〜５ｄに供給する圧力をそれぞれ独立に調整可能とし
た圧力供給手段９とを備えたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、工作機械のスライドテ
ーブル等に用いられる摺動体の案内支持装置に関するも
のである。
ーブル等に用いられる摺動体の案内支持装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】工作機械において、ベッド（ガイド体）
に直線運動可能に案内支持したスライドテーブル（摺動
体）は、図６で示すように、上案内面２ａ、下案内面２
ｂ、左案内面２ｃ、右案内面２ｄを有するガイド体１
と、前記各案内面２ａ〜２ｄに対向する上スライド面４
ａ、下スライド面４ｂ、左スライド面４ｃ、右スライド
面４ｄを有し、この各スライド面４ａ〜４ｄに設けた静
圧軸受の軸受ポケット５ａ〜５ｄによる静圧案内面で前
記ガイド体１に完全に非接触で案内する構造（公知例
１）のものと、図７で示すように、ガイド体１の左右上
面に凹凸面６を形成し、この凹凸面６に摺動体３の左右
下面７を接触支持させ、前記摺動体３の左右下面７に静
圧軸受８を設けた構造（公知例２）のものが用いられて
いる。
に直線運動可能に案内支持したスライドテーブル（摺動
体）は、図６で示すように、上案内面２ａ、下案内面２
ｂ、左案内面２ｃ、右案内面２ｄを有するガイド体１
と、前記各案内面２ａ〜２ｄに対向する上スライド面４
ａ、下スライド面４ｂ、左スライド面４ｃ、右スライド
面４ｄを有し、この各スライド面４ａ〜４ｄに設けた静
圧軸受の軸受ポケット５ａ〜５ｄによる静圧案内面で前
記ガイド体１に完全に非接触で案内する構造（公知例
１）のものと、図７で示すように、ガイド体１の左右上
面に凹凸面６を形成し、この凹凸面６に摺動体３の左右
下面７を接触支持させ、前記摺動体３の左右下面７に静
圧軸受８を設けた構造（公知例２）のものが用いられて
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記公知例１の構造の
ものは、ガイド体１と摺動体３とは各静圧軸受の軸受ポ
ケット５ａ〜５ｄによる静圧案内面で完全に非接触の案
内であるため、摺動体３の送り方向に作用する外力が大
きい場合や断続的に外力が作用する場合は摺動体３が送
り方向に振動することがある。
ものは、ガイド体１と摺動体３とは各静圧軸受の軸受ポ
ケット５ａ〜５ｄによる静圧案内面で完全に非接触の案
内であるため、摺動体３の送り方向に作用する外力が大
きい場合や断続的に外力が作用する場合は摺動体３が送
り方向に振動することがある。
【０００４】上記公知例２の構造のものは、スライド重
量の一部を接触によって支持し、残りを静圧軸受８によ
って支持する半浮上の静圧案内であり、減衰効果を付与
するため上記公知例１の問題点を解消している。
量の一部を接触によって支持し、残りを静圧軸受８によ
って支持する半浮上の静圧案内であり、減衰効果を付与
するため上記公知例１の問題点を解消している。
【０００５】しかしながら、摺動体３上の負荷重量が変
化したり、外力が加わった時に、接触量が変化し、摺動
抵抗が変化してしまう。剛性を上げるために、静圧軸受
８の供給圧力を上げると浮いてしまい、摺動抵抗が減少
する。また、摺動体３の偏重心に対して、軽い負荷重量
側の案内面が浮き上がってしまい、圧力調整ができな
い。従って、前記接触量の調整が非常に困難である。
化したり、外力が加わった時に、接触量が変化し、摺動
抵抗が変化してしまう。剛性を上げるために、静圧軸受
８の供給圧力を上げると浮いてしまい、摺動抵抗が減少
する。また、摺動体３の偏重心に対して、軽い負荷重量
側の案内面が浮き上がってしまい、圧力調整ができな
い。従って、前記接触量の調整が非常に困難である。
【０００６】本発明の目的は、負荷重量の変化や外力に
対して一定の摺動抵抗を保持し、接触量の調整を容易に
して希望通りの摺動抵抗を設定可能とした摺動体の案内
支持装置を提供することである。
対して一定の摺動抵抗を保持し、接触量の調整を容易に
して希望通りの摺動抵抗を設定可能とした摺動体の案内
支持装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明の特徴とする構成は、上下、左右に案内面を
有するガイド体と、前記各案内面に対向するスライド面
を有し静圧軸受によって前記ガイド体の案内面に案内支
持される摺動体と、前記ガイド体の案内面又は前記摺動
体のスライド面の何れか一方の面に形成した微細な凹凸
面と、前記上下、左右の静圧軸受に供給する圧力をそれ
ぞれ独立に調整可能とした圧力供給手段とを備えたもの
である。
めの本発明の特徴とする構成は、上下、左右に案内面を
有するガイド体と、前記各案内面に対向するスライド面
を有し静圧軸受によって前記ガイド体の案内面に案内支
持される摺動体と、前記ガイド体の案内面又は前記摺動
体のスライド面の何れか一方の面に形成した微細な凹凸
面と、前記上下、左右の静圧軸受に供給する圧力をそれ
ぞれ独立に調整可能とした圧力供給手段とを備えたもの
である。
【０００８】
【作用】上記の構成により、上下、左右の案内面と対向
した各スライド面の静圧軸受に供給する圧力を調整し
て、全面非接触の半浮上バランス状態での案内や、片面
を半浮上し、もう片面を凹凸面に接触させ、その接触量
の調整により摺動抵抗を設定した案内を可能とし、ま
た、前記全面非接触の半浮上バランス状態で供給圧力を
上げて剛性のアップや、摺動体の偏重心に対してバラン
ス調整を可能とするものである。
した各スライド面の静圧軸受に供給する圧力を調整し
て、全面非接触の半浮上バランス状態での案内や、片面
を半浮上し、もう片面を凹凸面に接触させ、その接触量
の調整により摺動抵抗を設定した案内を可能とし、ま
た、前記全面非接触の半浮上バランス状態で供給圧力を
上げて剛性のアップや、摺動体の偏重心に対してバラン
ス調整を可能とするものである。
【０００９】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。図１において、１はガイド体であり、上案内面２
ａ、下案内面２ｂ、左案内面２ｃ、右案内面２ｄを有し
ている。３は前記ガイド体１に直線運動可能に案内支持
された摺動体であり、前記上案内面２ａ、下案内面２
ｂ、左案内面２ｃ、右案内面２ｄに対向する上スライド
面４ａ、下スライド面４ｂ、左スライド面４ｃ、右スラ
イド面４ｄを有している。この各スライド面４ａ〜４ｄ
には摺動体３の移動方向に複数に分割した静圧軸受の軸
受ポケット５ａ〜５ｄが設けられている。
る。図１において、１はガイド体であり、上案内面２
ａ、下案内面２ｂ、左案内面２ｃ、右案内面２ｄを有し
ている。３は前記ガイド体１に直線運動可能に案内支持
された摺動体であり、前記上案内面２ａ、下案内面２
ｂ、左案内面２ｃ、右案内面２ｄに対向する上スライド
面４ａ、下スライド面４ｂ、左スライド面４ｃ、右スラ
イド面４ｄを有している。この各スライド面４ａ〜４ｄ
には摺動体３の移動方向に複数に分割した静圧軸受の軸
受ポケット５ａ〜５ｄが設けられている。
【００１０】前記軸受ポケット５ａ〜５ｄに供給する圧
力をそれぞれ独立に調整可能とした圧力供給手段９を備
えている。この圧力供給手段９は図１及び図２で示すよ
うに、油圧ポンプ１１から吐出する圧力を一定圧に制御
するレリーフ弁１３と、このレリーフ弁１３で一定圧に
制御した圧力を手動によって調整して前記各静圧軸受５
ａ〜５ｄの各ポケットに供給する減圧弁１２とから構成
されている。
力をそれぞれ独立に調整可能とした圧力供給手段９を備
えている。この圧力供給手段９は図１及び図２で示すよ
うに、油圧ポンプ１１から吐出する圧力を一定圧に制御
するレリーフ弁１３と、このレリーフ弁１３で一定圧に
制御した圧力を手動によって調整して前記各静圧軸受５
ａ〜５ｄの各ポケットに供給する減圧弁１２とから構成
されている。
【００１１】さらに、図１で示すように。ガイド体１の
下案内面２ｂには微細な凹凸面１０が形成されている。
この凹凸面１０は図例ではガイド体１の下案内面２ｂに
形成されているが、上案内面２ａ、左案内面２ｃ、右案
内面２ｄの何れかに形成してもよいし、上案内面２ａ、
下案内面２ｂ、左案内面２ｃ、右案内面２ｄの全面に形
成してもよい。
下案内面２ｂには微細な凹凸面１０が形成されている。
この凹凸面１０は図例ではガイド体１の下案内面２ｂに
形成されているが、上案内面２ａ、左案内面２ｃ、右案
内面２ｄの何れかに形成してもよいし、上案内面２ａ、
下案内面２ｂ、左案内面２ｃ、右案内面２ｄの全面に形
成してもよい。
【００１２】また、前記凹凸面１０は、図５の（イ）で
示すように、ガイド体１の右案内面２ｄ（又は左案内面
２ｃ）、図５の（ロ）で示すように、ガイド体１の上案
内面２ａ（又は下案内面２ｂ）、図５の（ハ）で示すよ
うに、上案内面２ａ、下案内面２ｂ、左案内面２ｃ、右
案内面２ｄの全面に形成してもよい。さらに、摺動体３
の上スライド面４ａ、下スライド面４ｂ、左スライド面
４ｃ、右スライド面４ｄのいずれか、又は全面に凹凸面
１０を形成しても良い。
示すように、ガイド体１の右案内面２ｄ（又は左案内面
２ｃ）、図５の（ロ）で示すように、ガイド体１の上案
内面２ａ（又は下案内面２ｂ）、図５の（ハ）で示すよ
うに、上案内面２ａ、下案内面２ｂ、左案内面２ｃ、右
案内面２ｄの全面に形成してもよい。さらに、摺動体３
の上スライド面４ａ、下スライド面４ｂ、左スライド面
４ｃ、右スライド面４ｄのいずれか、又は全面に凹凸面
１０を形成しても良い。
【００１３】前記凹凸面１０は図３のＡ−Ａ方向並びに
Ｂ−Ｂ方向の何れにおいても同一の凹凸断面形状であ
り、図４（イ）で示すように、きさげ加工の波形状の凹
凸、図４（ロ）で示すように、エッチングの角形状の凹
凸である。
Ｂ−Ｂ方向の何れにおいても同一の凹凸断面形状であ
り、図４（イ）で示すように、きさげ加工の波形状の凹
凸、図４（ロ）で示すように、エッチングの角形状の凹
凸である。
【００１４】本発明は上記の通りの構造であるから、摺
動体３は案内面をガイド体１の凹凸面１０に接触させる
ことにより摺動抵抗が付与される。また、静圧軸受の軸
受ポケット５ａ〜５ｄには圧力供給手段９によってそれ
ぞれ独立に調整して圧力が供給可能である。
動体３は案内面をガイド体１の凹凸面１０に接触させる
ことにより摺動抵抗が付与される。また、静圧軸受の軸
受ポケット５ａ〜５ｄには圧力供給手段９によってそれ
ぞれ独立に調整して圧力が供給可能である。
【００１５】従って、摺動体３の上スライド面４ａ又は
下スライド面４ｂの片面を接触案内し、もう片面を半浮
上の静圧案内とすることができ、また、両面とも半浮上
の静圧案内とすることができる。
下スライド面４ｂの片面を接触案内し、もう片面を半浮
上の静圧案内とすることができ、また、両面とも半浮上
の静圧案内とすることができる。
【００１６】さらに、上スライド面４ａ及び下スライド
面４ｂの両面の軸受ポケット５ａ、５ｂに供給される圧
力を加減調整して接触量を調整し、凹凸面１０による摺
動抵抗の加減設定することができる。
面４ｂの両面の軸受ポケット５ａ、５ｂに供給される圧
力を加減調整して接触量を調整し、凹凸面１０による摺
動抵抗の加減設定することができる。
【００１７】また、上スライド面４ａ及び下スライド面
４ｂをバランスさせた状態で、両面の軸受ポケット５
ａ、５ｂに供給される圧力を上げることにより剛性を大
きくすることが可能であり、偏重心により浮き上がる上
スライド面４ａを下向きの面圧を高めることによりバラ
ンス調整することが可能である。
４ｂをバランスさせた状態で、両面の軸受ポケット５
ａ、５ｂに供給される圧力を上げることにより剛性を大
きくすることが可能であり、偏重心により浮き上がる上
スライド面４ａを下向きの面圧を高めることによりバラ
ンス調整することが可能である。
【００１８】上記は摺動体３の上スライド面４ａ及び下
スライド面４ｂの案内支持調整であるが、左スライド面
４ｃ及び右スライド面４ｄについても同様に案内支持調
整が可能である。さらに、上述した実施例は、図２に示
すように送り方向に複数設けた軸受ポケット５ａ〜５ｄ
に対し、１つの圧力供給手段９によって調整された圧油
を供給する例について述べたが、送り方向に複数設けた
軸受ポケット５ａ〜５ｄ毎に圧力供給手段９を設け、個
々に調整された圧油を各軸受ポケット５ａ〜５ｄに供給
しても良い。このようにすれば、摺動体３の送り方向の
重量アンバランスを補正することができる。
スライド面４ｂの案内支持調整であるが、左スライド面
４ｃ及び右スライド面４ｄについても同様に案内支持調
整が可能である。さらに、上述した実施例は、図２に示
すように送り方向に複数設けた軸受ポケット５ａ〜５ｄ
に対し、１つの圧力供給手段９によって調整された圧油
を供給する例について述べたが、送り方向に複数設けた
軸受ポケット５ａ〜５ｄ毎に圧力供給手段９を設け、個
々に調整された圧油を各軸受ポケット５ａ〜５ｄに供給
しても良い。このようにすれば、摺動体３の送り方向の
重量アンバランスを補正することができる。
【００１９】
【発明の効果】以上のように本発明は、ガイド体に設け
られている上下、左右の案内面に、この各案内面に対向
するスライド面を有する摺動体を静圧軸受によって案内
支持し、前記ガイド体の案内面又は前記摺動体のスライ
ド面の何れか一方の面に形成した微細な凹凸面と、前記
上下、左右の静圧軸受に供給する圧力をそれぞれ独立に
調整可能とした圧力供給手段とを備えた構成であるか
ら、摺動体の案内支持剛性が向上し、摺動体の負荷重量
の変化や外力に対して摺動抵抗が変化せず、一定の摺動
抵抗値で案内支持する。また、接触量の調整が容易であ
り、摺動抵抗を希望通りの値に設定することが可能とな
り、スライドの偏重心に対してバランスの取れた状態を
保持させることができる。
られている上下、左右の案内面に、この各案内面に対向
するスライド面を有する摺動体を静圧軸受によって案内
支持し、前記ガイド体の案内面又は前記摺動体のスライ
ド面の何れか一方の面に形成した微細な凹凸面と、前記
上下、左右の静圧軸受に供給する圧力をそれぞれ独立に
調整可能とした圧力供給手段とを備えた構成であるか
ら、摺動体の案内支持剛性が向上し、摺動体の負荷重量
の変化や外力に対して摺動抵抗が変化せず、一定の摺動
抵抗値で案内支持する。また、接触量の調整が容易であ
り、摺動抵抗を希望通りの値に設定することが可能とな
り、スライドの偏重心に対してバランスの取れた状態を
保持させることができる。
【図１】本発明装置の断面図
【図２】本発明装置の要部断面図
【図３】凹凸面の平面図
【図４】図３のＡ−Ａ及びＢ−Ｂ断面図
【図５】凹凸面形成位置の各種の例を示す説明図
【図６】従来の非接触案内支持構造の断面図
【図７】従来の接触案内支持構造の断面図
１ ガイド体 ２ａ 上案内面 ２ｂ 下案内面 ２ｃ 左案内面 ２ｄ 右案内面 ３ 摺動体 ４ａ 上スライド面 ４ｂ 下スライド面 ４ｃ 左スライド面 ４ｄ 右スライド面 ５ａ 軸受ポケット ５ｂ 軸受ポケット ５ｃ 軸受ポケット ５ｄ 軸受ポケット ９ 圧力調整手段 １０ 凹凸面 １１ 油圧ポンプ １２ 減圧弁 １３ レリーフ弁
Claims (1)
- 【請求項１】 上下、左右に案内面を有するガイド体
と、前記各案内面に対向するスライド面を有し静圧軸受
によって前記ガイド体の案内面に案内支持される摺動体
と、前記ガイド体の案内面又は前記摺動体のスライド面
の何れか一方の面に形成した微細な凹凸面と、前記上
下、左右の静圧軸受に供給する圧力をそれぞれ独立に調
整可能とした圧力供給手段とを備えたことを特徴とする
摺動体の案内支持装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18577192A JPH06735A (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | 摺動体の案内支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18577192A JPH06735A (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | 摺動体の案内支持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06735A true JPH06735A (ja) | 1994-01-11 |
Family
ID=16176604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18577192A Pending JPH06735A (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | 摺動体の案内支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06735A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0932855A (ja) * | 1995-07-19 | 1997-02-04 | Toshiba Mach Co Ltd | 静圧軸受の油圧装置 |
| US7101080B2 (en) | 2004-01-06 | 2006-09-05 | Okamoto Machine Tool Works Ltd. | Hydrostatic pressure linear guide device |
| JP2009108888A (ja) * | 2007-10-26 | 2009-05-21 | Jtekt Corp | スライド式半浮上案内装置 |
| CN102856491A (zh) * | 2011-06-29 | 2013-01-02 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 形成底部电极和相变电阻的方法 |
| EP2740952A2 (en) | 2012-12-04 | 2014-06-11 | Jtekt Corporation | Hydrostatic guide device and machine tool using the hydrostatic guide device |
| KR20160049754A (ko) * | 2014-10-28 | 2016-05-10 | 현대위아 주식회사 | 공작기계의 이송 시스템용 유정압 직선 베어링 |
| CN106438702A (zh) * | 2016-11-22 | 2017-02-22 | 江苏工大金凯高端装备制造有限公司 | 一种空气静压气浮轴承 |
-
1992
- 1992-06-22 JP JP18577192A patent/JPH06735A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0932855A (ja) * | 1995-07-19 | 1997-02-04 | Toshiba Mach Co Ltd | 静圧軸受の油圧装置 |
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