JPH0673603B2 - 純水または超純水中の溶存酸素の除去方法 - Google Patents

純水または超純水中の溶存酸素の除去方法

Info

Publication number
JPH0673603B2
JPH0673603B2 JP2321854A JP32185490A JPH0673603B2 JP H0673603 B2 JPH0673603 B2 JP H0673603B2 JP 2321854 A JP2321854 A JP 2321854A JP 32185490 A JP32185490 A JP 32185490A JP H0673603 B2 JPH0673603 B2 JP H0673603B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pure water
water
dissolved oxygen
vacuum
flow rate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2321854A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH04190803A (ja
Inventor
雅彦 木暮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nomura Micro Science Co Ltd
Original Assignee
Nomura Micro Science Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nomura Micro Science Co Ltd filed Critical Nomura Micro Science Co Ltd
Priority to JP2321854A priority Critical patent/JPH0673603B2/ja
Priority to EP91310804A priority patent/EP0492801B1/en
Priority to DE69102053T priority patent/DE69102053T2/de
Priority to AT91310804T priority patent/ATE105725T1/de
Priority to US07/798,157 priority patent/US5180403A/en
Publication of JPH04190803A publication Critical patent/JPH04190803A/ja
Publication of JPH0673603B2 publication Critical patent/JPH0673603B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/20—Treatment of water, waste water, or sewage by degassing, i.e. liberation of dissolved gases
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D19/00—Degasification of liquids
    • B01D19/0005—Degasification of liquids with one or more auxiliary substances
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D19/00—Degasification of liquids
    • B01D19/0042—Degasification of liquids modifying the liquid flow
    • B01D19/0047—Atomizing, spraying, trickling

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Hydrology & Water Resources (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Water Supply & Treatment (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Water Treatments (AREA)
  • Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
  • Blow-Moulding Or Thermoforming Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Pharmaceuticals Containing Other Organic And Inorganic Compounds (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 純水・超純水プラントにおける純水または超純水中の溶
存酸素の除去方法に関するものである。
（従来の技術） 純水、超純水プラントにおいて水中の溶存酸素を低下さ
せることは、配管材、熱交換器、ボイラーの腐食防止、
イオン交換樹脂の酸化劣化防止などの面から非常に重要
である。また、近年、LSIや超LSIを生産する電子工業分
野において、半導体ウエハー上の酸化膜形成防止のた
め、水中の溶存酸素を10ppb以下、好ましくは5ppb以下
にする必要がある。
このため従来より、かかる溶存酸素低下方法として、真
空脱気法、窒素ガス曝気法、疎水性膜中に水を通し膜の
外側を真空にすることにより水中の溶存ガスを除去する
膜脱気法、触媒上で溶存酸素と還元剤を反応させ、酸素
を水に変えて除去する触媒脱気法などが提案されてい
る。
このうち、膜脱気法は特殊な巻くを使用するためコスト
が高く、触媒脱気法も触媒に高価なパラジウムを使用す
るためさらにコスト高となり経済性の点で問題がある。
また窒素ガス曝気法では処理水が窒素で飽和状態になる
ため後にこの窒素が気泡となって発生する問題がある。
さらに、加熱脱気法は、脱気加熱器の取扱いが困難な上
に外部からの汚染（コンタミ）の危険性が高いという問
題がある。
これに対して真空脱気法は、脱気塔内の圧力を所定の水
温における飽和蒸気圧以下の真空度に保ちながら、その
中につめた充填材の上から水を噴霧落下させることによ
り溶存ガスを除去する方法であり、経済的でコンタミの
危険性も少ないという利点がある。
しかしながら、この方法は到達溶存酸素濃度の限界が数
十ppbとやや高く脱気能の点で問題があった。
（発明が解決しようとする課題） このように従来公知の方法では、純水または超純水の溶
存酸素を要求されている5ppb以下という低濃度まで、安
いランニングコストで、汚染と等の問題を生じることな
く、高い生産能力を維持しつつ低減させることは困難で
あった。
本発明は、このような事情に対処してなされたもので、
安いランニングコストで、汚染等の問題を生じることな
く、高い生産能力で溶存酸素濃度5ppb以下にまで低減さ
せることのできる溶存酸素の除去方法を提供することを
目的とする。
（課題を解決するための手段） かかる目的を達成する、本発明の溶存酸素の除去方法
は、純水または超純水の製造プラントにおいて、真空脱
気により被処理水中の溶存酸素を除去する方法におい
て、被処理水を真空脱気塔内に噴霧落下させるととも
に、該真空脱気塔内に不活性ガスを前記被処理水の供給
体積流量１に対し0.001〜0.5の体積流量で連続的に流入
させ、溶存酸素が5ppb以下の純水または超純水を得るこ
とを特徴としている。
以下、本発明を図面を用いて説明する。
この真空脱気塔は、詳細は省略するが、気液平衡が達成
されるよう、通常のガス吸収理論に基づいて設計されて
おり、真空脱気塔本体１と、その下方に配置された処理
液貯留部２から主体部分が構成されている。
真空脱気塔本体１内にはラシヒリングなどの充填材３が
所定の高さに充填されており、その上方、真空脱気塔本
体１の上部には真空脱気塔本体１内を真空引きするため
の真空装置、例えば真空ポンプ４に接続された脱気用配
管５が開口している。またこの開口の近傍には、処理し
ようとする原液を供給する給液管６に接続されたスプレ
ーノズルなどの散液装置７が、原液が下方、すなわち充
填材３に向けて噴霧されるように配設されている。他
方、充填材３の下方にはガスや液は自由に通過可能な仕
切り板６を介して空間部８が設けられており、噴霧され
た充填材３を通って落下する間に処理された原液は、こ
の空間部１を通って処理液貯留部２に落下し、さらに処
理液貯留部２底部に開口する移送ポンプ９が挿入された
処理液晶パネル移送管10を通って後段へ送りだされるよ
うになっている。
そして、この装置では、さらに、真空脱気塔本体１内へ
窒素ガスなどの不活性ガスを流入するための不活性ガス
供給管11が空間部８に開口している。
したがって、本発明においては、まず、真空脱気塔本体
１内を真空ポンプ４により真空引きして例えば10〜40To
rr程度の真空度に到達させた後、この真空度が保たれる
ように真空引きを継続したまま、不活性ガス供給管11よ
り不活性ガスの流入を開始し、散液装置７より原液を噴
霧する。ここで、不活性ガスの流量がその体積流量が原
液の体積流量１に対し0.001〜0.5の範囲とする。その理
由は、0.001未満では脱気能向上効果が十分得られず、
0.5を越えると不活性ガスの水中へ溶存量が増大するよ
うになるからである。
好ましくは、0.01〜0.5の範囲で、さらに、好ましくは
0.03〜0.08の範囲である。
このような四ぜょ受けんで噴霧された原液は、真空脱気
本体１内を落下する間にその中に存在していた酸素が脱
気されて処理液貯留部２に落ち、次いで処理液移送管10
を通じて後段へ送り出される。
この方法では、真空脱気塔本体１の下部より不活性ガス
が所定の流量で流入される一方、真空脱気塔本体１内は
頂部から真空引きをそされているため、原液内の溶存ガ
スが不活性ガスを除いて高率で脱気されることになる。
なお、本発明において、供給する原液の液温は、ガスの
溶解度が温度が高ければ高いほど低下することを考慮す
ると高い方が望ましいが、純水・超純水プラントなどの
通常の使用水温である５〜30℃程度の温度であっても、
なんら差し支えなく、本発明による効果が十分得られ
る。
また、本発明方法による脱気の対象となるガスは、水中
の溶存酸素のみならず、炭酸ガスなど使用不活性ガスを
除くあらゆるガスの脱気に広く用いることができる。
（作用） 本発明の方法においては、脱気塔の上部より真空引きし
つつ、下部より不活性ガスを所定の流量で連続的に流入
させることにより、塔内を単に真空にしただけの方法に
比べて、より高率で原液中の溶存酸素を脱気させること
ができる。
（実施例） 次ぎに本発明の実施例を説明する。
実施例１ 第１図に示した真空脱気塔（充填材ラシヒリング充填層
高4.1m、断面積0.05m2）の本体１内を25Torr程度の真空
度に保ちつつ、その下部より窒素ガスを流量0.1m3/hrで
流入させるとともに、上部の散液装置７より25℃の原水
（溶存酸素濃度8ppm、溶存炭酸ガス濃度8ppm）を流量３
m3/hrで噴霧落下させて脱気処理を行った。
処理後の水の溶存酸素濃度及び溶存炭酸ガス濃度は、そ
れぞれ5ppb及び4.0ppmであった。
実施例２ 窒素ガスに変えてアルゴンガスを流量0.2m3/hrで流入さ
せた点を除いて、実施例１の場合と同様にして同じ25℃
の原水の脱気処理を行った。
比較例 比較のために、窒素ガスやアルゴンガスを流入させず
に、上記実施例の場合と同様に処理した水は溶存酸素濃
度20ppb、溶存炭酸ガス濃度が6.5ppmであった。
以上の実施例及び比較例の結果を処理条件とともに、次
表にまとめて示す。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明方法によれば、真空脱気塔
内への所定量の不活性ガスの流入により、単に搭内を真
空保持しただけの従来の方法に比べて脱気能が著しく向
上し、その濃度5ppb以下にまで低減させることができ
る。
しかも、本発明方法は、非常に簡単で、既存の設備をわ
ずかに改良するだけで実施例可能であり、コスト高とな
ることもない。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施に用いられる真空脱気塔の一例を
概略的に示す図である。 １……真空脱気塔 ２……処理液貯留部 ４……真空ポンプ ５……脱気用配管 ７……散液装置 11……不活性ガス供給管

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】純水または超純水の製造プラントにおい
    て、真空脱気により被処理水中の溶存酸素を除去する方
    法において、 被処理水を真空脱気塔内に噴霧落下させるとともに、該
    真空脱気塔内に不活性ガスを前記被処理水の供給体積流
    量１に対し0.001〜0.5の体積流量で連続的に流入させ、
    溶存酸素が5ppb以下の純水または超純水を得ることを特
    徴とする純水または超純水中の溶存酸素の除去方法。
JP2321854A 1990-11-26 1990-11-26 純水または超純水中の溶存酸素の除去方法 Expired - Fee Related JPH0673603B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2321854A JPH0673603B2 (ja) 1990-11-26 1990-11-26 純水または超純水中の溶存酸素の除去方法
EP91310804A EP0492801B1 (en) 1990-11-26 1991-11-25 Method for vacuum deaeration
DE69102053T DE69102053T2 (de) 1990-11-26 1991-11-25 Verfahren zur Vakuumentlüftung.
AT91310804T ATE105725T1 (de) 1990-11-26 1991-11-25 Verfahren zur vakuumentlüftung.
US07/798,157 US5180403A (en) 1990-11-26 1991-11-26 Method for vacuum deaeration

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2321854A JPH0673603B2 (ja) 1990-11-26 1990-11-26 純水または超純水中の溶存酸素の除去方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04190803A JPH04190803A (ja) 1992-07-09
JPH0673603B2 true JPH0673603B2 (ja) 1994-09-21

Family

ID=18137164

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2321854A Expired - Fee Related JPH0673603B2 (ja) 1990-11-26 1990-11-26 純水または超純水中の溶存酸素の除去方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5180403A (ja)
EP (1) EP0492801B1 (ja)
JP (1) JPH0673603B2 (ja)
AT (1) ATE105725T1 (ja)
DE (1) DE69102053T2 (ja)

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3235621B2 (ja) * 1991-07-02 2001-12-04 忠弘 大見 純水供給システム及び洗浄方法
US5376282A (en) * 1993-06-18 1994-12-27 Ohio University Method and apparatus for controlling zebra mussels in water conduits
US5573662A (en) * 1993-09-13 1996-11-12 Nomura Micro Science Co., Ltd. Apparatus for treatment of low-concentration organic waste water
DE4427013A1 (de) * 1994-07-29 1996-02-01 Loctite Europa Eeig Verfahren und Vorrichtung zum Entfernen von Gasblasen aus einer auszugebenden viskosen Flüssigkeit
US6075174A (en) * 1995-05-08 2000-06-13 Bp Amoco Corporation BF3 removal from BF3 catalyzed olefin oligomer
US5811616A (en) * 1995-06-13 1998-09-22 Amoco Corporation BF3 gas recovery process
US5705727A (en) * 1995-06-13 1998-01-06 Amoco Corporation BF3 recovery process
NL1000631C2 (en) * 1995-06-22 1996-12-24 Tno Purificn. of water contg. volatile organic cpds.
JP3742451B2 (ja) * 1996-01-17 2006-02-01 昌之 都田 洗浄方法
US5932112A (en) 1996-11-27 1999-08-03 Browning Transport Management, Inc. Method and apparatus for killing microorganisms in ship ballast water
DK0933109T3 (da) * 1998-01-28 2004-07-12 Reflex Winkelmann Gmbh & Co Kg Indretning til afgasning af flydende medier
RU2142418C1 (ru) * 1999-03-23 1999-12-10 Ульяновский государственный технический университет Способ термической деаэрации воды
RU2165782C1 (ru) * 1999-09-10 2001-04-27 Ульяновский государственный технический университет Способ дегазации воды
FR2798771B1 (fr) * 1999-09-17 2008-03-07 Jean Pronost Dispositif visant a reduire les gaz radioactifs ou nocifs dans l'eau
US20020162805A1 (en) * 2001-02-27 2002-11-07 Shenoi Noel A. Removing contaminants from groundwater
RU2197431C1 (ru) * 2002-01-08 2003-01-27 Ульяновский государственный технический университет Способ вакуумной деаэрации воды
US6811592B2 (en) * 2002-03-01 2004-11-02 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Thin film in-line degasser
US6821442B1 (en) * 2002-08-12 2004-11-23 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Department Of The Interior Method and apparatus for control of aquatic vertebrate and invertebrate invasive species
US7717982B2 (en) * 2003-02-26 2010-05-18 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Thin film in-line degasser
US6939392B2 (en) 2003-04-04 2005-09-06 United Technologies Corporation System and method for thermal management
CN101115553B (zh) * 2004-12-07 2011-11-16 华美化学有限公司 锅炉进水脱气器方法和设备
DE102005023549A1 (de) * 2005-05-21 2006-11-23 Oxeno Olefinchemie Gmbh Verfahren zur Oligomerisierung von Butenen
DE102007049475A1 (de) 2007-10-16 2009-04-23 Institut für Luft- und Kältetechnik gemeinnützige Gesellschaft mbH Verfahren und Anordnung zum Entgasen und Entkeimen von Kühl- und Heizwasser
CN101863547B (zh) * 2009-04-15 2012-08-08 中国石油天然气股份有限公司 一种去离子水连续除氧的方法
EP3165245B1 (en) 2011-08-02 2019-02-20 Medtronic, Inc. Hemodialysis system having a flow path with a controlled compliant volume
US10857277B2 (en) 2011-08-16 2020-12-08 Medtronic, Inc. Modular hemodialysis system
EP2794053B1 (en) * 2011-12-21 2016-09-28 Tetra Laval Holdings & Finance SA Deaerator and method for deaeration
US10543052B2 (en) 2013-02-01 2020-01-28 Medtronic, Inc. Portable dialysis cabinet
US9623164B2 (en) 2013-02-01 2017-04-18 Medtronic, Inc. Systems and methods for multifunctional volumetric fluid control
US10010663B2 (en) 2013-02-01 2018-07-03 Medtronic, Inc. Fluid circuit for delivery of renal replacement therapies
US10850016B2 (en) 2013-02-01 2020-12-01 Medtronic, Inc. Modular fluid therapy system having jumpered flow paths and systems and methods for cleaning and disinfection
US10874787B2 (en) * 2014-12-10 2020-12-29 Medtronic, Inc. Degassing system for dialysis
US9713665B2 (en) * 2014-12-10 2017-07-25 Medtronic, Inc. Degassing system for dialysis
US10098993B2 (en) 2014-12-10 2018-10-16 Medtronic, Inc. Sensing and storage system for fluid balance
US9895479B2 (en) 2014-12-10 2018-02-20 Medtronic, Inc. Water management system for use in dialysis
US11278654B2 (en) 2017-12-07 2022-03-22 Medtronic, Inc. Pneumatic manifold for a dialysis system
CN110090326A (zh) * 2018-01-31 2019-08-06 美敦力公司 用于透析的脱气系统
US11033667B2 (en) 2018-02-02 2021-06-15 Medtronic, Inc. Sorbent manifold for a dialysis system
US11110215B2 (en) 2018-02-23 2021-09-07 Medtronic, Inc. Degasser and vent manifolds for dialysis
CN109179728A (zh) * 2018-11-05 2019-01-11 华电水务膜分离科技（天津）有限公司 一种用于燃气电厂除盐水扩容的脱氧气膜系统
CN111228861B (zh) * 2020-01-15 2022-03-11 萍乡市华星环保工程技术有限公司 真空碳酸钾脱硫设备
US12128165B2 (en) 2020-04-27 2024-10-29 Mozarc Medical Us Llc Dual stage degasser
NO348817B1 (en) * 2022-06-10 2025-06-10 Enerin As Vacuum catalytic feedwater treatment system

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3362132A (en) * 1965-01-21 1968-01-09 Phillips Petroleum Co Pressure responsive method for deaerating water
US3898058A (en) * 1973-04-12 1975-08-05 H T Management Company Vacuum stripping of hydrocarbon contaminated water streams
US3946534A (en) * 1975-01-16 1976-03-30 Commercial Solvents Corporation Process of blanketing with inert gas
US4017276A (en) * 1976-06-22 1977-04-12 The Lummus Company Deoxygenation of water
US4136747A (en) * 1976-12-17 1979-01-30 Loffland Brothers Company Method and means for reduction of oxygen content in drilling fluid
US4259360A (en) * 1979-04-16 1981-03-31 Liquid Carbonic Corporation Deoxygenation of liquids
JPS56158104A (en) * 1980-05-11 1981-12-05 Sasakura Eng Co Ltd Degassing method
SU955976A1 (ru) * 1981-02-24 1982-09-07 Предприятие П/Я М-5478 Установка дл удалени газа из жидкости
JPS58133885A (ja) * 1982-02-01 1983-08-09 Toray Eng Co Ltd 液中の溶存酸素を除去する方法
NO151458C (no) * 1982-12-28 1985-04-17 Sintef Fremgangsmaate og anlegg for fjerning av oksygen fra vann
JPS59179113A (ja) * 1983-03-30 1984-10-11 Mitsubishi Heavy Ind Ltd オイル中溶解ガスの脱気方法
GB2145937A (en) * 1983-07-07 1985-04-11 British Hydromechanics Contacting a gas and a liquid to remove an unwanted gas
JPS6025515A (ja) * 1983-07-20 1985-02-08 Mitsubishi Heavy Ind Ltd オイル中溶解成分除去装置
JPS6135274A (ja) * 1984-07-27 1986-02-19 Brother Ind Ltd カラ−印字装置
JPS61200818A (ja) * 1985-03-05 1986-09-05 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 真空脱気塔
NO158283C (no) * 1986-02-13 1988-08-17 Norsk Hydro As Fremgangsmaate og anordning for behandling av blandinger vaeske/gass.
NO881045L (no) * 1987-03-18 1988-09-19 Mobil Oil Corp Fremgangsmaate for fjerning av opploest gass fra en vaeske.
CH675996A5 (ja) * 1988-01-28 1990-11-30 Sulzer Ag
CH673643A5 (ja) * 1988-02-18 1990-03-30 Sulzer Ag
GB2223960A (en) * 1988-09-06 1990-04-25 British Steel Plc De-oxygenating water
JPH0290984A (ja) * 1988-09-26 1990-03-30 Benkan Corp 水中溶存酸素の除去方法
US4869732A (en) * 1988-12-23 1989-09-26 Texaco Inc. Deoxygenation of aqueous polymer solutions used in enhanced oil recovery processes
EP0391839B1 (de) * 1989-04-05 1992-06-03 GebràœDer Sulzer Aktiengesellschaft Verfahren zum Anfahren eines Prozesses zum Deoxidieren von Wasser, insbesondere von Meerwasser
US4927433A (en) * 1989-05-22 1990-05-22 Mg Industries Apparatus for removing gas from a liquid

Also Published As

Publication number Publication date
DE69102053T2 (de) 1994-09-01
US5180403A (en) 1993-01-19
EP0492801A1 (en) 1992-07-01
DE69102053D1 (de) 1994-06-23
EP0492801B1 (en) 1994-05-18
ATE105725T1 (de) 1994-06-15
JPH04190803A (ja) 1992-07-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0673603B2 (ja) 純水または超純水中の溶存酸素の除去方法
JPS59222157A (ja) ガス流からエチレンオキサイドを連続的に除去する方法
CN120112343A (zh) 用于对水进行脱气的装置和方法
US4647272A (en) Method and lift pump for raising liquids
JP3224037B2 (ja) 脱酸素装置
CA1190885A (en) Monomeric vinyl chloride stripping tower
JP2002320959A (ja) 水中溶存酸素の除去方法およびその装置
US5061302A (en) Dissolved gas stripping apparatus
CA1098225A (en) Production of deoxygenated water for use in brewing
US4666377A (en) Method and lift pump and raising liquids
JP2653319B2 (ja) 脱酸素装置
JP3009789B2 (ja) 水中の溶存酸素除去方法
JP3444725B2 (ja) 真空脱気装置
JP5024693B2 (ja) 真空脱気装置
JPH03154601A (ja) 水中の溶存酸素の除去方法
JP4438077B2 (ja) 電子材料洗浄用ガス溶解水の調製方法
JPH06134446A (ja) 脱気水の製造方法及び脱気水製造用モジュール
JP3348469B2 (ja) 真空脱気塔の操作方法
JPS6135274Y2 (ja)
JPH01315301A (ja) 純水中の溶存ガス除去装置
JP2000153281A (ja) 溶存酸素の除去方法
JP2610573B2 (ja) 溶存酸素低減方法及び装置
JP2954652B2 (ja) 気体もしくは低沸点揮発性有機物の除去方法
JP3225571B2 (ja) 水中の溶存酸素の真空脱気法
JPH08290007A (ja) 溶存酸素の除去方法

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100921

Year of fee payment: 16

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees