JPH0673630U - エアシャワー装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 除塵室内に配設された被洗浄物に空気を吹き
付けて被洗浄物の表面に付着した塵埃を吹き飛ばすエア
シャワー装置において、除塵室内の天井面に列設され被
洗浄物の上面全域に空気を吹き付ける複数のノズルを備
えると共に除塵室の側壁を構成し被洗浄物の側面に空気
を吹き付ける空気吹き付け用多孔板を備えたことを特徴
とする。 【効果】 被洗浄物の形状が大型でかつ複雑な場合であ
っても、確実に被清浄物の表面に付着した塵埃を除去す
ることができ、また、空気は常に一定方向に吹き出され
るので一旦吹き飛ばされた塵埃が被清浄物に再付着しな
い。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、クリーンルーム等に並設され、クリーンルーム等に搬入される物品 等の表面に付着した塵挨を除去するエアシャワー装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

クリーンルーム内は極力塵挨の無い状態にしなければならず、このためクリー ンルームに入室する作業者やクリーンルーム内に搬入する物品の表面に付着して いる塵挨は該クリーンルームに隣接して設けられた除塵室内にて除去するように 構成されている。この除塵室内にはエアシャワー装置が設けられており、該エア シャワー装置は除塵室内の作業者や物品に空気を吹き付けて作業者や物品の表面 に付着した塵挨を除去するものであり、例えば、特開昭６２−１０６２４７号公 報により、作業者用の比較的小型の除塵室に設けられ除塵室内の少なくとも天井 部分に１つの吹出ノズルを設け、この吹出ノズルを回動させながら清浄な空気を 作業者に吹き付けて該作業者の表面に付着した塵挨を除塵するようにしたものが 知られている。また、特開昭６２−１０６２４７号公報により、除塵室の側壁に 複数の吹出ノズルを設け、この複数の吹出ノズルによって清浄な空気を作業者に 吹き付けて該作業者の表面に付着した塵挨を除塵するようにしたものが知られて いる。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上記従来のエアシャワー装置では、前者の場合、作業者１人の表面に付着した 塵挨を除去するには十分であるが、クリーンルーム内に大量の物品を一度に搬入 する場合や大型装置を搬入する場合には十分な除塵を行なえない。すなわち、従 来のエアシャワー装置は巾（Ｗ）が０．８〜１．２ｍ程度、高さ（Ｈ）が１．９ 〜２．０ｍ程度で、Ｈ／Ｗは２〜２．５程度であるが、大型装置の搬入用は広幅 となりＨ／Ｗが０．６〜１．５程度になり、除塵室の天井に設けた吹出ノズルを 回動させ物品や大型装置の上面に空気を吹き付けても吹き出された空気が到達し ない部分が生じ除塵効果をあげることができない。また、天井に設けられた吹出 ノズルの噴出方向が常に変化するので噴出された空気により一旦吹き飛ばされた 塵挨が再び上記物品の上面に付着したり空気が渦を巻いて塵埃が排出されずに滞 留する場合もある。 また、後者の場合もクリーンルーム内に大量の物品を一度に搬入する場合や大 型装置を搬入する場合には、大量の物品や大型装置の側面に吹き出された空気が 到達しない部分が生じ除塵効果をあげることができない。 そこで本考案は、上記の問題点に鑑み、除塵室内にて除塵される被洗浄物が大 量の物品や大型装置であっても有効に除塵が行なえるエアシャワー装置を提供す ることを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、本考案のエアシャワー装置は、除塵室内に配設さ れた被洗浄物に空気を吹き付けて被洗浄物の表面に付着した塵挨を吹き飛ばすエ アシャワー装置において、除塵室内の少なくとも天井面に列設され被洗浄物の上 面全域に空気を吹き付ける複数の吹出ノズルを備えると共に除塵室の側壁を構成 し被洗浄物の側面に空気を吹き付ける空気吹き付け用多孔板とを備えたことを特 徴とする。 また、前記エアシャワー装置においては、上記吹出ノズルの空気吹出方向を自 在に変更しうる吹出方向調節手段を設けることが好ましい。

【０００５】

【作用】

天井の吹出ノズルから吹き出された空気は被洗浄物の上面全域に吹き付けられ 、また、多孔板から吹き出された空気は被洗浄物の側面に吹き付けられるので被 洗浄物の上面及び側面にくまなく空気を吹き付けることができ、除塵残しの部分 が生じない。また、その吹出方向は常に一定であるため、吹き飛ばされた塵埃が 被洗浄物に再付着しない。

【０００６】

【実施例】 以下、本考案のエアシャワー装置の一実施例を図面に基づき説明する。 図中、１は本考案のエアシャワー装置が適用される除塵室であり、該除塵室１ 内にセットされた被洗浄物であるワークＷの表面に付着した塵埃を清浄な空気を 吹き付けることにより除塵するものである。このようにしてワークＷの表面から 吹き飛ばされた塵埃は空気と共に除塵室１内の下部に設けられたプレフィルタ１ １ａを備える吸気口１１からブロア１２によって吸い込まれ、圧力室を形成する 送気通路２に戻される。この送気通路２は２系統に分割され、一方の送気通路２ ａは左右一対のフィルタ３，３に、そして他の送気通路２ｂは上方のフィルタ４ に送気するもので、各送気通路２ａ・２ｂに吸い込まれた空気は塵埃を含んだま まこれらフィルタ３・４に達し、各フィルタ３・４を通過する際に塵埃だけが両 フィルタ３・４により除去され、清浄な空気にされた後、フィルタ３を通過した 空気は層流状態で側壁である多孔板３１から除塵室１内に再び吹き出され、フィ ルタ４を通過した空気はジェットエアとして天井ノズル４１から同じく除塵室１ 内へ吹き出される。尚、前記多孔板３１はパンチングメタルで構成されワークＷ の側面に向かって空気が吹き出されるように構成されている。

【０００７】 前記天井の吹出ノズル４１は、図２に示すように、除塵室１の内壁を陥没して 形成されたブラケット５に首振自在に取り付けられた略球形のノズル本体５１を 備えている。このノズル本体５１には送気通路２ｂ側に開口する入口部５２と除 塵室１内に開口するノズル部５３とが設けられており、ブラケット５に対するノ ズル本体５１の姿勢を変えることにより、入口部５２を通過しノズル部５３から 吹き出される空気の方向を変更することができる。また、ノズル本体５１内には ノズル部５３の開口面積を増減するダンパ片５５が止めねじ５４により揺動自在 に取り付けられており、ノズル部５３からの吹出量が調整される。

【０００８】 前記吹出ノズル４１は図示のごとく、除塵室１内の天井に、ワークＷの全幅に わたって複数取り付けられており、上記のごとく吹出方向が調整されるので、複 数の吹出ノズル４１のうちのいずれかから吹き出された空気がワークＷの上面に 達し確実にワークＷから塵埃が吹き飛ばされる。そして、吹出ノズル４１からは 一定方向に常に空気が吹き出されているので、一旦吹き飛ばされた塵埃が再びワ ークＷの上面に付着することがなく、このように吹き飛ばされた塵埃は空気と共 に下方に導かれる。

【０００９】 また、側壁多孔板３１から吹き出された空気は水平方向に流れた後ワークＷの 側面に当たってワークＷの外側面に付着した塵埃を吹き飛ばし、このように吹き 飛ばされた塵埃は吹出ノズル４１から吹き出された空気により流れを下向きに変 えられ、ワークＷの上面から吹き飛ばされた塵埃と共に吸気口１１へと導かれる 。このように、前記吹出ノズル４１から得られる下向き高速気流と、側壁多孔板 ３１から得られる水平層流の二つの気流により、大型ワークであってもその外面 に付着した塵埃を効率よく除去できる。 そして、上記ワークＷの形状が異なればその形状に応じて吹出ノズル４１の吹 出方向を調節し、各種ワークの形状に応じて最適の除塵を行うことができる。

【００１０】

【考案の効果】

以上の説明から明らかなように、本考案のエアシャワー装置は、除塵室内で除 塵する被清浄物の形状が大型でかつ複雑な場合であっても、確実に被清浄物の表 面に付着した塵埃を除去することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例の構成を示す断面図

【図２】ノズル形状を示す拡大断面図

【符号の説明】

１ 除塵室 ２ 送気通路 ３ フィルタ ４ フィルタ １２ ブロア ３１ 多孔板 ４１ 吹出ノズル Ｗ ワーク

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 除塵室内に配設された被洗浄物に空気を
   吹き付けて被洗浄物の表面に付着した塵挨を吹き飛ばす
   エアシャワー装置において、除塵室内の天井面に列設さ
   れ被洗浄物の上面全域に空気を吹き付ける複数の吹出ノ
   ズルを備えると共に除塵室の側壁を構成し被洗浄物の側
   面に空気を吹き付ける空気吹き付け用多孔板を備えたこ
   とを特徴とするエアシャワー装置。
2. 【請求項２】 上記吹出ノズルの空気吹出方向を自在に
   変更しうる吹出方向調節手段を設けたことを特徴とする
   請求項１記載のエアシャワー装置。