JPH067468B2 - Ｘ線シヤツタを備えた電子顕微鏡 - Google Patents
Ｘ線シヤツタを備えた電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH067468B2 JPH067468B2 JP61243534A JP24353486A JPH067468B2 JP H067468 B2 JPH067468 B2 JP H067468B2 JP 61243534 A JP61243534 A JP 61243534A JP 24353486 A JP24353486 A JP 24353486A JP H067468 B2 JPH067468 B2 JP H067468B2
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- Japan
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- electron beam
- image
- optical axis
- sample
- ray
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は高感度、高画質の記録可能な電子顕微鏡に係
り、特にＸ線によるセンタースポットの発生を防止する
ようにした電子顕微鏡に関するものである。
り、特にＸ線によるセンタースポットの発生を防止する
ようにした電子顕微鏡に関するものである。
〔従来の技術〕 一般に、透過型電子顕微鏡においては、収束させた電子
線を試料に照射し、試料を透過した電子線により対物レ
ンズの後焦平面に試料の回折パターンを形成し、回折電
子線を再び干渉させて試料の拡大像を形成するようにな
っている。この拡大像を投影レンズにより螢光面に投影
すれば、試料の拡大透過像が観察され、対物レンズ後焦
平面を投影すれば拡大された試料の回折パターンが観察
される。また、対物レンズと投影レンズとの間に中間レ
ンズを配置しておけば、中間レンズの焦点距離調節によ
り、拡大透過像或いは回折パターンを随意に得ることが
できる。このようにして形成された拡大透過像或いは回
折パターン（以下、透過電子線像と云う）を観察するた
め、従来投影レンズの結像面に写真フイルムを配置して
透過電子線像を露光させたり、或いはイメージインテン
シファイアを配置して透過電子線像を増幅投影するよう
にしていた。
線を試料に照射し、試料を透過した電子線により対物レ
ンズの後焦平面に試料の回折パターンを形成し、回折電
子線を再び干渉させて試料の拡大像を形成するようにな
っている。この拡大像を投影レンズにより螢光面に投影
すれば、試料の拡大透過像が観察され、対物レンズ後焦
平面を投影すれば拡大された試料の回折パターンが観察
される。また、対物レンズと投影レンズとの間に中間レ
ンズを配置しておけば、中間レンズの焦点距離調節によ
り、拡大透過像或いは回折パターンを随意に得ることが
できる。このようにして形成された拡大透過像或いは回
折パターン（以下、透過電子線像と云う）を観察するた
め、従来投影レンズの結像面に写真フイルムを配置して
透過電子線像を露光させたり、或いはイメージインテン
シファイアを配置して透過電子線像を増幅投影するよう
にしていた。
しかしながら、写真フィルムは電子線に対して感度が低
い上、現像処理が面倒であるという欠点を有し、一方イ
メージインテンシファイアを用いた場合、画像の先鋭度
が低い上、画像に歪みが生じ易いという問題がある。
い上、現像処理が面倒であるという欠点を有し、一方イ
メージインテンシファイアを用いた場合、画像の先鋭度
が低い上、画像に歪みが生じ易いという問題がある。
ところで、最近、照射電子線エネルギーを蓄積し、次い
で光照射或いは加熱を行なった時に、蓄積された電子線
エネルギーを光として放出し得る極めて感度の高い記録
媒体が提案されている。
で光照射或いは加熱を行なった時に、蓄積された電子線
エネルギーを光として放出し得る極めて感度の高い記録
媒体が提案されている。
第２図は、このような記録媒体として好適な光照射によ
り励起される蓄積性螢光体（輝尽性螢光体）シートの断
面図で、２１は蓄積性螢光体シート、２２は支持体、２
３は支持体上に層設された蓄積性螢光体である。
り励起される蓄積性螢光体（輝尽性螢光体）シートの断
面図で、２１は蓄積性螢光体シート、２２は支持体、２
３は支持体上に層設された蓄積性螢光体である。
図において、支持体２２としては、厚さ１００〜２００
μ程度のポリエチレンシート、プラスチックフィルム、
０．５〜１mmのアルミニウム板、１〜３mmのガラス板等
が用いられ、透明、不透明いずれであっても良く、不透
明な場合は、励起光を当てる側から発光を検出するが、
透明な場合は、励起光を当てる側或いはその反対側、或
いは両側から発光を検出することができる。このような
蓄積性螢光体シートに用いられる蓄積性螢光体として
は、例えば、特開昭５５−１２１４３号公報に記載され
ている（Ｂａ1-x-y、Ｍｇｘ、Ｃａｙ）ＦＸ：ａＥｕ2+
（ただし、ＸはＣｌおよびＢｒのうちの少なくとも一つ
であり、ｘおよびｙは、０＜ｘ＋ｙ≦０．６、かつｘｙ
≠０であり、ａは、１０-6≦ａ≦５×１０-2である）、
特開昭５９−５６４７９号公報に記載されているＢａＦ
Ｘ・ｘＮａＸ′：ａＥｕ2+（ただし、ＸおよびＸ′は、
それぞれＣｌ、Ｂｒ、およびＩのうちの少なくとも一種
であり、ｘおよびａはそれぞれ０＜ｘ≦２、および０＜
ａ≦０．２である）等の蓄積性螢光体を挙げることがで
きる。そして、このような蓄積性螢光体を適当な結合剤
中に分散させて厚さ１０〜１０００μ程度になるように
支持体２上に塗布する。なお、蓄積性螢光体層が自己支
持性である場合、それ自体で蓄積性螢光体シートとなり
得る。
μ程度のポリエチレンシート、プラスチックフィルム、
０．５〜１mmのアルミニウム板、１〜３mmのガラス板等
が用いられ、透明、不透明いずれであっても良く、不透
明な場合は、励起光を当てる側から発光を検出するが、
透明な場合は、励起光を当てる側或いはその反対側、或
いは両側から発光を検出することができる。このような
蓄積性螢光体シートに用いられる蓄積性螢光体として
は、例えば、特開昭５５−１２１４３号公報に記載され
ている（Ｂａ1-x-y、Ｍｇｘ、Ｃａｙ）ＦＸ：ａＥｕ2+
（ただし、ＸはＣｌおよびＢｒのうちの少なくとも一つ
であり、ｘおよびｙは、０＜ｘ＋ｙ≦０．６、かつｘｙ
≠０であり、ａは、１０-6≦ａ≦５×１０-2である）、
特開昭５９−５６４７９号公報に記載されているＢａＦ
Ｘ・ｘＮａＸ′：ａＥｕ2+（ただし、ＸおよびＸ′は、
それぞれＣｌ、Ｂｒ、およびＩのうちの少なくとも一種
であり、ｘおよびａはそれぞれ０＜ｘ≦２、および０＜
ａ≦０．２である）等の蓄積性螢光体を挙げることがで
きる。そして、このような蓄積性螢光体を適当な結合剤
中に分散させて厚さ１０〜１０００μ程度になるように
支持体２上に塗布する。なお、蓄積性螢光体層が自己支
持性である場合、それ自体で蓄積性螢光体シートとなり
得る。
こうして形成された蓄積性螢光体シートに電子線等の放
射線を照射すると、放射線のエネルギーの一部が螢光体
中に蓄積され、その後、螢光体に可視光等の励起光を照
射すると、蓄積されたエネルギーに応じて螢光体が螢光
（輝尽発光光）を発する。また、前述した光照射により
励起される蓄積性螢光体に代えて加熱により蓄積してい
る放射線エネルギーを熱螢光として放出する熱螢光体を
用いてもよい。この場合、例えばＮａ２ＳＯ４、ＭｎＳ
Ｏ４、ＣａＳＯ４、ＳｒＳＯ４、ＢａＳＯ４等の硫酸化
合物にＭｎ、Ｄｙ、Ｔｍ等の微量の添加物を少なくとも
一種添加した化合物を用いればよく、熱螢光体シートの
製法は前述の蓄積性螢光体シートと同様である。
射線を照射すると、放射線のエネルギーの一部が螢光体
中に蓄積され、その後、螢光体に可視光等の励起光を照
射すると、蓄積されたエネルギーに応じて螢光体が螢光
（輝尽発光光）を発する。また、前述した光照射により
励起される蓄積性螢光体に代えて加熱により蓄積してい
る放射線エネルギーを熱螢光として放出する熱螢光体を
用いてもよい。この場合、例えばＮａ２ＳＯ４、ＭｎＳ
Ｏ４、ＣａＳＯ４、ＳｒＳＯ４、ＢａＳＯ４等の硫酸化
合物にＭｎ、Ｄｙ、Ｔｍ等の微量の添加物を少なくとも
一種添加した化合物を用いればよく、熱螢光体シートの
製法は前述の蓄積性螢光体シートと同様である。
そこで、こうした蓄積性螢光体シート或いは熱螢光体シ
ート等の記録媒体を電子顕微鏡の結像面に配置して透過
電子線像を蓄積記録させ、該記録媒体を可視光等の励起
光で走査するか掃引加熱して螢光を生じさせ、この螢光
を光電的に読み取れば、透過電子線像に対応する電子信
号が得られることとなる。こうして得られた電気的画像
信号を用いれば、ＣＲＴ等のディスプレイに電子顕微鏡
像を表示させ、或いは、ハードコピーとして永久記録
し、更には、画像信号を一旦磁気テープ、磁気ディスク
等に記憶させておくことも可能となる。
ート等の記録媒体を電子顕微鏡の結像面に配置して透過
電子線像を蓄積記録させ、該記録媒体を可視光等の励起
光で走査するか掃引加熱して螢光を生じさせ、この螢光
を光電的に読み取れば、透過電子線像に対応する電子信
号が得られることとなる。こうして得られた電気的画像
信号を用いれば、ＣＲＴ等のディスプレイに電子顕微鏡
像を表示させ、或いは、ハードコピーとして永久記録
し、更には、画像信号を一旦磁気テープ、磁気ディスク
等に記憶させておくことも可能となる。
ところで、以上述べたような記録媒体を用いると、記録
された画像の中央に黒い点（以下センタースポットと称
す）が生じてしまう。この現象は、前述の記録媒体の場
合、従来の写真フィルムに比して感度が飛躍的に高いた
めに、主に試料等で電子が散乱された結果発生するＸ線
により生じ、従来の写真フィルムでは発生しない。
された画像の中央に黒い点（以下センタースポットと称
す）が生じてしまう。この現象は、前述の記録媒体の場
合、従来の写真フィルムに比して感度が飛躍的に高いた
めに、主に試料等で電子が散乱された結果発生するＸ線
により生じ、従来の写真フィルムでは発生しない。
本発明は上記問題点を解決するためのもので、電子線等
に極めて感度の高い前述の蓄積性螢光体シート或いは熱
螢光体シート等の記録媒体を用い、しかもセンタースポ
ットを生じさせないようにした高感度記録可能なＸ線シ
ャッタを備えた電子顕微鏡を提供することを目的とす
る。
に極めて感度の高い前述の蓄積性螢光体シート或いは熱
螢光体シート等の記録媒体を用い、しかもセンタースポ
ットを生じさせないようにした高感度記録可能なＸ線シ
ャッタを備えた電子顕微鏡を提供することを目的とす
る。
そのために本発明のＸ線シャッタを備えた電子顕微鏡
は、電子銃から発射された電子線を試料に照射して得ら
れる透過電子線像を記録媒体上に拡大、投影するレンズ
系と、光軸上に固体又は移動可能に配置され、試料等か
ら発生するＸ線を遮断するＸ線シャッタと、レンズ系の
所定個所に配置され、駆動時、電子線を偏向して光軸上
のＸ線と分離すると共に、前記Ｘ線シャッタを回避させ
て元の光軸上に戻す偏向手段とを有することを特徴とす
る。
は、電子銃から発射された電子線を試料に照射して得ら
れる透過電子線像を記録媒体上に拡大、投影するレンズ
系と、光軸上に固体又は移動可能に配置され、試料等か
ら発生するＸ線を遮断するＸ線シャッタと、レンズ系の
所定個所に配置され、駆動時、電子線を偏向して光軸上
のＸ線と分離すると共に、前記Ｘ線シャッタを回避させ
て元の光軸上に戻す偏向手段とを有することを特徴とす
る。
本発明のＸ線シャッタを備えた電子顕微鏡は、電子銃か
ら発射された電子線を収束して試料に照射し、その透過
電子線像を拡大、投影するレンズ系の所定個所に電子線
偏向手段を設け、該電子線偏向手段の駆動時、電子線を
偏向してＸ線と分離すると共に、光軸上に固定又は移動
可能に設けられたＸ線シャッタを回避させることにより
Ｘ線は遮断し、電子線像のみを記録媒体上に投影・記録
してセンタースポットの発生を防止し、鮮鋭な画像を得
ることが可能となると共に、Ｘ線シャッタを退避させ、
前記電子線偏向手段を非駆動とすることにより通常の電
子顕微鏡としての使用も可能となる。
ら発射された電子線を収束して試料に照射し、その透過
電子線像を拡大、投影するレンズ系の所定個所に電子線
偏向手段を設け、該電子線偏向手段の駆動時、電子線を
偏向してＸ線と分離すると共に、光軸上に固定又は移動
可能に設けられたＸ線シャッタを回避させることにより
Ｘ線は遮断し、電子線像のみを記録媒体上に投影・記録
してセンタースポットの発生を防止し、鮮鋭な画像を得
ることが可能となると共に、Ｘ線シャッタを退避させ、
前記電子線偏向手段を非駆動とすることにより通常の電
子顕微鏡としての使用も可能となる。
以下、実施例を図面を参照しつつ説明する。
第１図は本発明によるＸ線シャッタを備えた電子顕微鏡
の一実施例を示す図である。図中、１は電子銃、２は電
子線、３は収束レンズ、４は試料、５は対物レンズ、６
ａ、６ｂ、６ｃは偏向コイル、７はシャッタ、８は中間
レンズ、９は投影レンズ、１０は高感度記録媒体、１１
はＸ線、１２は光軸である。
の一実施例を示す図である。図中、１は電子銃、２は電
子線、３は収束レンズ、４は試料、５は対物レンズ、６
ａ、６ｂ、６ｃは偏向コイル、７はシャッタ、８は中間
レンズ、９は投影レンズ、１０は高感度記録媒体、１１
はＸ線、１２は光軸である。
図において、電子銃１から発射されて加速された電子線
２は、収束レンズ３により収束されて試料４に照射さ
れ、試料４を透過した電子線は、対物レンズ５で結像さ
れる。このとき、電子線は偏向コイル６ａ、６ｂ、６ｃ
による実線Ａのように３回屈折してシャッタ７を回避
し、光軸１２上に戻される。そして透過電子線像は、中
間レンズ８及び投影レンズ９により拡大され、高感度記
録媒体１０に記録される。
２は、収束レンズ３により収束されて試料４に照射さ
れ、試料４を透過した電子線は、対物レンズ５で結像さ
れる。このとき、電子線は偏向コイル６ａ、６ｂ、６ｃ
による実線Ａのように３回屈折してシャッタ７を回避
し、光軸１２上に戻される。そして透過電子線像は、中
間レンズ８及び投影レンズ９により拡大され、高感度記
録媒体１０に記録される。
一方、試料４で発生したＸ線１１は、偏向コイル６ａ、
６ｂ、６ｃの影響を受けないので、光軸１２に沿って進
み、光軸上に配置されたシャッタ７で遮断される。その
結果、記録媒体１０上にはＸ線は投影されず、センター
スポットの発生が防止される。
６ｂ、６ｃの影響を受けないので、光軸１２に沿って進
み、光軸上に配置されたシャッタ７で遮断される。その
結果、記録媒体１０上にはＸ線は投影されず、センター
スポットの発生が防止される。
なお、シャッタ７を移動可能にし、これを退避させ、偏
向コイル６ａ、６ｂ、６ｃを非駆動とすれば、通常のフ
ィルムを用いた電子顕微鏡として用いることができる。
また前記実施例では、電子線偏向手段として偏向コイル
を３段用いたが、３段以上であれば良く、また、偏向コ
イルに限らず、静電偏向板を用いても良いことはいうま
でもない。
向コイル６ａ、６ｂ、６ｃを非駆動とすれば、通常のフ
ィルムを用いた電子顕微鏡として用いることができる。
また前記実施例では、電子線偏向手段として偏向コイル
を３段用いたが、３段以上であれば良く、また、偏向コ
イルに限らず、静電偏向板を用いても良いことはいうま
でもない。
〔発明の効果〕 以上のように本発明によれば、レンズ系の所定個所に３
段以上からなる電子線偏向手段を設け、該偏向手段によ
り、電子線を偏向させて光軸上のＸ線と分離し、光軸上
に固定又は移動可可能に設けられたＸ線シャッタを回避
させ、Ｘ線は該シャッタにより遮断することができる。
そのため、電子線による像のみを記録することができる
ので、蓄積性螢光体シート或いは熱螢光体シート等のよ
うな高感度記録媒体を使用しても試料等から発生したＸ
線によるセンタースポットが生ぜず、電子線のみによる
鮮鋭な像を得ることが可能となる。またＸ線シャッタを
移動可能としてこれを退避させ、電子線偏向手段を非駆
動とすることにより、通常のフィルムを用いた電子顕微
鏡としても使用することができる。
段以上からなる電子線偏向手段を設け、該偏向手段によ
り、電子線を偏向させて光軸上のＸ線と分離し、光軸上
に固定又は移動可可能に設けられたＸ線シャッタを回避
させ、Ｘ線は該シャッタにより遮断することができる。
そのため、電子線による像のみを記録することができる
ので、蓄積性螢光体シート或いは熱螢光体シート等のよ
うな高感度記録媒体を使用しても試料等から発生したＸ
線によるセンタースポットが生ぜず、電子線のみによる
鮮鋭な像を得ることが可能となる。またＸ線シャッタを
移動可能としてこれを退避させ、電子線偏向手段を非駆
動とすることにより、通常のフィルムを用いた電子顕微
鏡としても使用することができる。
第１図は本発明による電子顕微鏡の全体構成を示す図、
第２図は本発明に使用される蓄積性螢光体シートの断面
図である。 １…電子銃、２…電子線、３…収束レンズ、４…試料、
５…対物レンズ、６ａ、６ｂ、６ｃ…偏向手段、７…シ
ャッタ、８…中間レンズ、９…投影レンズ、１０…記録
媒体、１１…Ｘ線、１２…光軸
第２図は本発明に使用される蓄積性螢光体シートの断面
図である。 １…電子銃、２…電子線、３…収束レンズ、４…試料、
５…対物レンズ、６ａ、６ｂ、６ｃ…偏向手段、７…シ
ャッタ、８…中間レンズ、９…投影レンズ、１０…記録
媒体、１１…Ｘ線、１２…光軸
Claims (1)
- 【請求項１】電子銃から発射された電子線を試料に照射
して得られる透過電子線像を記録媒体上に拡大、投影す
るレンズ系と、光軸上に固体又は移動可能に配置され、
試料等から発生するＸ線を遮断するＸ線シャッタと、レ
ンズ系の所定個所に配置され、駆動時、電子線を偏向し
て光軸上のＸ線と分離すると共に、前記Ｘ線シャッタを
回避させて元の光軸上に戻す偏向手段とを有するＸ線シ
ャッタを備えた電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61243534A JPH067468B2 (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | Ｘ線シヤツタを備えた電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61243534A JPH067468B2 (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | Ｘ線シヤツタを備えた電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6396853A JPS6396853A (ja) | 1988-04-27 |
| JPH067468B2 true JPH067468B2 (ja) | 1994-01-26 |
Family
ID=17105318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61243534A Expired - Lifetime JPH067468B2 (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | Ｘ線シヤツタを備えた電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH067468B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4707136B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2011-06-22 | 能美防災株式会社 | 消火システム制御盤 |
-
1986
- 1986-10-14 JP JP61243534A patent/JPH067468B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6396853A (ja) | 1988-04-27 |
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