JPH0616392B2 - 電子顕微鏡像記録再生方法及び装置 - Google Patents
電子顕微鏡像記録再生方法及び装置Info
- Publication number
- JPH0616392B2 JPH0616392B2 JP59150175A JP15017584A JPH0616392B2 JP H0616392 B2 JPH0616392 B2 JP H0616392B2 JP 59150175 A JP59150175 A JP 59150175A JP 15017584 A JP15017584 A JP 15017584A JP H0616392 B2 JPH0616392 B2 JP H0616392B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- stimulable phosphor
- electron microscope
- electron beam
- sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/224—Luminescent screens or photographic plates for imaging; Apparatus specially adapted therefor, e. g. cameras, TV-cameras, photographic equipment or exposure control; Optical subsystems specially adapted therefor, e. g. microscopes for observing image on luminescent screen
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/02—Dosimeters
- G01T1/10—Luminescent dosimeters
- G01T1/11—Thermo-luminescent dosimeters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/2012—Measuring radiation intensity with scintillation detectors using stimulable phosphors, e.g. stimulable phosphor sheets
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Conversion Of X-Rays Into Visible Images (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （発明の分野） 本発明は電子顕微鏡の記録再生方法と装置に関するもの
であり、時に詳細には電子顕微鏡像を高感度で記録し、
また各種画像処理可能に電気信号で再生するようにした
電子顕微鏡像の記録再生方法およびその装置に関するも
のである。
であり、時に詳細には電子顕微鏡像を高感度で記録し、
また各種画像処理可能に電気信号で再生するようにした
電子顕微鏡像の記録再生方法およびその装置に関するも
のである。
（発明の技術的背景および先行技術） 従来より、試料を透過させた電子線を電界あるいは磁界
によって屈折させて、試料の拡大像を得る電子顕微鏡が
公知となっている。周知のようにこの電子顕微鏡におい
ては、試料を透過した電子線により対物レンズの後焦平
面に試料の回折パターンが形成され、その回折線が再び
干渉して試料の拡大像が形成されるようになっている。
したがって投影レンズにより上記拡大像を投影すれば試
料の拡大像（散乱像）が観察され、また上記後焦平面を
投影すれば拡大された試料の回折パターンが観察され
る。なお対物レンズと投影レンズとの間に中間レンズを
配置しておけば、この中間レンズの焦点距離調節によ
り、上述の拡大像（散乱像）あるいは回折パターンが随
意に得られる。
によって屈折させて、試料の拡大像を得る電子顕微鏡が
公知となっている。周知のようにこの電子顕微鏡におい
ては、試料を透過した電子線により対物レンズの後焦平
面に試料の回折パターンが形成され、その回折線が再び
干渉して試料の拡大像が形成されるようになっている。
したがって投影レンズにより上記拡大像を投影すれば試
料の拡大像（散乱像）が観察され、また上記後焦平面を
投影すれば拡大された試料の回折パターンが観察され
る。なお対物レンズと投影レンズとの間に中間レンズを
配置しておけば、この中間レンズの焦点距離調節によ
り、上述の拡大像（散乱像）あるいは回折パターンが随
意に得られる。
上述のようにして形成される拡大像あるいは回折パター
ン（以下、一括して透過電子線像と称する）を観察する
ため従来は一般に、投影レンズの結像面に写真フィルム
を配して透過電子線像を露光させたり、あるいはイメー
ジインテンシファイアを配して透過電子線像を増幅投影
するようにしていた。しかし写真フィルムは電子線に対
して感度が低い上現像処理が面倒であるという欠点を有
し、一方イメージインテンシファイアを用いる場合画像
の鮮鋭度が低い上、画像に歪みが生じやすいという問題
がある。
ン（以下、一括して透過電子線像と称する）を観察する
ため従来は一般に、投影レンズの結像面に写真フィルム
を配して透過電子線像を露光させたり、あるいはイメー
ジインテンシファイアを配して透過電子線像を増幅投影
するようにしていた。しかし写真フィルムは電子線に対
して感度が低い上現像処理が面倒であるという欠点を有
し、一方イメージインテンシファイアを用いる場合画像
の鮮鋭度が低い上、画像に歪みが生じやすいという問題
がある。
また上記のような透過電子線像に対しては、像を見易く
する等の目的で階調処理、周波数強調処理、濃度処理、
減算処理、加算処理等の画像処理や、フーリエ解析法に
よる三次元像の再構成、画像の２値化および粒子径測定
等のための画像解析、さらには回折パターンの処理（結
晶情報の解析、格子定数、転移、格子欠陥の解明等）等
の処理が施されることが多いが、このような場合従来
は、写真フィルムを現像して得た顕微鏡像をミクロフォ
トメータで読み取って電気信号に変換し、この電気信号
を例えばＡ／Ｄ変換してからコンピュータにより処理す
るという煩雑な作業を行なっていた。
する等の目的で階調処理、周波数強調処理、濃度処理、
減算処理、加算処理等の画像処理や、フーリエ解析法に
よる三次元像の再構成、画像の２値化および粒子径測定
等のための画像解析、さらには回折パターンの処理（結
晶情報の解析、格子定数、転移、格子欠陥の解明等）等
の処理が施されることが多いが、このような場合従来
は、写真フィルムを現像して得た顕微鏡像をミクロフォ
トメータで読み取って電気信号に変換し、この電気信号
を例えばＡ／Ｄ変換してからコンピュータにより処理す
るという煩雑な作業を行なっていた。
（発明の目的） 本発明は上記のような事情に鑑みてなされたものであ
り、透過電子線像を高感度、高画質で記録再生可能で、
しかも各種処理が容易となるように、顕微鏡像を担持す
る電位信号が直接得られる電子顕微鏡記録再生方法およ
びその方法を実施する装置を提供することを目的とする
ものである。
り、透過電子線像を高感度、高画質で記録再生可能で、
しかも各種処理が容易となるように、顕微鏡像を担持す
る電位信号が直接得られる電子顕微鏡記録再生方法およ
びその方法を実施する装置を提供することを目的とする
ものである。
（発明の構成） 本発明の電子顕微鏡像記録再生方法は、電子線エネルギ
ーを蓄積する蓄積性螢光体シートに、試料を透過した電
子線を真空状態で蓄積記録し、次いで前記真空状態を維
持したままで前記蓄積層螢光体シートを励起光で走査し
て蓄積されたエネルギーを光として放出させ、この放出
光を光電的に検出して前記透過電子線像を再生するよう
にしたことを特徴とするものである。
ーを蓄積する蓄積性螢光体シートに、試料を透過した電
子線を真空状態で蓄積記録し、次いで前記真空状態を維
持したままで前記蓄積層螢光体シートを励起光で走査し
て蓄積されたエネルギーを光として放出させ、この放出
光を光電的に検出して前記透過電子線像を再生するよう
にしたことを特徴とするものである。
上記方法を実施する本発明の電子顕微鏡像記録再生装置
は、少なくとも、電子顕微鏡の真空系内に配置された電
子線エネルギーを蓄積する蓄積性螢光体シート、前記蓄
積性螢光体シートを真空計系内に置いたままで励起光で
走査する励起手段、前記励起光の走査によって前記蓄積
性螢光体シートから放出される光を光電的に検出する検
出手段から構成されるものである。
は、少なくとも、電子顕微鏡の真空系内に配置された電
子線エネルギーを蓄積する蓄積性螢光体シート、前記蓄
積性螢光体シートを真空計系内に置いたままで励起光で
走査する励起手段、前記励起光の走査によって前記蓄積
性螢光体シートから放出される光を光電的に検出する検
出手段から構成されるものである。
上記２次元センサとして具体的には、例えば特開昭５５
−１２４２９号、同５５−１１６３４０号、同５５−１
６３４７２号、同５６−１１３９５号、同５６−１０４
６４５号公報等に示される蓄積性螢光体シートが特に好
適に用いられうる。すなわち、ある種の螢光体に電子線
等の放射線を照射するとこの放射線のエネルギーの一部
がその螢光体中に蓄積され、その後その螢光体に可視光
等の励起光を照射すると、蓄積されエネルギーに応じて
螢光体が螢光（輝尽発光）を示す。このような性質を示
す螢光体を蓄積性螢光体と言い、蓄積性螢光体シートと
は、上記蓄積性螢光体からなるシート状の記録体のこと
であり、一般に支持体とこの支持体上に積層された蓄積
性螢光体層とからなる。蓄積性螢光体は蓄積性螢光体を
適当な結合剤中に分散させて形成したものであるが、こ
の蓄積性螢光体層が自己支持性である場合、それ自体で
蓄積性螢光体シートとなりうる。
−１２４２９号、同５５−１１６３４０号、同５５−１
６３４７２号、同５６−１１３９５号、同５６−１０４
６４５号公報等に示される蓄積性螢光体シートが特に好
適に用いられうる。すなわち、ある種の螢光体に電子線
等の放射線を照射するとこの放射線のエネルギーの一部
がその螢光体中に蓄積され、その後その螢光体に可視光
等の励起光を照射すると、蓄積されエネルギーに応じて
螢光体が螢光（輝尽発光）を示す。このような性質を示
す螢光体を蓄積性螢光体と言い、蓄積性螢光体シートと
は、上記蓄積性螢光体からなるシート状の記録体のこと
であり、一般に支持体とこの支持体上に積層された蓄積
性螢光体層とからなる。蓄積性螢光体は蓄積性螢光体を
適当な結合剤中に分散させて形成したものであるが、こ
の蓄積性螢光体層が自己支持性である場合、それ自体で
蓄積性螢光体シートとなりうる。
電子顕微鏡の結像面に上記蓄積性螢光体シートを配置し
て、該シートに透過電子線による電子顕微鏡を蓄積記録
したならば、このシートを可視光等の励起光で走査して
螢光を生ぜしめ、この螢光を光電的に読み取れば、透過
電子線像に対応する電気信号が得られる。こうして得ら
れた電気的画像信号を用いれば、ＣＲＴ等のディスプレ
イに電子線顕微鏡を表示させることもできるし、あるい
はハードコピーとして永久記録することもできるし、さ
らは上記画像信号を一旦磁気テープ、磁気ディスク等の
記録媒体に記憶させておくこともできる。本発明におい
て利用される蓄積性螢光体シートに用いられる輝尽性螢
光体の例としては、 米国特許第３，８５９，５２７号明細書に記載されてい
るＳｒＳ：Ｃｅ，Ｓｍ、ＳｒＳ：Ｅｕ，Ｓｍ、Ｔｈ
Ｏ２：Ｅｒ、およびＬａ２Ｏ２Ｓ：Ｅｕ，Ｓｍなどの組
成式で表わされる螢光体、 特開昭５５−１２１４２号公報に記載されているＺｎ
Ｓ：Ｃｕ，Ｐｂ、ＢａＯ・ｘＡｌ２Ｏ３：Ｅｕ［ただ
し、０．８≦ｘ≦１０］、および、Ｍ2+Ｏ・ｘＳｉ
Ｏ２：Ａ［ただし、Ｍ2+はＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｚｎ、Ｃ
ｄ、またはＢａであり、ＡはＣｅ、Ｔｂ、Ｅｕ、Ｔｍ、
Ｐｂ、Ｔｌ、Ｂｉ、またはＭｎであり、ｘは、０．５≦
ｘ≦２．５である］などの組成式で表わされる螢光体、 特開昭５５−１２１４３号公報に記載されている（Ｂａ
1-x-y，Ｍｇｘ，Ｃａｙ）ＦＸ： ａＥｕ2+［ただし、ＸはＣｌおよびＢｒのうちの少なく
とも一つであり、ｘおよびｙは、０＜ｘ＋ｙ≦０．６、
かつｘｙ≠０であり、ａは、１０-6≦ａ≦５×１０-2で
ある］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５５−１２１４４号公報に記載されているＬｎＯ
Ｘ：ｘＡ［ただし、ＬｎはＬａ、Ｙ、Ｇｄ、およびＬｕ
のうちの少なくとも一つ、ＸはＣｌおよびＢｒのうちの
少なくとも一つ、ＡはＣｅおよびＴｂのうちの少なくと
も一つ、そして、ｘは、０＜ｘ＜０．１である］の組成
式で表わされる螢光体、 特開昭５５−１２１４５号公報に記載されている（Ｂａ
1-x，ＭII x］ＦＸ：ｙＡ［ただし、ＭIIはＭｇ、Ｃａ、
Ｓｒ、Ｚｎ、およびＣｄのうちの少なくとも一つ、Ｘは
Ｃｌ、Ｂｒ、およびＩのうちの少なくとも一つ、ＡはＥ
ｕ、Ｔｂ、Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ、Ｐｒ、Ｈｏ、Ｎｄ、Ｙ
ｂ、およびＥｒのうちの少なくとも一つ、そしてｘは、
０≦ｘ≦０．６、ｙは、０≦ｙ≦０．２である］の組成
式で表わされる螢光体、 特開昭５５−１６００７８号公報に記載されているＭII
ＦＸ：ｘＡ：ｙＬｎ［ただし、ＭIIはＢａ、Ｃａ、Ｓ
ｒ、Ｍｇ、Ｚｎ、およびＣｄのうちの少なくとも一種、
ＡはＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ、Ｚｎ
Ｏ、Ａｌ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、Ｉｎ２Ｏ３、
ＳｉＯ２、ＴｌＯ２、ＺｒＯ２、ＧｅＯ２、ＳｎＯ２、
Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、およびＴｈＯ２のうちの少な
くとも一種、ｌｎはＥｕ、Ｔｂ、Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ、Ｐ
ｒ、Ｈｏ、Ｎｄ、Ｙｂ、Ｅｒ、Ｓｍ、およびＧｄのうの
少なくとも一種、ＸはＣｌ、Ｂｒ、およびＩのうちの少
なくとも一種であり、ｘおよびｙはそれぞれ５×１０-5
≦ｘ≦０．５、および０＜ｙ≦０．２である］の組成式
で表わされる螢光体、 特開昭５６−１１６７７７号公報に記載されている（Ｂ
ａ1-x，ＭII x］Ｆ２・ａＢａＸ２：ｙＥｕ、ｚＡ［ただ
し、ＭIIはベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ス
トロンチウム、亜鉛、およびカドミウムのうちの少なく
とも一種、Ｘは塩素、臭素、および沃素のうちの少なく
とも一種、Ａはジルコニウムおよびスカンジウムのうち
の少なくとも一種であり、ａ、ｘ、ｙ、およびｚはそれ
ぞれ０．５≦ａ≦１．２５、０≦ｘ≦１、１０-6≦ｙ≦
２×１０-1、および０＜ｚ≦１０-2である］の組成式で
表わされる螢光体、 特開昭５７−２３６７３号公報に記載されている（Ｂａ
1-x，ＭII x］Ｆ２・ａＢａＸ２：ｙＥｕ、ｚＢ［ただ
し、ＭIIはベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ス
トロンチウム、亜鉛、およびカドミウムのうちの少なく
とも一種、Ｘは塩素、臭素、および沃素のうちの少なく
とも一種であり、ａ、ｘ、ｙ、およびｚはそれぞれ０．
５≦ａ≦１．２５、０≦ｘ≦１、１０-6≦ｙ≦２×１０
-1、および０＜ｚ≦１０-1である］の組成式で表わされ
る螢光体、 特開昭５７−２３６７５号公報に記載されている（Ｂａ
1-x，ＭII x］Ｆ２・ａＢａＸ２：ｙＥｕ、ｚＡ［ただ
し、ＭIIはベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ス
トロンチウム、亜鉛、およびカドミウムのうちの少なく
とも一種、Ｘは塩素、臭素、および沃素のうちの少なく
とも一種、Ａは砒素および硅素のうちの少なくとも一種
であり、ａ、ｘ、ｙ、およびｚはそれぞれ０．５≦ａ≦
１．２５、０≦ｘ≦１、１０-6≦ｙ≦２×１０-1、およ
び０＜ｚ≦５×１０-1である］の組成式で表わされる螢
光体、 特開昭５８−６９２８１号公報に記載されているＭIII
ＯＸ：ｘＣｅ［ただし、ＭIIIはＰｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓ
ｍ、Ｅｕ、Ｔｂ、Ｄｙ、、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、お
よびＢｉからなる郡より選ばれる少なくとも一種の三価
金属であり、Ｘは、ＣｌおよびＢｒのうちのいずれか一
方あるいはその両方であり、ｘは０＜ｘ＜０．１であ
る］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５８−２０６６７８号公報に記載されているＢａ
1-xＭx/2ＦＸ：ｙＥｕ+2［ただし、Ｍは、Ｌｉ、Ｎａ、
Ｋ、Ｒｂ、およびＣｓからなる郡より選ばれる少なくと
も一種のアルカリ金属を表わし；Ｌは、Ｓｃ、Ｙ、Ｌ
ａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄ
ｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉ
ｎ、およびＴｌからなる群より選ばれる少なくとも一種
の三価金属を表わし：Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ、およびＩから
なる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンを表わ
し；そして、ｘは１０-2≦ｘ≦０５、ｙは０＜ｙ≦０．
１である］組成式で表わされる螢光体、 特開昭５９−２７９８０号公報に記載されているＢａＦ
Ｘ・ｘＡ：ｙＥｕ+2［ただし、Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ、およ
びＩからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲン
であり；Ａは、テトラフルオロホウ酸化合物の焼成物で
あり；そして、ｘは１０-6≦ｘ≦０．１、ｙは０＜ｙ≦
０．１である］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５９−４７２８９号公報に記載されているＢａＦ
Ｘ・ｘＡ：ｙＥｕ2+［ただし、Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ、およ
びＩからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲン
であり；Ａは、ヘキサフルオロケイ酸、ヘキサフルオロ
チタン酸およびヘキサフルオロジルコニウム酸の一価も
しくは二価金属の塩からなるヘキサフルオロ化合物群よ
り選ばれる少なくも一種の化合物の焼成物であり；そし
て、ｘは１０-6≦ｘ≦０．１、ｙは０＜ｙ≦０．１であ
る］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５９−５６４７９号公報に記載されているＢａＦ
Ｘ・ｘＮａＸ′：ａＥｕ2+［ただし、ＸおよびＸ′は、
それぞれＣｌ、Ｂｒ、およびＩのうちの少なくとも一種
であり、ｘおよびａはそれぞれ０＜ｘ≦２、および０＜
ａ≦０．２である］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５９−５６４８０号公報に記載されているＭIIＦ
Ｘ・ｘＮａＸ′：ｙＥｕ2+：ｚＡ［ただし、ＭIIは、Ｂ
ａ、Ｓｒ、およびＣａからなる群より選ばれる少なくと
も一種のアルカリ土類金属であり；ＸおよびＸ′は、そ
れぞれＣｌ、Ｂｒ、およびＩからなる群より選ばれる少
なくとも一種のハロゲンであり；Ａは、Ｖ、Ｃｒ、Ｍ
ｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、およびＮｉより選ばれる少なくとも一
種の遷移金属であり；そして、ｘは０＜ｘ≦２、ｙは０
＜ｙ≦０．２、およびｚは０＜ｚ≦１０-2である］の組
成式で表わされる螢光体、 本出願人による特開昭５９−７５２０００号公報に記載
されているＭIIＦＸ・ａＭＩＸ′・ｂＭ′IIＸ″２・ｃ
ＭIIIＸ３・ｘＡ：ｙＡ：ｙＥｕ2+［ただし、ＭIIは
Ｂａ、Ｓｒ、およびＣａからなる群より選ばれる少なく
とも一種のアルカリ土類金属であり；ＭＩはＬｉ、Ｎ
ａ、Ｋ、Ｒｂ、およびＣｓからなる群より選ばれる少な
くとも一種のアルカリ金属であり、Ｍ′IIはＢｅおよび
Ｍｇからなる群より選ばれる少なくとも一種の二価金属
であり；ＭIIIはＡｌ、Ｇａ、Ｉｎ、およびＴｌからな
る群より選ばれる少なくとも一種の三価金属であり；Ａ
は金属酸化物であり；ＸはＣｌ、Ｂｒ、およびＩからな
る群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンであり；
Ｘ′、Ｘ″、およびＸＢは、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、および
Ｉからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンで
あり；そして、ａは０≦ａ≦２、ｂは、０≦ｂ≦１
０-2、ｃは０≦ｃ≦１０-2、かつａ＋ｂ＋ｃ≧１０-6で
あり；ｘは０＜ｘ≦０．５、ｙは０＜ｙ≦０．２であ
る］の組成式で表わされる螢光体、 などを挙げることができる。
て、該シートに透過電子線による電子顕微鏡を蓄積記録
したならば、このシートを可視光等の励起光で走査して
螢光を生ぜしめ、この螢光を光電的に読み取れば、透過
電子線像に対応する電気信号が得られる。こうして得ら
れた電気的画像信号を用いれば、ＣＲＴ等のディスプレ
イに電子線顕微鏡を表示させることもできるし、あるい
はハードコピーとして永久記録することもできるし、さ
らは上記画像信号を一旦磁気テープ、磁気ディスク等の
記録媒体に記憶させておくこともできる。本発明におい
て利用される蓄積性螢光体シートに用いられる輝尽性螢
光体の例としては、 米国特許第３，８５９，５２７号明細書に記載されてい
るＳｒＳ：Ｃｅ，Ｓｍ、ＳｒＳ：Ｅｕ，Ｓｍ、Ｔｈ
Ｏ２：Ｅｒ、およびＬａ２Ｏ２Ｓ：Ｅｕ，Ｓｍなどの組
成式で表わされる螢光体、 特開昭５５−１２１４２号公報に記載されているＺｎ
Ｓ：Ｃｕ，Ｐｂ、ＢａＯ・ｘＡｌ２Ｏ３：Ｅｕ［ただ
し、０．８≦ｘ≦１０］、および、Ｍ2+Ｏ・ｘＳｉ
Ｏ２：Ａ［ただし、Ｍ2+はＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｚｎ、Ｃ
ｄ、またはＢａであり、ＡはＣｅ、Ｔｂ、Ｅｕ、Ｔｍ、
Ｐｂ、Ｔｌ、Ｂｉ、またはＭｎであり、ｘは、０．５≦
ｘ≦２．５である］などの組成式で表わされる螢光体、 特開昭５５−１２１４３号公報に記載されている（Ｂａ
1-x-y，Ｍｇｘ，Ｃａｙ）ＦＸ： ａＥｕ2+［ただし、ＸはＣｌおよびＢｒのうちの少なく
とも一つであり、ｘおよびｙは、０＜ｘ＋ｙ≦０．６、
かつｘｙ≠０であり、ａは、１０-6≦ａ≦５×１０-2で
ある］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５５−１２１４４号公報に記載されているＬｎＯ
Ｘ：ｘＡ［ただし、ＬｎはＬａ、Ｙ、Ｇｄ、およびＬｕ
のうちの少なくとも一つ、ＸはＣｌおよびＢｒのうちの
少なくとも一つ、ＡはＣｅおよびＴｂのうちの少なくと
も一つ、そして、ｘは、０＜ｘ＜０．１である］の組成
式で表わされる螢光体、 特開昭５５−１２１４５号公報に記載されている（Ｂａ
1-x，ＭII x］ＦＸ：ｙＡ［ただし、ＭIIはＭｇ、Ｃａ、
Ｓｒ、Ｚｎ、およびＣｄのうちの少なくとも一つ、Ｘは
Ｃｌ、Ｂｒ、およびＩのうちの少なくとも一つ、ＡはＥ
ｕ、Ｔｂ、Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ、Ｐｒ、Ｈｏ、Ｎｄ、Ｙ
ｂ、およびＥｒのうちの少なくとも一つ、そしてｘは、
０≦ｘ≦０．６、ｙは、０≦ｙ≦０．２である］の組成
式で表わされる螢光体、 特開昭５５−１６００７８号公報に記載されているＭII
ＦＸ：ｘＡ：ｙＬｎ［ただし、ＭIIはＢａ、Ｃａ、Ｓ
ｒ、Ｍｇ、Ｚｎ、およびＣｄのうちの少なくとも一種、
ＡはＢｅＯ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ、Ｚｎ
Ｏ、Ａｌ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、Ｉｎ２Ｏ３、
ＳｉＯ２、ＴｌＯ２、ＺｒＯ２、ＧｅＯ２、ＳｎＯ２、
Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、およびＴｈＯ２のうちの少な
くとも一種、ｌｎはＥｕ、Ｔｂ、Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ、Ｐ
ｒ、Ｈｏ、Ｎｄ、Ｙｂ、Ｅｒ、Ｓｍ、およびＧｄのうの
少なくとも一種、ＸはＣｌ、Ｂｒ、およびＩのうちの少
なくとも一種であり、ｘおよびｙはそれぞれ５×１０-5
≦ｘ≦０．５、および０＜ｙ≦０．２である］の組成式
で表わされる螢光体、 特開昭５６−１１６７７７号公報に記載されている（Ｂ
ａ1-x，ＭII x］Ｆ２・ａＢａＸ２：ｙＥｕ、ｚＡ［ただ
し、ＭIIはベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ス
トロンチウム、亜鉛、およびカドミウムのうちの少なく
とも一種、Ｘは塩素、臭素、および沃素のうちの少なく
とも一種、Ａはジルコニウムおよびスカンジウムのうち
の少なくとも一種であり、ａ、ｘ、ｙ、およびｚはそれ
ぞれ０．５≦ａ≦１．２５、０≦ｘ≦１、１０-6≦ｙ≦
２×１０-1、および０＜ｚ≦１０-2である］の組成式で
表わされる螢光体、 特開昭５７−２３６７３号公報に記載されている（Ｂａ
1-x，ＭII x］Ｆ２・ａＢａＸ２：ｙＥｕ、ｚＢ［ただ
し、ＭIIはベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ス
トロンチウム、亜鉛、およびカドミウムのうちの少なく
とも一種、Ｘは塩素、臭素、および沃素のうちの少なく
とも一種であり、ａ、ｘ、ｙ、およびｚはそれぞれ０．
５≦ａ≦１．２５、０≦ｘ≦１、１０-6≦ｙ≦２×１０
-1、および０＜ｚ≦１０-1である］の組成式で表わされ
る螢光体、 特開昭５７−２３６７５号公報に記載されている（Ｂａ
1-x，ＭII x］Ｆ２・ａＢａＸ２：ｙＥｕ、ｚＡ［ただ
し、ＭIIはベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ス
トロンチウム、亜鉛、およびカドミウムのうちの少なく
とも一種、Ｘは塩素、臭素、および沃素のうちの少なく
とも一種、Ａは砒素および硅素のうちの少なくとも一種
であり、ａ、ｘ、ｙ、およびｚはそれぞれ０．５≦ａ≦
１．２５、０≦ｘ≦１、１０-6≦ｙ≦２×１０-1、およ
び０＜ｚ≦５×１０-1である］の組成式で表わされる螢
光体、 特開昭５８−６９２８１号公報に記載されているＭIII
ＯＸ：ｘＣｅ［ただし、ＭIIIはＰｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓ
ｍ、Ｅｕ、Ｔｂ、Ｄｙ、、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、お
よびＢｉからなる郡より選ばれる少なくとも一種の三価
金属であり、Ｘは、ＣｌおよびＢｒのうちのいずれか一
方あるいはその両方であり、ｘは０＜ｘ＜０．１であ
る］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５８−２０６６７８号公報に記載されているＢａ
1-xＭx/2ＦＸ：ｙＥｕ+2［ただし、Ｍは、Ｌｉ、Ｎａ、
Ｋ、Ｒｂ、およびＣｓからなる郡より選ばれる少なくと
も一種のアルカリ金属を表わし；Ｌは、Ｓｃ、Ｙ、Ｌ
ａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄ
ｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ａｌ、Ｇａ、Ｉ
ｎ、およびＴｌからなる群より選ばれる少なくとも一種
の三価金属を表わし：Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ、およびＩから
なる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンを表わ
し；そして、ｘは１０-2≦ｘ≦０５、ｙは０＜ｙ≦０．
１である］組成式で表わされる螢光体、 特開昭５９−２７９８０号公報に記載されているＢａＦ
Ｘ・ｘＡ：ｙＥｕ+2［ただし、Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ、およ
びＩからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲン
であり；Ａは、テトラフルオロホウ酸化合物の焼成物で
あり；そして、ｘは１０-6≦ｘ≦０．１、ｙは０＜ｙ≦
０．１である］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５９−４７２８９号公報に記載されているＢａＦ
Ｘ・ｘＡ：ｙＥｕ2+［ただし、Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ、およ
びＩからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲン
であり；Ａは、ヘキサフルオロケイ酸、ヘキサフルオロ
チタン酸およびヘキサフルオロジルコニウム酸の一価も
しくは二価金属の塩からなるヘキサフルオロ化合物群よ
り選ばれる少なくも一種の化合物の焼成物であり；そし
て、ｘは１０-6≦ｘ≦０．１、ｙは０＜ｙ≦０．１であ
る］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５９−５６４７９号公報に記載されているＢａＦ
Ｘ・ｘＮａＸ′：ａＥｕ2+［ただし、ＸおよびＸ′は、
それぞれＣｌ、Ｂｒ、およびＩのうちの少なくとも一種
であり、ｘおよびａはそれぞれ０＜ｘ≦２、および０＜
ａ≦０．２である］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５９−５６４８０号公報に記載されているＭIIＦ
Ｘ・ｘＮａＸ′：ｙＥｕ2+：ｚＡ［ただし、ＭIIは、Ｂ
ａ、Ｓｒ、およびＣａからなる群より選ばれる少なくと
も一種のアルカリ土類金属であり；ＸおよびＸ′は、そ
れぞれＣｌ、Ｂｒ、およびＩからなる群より選ばれる少
なくとも一種のハロゲンであり；Ａは、Ｖ、Ｃｒ、Ｍ
ｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、およびＮｉより選ばれる少なくとも一
種の遷移金属であり；そして、ｘは０＜ｘ≦２、ｙは０
＜ｙ≦０．２、およびｚは０＜ｚ≦１０-2である］の組
成式で表わされる螢光体、 本出願人による特開昭５９−７５２０００号公報に記載
されているＭIIＦＸ・ａＭＩＸ′・ｂＭ′IIＸ″２・ｃ
ＭIIIＸ３・ｘＡ：ｙＡ：ｙＥｕ2+［ただし、ＭIIは
Ｂａ、Ｓｒ、およびＣａからなる群より選ばれる少なく
とも一種のアルカリ土類金属であり；ＭＩはＬｉ、Ｎ
ａ、Ｋ、Ｒｂ、およびＣｓからなる群より選ばれる少な
くとも一種のアルカリ金属であり、Ｍ′IIはＢｅおよび
Ｍｇからなる群より選ばれる少なくとも一種の二価金属
であり；ＭIIIはＡｌ、Ｇａ、Ｉｎ、およびＴｌからな
る群より選ばれる少なくとも一種の三価金属であり；Ａ
は金属酸化物であり；ＸはＣｌ、Ｂｒ、およびＩからな
る群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンであり；
Ｘ′、Ｘ″、およびＸＢは、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、および
Ｉからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンで
あり；そして、ａは０≦ａ≦２、ｂは、０≦ｂ≦１
０-2、ｃは０≦ｃ≦１０-2、かつａ＋ｂ＋ｃ≧１０-6で
あり；ｘは０＜ｘ≦０．５、ｙは０＜ｙ≦０．２であ
る］の組成式で表わされる螢光体、 などを挙げることができる。
ただし、本発明に用いられる輝尽性螢光体は上述の螢光
体に限られるものではなく、放射線を照射したのちに励
起光を照射した場合に、輝尽性発光を示す螢光体であれ
ばいかなるものであってもよい。
体に限られるものではなく、放射線を照射したのちに励
起光を照射した場合に、輝尽性発光を示す螢光体であれ
ばいかなるものであってもよい。
これらの螢光体シートは保護層や、光反射性もしくは光
吸収性の下引層を有していてもよく、またその螢光体層
は特開昭５５−１６３５００号公報に開示されているよ
うに顔料又は染料で着色されていてもよい。
吸収性の下引層を有していてもよく、またその螢光体層
は特開昭５５−１６３５００号公報に開示されているよ
うに顔料又は染料で着色されていてもよい。
（実施態様） 以下、図面を参照して本発明の実施態様を詳細に説明す
る。
る。
第１図は本発明の１実施態様における電子顕微鏡像記録
再生装置の大略を示すものである。
再生装置の大略を示すものである。
この電子顕微鏡像記録再生装置は、通常の電子顕微鏡１
の鏡体部１ａの下部に、少なくとも電子顕微鏡の露光時
（記録時）は電子線像の結像面と同一の真空系に属する
ように配置された２次元センサとしての蓄積体螢光体シ
ート１０、前記シート１０を真空状態に置いたままで励
起光で走査する励起手段および前記２次元センサから放
出される輝尽発光光を光電的に検出する検出手段からな
る記録・読取部１ｂを設けてなるものである。この鏡体
部１ａ及び記録・読取部１ｂの１部（図中ハッチングで
示した枠の内部）は、電子顕微鏡の稼動中、周知の手段
によって真空状態に保持される。
の鏡体部１ａの下部に、少なくとも電子顕微鏡の露光時
（記録時）は電子線像の結像面と同一の真空系に属する
ように配置された２次元センサとしての蓄積体螢光体シ
ート１０、前記シート１０を真空状態に置いたままで励
起光で走査する励起手段および前記２次元センサから放
出される輝尽発光光を光電的に検出する検出手段からな
る記録・読取部１ｂを設けてなるものである。この鏡体
部１ａ及び記録・読取部１ｂの１部（図中ハッチングで
示した枠の内部）は、電子顕微鏡の稼動中、周知の手段
によって真空状態に保持される。
鏡体部１ａは、一様の速度の電子線２を射出する電子銃
３と電子線２を試料面に絞り込む磁気レンズ、静電レン
ズ等からなる少なくとも１コの集束レンズ４と試料台５
と、上記集束レンズ４と同様の対物レンズ６と投影レン
ズ７とを有してなる。試料台５上に載置された試料８を
透過した電子線２は上記対物レンズ６により屈折され、
該試料８の拡大散乱像８ａを形成する。この拡大散乱像
８ａは投影レンズ７により、結像面９に結像投影される
（図中の８ｂ）。
３と電子線２を試料面に絞り込む磁気レンズ、静電レン
ズ等からなる少なくとも１コの集束レンズ４と試料台５
と、上記集束レンズ４と同様の対物レンズ６と投影レン
ズ７とを有してなる。試料台５上に載置された試料８を
透過した電子線２は上記対物レンズ６により屈折され、
該試料８の拡大散乱像８ａを形成する。この拡大散乱像
８ａは投影レンズ７により、結像面９に結像投影される
（図中の８ｂ）。
一方、記録・読取部１ｂは、円筒形の駆動ローラ１０１
と同じく円筒形の従動ローラ１０２に掛けわたしたエン
ドレスベルト状の蓄積性螢光体シート１０、Ｈｅ−Ｎｅ
レーザ管等の励起光源１１の励起光源１１から放出され
る励起光ビーム１１ａをシート１０の幅方向に偏向させ
るガルバノメータミラー等が光偏向器１２からなる励起
手段及び励起光によってシート１０から放出される輝尽
発光光を集光する集光体１４の射出端面に設けられ前記
の螢光を光電変換して電気信号に変えるフォトマル等の
光電変換器１５からなる検出手段を有している。エンド
レスベルト状の蓄積性螢光体シート１０は可撓性に富む
エンドレスベルト状の支持体の表面に蓄積性螢光体層を
積層して形成されるものである。このシート１０は駆動
ローラ１０１と従動ローラ１０２の間に掛けわたされ、
駆動装置（図示せず）によって回転される駆動ローラ１
０１により矢印Ａ方向に回転可能である。
と同じく円筒形の従動ローラ１０２に掛けわたしたエン
ドレスベルト状の蓄積性螢光体シート１０、Ｈｅ−Ｎｅ
レーザ管等の励起光源１１の励起光源１１から放出され
る励起光ビーム１１ａをシート１０の幅方向に偏向させ
るガルバノメータミラー等が光偏向器１２からなる励起
手段及び励起光によってシート１０から放出される輝尽
発光光を集光する集光体１４の射出端面に設けられ前記
の螢光を光電変換して電気信号に変えるフォトマル等の
光電変換器１５からなる検出手段を有している。エンド
レスベルト状の蓄積性螢光体シート１０は可撓性に富む
エンドレスベルト状の支持体の表面に蓄積性螢光体層を
積層して形成されるものである。このシート１０は駆動
ローラ１０１と従動ローラ１０２の間に掛けわたされ、
駆動装置（図示せず）によって回転される駆動ローラ１
０１により矢印Ａ方向に回転可能である。
本実施態様では、エンドレスベルト状の蓄積性螢光体シ
ート１０、これを移動させる駆動ローラ１０１、従動ロ
ーラ１０２、集光体１４及び光電変換器１５を真空系内
に配置してあるが、集光体１４をその端部が器壁をつら
ぬいて真空系外に出るように配置すれば、光電変換器１
５を真空系外に設置することができる。
ート１０、これを移動させる駆動ローラ１０１、従動ロ
ーラ１０２、集光体１４及び光電変換器１５を真空系内
に配置してあるが、集光体１４をその端部が器壁をつら
ぬいて真空系外に出るように配置すれば、光電変換器１
５を真空系外に設置することができる。
鏡体部１ａと記録・読取部１ｂに間に設けられているシ
ャッター（図示せず）を開くと、記録筒所（すなわち結
像面９）に位置する蓄積性螢光体シート１０の部分に試
料の拡大散乱像８ｂに対応する電子線エネルギーが蓄積
される。次いでシート１０のこの部分は駆動ローラの回
転により読取箇所へ移動される。本実施態様では外部に
配置されたレーザ光源等の励起光源１１とガルバノメー
タミラー等の光偏向器１２によりエンドレスベルト状の
蓄積性螢光体シート１０の幅方向を走査する励起光ビー
ム１１ａを鉛ガラス等の透光性の壁部材１９ａを通して
このシート１０に入射させる一方、このシート１０を駆
動ローラ１０１によって幅方向とは直角の方向（矢印Ａ
方向）へ移動させることにより、このシート１０の画像
記録部分を走査する。この励起光によって蓄積性螢光体
シート１０から発生する輝尽発光光は集光体１４の入射
端面（シート１０に向けられた端面）から集光体１４内
に入射し、この中を全反射によって酸内されながら射出
端面に接続されたフォトマル１５で受光され、輝尽発光
光量が光電的に読み取られる。
ャッター（図示せず）を開くと、記録筒所（すなわち結
像面９）に位置する蓄積性螢光体シート１０の部分に試
料の拡大散乱像８ｂに対応する電子線エネルギーが蓄積
される。次いでシート１０のこの部分は駆動ローラの回
転により読取箇所へ移動される。本実施態様では外部に
配置されたレーザ光源等の励起光源１１とガルバノメー
タミラー等の光偏向器１２によりエンドレスベルト状の
蓄積性螢光体シート１０の幅方向を走査する励起光ビー
ム１１ａを鉛ガラス等の透光性の壁部材１９ａを通して
このシート１０に入射させる一方、このシート１０を駆
動ローラ１０１によって幅方向とは直角の方向（矢印Ａ
方向）へ移動させることにより、このシート１０の画像
記録部分を走査する。この励起光によって蓄積性螢光体
シート１０から発生する輝尽発光光は集光体１４の入射
端面（シート１０に向けられた端面）から集光体１４内
に入射し、この中を全反射によって酸内されながら射出
端面に接続されたフォトマル１５で受光され、輝尽発光
光量が光電的に読み取られる。
フォトマル１５によって読み取られた電気信号は、画像
処理回路１６に伝えられ必要な画像処理が施された上、
必要な画像再生装置へ送られる。この再生装置は、ＣＲ
Ｔ等のディスプレイ１７でもよいし、感光フィルムに光
走査記録を行なう記録装置でもよいし、あるいはそのた
めに一旦磁気テープ等の記憶装置１８に記録するもので
もよい。
処理回路１６に伝えられ必要な画像処理が施された上、
必要な画像再生装置へ送られる。この再生装置は、ＣＲ
Ｔ等のディスプレイ１７でもよいし、感光フィルムに光
走査記録を行なう記録装置でもよいし、あるいはそのた
めに一旦磁気テープ等の記憶装置１８に記録するもので
もよい。
読取りが終了した後エンドレスベルト状の蓄積性螢光体
シート１０の画像記録部分は消去ゾーン２０に送られ
る。この消去ゾーン２０では、真空系外に設けられた螢
光灯等の消去用光源２１から放出される消去光が透光性
の壁部材１９ｂを通して前記シート１０に照射される。
この消去用光源２１は蓄積性螢光体シート１０に、該螢
光体の励起波長領域に含まれる光を照射することによ
り、この蓄積性螢光体シート１０の螢光体層に蓄積され
ている残像や、シート１０の原料中に含まれている放射
性同位元素によるノイズを放出させるものであり、例え
ば特開昭５６−１１３９２号に示されているようなタン
グステンランプ、ハロゲンランプ、赤外線ランプ、ある
いはレーザ光源等が任意に選択使用され得る。
シート１０の画像記録部分は消去ゾーン２０に送られ
る。この消去ゾーン２０では、真空系外に設けられた螢
光灯等の消去用光源２１から放出される消去光が透光性
の壁部材１９ｂを通して前記シート１０に照射される。
この消去用光源２１は蓄積性螢光体シート１０に、該螢
光体の励起波長領域に含まれる光を照射することによ
り、この蓄積性螢光体シート１０の螢光体層に蓄積され
ている残像や、シート１０の原料中に含まれている放射
性同位元素によるノイズを放出させるものであり、例え
ば特開昭５６−１１３９２号に示されているようなタン
グステンランプ、ハロゲンランプ、赤外線ランプ、ある
いはレーザ光源等が任意に選択使用され得る。
以上透過電子線により試料８の拡大散乱像を記録再生す
る実施態様について説明したが、本発明は前述した試料
の回折パターンを記録再生するために適用することもで
きる。第２図は試料８の回折パターン８ｃを記録する様
子を示すものである。本実施態様において電子顕微鏡２
１は、対物レンズ６と投影レンズ７との間に中間レンズ
２０を備えたものが使用され、対物レンズ６の後焦平面
に形成された試料８の回折パターン８ｃは、上記後焦平
面に焦点を合わせた中間レンズ２０および投影レンズ７
により、結像面９に拡大投影される。この場合にも上記
結像面９に２次元センサとしての蓄積性螢光体シート１
０を配置すれば、該シート１０に透過電子線２による上
記回折パターン８ｃの拡大像が蓄積記録される。この蓄
積記録された回折パターン８ｃは、前記第１図で説明し
たのと全く同様にして読取り可能であり、その読取り像
はＣＲＴに表示したり、あるいはハードコピーとして再
生したりすることができる。
る実施態様について説明したが、本発明は前述した試料
の回折パターンを記録再生するために適用することもで
きる。第２図は試料８の回折パターン８ｃを記録する様
子を示すものである。本実施態様において電子顕微鏡２
１は、対物レンズ６と投影レンズ７との間に中間レンズ
２０を備えたものが使用され、対物レンズ６の後焦平面
に形成された試料８の回折パターン８ｃは、上記後焦平
面に焦点を合わせた中間レンズ２０および投影レンズ７
により、結像面９に拡大投影される。この場合にも上記
結像面９に２次元センサとしての蓄積性螢光体シート１
０を配置すれば、該シート１０に透過電子線２による上
記回折パターン８ｃの拡大像が蓄積記録される。この蓄
積記録された回折パターン８ｃは、前記第１図で説明し
たのと全く同様にして読取り可能であり、その読取り像
はＣＲＴに表示したり、あるいはハードコピーとして再
生したりすることができる。
更に記録条件の変動による影響をなくしあるいは観察性
の優れた電子顕微鏡像を得るためには、蓄積性螢光体シ
ート１０に蓄積記録した透過電子線像（拡大散乱像ある
いは拡大回折パターン）の記録状態、試料の性状、ある
いは記録方法等によって決定される記録パターンを試料
観察のための可視像の出力に先立って把握し、この把握
した蓄積記録情報に基づいて読取ゲインを適当な値に調
節し、あるいは適当な信号処理を施すことが好ましい。
の優れた電子顕微鏡像を得るためには、蓄積性螢光体シ
ート１０に蓄積記録した透過電子線像（拡大散乱像ある
いは拡大回折パターン）の記録状態、試料の性状、ある
いは記録方法等によって決定される記録パターンを試料
観察のための可視像の出力に先立って把握し、この把握
した蓄積記録情報に基づいて読取ゲインを適当な値に調
節し、あるいは適当な信号処理を施すことが好ましい。
また、記録パターンのコントラストに応じて分解能が最
適化されるように収録スケールファクターを決定するこ
とが、観察性のすぐれた再生画像を得るために要求され
る。
適化されるように収録スケールファクターを決定するこ
とが、観察性のすぐれた再生画像を得るために要求され
る。
このように可視像の出力に先立って蓄積性螢光体シート
１０の蓄積記録情報を把握する方法として、例えば特開
昭５８−８９２４５号に示されているような方法が使用
可能である。すなわち試料８の観察のための可視像をる
読取り操作（本読み）の際に照射すべき励起光のエネル
ギーよりも低いエネルギーの励起光を用いて、前記本読
みに先立って予め蓄積性螢光体シート１０に蓄積記録さ
れている蓄積記録情報を把握するため読取り操作（先読
み）を行ない、シート１０の蓄積記録情報を把握し、し
かる後に本読みを行なって、前記先読み情報に基づいて
読取ゲインを適当に調節し、或いは適当な信号処理を施
すことにより、実現することができる。
１０の蓄積記録情報を把握する方法として、例えば特開
昭５８−８９２４５号に示されているような方法が使用
可能である。すなわち試料８の観察のための可視像をる
読取り操作（本読み）の際に照射すべき励起光のエネル
ギーよりも低いエネルギーの励起光を用いて、前記本読
みに先立って予め蓄積性螢光体シート１０に蓄積記録さ
れている蓄積記録情報を把握するため読取り操作（先読
み）を行ない、シート１０の蓄積記録情報を把握し、し
かる後に本読みを行なって、前記先読み情報に基づいて
読取ゲインを適当に調節し、或いは適当な信号処理を施
すことにより、実現することができる。
また蓄積性螢光体シート１０から放出された輝尽発光光
を光電的に読み取る光電読取手段としては、前述のよう
なフォトマル１５を用いる他に、光導電体およびフォト
ダイオードなどの固体光電変換素子を用いることもでき
る（特願昭５８−８６２２６号、特願昭５８−８６２７
７号、特願昭５８−２１９３１３号および特願昭５８−
２１９３１４号の各明細書、および特開昭５８−１２１
８７４号公報参照）。この場合には、多数の固体光電変
換素子がシート１０全表面を覆うように構成され、シー
ト１０と一体化されていてもよいし、あるいはシート１
０に近接した状態で配置されていてもよい。また、光電
読取手段は複数の光電変換素子が線状に連なったライン
センサであってもよいし、あるいは一画素に対応する一
個の固体光電変換素子が蓄積性螢光体シート１０の全表
面に亘って走査移動されるように構成されてもよい。
を光電的に読み取る光電読取手段としては、前述のよう
なフォトマル１５を用いる他に、光導電体およびフォト
ダイオードなどの固体光電変換素子を用いることもでき
る（特願昭５８−８６２２６号、特願昭５８−８６２７
７号、特願昭５８−２１９３１３号および特願昭５８−
２１９３１４号の各明細書、および特開昭５８−１２１
８７４号公報参照）。この場合には、多数の固体光電変
換素子がシート１０全表面を覆うように構成され、シー
ト１０と一体化されていてもよいし、あるいはシート１
０に近接した状態で配置されていてもよい。また、光電
読取手段は複数の光電変換素子が線状に連なったライン
センサであってもよいし、あるいは一画素に対応する一
個の固体光電変換素子が蓄積性螢光体シート１０の全表
面に亘って走査移動されるように構成されてもよい。
上記の場合の読取光源としては、レーザ等のような点光
源のほかに、発光ダイオード（ＬＥＤ）や半導体レーザ
等を列状に連ねてなるアレイなどの線光源であってもよ
い。このような装置を用いて読取りを行なうことによ
り、蓄積性螢光体シート１０から放出される輝尽発光光
の損失を防ぐと同時に受光立体角を大きくしてＳ／Ｎを
高めることができる。また、得られる電気信号は励起光
の時系列的な照射によってではなく、光検出器の電気的
な処理によって時系列化されるために、読出し速度を速
くすることが可能である。
源のほかに、発光ダイオード（ＬＥＤ）や半導体レーザ
等を列状に連ねてなるアレイなどの線光源であってもよ
い。このような装置を用いて読取りを行なうことによ
り、蓄積性螢光体シート１０から放出される輝尽発光光
の損失を防ぐと同時に受光立体角を大きくしてＳ／Ｎを
高めることができる。また、得られる電気信号は励起光
の時系列的な照射によってではなく、光検出器の電気的
な処理によって時系列化されるために、読出し速度を速
くすることが可能である。
（発明の効果） 以上詳細に説明した通り本発明によれば、蓄積性螢光体
シートに電子顕微鏡像を蓄積記録するようにしたから、
電子顕微鏡像を高感度で記録することが可能になり、し
たがって電子顕微鏡の電子線露光量を低減でき、試料の
損傷を少なくすることができる。また記録画像を高感度
で即時に再生画像をＣＲＴ等に表示することできるの
で、この再生画像を電子顕微鏡のフォーカス調整用モニ
タ画像として利用すれば明瞭なモニタ画像が得られ、従
来不可能であった低電子線露光量でのフォーカス調整が
合能になる。
シートに電子顕微鏡像を蓄積記録するようにしたから、
電子顕微鏡像を高感度で記録することが可能になり、し
たがって電子顕微鏡の電子線露光量を低減でき、試料の
損傷を少なくすることができる。また記録画像を高感度
で即時に再生画像をＣＲＴ等に表示することできるの
で、この再生画像を電子顕微鏡のフォーカス調整用モニ
タ画像として利用すれば明瞭なモニタ画像が得られ、従
来不可能であった低電子線露光量でのフォーカス調整が
合能になる。
しかも本発明においては電子顕微鏡像が電気信号として
読み取るられるから、電子顕微鏡像に階調処理、周波数
強調処理等の画像処理を施すことも極めて容易になり、
また前述したような回折パターンの処理や、三次元像の
再構成、画像の２値化等の画像解析も、上記電気信号を
コンピュータに入力することにより、従来に比べ極めて
簡単かつ迅速に行なえるようになる。
読み取るられるから、電子顕微鏡像に階調処理、周波数
強調処理等の画像処理を施すことも極めて容易になり、
また前述したような回折パターンの処理や、三次元像の
再構成、画像の２値化等の画像解析も、上記電気信号を
コンピュータに入力することにより、従来に比べ極めて
簡単かつ迅速に行なえるようになる。
さらに、電子顕微鏡を蓄積記録する蓄積性螢光体シート
は、光照射あるいは加熱等の処理を施すことにより再使
用可能であるから本発明によれば従来の銀塩写真システ
ムを採用する場合等に比べ、より経済的に電子顕微鏡像
を再生できる。また電子線像結像面と共通の真空系内で
蓄積性螢光体シートを再使用できるので、従来のフィル
ム法のように真空をやぶってフィルム交換等を行なう必
要がなく連続的に多数の撮影を行なえるという利点を有
する。
は、光照射あるいは加熱等の処理を施すことにより再使
用可能であるから本発明によれば従来の銀塩写真システ
ムを採用する場合等に比べ、より経済的に電子顕微鏡像
を再生できる。また電子線像結像面と共通の真空系内で
蓄積性螢光体シートを再使用できるので、従来のフィル
ム法のように真空をやぶってフィルム交換等を行なう必
要がなく連続的に多数の撮影を行なえるという利点を有
する。
第１図は本発明の第１実施態様装置を示す概略図、 第２図は本発明の第２実施態様装置の一部を示す概略図
である。 １、２１……電子顕微鏡、２……電子線 ９……電子顕微鏡の結像面 １０……蓄積性螢光体シート １１……励起光源 １１ａ……励起光ビーム、１２……光偏向器 １４……集光体、１５……フォトマル
である。 １、２１……電子顕微鏡、２……電子線 ９……電子顕微鏡の結像面 １０……蓄積性螢光体シート １１……励起光源 １１ａ……励起光ビーム、１２……光偏向器 １４……集光体、１５……フォトマル
Claims (2)
- 【請求項１】電子線エネルギーを蓄積する蓄積性螢光体
シートに、試料を透過した電子線を真空状態で蓄積記録
し、次いで前記真空状態を維持したままで前記蓄積性螢
光体シートを励起光で走査して蓄積されたエネルギーを
光として放出させ、この放出光を光電的に検出すること
を特徴とする電子顕微鏡像記録再生方法。 - 【請求項２】少なくとも、電子顕微鏡の結像面と同一の
真空系内に配置された、電子線エネルギーの分布によっ
て形成される電子線像を蓄積する蓄積性螢光体シート、
前記蓄積性螢光体シートを真空状態に置いたままで励起
光で走査する励起手段、前記励起光の走査によって前記
蓄積性螢光体シートから放出される光を光電的に検出す
る検出手段から構成されることを特徴とする電子顕微鏡
像記録再生装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59150175A JPH0616392B2 (ja) | 1984-07-19 | 1984-07-19 | 電子顕微鏡像記録再生方法及び装置 |
| EP85109059A EP0168838B1 (en) | 1984-07-19 | 1985-07-19 | Method and apparatus for recording and reproducing electron microscope image |
| DE8585109059T DE3580068D1 (de) | 1984-07-19 | 1985-07-19 | Verfahren und geraet zur aufnahme und wiedergabe elektromikroskopischer bilder. |
| US07/251,982 US4889990A (en) | 1984-07-19 | 1988-09-28 | Method and apparatus for recording and reproducing electron microscope image |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59150175A JPH0616392B2 (ja) | 1984-07-19 | 1984-07-19 | 電子顕微鏡像記録再生方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6151738A JPS6151738A (ja) | 1986-03-14 |
| JPH0616392B2 true JPH0616392B2 (ja) | 1994-03-02 |
Family
ID=15491137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59150175A Expired - Fee Related JPH0616392B2 (ja) | 1984-07-19 | 1984-07-19 | 電子顕微鏡像記録再生方法及び装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4889990A (ja) |
| EP (1) | EP0168838B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0616392B2 (ja) |
| DE (1) | DE3580068D1 (ja) |
Families Citing this family (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3587871T2 (de) * | 1984-12-10 | 1994-10-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | Verfahren zur Feststellung eines Fokussierungsfehlers eines elektronen-mikroskopischen Bildes. |
| JPS62145634A (ja) * | 1985-12-20 | 1987-06-29 | Fuji Photo Film Co Ltd | 透過型電子顕微鏡 |
| JPS62222555A (ja) * | 1986-03-24 | 1987-09-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | 電子顕微鏡像記録読取方法 |
| US4868864A (en) * | 1986-07-15 | 1989-09-19 | Hayes Microcomputer Products, Inc. | Autocorrelating 2400 bps handshake sequence detector |
| JPS63174253A (ja) * | 1987-01-13 | 1988-07-18 | Fuji Photo Film Co Ltd | 電子顕微鏡 |
| JPS63318048A (ja) * | 1987-06-19 | 1988-12-26 | Jeol Ltd | 電界放射型電子銃と超高感度記録媒体を併用した電子顕微鏡 |
| JPH07109483B2 (ja) * | 1988-09-06 | 1995-11-22 | 富士写真フイルム株式会社 | 蓄積性蛍光体シートのノイズ消去方法 |
| DE4213556C2 (de) * | 1992-04-24 | 1994-04-28 | Max Planck Gesellschaft | Einrichtung zur optischen Abtastung eines Aufzeichnungsträgers, insbesondere einer Phosphorspeicherplatte |
| JP3270560B2 (ja) * | 1993-02-22 | 2002-04-02 | 富士写真フイルム株式会社 | 放射線画像情報読取装置 |
| US5831275A (en) * | 1994-04-15 | 1998-11-03 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Image forming apparatus |
| US6256405B1 (en) | 1994-04-15 | 2001-07-03 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Image forming apparatus |
| US6236744B1 (en) | 1994-04-15 | 2001-05-22 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Image forming apparatus using synthesized image and graphic data to display a portion of an image surrounded by a graphic pattern |
| US6343142B1 (en) | 1994-05-20 | 2002-01-29 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Image analyzing apparatus |
| US6415038B1 (en) | 1994-05-20 | 2002-07-02 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Image analyzing apparatus |
| JPH0829899A (ja) * | 1994-07-15 | 1996-02-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線画像情報読取システム |
| JP3550203B2 (ja) * | 1995-01-10 | 2004-08-04 | 富士写真フイルム株式会社 | 画像解析装置 |
| EP0814594B1 (en) * | 1996-06-18 | 2004-09-08 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Image reading apparatus |
| JPH103134A (ja) * | 1996-06-18 | 1998-01-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像読み取り装置 |
| JPH1021373A (ja) * | 1996-07-05 | 1998-01-23 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像解析装置 |
| EP0833170B1 (en) * | 1996-09-25 | 2002-06-19 | Agfa-Gevaert | Electron beam image recording and reproduction method |
| JPH10213865A (ja) * | 1997-01-30 | 1998-08-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像読み取り装置 |
| JP3851699B2 (ja) | 1997-02-06 | 2006-11-29 | 富士写真フイルム株式会社 | 画像解析装置 |
| JP3474765B2 (ja) | 1998-03-17 | 2003-12-08 | 富士写真フイルム株式会社 | 画像記録・読み取りシステム |
| JP3134852B2 (ja) * | 1998-08-25 | 2001-02-13 | 日本電気株式会社 | 結晶歪み測定装置および結晶歪み測定方法 |
| JP4030710B2 (ja) | 2000-08-07 | 2008-01-09 | 富士フイルム株式会社 | 画像読取装置 |
| JP3940995B2 (ja) * | 2002-04-19 | 2007-07-04 | 富士フイルム株式会社 | 画像読取装置 |
| JP3913602B2 (ja) * | 2002-04-23 | 2007-05-09 | 富士フイルム株式会社 | 読取画像処理方法および装置 |
| JP5718393B2 (ja) | 2013-03-12 | 2015-05-13 | 富士フイルム株式会社 | 画像読取方法および画像読取装置 |
Family Cites Families (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2239887A (en) * | 1937-07-02 | 1941-04-29 | Gen Electric | Luminescent screen |
| US3883748A (en) * | 1967-06-29 | 1975-05-13 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Phosphor for thermoluminescent type radiation dosimeter |
| JPS4831684A (ja) * | 1971-08-25 | 1973-04-25 | ||
| NL7215105A (ja) * | 1971-11-30 | 1973-06-04 | ||
| US3859527A (en) * | 1973-01-02 | 1975-01-07 | Eastman Kodak Co | Apparatus and method for producing images corresponding to patterns of high energy radiation |
| US3975637A (en) * | 1973-10-23 | 1976-08-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Device for storage and display of a radiation image |
| JPS5512429A (en) * | 1978-07-12 | 1980-01-29 | Fuji Photo Film Co Ltd | Radioactive image reader |
| JPS5944333B2 (ja) * | 1978-07-12 | 1984-10-29 | 富士写真フイルム株式会社 | 放射線像変換方法 |
| NL7905433A (nl) * | 1978-07-12 | 1980-01-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | Werkwijze en inrichting voor het registreren en weergeven van een stralingsbeeld. |
| JPS6056012B2 (ja) * | 1978-10-02 | 1985-12-07 | 日本コロムビア株式会社 | 周波数特性調整回路 |
| JPS5818010B2 (ja) * | 1978-09-30 | 1983-04-11 | 株式会社東芝 | 選局装置 |
| US4346295A (en) * | 1978-12-26 | 1982-08-24 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Radiation image read out device |
| US4315318A (en) * | 1978-12-26 | 1982-02-09 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method and apparatus for processing a radiation image |
| JPS55116340A (en) * | 1979-02-28 | 1980-09-06 | Fuji Photo Film Co Ltd | Method and device for processing gradation of radiation picture |
| JPS5611395A (en) * | 1979-07-11 | 1981-02-04 | Fuji Photo Film Co Ltd | Radiation image writeereading device |
| JPS5611392A (en) * | 1979-07-11 | 1981-02-04 | Fuji Photo Film Co Ltd | Method and device for converting radiation image |
| JPS56104645A (en) * | 1979-12-25 | 1981-08-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | Radiation picture treating method and its device |
| JPS56116777A (en) * | 1980-02-20 | 1981-09-12 | Kasei Optonix Co Ltd | Phosphor and radiation image transformation panel using the same |
| JPS5723675A (en) * | 1980-07-16 | 1982-02-06 | Kasei Optonix Co Ltd | Fluorescent substance and radiation image conversion panel using the same |
| CA1192674A (en) * | 1981-10-16 | 1985-08-27 | Hisatoyo Kato | Radiation image recording and read-out system |
| JPS5869281A (ja) * | 1981-10-20 | 1983-04-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | オキシハライド螢光体 |
| JPS58122500A (ja) * | 1982-01-14 | 1983-07-21 | 富士写真フイルム株式会社 | 放射線像変換パネル |
| JPS597946A (ja) * | 1982-07-06 | 1984-01-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線画像読取方法および装置 |
| JPS5956479A (ja) * | 1982-09-24 | 1984-03-31 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線像変換方法 |
| JP3251078B2 (ja) * | 1992-12-25 | 2002-01-28 | マツダ株式会社 | Ｖ型エンジンの燃焼制御装置 |
-
1984
- 1984-07-19 JP JP59150175A patent/JPH0616392B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1985
- 1985-07-19 EP EP85109059A patent/EP0168838B1/en not_active Expired
- 1985-07-19 DE DE8585109059T patent/DE3580068D1/de not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-09-28 US US07/251,982 patent/US4889990A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6151738A (ja) | 1986-03-14 |
| DE3580068D1 (de) | 1990-11-15 |
| EP0168838B1 (en) | 1990-10-10 |
| EP0168838A2 (en) | 1986-01-22 |
| US4889990A (en) | 1989-12-26 |
| EP0168838A3 (en) | 1987-06-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4889990A (en) | Method and apparatus for recording and reproducing electron microscope image | |
| EP0177973B1 (en) | Method of recording and reproducing images produced by an electron microscope | |
| JPS6193538A (ja) | 電子顕微鏡像記録再生装置 | |
| JPS5915843A (ja) | 放射線構造解析方法 | |
| EP0184810A2 (en) | Method of detecting a focus defect of an electron microscope image | |
| EP0183262B1 (en) | Method of recording and reproducing images produced by an electron microscope | |
| US4851677A (en) | Apparatus for recording and reproducing image produced by an electron microscope including an optical filter and a deflecting element | |
| JPH0616395B2 (ja) | 電子顕微鏡像記録装置 | |
| EP0178672B1 (en) | Electron microscope | |
| JPH05208000A (ja) | エネルギーサブトラクション画像作成装置 | |
| JPH0616393B2 (ja) | 電子顕微鏡像記録再生方法 | |
| JPH0616397B2 (ja) | 電子顕微鏡像記録読取装置 | |
| JPH0616394B2 (ja) | 電子顕微鏡像記録再生方法 | |
| JPH0616396B2 (ja) | 電子顕微鏡像記録再生方法 | |
| JPH0552625B2 (ja) | ||
| US4801801A (en) | Transmission-type electron microscope | |
| JPH0616398B2 (ja) | 電子顕微鏡のデフオ−カス量測定方法 | |
| JPS62145635A (ja) | 透過型電子顕微鏡 | |
| JPS61138442A (ja) | 電子顕微鏡像記録再生方法 | |
| JPH0556617B2 (ja) | ||
| JPH0552623B2 (ja) | ||
| JPS6011836A (ja) | 放射線像変換装置 | |
| JPH04319938A (ja) | 放射線像変換システムの検査方法、それに用いられる消去露光装置および放射線像読取装置 | |
| JPS61121249A (ja) | 電子線像情報の記録再生方法 | |
| JPH043059B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |