JPH067471B2 - 質量分析装置 - Google Patents
質量分析装置Info
- Publication number
- JPH067471B2 JPH067471B2 JP61065708A JP6570886A JPH067471B2 JP H067471 B2 JPH067471 B2 JP H067471B2 JP 61065708 A JP61065708 A JP 61065708A JP 6570886 A JP6570886 A JP 6570886A JP H067471 B2 JPH067471 B2 JP H067471B2
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- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/022—Circuit arrangements, e.g. for generating deviation currents or voltages ; Components associated with high voltage supply
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は質量分析装置に係り、特に薄層クロマトプレー
ト上に展開した試料を二次イオン質量分析するのに好適
な質量分析装置に関する。
ト上に展開した試料を二次イオン質量分析するのに好適
な質量分析装置に関する。
近年、薄層クロマト（ＴＬＣ）プレート上に展開した試
料を二次イオン質量分析（ＳＩＭＳ）法で分析するＴＬ
Ｃ／ＳＩＭＳが行われる様になつた。その概要に関して
の例は、昭和６０年度日本質量分析学会連合討論会予講
集ｐ１４８−ｐ151に示された通りである。
料を二次イオン質量分析（ＳＩＭＳ）法で分析するＴＬ
Ｃ／ＳＩＭＳが行われる様になつた。その概要に関して
の例は、昭和６０年度日本質量分析学会連合討論会予講
集ｐ１４８−ｐ151に示された通りである。
従来の測定法では、クロマトプレート上に展開された試
料を測定する時、プレートを移送している時はデータ収
集を停止し、プレート移送を停止した時点からデータ収
集を開始するというステツプを繰り返すことによつて連
続したクロマトピークのデータを得ていた。
料を測定する時、プレートを移送している時はデータ収
集を停止し、プレート移送を停止した時点からデータ収
集を開始するというステツプを繰り返すことによつて連
続したクロマトピークのデータを得ていた。
上記従来技術では、プレート移送が停止されたタイミン
グでデータ収集が開始される（実際的には質量スペクト
ルを得る為の磁場掃引がなされる）わけであるが、１次
イオンビームがプレートに照射され、二次イオンを発生
する状態は、プレートが移送されている状態と、停止さ
れている状態では当然異なり、停止された直後から一定
時間を経過しなければ安定に二次イオンが出現しない。
これは、プレートに照射さりる一次イオンによりマトリ
クスの状態が変化するが、プレート移送中は新しいマト
リツクスに次々に照射される状態にあり、マトリツクス
効果が一定状態になる余裕がない為である。マトリツク
ス効果が一定になる為には、一定のマトリツクス状態に
おいて一定時間一次イオンビームが照射される必要があ
る。従つて、安定したマススペクトルを得る為には、マ
トリツクス効果が安定状態になつた時点からデータ収集
を行う必要がある。
グでデータ収集が開始される（実際的には質量スペクト
ルを得る為の磁場掃引がなされる）わけであるが、１次
イオンビームがプレートに照射され、二次イオンを発生
する状態は、プレートが移送されている状態と、停止さ
れている状態では当然異なり、停止された直後から一定
時間を経過しなければ安定に二次イオンが出現しない。
これは、プレートに照射さりる一次イオンによりマトリ
クスの状態が変化するが、プレート移送中は新しいマト
リツクスに次々に照射される状態にあり、マトリツクス
効果が一定状態になる余裕がない為である。マトリツク
ス効果が一定になる為には、一定のマトリツクス状態に
おいて一定時間一次イオンビームが照射される必要があ
る。従つて、安定したマススペクトルを得る為には、マ
トリツクス効果が安定状態になつた時点からデータ収集
を行う必要がある。
本発明の目的はターゲツト移送停止初期におけるデータ
の不安定さを除去し、正常パターンの質量スペクトルを
得ることができる質量分析装置を提供することにある。
の不安定さを除去し、正常パターンの質量スペクトルを
得ることができる質量分析装置を提供することにある。
本発明によれば、ターゲツトの移送タイミングとデータ
収集タイミングを同期させ、ターゲツトの移動を停止し
た後一定の時間間隔の間データ収集を実質的に停止させ
る手段が備えられている。
収集タイミングを同期させ、ターゲツトの移動を停止し
た後一定の時間間隔の間データ収集を実質的に停止させ
る手段が備えられている。
そのような手段によればターゲツト停止後二次イオン出
現が安定化してからデータ収集が行われることになり、
したがつて正常パターンに質量スペクトルの取得が可能
となる。
現が安定化してからデータ収集が行われることになり、
したがつて正常パターンに質量スペクトルの取得が可能
となる。
本発明の一実施例を第１図により説明する。第１図にお
いて、一次イオン源４で生成したイオンビームは、約８
ＫｅＶに加速され、ターゲツト１に照射される。ターゲ
ツト上に塗布された試料は、スパツタされ、このうち一
部はイオンとなる。試料保持体２には、イオン加速電圧
３ＫＶが印加されている為、ターゲツトに衝突するエネ
ルギは５ＫｅＶであり、二次イオンが加速されるエネル
ギは３ＫｅＶとなる。上記二次イオンは、レンズ９、物
点スリツト８を通つて磁場５で、質量対電荷比に応じて
分離され、コレクタスリツト６を通り、検出器７で検出
される。検出した信号は、コンピユータシステム１０で
処理された後、出力装置１１により記録される。通常、
磁場の強さ、或いは二次イオン加速電圧を変化させる事
により、希望する範囲の質量対電荷比のイオンを全て記
録する事が出来る。一方試料保持体２を、移送機構３に
より移動する事により、ターゲツト１上に展開されたＴ
ＬＣクロマトのサンプルが次々とイオン化され、測定記
録される事になる。第３図は、ターゲツト上に展開され
たサンプル例を示す。
いて、一次イオン源４で生成したイオンビームは、約８
ＫｅＶに加速され、ターゲツト１に照射される。ターゲ
ツト上に塗布された試料は、スパツタされ、このうち一
部はイオンとなる。試料保持体２には、イオン加速電圧
３ＫＶが印加されている為、ターゲツトに衝突するエネ
ルギは５ＫｅＶであり、二次イオンが加速されるエネル
ギは３ＫｅＶとなる。上記二次イオンは、レンズ９、物
点スリツト８を通つて磁場５で、質量対電荷比に応じて
分離され、コレクタスリツト６を通り、検出器７で検出
される。検出した信号は、コンピユータシステム１０で
処理された後、出力装置１１により記録される。通常、
磁場の強さ、或いは二次イオン加速電圧を変化させる事
により、希望する範囲の質量対電荷比のイオンを全て記
録する事が出来る。一方試料保持体２を、移送機構３に
より移動する事により、ターゲツト１上に展開されたＴ
ＬＣクロマトのサンプルが次々とイオン化され、測定記
録される事になる。第３図は、ターゲツト上に展開され
たサンプル例を示す。
通常、ターゲツトとしてのプレートの移送とデータ収集
のための磁場走査のタイミングは、第４図に示す様に、
プレートが停止された時点から磁場走査を繰り返し、デ
ータを収集する。しかし、プレートが停止された初期の
段階では、プレート上のマトリツクスが一次イオン照射
により安定領域に達せず、感度も低く、質量スペクトル
パターンも不安定であり、正常なデータを得る事が出来
なかつた。そこで、本発明例では、第２図の如く、プレ
ート移送が停止されたタイミングで、待時間Ｔを設定す
る機構を設け、磁場走査をこの待時間後Ｔを経た後から
行う事によつて、不安定領域でのデータ収集がなされる
事を防止し、正常データを得る方式を採用としている。
この場合データ収集の磁場走査は、従来のままで、得ら
れるマススペクトル信号のデータ取込のタイミングを時
間Ｔ遅らせる事によつても、同様な効果を得る事が出来
る。
のための磁場走査のタイミングは、第４図に示す様に、
プレートが停止された時点から磁場走査を繰り返し、デ
ータを収集する。しかし、プレートが停止された初期の
段階では、プレート上のマトリツクスが一次イオン照射
により安定領域に達せず、感度も低く、質量スペクトル
パターンも不安定であり、正常なデータを得る事が出来
なかつた。そこで、本発明例では、第２図の如く、プレ
ート移送が停止されたタイミングで、待時間Ｔを設定す
る機構を設け、磁場走査をこの待時間後Ｔを経た後から
行う事によつて、不安定領域でのデータ収集がなされる
事を防止し、正常データを得る方式を採用としている。
この場合データ収集の磁場走査は、従来のままで、得ら
れるマススペクトル信号のデータ取込のタイミングを時
間Ｔ遅らせる事によつても、同様な効果を得る事が出来
る。
実施例ではターゲツトに照射される一次ビームはイオン
ビームであるが、これは中性粒子ビームであつてもよ
い。
ビームであるが、これは中性粒子ビームであつてもよ
い。
なお、データ収集の開始，停止という概念には質量スペ
クトル信号の取込みをＯＮ／ＯＦＦする場合のみなら
ず、質量スペクトル信号を得るための磁場掃引或いは加
速電圧掃引をＯＮ／ＯＦＦする場合も含まれる。
クトル信号の取込みをＯＮ／ＯＦＦする場合のみなら
ず、質量スペクトル信号を得るための磁場掃引或いは加
速電圧掃引をＯＮ／ＯＦＦする場合も含まれる。
本発明によれば、ターゲツト移送停止時初期におけるデ
ータの不安定さをとり除き、正常パターンの質量スペク
トルを得る事が出来る。
ータの不安定さをとり除き、正常パターンの質量スペク
トルを得る事が出来る。
第１図は本発明の一実施例を示す説明図、第２図は第１
図の主要部の動作タイミング図、第３図はターゲツトと
しての展開プレートの実施例、第４図は従来技術のタイ
ミング図を示す。 １…ターゲツト、２…試料保持体、３…移送機構、４…
一次イオン源、５…磁場、６…コレクタスリツト、７…
検出部、８…物点スリツト、９…レンズ、１０…コンピ
ユータシステム、１１…出力装置、１２…磁場制御部、
１３…待時間設定部。
図の主要部の動作タイミング図、第３図はターゲツトと
しての展開プレートの実施例、第４図は従来技術のタイ
ミング図を示す。 １…ターゲツト、２…試料保持体、３…移送機構、４…
一次イオン源、５…磁場、６…コレクタスリツト、７…
検出部、８…物点スリツト、９…レンズ、１０…コンピ
ユータシステム、１１…出力装置、１２…磁場制御部、
１３…待時間設定部。
Claims (1)
- 【請求項１】一次ビームをターゲツトに照射する手段
と、前記ターゲツトを真空外より移送させる手段と、前
記ターゲツトから得られる二次イオンを質量分析する手
段と、その質量分析された二次イオンのデータ収集をす
る手段とを備えた質量分析装置において、前記ターゲツ
トの移送タイミングと前記データ収集タイミングを同期
させ、前記ターゲツトの移送を停止した後、一定の時間
間隔の間データ収集を実質的に停止させる手段を備えて
いることを特徴とする質量分析装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61065708A JPH067471B2 (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 | 質量分析装置 |
| US07/030,179 US4803355A (en) | 1986-03-26 | 1987-03-26 | Mass spectrometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61065708A JPH067471B2 (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 | 質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62223659A JPS62223659A (ja) | 1987-10-01 |
| JPH067471B2 true JPH067471B2 (ja) | 1994-01-26 |
Family
ID=13294788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61065708A Expired - Lifetime JPH067471B2 (ja) | 1986-03-26 | 1986-03-26 | 質量分析装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4803355A (ja) |
| JP (1) | JPH067471B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB8703012D0 (en) * | 1987-02-10 | 1987-03-18 | Vg Instr Group | Secondary ion mass spectrometer |
| FR2806527B1 (fr) * | 2000-03-20 | 2002-10-25 | Schlumberger Technologies Inc | Colonne a focalisation simultanee d'un faisceau de particules et d'un faisceau optique |
| US6956208B2 (en) * | 2003-03-17 | 2005-10-18 | Indiana University Research And Technology Corporation | Method and apparatus for controlling position of a laser of a MALDI mass spectrometer |
| US20040183009A1 (en) * | 2003-03-17 | 2004-09-23 | Reilly James P. | MALDI mass spectrometer having a laser steering assembly and method of operating the same |
| US6861647B2 (en) * | 2003-03-17 | 2005-03-01 | Indiana University Research And Technology Corporation | Method and apparatus for mass spectrometric analysis of samples |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3508045A (en) * | 1968-07-12 | 1970-04-21 | Applied Res Lab | Analysis by bombardment with chemically reactive ions |
-
1986
- 1986-03-26 JP JP61065708A patent/JPH067471B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1987
- 1987-03-26 US US07/030,179 patent/US4803355A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62223659A (ja) | 1987-10-01 |
| US4803355A (en) | 1989-02-07 |
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