JPH0675197B2 - 露光装置におけるフイルムの平面性保持方法及びその装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、露光装置特に感光性レジストを塗布した長
尺のフイルムに配線パターンを投影して露光する露光装
置におけるフイルムの平面性保持方法及びその装置に関
する。

〔従来の技術〕

近時、フレキシブル基板製作の効率化のため、柔軟なポ
リイミドフイルムに極めて薄い銅箔を均一に接着し、そ
の上に感光性レジスト被膜を形成した長尺のフイルム
（以下「フイルム」という）をアパーチヤ部へ給送し、
通常レチクルといわれるパターンマスクの配線パターン
をアパーチヤ部のフイルム面へ投影して露光する方法が
広く用いられている。

露光を完了したフイルムは、エツチングによつて未露光
部分の銅箔を除去して配線パターンを形成し、残つたレ
ジストを溶剤又はアルカリ液で剥離してフレキシブル基
板が完成する。

そして、このようなフイルムは、ベースとなるポリイミ
ドフイルムとこれにラミネートされた銅箔との収縮率の
差に起因する温度，湿度の影響から蒲鉾状に大きく湾曲
する習性を有している。

上記の点に鑑み、従来の露光装置の中にはアパーチヤ部
へ給送されたフイルムを裏面から吸引してフイルム吸着
面に吸着させることにより、露光時のフイルムの平面性
を保持するようにしたものがある。

第６図は、従来のフイルムの平面性保持装置の一例を示
す断面図であり、紙面に垂直な方向から給送されたフイ
ルム１は、裏面をフイルム吸着部材25に押圧され、幅方
向の両側の耳端部1aはアパーチヤ枠20のフイルム給送方
向に沿いう一対のレール面20bに圧接され、フイルム吸
着部材25の吸着面25aとの間に挟持されるが、幅方向の
中間部はすでに述べたように図で実線又は仮想線で示す
ように湾曲していて離間状態にある。

フイルム吸着部材25は、フイルム１に対面する側に多数
の吸引用透孔25bを有し、これらの透孔25bは空間部25c
及び配管40を介して真空ポンプ等の負圧源50に連結され
ており、透孔25bから負圧を供給して裏面から吸引する
ことにより、フイルム１をフイルム吸着部材25の吸着面
25aに吸着させてフイルム１の平面性を保持するように
なつている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、このような従来の露光装置におけるフイ
ルムの平面性保持方法にあつては、フイルム１が第６図
に仮想線で示すように吸着面25a側に凸の状態にある場
合には、吸引により容易に吸着面25aに密着させること
ができるが、同図に実線で示すように吸着面25a側に凹
の状態にある場合には、両耳端部1a間の中間湾曲部1bと
吸着部材25との間から吸引負圧が自由に外部にもれてフ
イルムが吸着面25aに容易に密着せず、投影されたパタ
ーンがボケた状態で露光されて不良のフレキシブル基板
となる場合が多かつた。

しかも、フイルムの表面には感光性レジストが塗付され
ているので、アパーチヤ枠のフイルム通路はフイルムの
湾曲部に接触しないように大きく逃げを設けなければな
らず、フイルムの平面性を常時保持することは極めて困
難であつた。

この発明は、このような従来の問題点を解決し、いかな
る状態にあるフイルムをも常に平面状に保つことができ
る露光装置におけるフイルムの平面性保持方法及びその
装置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明は上記の目的を達成するため、そのフイルムの
平面性保持方法では、フイルムを裏面側からフイルム吸
着部材で押圧してフイルムの幅方向両側の耳端部をアパ
ーチヤ部外縁部に設けた一対のレール面へ圧接させ、こ
のアパーチヤ部のフイルム給送方向前後の外縁部の少な
くとも一方からフイルムの幅方向の中間部へエアを噴射
させてその部位をフイルム吸着部材に圧接させ、アパー
チヤ部周縁の少なくとも三方のフイルム面をフイルム吸
着部材に圧接させた後、アパーチヤ部のフイルムを裏面
から吸引してその全面をフイルム吸着部材に吸着させる
ものである。

また、その装置では、フイルム吸着部材を有する露光装
置において、アパーチヤ部のフイルム給送方向前後の外
縁部の少なくとも一方に、フイルムの幅方向の中間部を
フイルム吸着部材に圧接させるエア噴射手段を設けたも
のである。

〔作用〕

上記のようにすることにより、アパーチヤ部周縁の少な
くとも三方のフイルム面をフイルム吸着部材に圧接させ
た後にフイルムを裏面から吸引するので、吸引負圧が外
部にもれる割合が激減し、吸引によりフイルム全面がフ
イルム吸着面に容易に吸着して平面性を保持することが
できる。

また、フイルムの表面へエアを噴射させることにより、
感光性レジスト面に付着している塵埃が吹き飛ばされて
除去され、極めて良好なパターン像を得ることができ
る。

〔実施例〕

以下、添付図面の第１図乃至第４図を参照してこの発明
の実施例を説明するが、これに先立ちレジスト塗布され
たフイルムのリールへの巻回方法を第５図によつて説明
する。

元来、フイルム１の感光性レジストを塗布した感光面は
軟質であつて、これをリールへ直接巻回すると感光面に
擦り傷が発生しやすいので、フイルム１とほぼ同幅で幅
方向の両側に適当なピツチで多数の突起2aを一体に形成
した柔軟なプラスチツクフイルムからなるセパレータ２
をフイルム層間に挟み込んで、その突起2aをフイルム給
送用パーフオレーシヨン1a′を備えた耳端部1aに当接さ
せ、あたかもベルト式の写真用現像タンクの巻枠のよう
な感光面をセパレータ２から離間した状態に保つてい
る。

第４図は、このようにフイルム１がセパレータ２と共に
巻回されたリールを巻出側と巻取側に設けた露光装置の
全体の概略構成を示す正面図である。

この露光装置は、左側に巻出リール３を支持する巻出軸
3aとセパレータ巻取リール４を支持するセパレータ巻取
軸4aを、右側に巻取リール５を支持する巻取軸5aとセパ
レータ巻出リール６を支持するセパレータ巻出軸6aをそ
れぞれ設け、ステツピングモータによりそれぞれ所定角
度回動する巻出側及び巻取側のスプロケツトギヤ7,8と
共にフイルムの供給装置を構成している。

中央の上部には、図示しないランプ，インテグレータ，
コンデンサレンズ等からなる露光用光源部９と投影レン
ズ10とからなる露光装置を設けてあり、光源部９と投影
レンズ10との間には、配線パターンを形成したパターン
マスク（レチクル）11が所定の位置に挿脱自在に装着さ
れる。

また、中央の下部には、ステツピングモータ13により装
着固定部に対して図で左右方向に移動し得るＸテーブル
14、Ｘテーブル14上に固設されたステツピングモータ15
によりＸテーブル14に対して図で紙面に直交する方向に
移動し得るＹテーブル16、及び図示しないステツピング
モータによりＹテーブル16に対して所定角度回動し得る
θテーブル19をそれぞれ設けている。

そして、このθテーブル19にアパーチヤ部20aを有する
アパーチヤ枠20を、そのアパーチヤ部20aの中心をθテ
ーブル19の回転中心に合わせて固設すると共に、このθ
テーブル19にさらに図で左右に大きく張出したガイド基
板21を固設し、ガイド基板21に、フイルム１を案内する
ガイドローラ22a,22b,摩擦ローラ23,スプロケツトギヤ2
4からなるフイルムの給送装置を設け、アパーチヤ枠20
の背後にはフイルム吸着部材25を設けている。

このような構成で、巻出リール３からスプロケツトギヤ
７によつてフイルム１が引出されると、引出されたフイ
ルム１は自重によりループ1cを形成した後、順次ガイド
ローラ22a,摩擦ローラ23,アパーチヤ枠20,スプロケツト
ギヤ24ガイドローラ22bを経由して再びループ1dを形成
し、スプロケツトギヤ８により巻取リール５に送り込ま
れて巻取られる。

この時、巻出リール３にフイルム１と共に巻回されてい
たセパレータ２はセパレータ巻取リール４に巻取られ、
巻取リール５にはセパレータ巻出リール６から引出され
たセパレータ２がフイルム１に挟み込まれて巻取られ
る。

この過程において、ループ1cの下端部が下限位置に達す
るとセンサ28がこれを検知してスプロケツトギヤ７の回
動を停止させ、ループ1dの下端部が上限位置に達すると
センサ29がこれを検知してスプロケツトギヤ８の回動を
停止させる。

この状態からスプロケツトギヤ24を所定角度回動させる
と、フイルム１が摩擦ローラ23の抵抗により適当な張力
を与えられて１駒分右方に送られた後、フイルム吸着部
材25に吸着されて平面性が保持され、ループ1cの下端部
が図に仮想線で示す上限位置に達し、ループ1dの下端部
が下限位置に達する。

それをセンサ27,30が検出するとそれぞれスプロケツト
ギヤ7,8を回動させ、ループ1c,1dの下端部がそれぞれ下
限位置及び上限位置に達すると、再びセンサ28,29がこ
れを検知してスプロケツトギヤ7,8の回動を停止させ、
フイルム１は実線で示す状態に復帰してこの状態に保た
れる。

第１図は、上記のようなフイルム給送装置を備えた露光
装置にこの発明を適用した一実施例を示す斜視図、第２
図は第１図のII-II線に沿う断面図である。

この実施例では、フイルム吸着装置25を、例えばねじ送
り機構等の直線駆動手段によりアパーチヤ枠20に対して
図で上下方向に進退可能に設け、フイルム給送時には、
アパーチヤ枠20のフイルム給送方向に沿う一対のレール
面20bから後退させてフイルムの移動を容易にし、露光
に先立ち前進してフイルム１の耳端部1aをレール面20b
に押圧させるようにしている。

一方、アパーチヤ枠20のアパーチヤ部20aのフイルム給
送方向前後の外縁部に、それぞれ第２図に示すように３
個ずつのノズル孔20cを設け、これらのノズル孔20cをそ
れぞれ配管31を介して空圧源32へ連結している。

なお、この空圧源32は工場内で除塵，除湿したエアを各
所に供給するためのエア圧力源を利用すると好都合であ
り、フイルム吸着部材25の構成は第６図に示した従来例
と同様であるので、その説明は省略する。

次に、このような構成からなる実施例の作用を説明す
る。

フイルム吸着部材25を第２図に示すようにアパーチヤ枠
20のレール面20bから後退させ、フイルム１の未露光部
をアパーチヤ部20aへ給送することにより、フイルム１
を１駒分送つて停止させた後、フイルム吸着部材25を前
進させてフイルム１の耳端部1aをアパーチヤ枠20のレー
ル面20bに圧接すると同時に、ノズル孔20cからエアを噴
射させてフイルムの幅方向中間部をフイルム吸着部材25
の吸着面25aに圧接させる。

これにより、アパーチヤ部20aの周縁部に沿つた四方の
フイルム面が吸着面25aに密着する。

この状態で、フイルム吸着部材25の吸引用透孔25bから
負圧を供給してフイルム１を裏面から吸引すると、フイ
ルム裏面へ供給された負圧が外部へ逃げることなく、第
３図に示すようにフイルム１の全面がフイルム吸着面25
aに吸着され、フイルム１の感光面がアパーチヤ枠20の
レール面20bに一致した状態でフイルム１の平面性が保
持され、露光により常に全面に亘つて合焦したパータン
像を得ることができる。

また、フイルム１の表面へ除湿，除塵されたエアを噴出
させるので、感光性レジスト面に付着した塵埃が吹き飛
ばされて除塵される。

なお、このエアの噴出はフイルム１の全面がフイルム吸
着面25aに吸着された後は停止しても、露光中継続して
もよく、フイルム１が第６図に仮想線で示した状態の時
に行つても何等不都合を生じることはない。

また、上記実施例においては、アパーチヤ枠20に設けた
エア噴射用のノズル孔20cをアパーチヤ部20aを挟んでフ
イルム給送方向の前後外縁部に設けたが、これをいずれ
か一方の側にだけ設けてアパーチヤ部20aの周縁の三方
のフイルム面をフイルム吸着面に圧接されるようにして
も、吸着時間が若干長くなるだけで吸着ミスを生じるお
それはなく、またノズル孔20cの数もこの実施例に限る
ものではない。

さらに、フイルム吸着装置をアパーチヤ枠に対して進退
可能とする代りに、フイルム吸着面とアパーチヤ枠のレ
ール面との間隙をフイルムの厚さより若干大きくしてフ
イルムの給送を容易にし、両者を一体的に固定すること
も可能であり、フイルムの耳端部に備えたパーフオレー
シヨンは必らずしも必要とするものではない。

〔発明の効果〕

以上述べたように、この発明によれば、フイルムをフイ
ルム吸着部材で押圧してその耳端部をアパーチヤ部のレ
ール面へ圧接させ、アパーチヤ部のフイルム給送方向前
後の外縁部の少なくとも一方からフイルムの幅方向の中
間部へエアを噴射させた後に、フイルムを裏面から吸引
してその全面をフイルム吸着面に吸着させるので、アパ
ーチヤ部周縁の少なくとも三方のフイルム面がフイルム
吸着部材に圧接して吸引負圧が外部へもれる割合が激減
し、常にフイルム全面をフイルム吸着面に確実に吸着さ
せて平面性を保持することができる。

また、露光に先立つてフイルムの表面へエアを噴射させ
るので、感光性レジスト面に付着している塵埃が吹き飛
ばされて除去され、瑕瑾のない良好なパターン像を得る
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図、 第２図は第１図のII-II線に沿う断面図、 第３図は同じくそのフイルム吸着状態を示す第２図と同
様な断面図、 第４図はこの発明を適用する露光装置の概略構成を示す
正面図、 第５図はフイルムの巻回方法を示す斜視図、 第６図は従来の露光装置におけるフイルムの平面性保持
装置を例示する断面図である。 １……フイルム、1a……耳端部 ９……露光用光源、10……投影レンズ 11……パターンマスク（レチクル） 20……アパーチヤ枠、20a……アパーチヤ部 20b……レール面、20c……ノズル孔 25……フイルム吸着部材 25a……フイルム吸着面、32……空圧源

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】感光性レジストを塗布した長尺のフイルム
   をアパーチヤ部へ給送し、該アパーチヤ部のフイルム面
   へレチクルの配線パターンを投影して露光する露光装置
   において、 上記フイルムを裏面側からフイルム吸着部材で押圧して
   該フイルムの幅方向両側の耳端部を上記アパーチヤ部外
   縁部に設けた一対のレール面へ圧接させ、該アパーチヤ
   部のフイルム給送方向前後の外縁部の少なくとも一方か
   らフイルムの幅方向の中間部へエアを噴射させてその部
   位を上記フイルム吸着部材に圧接させ、上記アパーチヤ
   部周縁の少なくとも三方のフイルム面を上記フイルム吸
   着部材に圧接させた後、上記アパーチヤ部のフイルムを
   裏面から吸引してその全面を上記フイルム吸着部材に吸
   着させることを特徴とするフイルムの平面性保持方法。
2. 【請求項２】感光性レジストを塗布した長尺のフイルム
   をアパーチヤ部へ給送し、その裏面をフイルム吸着部材
   で押圧して該フイルムの幅方向両側の耳端部をアパーチ
   ヤ部外縁の一対のレール面に圧接させ、フイルムを裏面
   から吸引して上記フイルム吸着部材に吸着させ、上記ア
   パーチヤ部のフイルム面へレチクルの配線パターンを投
   影して露光する露光装置において、 上記アパーチヤ部のフイルム給送方向前後の外縁部の少
   なくとも一方に、上記フイルムの幅方向の中間部を上記
   フイルム吸着部材に圧接させるエア噴射手段を設けたこ
   とを特徴とするフイルムの平面性保持装置。