JPH0675655U - 研磨機 - Google Patents

研磨機

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JPH0675655U
JPH0675655U JP1929093U JP1929093U JPH0675655U JP H0675655 U JPH0675655 U JP H0675655U JP 1929093 U JP1929093 U JP 1929093U JP 1929093 U JP1929093 U JP 1929093U JP H0675655 U JPH0675655 U JP H0675655U
Authority
JP
Japan
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plate
polishing
dresser
polishing machine
main body
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Withdrawn
Application number
JP1929093U
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English (en)
Inventor
浩史 小村
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Nippon Sheet Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Sheet Glass Co Ltd
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Publication date
Application filed by Nippon Sheet Glass Co Ltd filed Critical Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority to JP1929093U priority Critical patent/JPH0675655U/ja
Publication of JPH0675655U publication Critical patent/JPH0675655U/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 安価でしかも部分的な交換が可能な研磨布用
のドレッサーを提供する。 【構成】 ドレッサー1は板状本体2とこの板状本体2
の一方の面に設けられる複数のセラミック製凸状部材3
からなり、この凸状部材3の基部には雄ネジ部3aが刻
設され、この雄ネジ部3aをもって板状本体2に穿設し
た雌ネジ部2aにネジ込み式に取り付けられる。更に凸
状部材3の先端面は平坦面とされ、この平坦面にはドラ
イバー等の治具先端が入り込む溝3bが形成されてい
る。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案はスェードタイプまたは発泡ポリウレタンタイプの研磨布のドレッシン グ(目立て)に用いる研磨機治具に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えばガラス基板の表面に磁性膜を形成するような場合には、ガラス基板表面 を所定の平坦度にすべく予め研磨しておく必要がある。この研磨には通常スェー ドタイプまたは発泡ポリウレタンタイプの研磨布が用いられる。 ところで、研磨布による研磨を継続して行っていると研磨布の目が潰れたりし て研磨能力が低下する。そこで、従来から研磨の開始或いは所定時間研磨したら 研磨布をドレッシングして研磨能力の回復を図っている。
【0003】 このとき、使用するドレッサーとしては、図5(a)および(b)に示すよう な片面に溝10を放射状に形成したセラミック製の研磨皿11が用いられる。即 ち、台の上に研磨布をセットし、研磨機の回転体にこの研磨皿11を溝10が研 磨布に対向するように取り付け、所定の圧で研磨皿11を研磨布に接触させなが ら回転させ、溝10のエッジ部分で研磨布をドレッシングする。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】
しかしながら上記ドレッサーは、研磨皿全体をセラミック製としているため、 非常に高価なものとなってしまい、また研磨面の一部が摩耗したり欠けた場合に 修正することが困難で、研磨皿全体を交換しなければならない。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため本考案に係る研磨機は、ドレッサーを構成する板状本 体の一面側を回転体に取り付け、また板状本体の他面側にドレッシングを行う複 数の凸状部材を着脱可能に設けた。
【0006】
【作用】
回転体に板状本体を取り付け、板状本体に装着した凸状部材の先端部を所定の 圧で台上に載置した研磨布に接触させ、板状本体を回転させることで凸状部材の エッジ部によりドレッシングが行なわれる。
【0007】
【実施例】
以下に本考案の実施例を添付図面に基づいて説明する。ここで、図1は本考案 に係る研磨機に装着するドレッサーの正面図、図2は同ドレッサーの底面図、図 3は凸状部材の拡大図、図4は研磨布をドレッシングしている状態の研磨機を示 す図である。
【0008】 図1及び図2に示すようにドレッサー1は、板状本体2とこの板状本体2の一 方の面に設けられる複数の凸状部材3からなる。板状本体2は従来の研磨皿に相 当するものであり、使用する材料は価格、耐久性の点からアルミニウム、ステン レス、鉄等とし、その形状は、円盤状とするのが最適であるが、これに限るもの ではなく、角板状等であってもよい。更に、板状本体2の大きさも使用する研磨 機に適した大きさに適したものであればこれに拘泥するものではない。
【0009】 一方、凸状部材3はセラミック製とする。そして、本願のようなドレッシング に使用されるセラミックとしては、窒化ケイ素および炭化ケイ素も考えられるが 、価格、強度、耐久性の面から、アルミナ(Al23)を用いるのが好ましい。
【0010】 また、凸状部材3は円柱形とされ、基部には雄ネジ部3aが刻設され、この雄 ネジ部3aをもって板状本体2に穿設した雌ネジ部2aにネジ込み式に取り付け られる。更に凸状部材3の先端面は平坦面とされ、この平坦面にはドライバー等 の治具先端が入り込む溝3bが形成されている。尚、溝の形状は+形状に限るも のではなく−形状等でもよく、深さおよび幅も任意に設定することができる。
【0011】 以上の構成からなるドレッサー1を用いたドレッシング方法を図4に基づいて 説明すると、先ずドレッサー1を回転体4の下面に取り付ける。この回転体4は モータにて回転せしめられる軸5に固着され、この軸5には研磨の際に水等の冷 却液を供給する孔5aが形成されている。尚、回転体4及び板状本体2にも孔5 aに連通する孔が形成されている。
【0012】 上記のように回転体4にドレッサー1を取り付けるとともに、回転体4の下方 に配置される台6上にドレッシングすべき研磨布7をセットする。そしてこの後 、回転体4とともにドレッサー1を回転させつつ下降させ、研磨布7表面にドレ ッサー1の凸状部材3を所定圧で接触せしめ、冷却液を供給しつつ凸状部材3の エッジ部及び溝3bで研磨布7の変形の修正を行なう。
【0013】 以上の構成におけるドレッサーを研磨対象物がガラス(大きさ150mm×1 50mm、厚さ1.1mm)である研磨機(直径250mmの上皿、直径300 mmの下皿を有するオスカー式研磨機)を用いて研磨布(スェードタイプ)をド レッシングした結果、研磨皿全体をセラミック製とし、研削面と対向する面に放 射状の溝を設けた従来構成のドレッサーと同等のドレッシング能力を発揮できる ことがわかった。
【0014】 このときのドレッサーの仕様は以下のとおりである。 板状本体の材質: 鉄 板状本体の形状: 円盤 板状本体の直径: 250mm 板状本体の厚み: 150mm 凸状部材の材質: セラミック 凸状部材の形状: 円柱形 凸状部材の直径: 30mm 凸状部材の厚み: 3mm 溝の幅: 2〜5mm 溝の深さ: 1mm
【0015】 なお、研磨対象物(ガラス等)の大きさに合わせてドレッサーの形状を定め、 回転体4を研磨対象物取付治具として共用するようにすれば、ドレッシングとガ ラス研磨とを交互に行なうことが可能になり、作業効率が大巾に向上する。
【0016】
【考案の効果】
以上に説明したように本考案によれば、従来のように研磨皿全体を高価なセラ ミック製とせず、ドレッシングを行なう複数の凸状部材だけセラミック製とする ことができるのでコストダウンを図れる。 また、凸状部材を板状本体にネジ込み式とすることで、特定の凸状部材だけ交 換できるので、片減りや欠けが生じてもその部分のみを交換することができ、ま た凸状部材の高さ調整も個々に且つ簡単に行うことができる。 更に、凸状部材の先端面にドライバー等の回転治具を差込む溝を形成すること で、当該溝がドレッシングにも寄与することになり、ドレッシング効果が大巾に 向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案に係る研磨機に装着するドレッサーの正
面図
【図2】同ドレッサーの底面図
【図3】凸状部材の拡大図
【図4】研磨布をドレッシングしている研磨機を示す図
【図5】(a)は従来のドレッサーの底面図、(b)は
正面図
【符号の説明】
1…ドレッサー、2…板状本体、2a…雌ネジ部、3…
凸状部材、3a…雄ネジ部、3b…溝、4…回転体、7
…研磨布。

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 研磨布のドレッシングを行う研磨機にお
    いて、この研磨機は回転体に着脱自在とされたドレッサ
    ーを備え、このドレッサーは一面側を前記回転体への取
    り付け面とした板状本体と、この板状本体の他面側に設
    けられる複数の凸状部材とからなることを特徴とする研
    磨機。
  2. 【請求項2】 前記凸状部材は板状本体に対してネジ込
    み式とされ、その先端面には溝が形成されていることを
    特徴とする請求項1に記載の研磨機治具。
  3. 【請求項3】 前記回転体にはガラス基板等の研磨対象
    物の取り付けが可能とされていることを特徴とする請求
    項1に記載の研磨機治具。
JP1929093U 1993-04-15 1993-04-15 研磨機 Withdrawn JPH0675655U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11731240B2 (en) 2014-08-26 2023-08-22 Ebara Corporation Substrate processing apparatus

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11731240B2 (en) 2014-08-26 2023-08-22 Ebara Corporation Substrate processing apparatus
US12350787B2 (en) 2014-08-26 2025-07-08 Ebara Corporation Substrate processing apparatus

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Legal Events

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A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19970703