JPH0676883B2 - 光学式センサ装置 - Google Patents
光学式センサ装置Info
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- JPH0676883B2 JPH0676883B2 JP63121455A JP12145588A JPH0676883B2 JP H0676883 B2 JPH0676883 B2 JP H0676883B2 JP 63121455 A JP63121455 A JP 63121455A JP 12145588 A JP12145588 A JP 12145588A JP H0676883 B2 JPH0676883 B2 JP H0676883B2
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- projecting
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- measured
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0658—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of emissivity or reradiation
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ 〈産業上の利用分野〉 本発明は、光源からの光を被測定物に投光し、この光に
応じて被測定物が放つ光を受光して電気的信号に変換す
る光学式センサ装置に関する。
応じて被測定物が放つ光を受光して電気的信号に変換す
る光学式センサ装置に関する。
〈従来の技術〉 従来から、例えば被測定物の表面形状、変位等を測定す
るべく種々の光学式センサ装置が知られており、実開昭
63−7305号公報にはその一例が開示されている。
るべく種々の光学式センサ装置が知られており、実開昭
63−7305号公報にはその一例が開示されている。
このような光学式センサ装置の１つとして、レーザ光を
液状の被測定物に向けて投光し、被測定物に含まれる蛍
光体の励起光を受光し、光電変換して測定結果を得るも
のがある。
液状の被測定物に向けて投光し、被測定物に含まれる蛍
光体の励起光を受光し、光電変換して測定結果を得るも
のがある。
しかるに、上記センサ装置では、被測定物に対して投光
系及び受光系の位置関係が決まっており、比較的大きな
レーザ光発生装置や光電変換装置等の配置を自由に行う
ことができないことからセンサ装置全体が大型化する問
題があった。また、例えば駆動中のエンジンに於けるシ
リンダ内壁面とピストンとの間のオイル膜厚の測定する
場合、エンジンが振動することから上記したような大型
のセンサ装置をエンジンに一体的に組付けることが困難
であるため、各々互いに別途に固定しなければならず、
そのために測定点が揺動し、測定精度を高めることが困
難であった。
系及び受光系の位置関係が決まっており、比較的大きな
レーザ光発生装置や光電変換装置等の配置を自由に行う
ことができないことからセンサ装置全体が大型化する問
題があった。また、例えば駆動中のエンジンに於けるシ
リンダ内壁面とピストンとの間のオイル膜厚の測定する
場合、エンジンが振動することから上記したような大型
のセンサ装置をエンジンに一体的に組付けることが困難
であるため、各々互いに別途に固定しなければならず、
そのために測定点が揺動し、測定精度を高めることが困
難であった。
また、センサ本体と光源、及び光検知装置とを別体とし
て光ファイバで接続し、更に投光用及び受光用の光ファ
イバを共用することが例えば実開昭59−128513号公報に
開示されているが、光ファイバを投受光兼用としている
ことから、位置精度は或る程度確保されるものの反射光
の分離手段を必要とし、部品点数が増加すると共に分離
手段、即ちハーフミラー等により光の強度が低下するこ
とから光源を明るくしたり、光検知手段の感度を挙げる
必要があり、コストが高騰化する問題がある。
て光ファイバで接続し、更に投光用及び受光用の光ファ
イバを共用することが例えば実開昭59−128513号公報に
開示されているが、光ファイバを投受光兼用としている
ことから、位置精度は或る程度確保されるものの反射光
の分離手段を必要とし、部品点数が増加すると共に分離
手段、即ちハーフミラー等により光の強度が低下するこ
とから光源を明るくしたり、光検知手段の感度を挙げる
必要があり、コストが高騰化する問題がある。
一方、上記したセンサ装置で複数各所を同時に測定する
には、測定点の数だけ投光系及び受光系を設け、これら
と同数のレーザ光発生装置から光を投光系に供給するこ
とが考えられるが、センサ装置全体が大型化するばかり
でなく、特にレーザ光発生装置は高価であるためコスト
が高騰化する問題がある。そこで、レーザ光発生装置か
らの光を各投光手段に分配すると良いが、ミラー或いは
レンズ等を用いて各投光手段に均等に光を分配すること
は困難であり、また、この光を分配する機構が複雑化、
大型化することからセンサ装置全体が一層大型化する問
題がある。
には、測定点の数だけ投光系及び受光系を設け、これら
と同数のレーザ光発生装置から光を投光系に供給するこ
とが考えられるが、センサ装置全体が大型化するばかり
でなく、特にレーザ光発生装置は高価であるためコスト
が高騰化する問題がある。そこで、レーザ光発生装置か
らの光を各投光手段に分配すると良いが、ミラー或いは
レンズ等を用いて各投光手段に均等に光を分配すること
は困難であり、また、この光を分配する機構が複雑化、
大型化することからセンサ装置全体が一層大型化する問
題がある。
〈発明が解決しようとする課題〉 このような従来技術の問題点に鑑み本発明の主な目的
は、小型化が可能であると共に振動する被測定物にも好
適に用いることができ、また複数箇所を同時に測定可能
な光学式センサを安価に提供することにある。
は、小型化が可能であると共に振動する被測定物にも好
適に用いることができ、また複数箇所を同時に測定可能
な光学式センサを安価に提供することにある。
［発明の構成］ 〈課題を解決するための手段〉 このような目的は本発明によれば、光源と、光検知手段
と、前記光源からの光を被測定物に投光する手段及び該
被測定物からの光を受光する手段を具備すると共に前記
光源及び前記光検知手段と別体をなすセンサ本体と、前
記光源と前記投光手段との間及び前記光検知手段と前記
受光手段との間を接続する光ファイバとを有し、前記セ
ンサ本体にて、前記投光軸線及び前記受光軸線が互いに
同軸をなすように、前記受光手段の受光面をなす光ファ
イバ端が前記投光手段の投光面をなす光ファイバ端を外
囲するように環状に配置され、前記投受光面と前記被測
定物の被測定面との間に、投受光兼用集光レンズが前記
投光軸線及び前記受光軸線と同軸的に配置され、更に前
記投受光面と前記投受光兼用集光レンズとの間に、前記
投受光兼用集光レンズよりも小径な投光専用集光レンズ
が前記投光軸線及び前記受光軸線と同軸的に配置され、
前記センサ本体が前記被測定物に固定されたことを特徴
とする光学式センサ装置及び光源と、光検知手段と、前
記光源からの光を被測定物に投光する手段及び前記被測
定物からの光を受光する手段を具備すると共に前記光源
及び前記光検知手段と別体をなす複数のセンサ本体と、
前記光源と前記各投光手段との間及び前記光検知手段と
前記各受光手段との間を接続する光ファイバからなる複
数の接続ケーブルと、前記光源と前記各投光手段とを接
続する各接続ケーブルの光ファイバの端面を前記光源か
らの光の光軸を中心とする同一円周上に配置した光分配
手段とを有し、前記各センサ本体にて、前記投光軸線及
び前記受光軸線が互いに同軸をなすように、前記受光手
段の受光面をなす光ファイバ端面が前記投光手段の投光
面をなす光ファイバ端面を外囲するように環状に配置さ
れ、前記投受光面と前記被測定物の被測定面との間に、
前記投光軸線及び前記受光軸線と同軸的に投受光兼用集
光レンズが配置され、更に前記投受光兼用集光レンズと
前記投受光面との間に、前記投光軸線及び前記受光軸線
と同軸的に前記投受光兼用集光レンズよりも小径な投光
用集光レンズが配置され、前記センサ本体が前記被測定
物に固定されたことを特徴とする光学式センサ装置を提
供することにより達成される。
と、前記光源からの光を被測定物に投光する手段及び該
被測定物からの光を受光する手段を具備すると共に前記
光源及び前記光検知手段と別体をなすセンサ本体と、前
記光源と前記投光手段との間及び前記光検知手段と前記
受光手段との間を接続する光ファイバとを有し、前記セ
ンサ本体にて、前記投光軸線及び前記受光軸線が互いに
同軸をなすように、前記受光手段の受光面をなす光ファ
イバ端が前記投光手段の投光面をなす光ファイバ端を外
囲するように環状に配置され、前記投受光面と前記被測
定物の被測定面との間に、投受光兼用集光レンズが前記
投光軸線及び前記受光軸線と同軸的に配置され、更に前
記投受光面と前記投受光兼用集光レンズとの間に、前記
投受光兼用集光レンズよりも小径な投光専用集光レンズ
が前記投光軸線及び前記受光軸線と同軸的に配置され、
前記センサ本体が前記被測定物に固定されたことを特徴
とする光学式センサ装置及び光源と、光検知手段と、前
記光源からの光を被測定物に投光する手段及び前記被測
定物からの光を受光する手段を具備すると共に前記光源
及び前記光検知手段と別体をなす複数のセンサ本体と、
前記光源と前記各投光手段との間及び前記光検知手段と
前記各受光手段との間を接続する光ファイバからなる複
数の接続ケーブルと、前記光源と前記各投光手段とを接
続する各接続ケーブルの光ファイバの端面を前記光源か
らの光の光軸を中心とする同一円周上に配置した光分配
手段とを有し、前記各センサ本体にて、前記投光軸線及
び前記受光軸線が互いに同軸をなすように、前記受光手
段の受光面をなす光ファイバ端面が前記投光手段の投光
面をなす光ファイバ端面を外囲するように環状に配置さ
れ、前記投受光面と前記被測定物の被測定面との間に、
前記投光軸線及び前記受光軸線と同軸的に投受光兼用集
光レンズが配置され、更に前記投受光兼用集光レンズと
前記投受光面との間に、前記投光軸線及び前記受光軸線
と同軸的に前記投受光兼用集光レンズよりも小径な投光
用集光レンズが配置され、前記センサ本体が前記被測定
物に固定されたことを特徴とする光学式センサ装置を提
供することにより達成される。
〈作用〉 光源と投光手段との間及び受光手段と光検知手段との間
を光ファイバをもって接続することにより、各々の配置
を自由に行うことができ、振動する被測定物にも比較的
軽量な投光手段及び受光手段のみを一体的に固定し得る
ため、相対的に動揺せずに好適に測定することができる
ばかりでなく、照射光が授受光軸線の中心、反射光がそ
の外周を通るようになり、従って別途反射光の分離手段
を必要とせず、部品点数を削減し得ると共に不必要に照
射光、反射光の強度が低下することがなく、またセンサ
本体を被測定物に固定して投受光を同軸的に、かつ同一
面上にて行うことでその位置精度も確保され部品点数を
一層削減し得る。また、複数の投光手段に一端が接続さ
れた光ファイバの他端面を光源からの光の光軸を中心と
する同一円周上に配置することにより各投光手段に光を
分配すれば、センサ装置が大型化することなく、単一の
光源から複数の投光手段に対して均等に光を分配するこ
とが可能となる。
を光ファイバをもって接続することにより、各々の配置
を自由に行うことができ、振動する被測定物にも比較的
軽量な投光手段及び受光手段のみを一体的に固定し得る
ため、相対的に動揺せずに好適に測定することができる
ばかりでなく、照射光が授受光軸線の中心、反射光がそ
の外周を通るようになり、従って別途反射光の分離手段
を必要とせず、部品点数を削減し得ると共に不必要に照
射光、反射光の強度が低下することがなく、またセンサ
本体を被測定物に固定して投受光を同軸的に、かつ同一
面上にて行うことでその位置精度も確保され部品点数を
一層削減し得る。また、複数の投光手段に一端が接続さ
れた光ファイバの他端面を光源からの光の光軸を中心と
する同一円周上に配置することにより各投光手段に光を
分配すれば、センサ装置が大型化することなく、単一の
光源から複数の投光手段に対して均等に光を分配するこ
とが可能となる。
〈実施例〉 以下、本発明の好適実施例を添付の図面について詳しく
説明する。
説明する。
第１図は、エンジン１のシリンダ内壁面とピストンとの
間のオイル膜圧を測定するための本発明に基づく光学式
センサ装置の模式的な構成を示す。上記オイルに対して
投光及び受光を行うべくエンジン１に固着された複数の
センサ本体２は、投光用光ファイバ３を介して光分配コ
ネクタ４に接続されている。この光分配コネクタ４には
光源としてのレーザ光発生装置６からレンズ５を介して
レーザ光が供給されるようになっている。また、各セン
サ本体２は各々複数の受光用光ファイバ７を介して光検
知手段としてのフォトディテクタ８の入力端９にも接続
されている。ここで、第２図に示すように、光分配コネ
クタ４のレーザ光発生装置６と対向する面即ち端面4aに
於て、各投光用光ファイバ３の受光側端面3aが同一円周
上に配設されており、その中心線がレーザ光発生装置６
から発せされる光の光軸と一致するようになっている。
間のオイル膜圧を測定するための本発明に基づく光学式
センサ装置の模式的な構成を示す。上記オイルに対して
投光及び受光を行うべくエンジン１に固着された複数の
センサ本体２は、投光用光ファイバ３を介して光分配コ
ネクタ４に接続されている。この光分配コネクタ４には
光源としてのレーザ光発生装置６からレンズ５を介して
レーザ光が供給されるようになっている。また、各セン
サ本体２は各々複数の受光用光ファイバ７を介して光検
知手段としてのフォトディテクタ８の入力端９にも接続
されている。ここで、第２図に示すように、光分配コネ
クタ４のレーザ光発生装置６と対向する面即ち端面4aに
於て、各投光用光ファイバ３の受光側端面3aが同一円周
上に配設されており、その中心線がレーザ光発生装置６
から発せされる光の光軸と一致するようになっている。
第３図はセンサ本体２の１つを拡大して示す縦断面図で
ある。エンジン１は、通常のエンジンのシリンダブロッ
ク10及びスリーブ11に通孔12を開設し、外部のシリンダ
内部との間を連通したものであり、この通孔12の内部側
即ち第３図に於ける下側にはガラス材であって良い透光
材13が充塞され、かつその外部側から該通孔と同軸的に
センサ本体２が嵌入されている。
ある。エンジン１は、通常のエンジンのシリンダブロッ
ク10及びスリーブ11に通孔12を開設し、外部のシリンダ
内部との間を連通したものであり、この通孔12の内部側
即ち第３図に於ける下側にはガラス材であって良い透光
材13が充塞され、かつその外部側から該通孔と同軸的に
センサ本体２が嵌入されている。
センサ本体２は、円筒状のホルダ15と、両光ファイバ
３、７の端部を保持するべくホルダ15内の基端側即ち第
３図に於ける上側端部に設けられた光ファイバ端保持部
17と、ホルダ15内の中間部に設けられた投光専用集光レ
ンズ18及び投受光兼用集光レンズ19とを有しており、ホ
ルダ15の遊端雄ねじ部15aがシリンダブロック10の雌ね
じ部10aに螺合することによりエンジン１にセンサ本体
２が固定されている。
３、７の端部を保持するべくホルダ15内の基端側即ち第
３図に於ける上側端部に設けられた光ファイバ端保持部
17と、ホルダ15内の中間部に設けられた投光専用集光レ
ンズ18及び投受光兼用集光レンズ19とを有しており、ホ
ルダ15の遊端雄ねじ部15aがシリンダブロック10の雌ね
じ部10aに螺合することによりエンジン１にセンサ本体
２が固定されている。
ここで、光ファイバ端保持部17に於て、両光ファイバ
３、７の端面3b、7aが露出する端面17aには、第４図に
示すように投光用光ファイバ３の端面（投光面）3bを中
心とし、複数の受光用光ファイバ７の端面（受光面）7a
が環状をなすように配設されている。また、投光専用集
光レンズ18は、該レンズとホルダ15の内壁面との間に環
状の通路20を確保するべく、その周縁部が切除されると
共にレンズホルダ21の４本のアーム21aをもってホルダ1
5に対して保持されている。
３、７の端面3b、7aが露出する端面17aには、第４図に
示すように投光用光ファイバ３の端面（投光面）3bを中
心とし、複数の受光用光ファイバ７の端面（受光面）7a
が環状をなすように配設されている。また、投光専用集
光レンズ18は、該レンズとホルダ15の内壁面との間に環
状の通路20を確保するべく、その周縁部が切除されると
共にレンズホルダ21の４本のアーム21aをもってホルダ1
5に対して保持されている。
次に本実施例の作動要領を説明する。
レーザ光発生装置６からの光は、レンズ５を介して光分
配コネクタ４の端面4aに照射され、該端面に於て各セン
サ部２に接続する投光用光ファイバ３に分配される。こ
こで、前記したように端面4aに於て、各光ファイバ３の
受光側端面3aが同一円周上に配設されており、その中心
線がレーザ光発生装置６から発せられる光の光軸と一致
するようになっているため、各端面3aに光が均等に分配
され、即ち、各センサ本体２に光源からの光が均等に分
配される。
配コネクタ４の端面4aに照射され、該端面に於て各セン
サ部２に接続する投光用光ファイバ３に分配される。こ
こで、前記したように端面4aに於て、各光ファイバ３の
受光側端面3aが同一円周上に配設されており、その中心
線がレーザ光発生装置６から発せられる光の光軸と一致
するようになっているため、各端面3aに光が均等に分配
され、即ち、各センサ本体２に光源からの光が均等に分
配される。
分配され光はセンサ本体２に至り、第３図に矢印で示す
ように、光ファイバ３の端面3bからレンズ18及びレンズ
19を介して通孔12を通りシリンダ内の蛍光体を含むオイ
ル膜に投光される。そして、このオイル内の蛍光体が励
起し発光することにより、この光がレンズ19から環状通
路20を通り受光用光ファイバ７の端面7aに到達する。そ
して、該光ファイバを介してフォトディテクタ８の入力
端９に至り、光電変換され、オイル膜厚が測定される。
ように、光ファイバ３の端面3bからレンズ18及びレンズ
19を介して通孔12を通りシリンダ内の蛍光体を含むオイ
ル膜に投光される。そして、このオイル内の蛍光体が励
起し発光することにより、この光がレンズ19から環状通
路20を通り受光用光ファイバ７の端面7aに到達する。そ
して、該光ファイバを介してフォトディテクタ８の入力
端９に至り、光電変換され、オイル膜厚が測定される。
ここで、レンズ18、19の焦点位置を調節することにより
通路20に多く光を通すようにすることは容易である。
通路20に多く光を通すようにすることは容易である。
尚、センサ本体２とレーザ光発生装置６及びフォトディ
テクタ８との間が各々柔軟性のある光ファイバを介して
接続されているため、エンジン１が振動しても絶縁さ
れ、レーザ光発生装置６及びフォトディテクタ８に振動
が伝わることがない。
テクタ８との間が各々柔軟性のある光ファイバを介して
接続されているため、エンジン１が振動しても絶縁さ
れ、レーザ光発生装置６及びフォトディテクタ８に振動
が伝わることがない。
［発明の効果］ このように本発明によれば、光学センサ本体にて投光軸
線と受光軸線とが同軸をなすように、中心の投光用接続
ケーブルの光ファイバ端面を外囲して受光用接続ケーブ
ルの光ファイバ端面を配置し、これと同軸的に、かつ外
周に環状に光通路が確保されるように小径の投光専用集
光レンズを配置し、またこの投光専用集光レンズと被測
定物の被測定面との間に大径の投受光兼用集光レンズを
配置し、更にセンサ本体を被測定物に固定したことよ
り、照射光が上記軸線の中心のみ、その反射光が主にそ
の外周を通るように導光し、投光専用集光レンズに戻る
反射光は無駄になるものの光源からの光を無駄にせず被
測定物に照射できると共にその反射光の大部分を受光可
能とし、また別途反射光の分離手段を必要とせず、部品
点数を削減し、更に被測定物に対する位置精度も確保す
ることができる。また、センサ本体を複数同時に使用す
る際に光源と各透光手段とを接続する各接続ケーブルの
光ファイバの端面を光源からの光の光軸を中心とする同
一円周上に配置した光分配手段をもって光源からの光を
分配することで、各投光手段に均等に光を同時に均等な
光源からの光を供給して各センサの検出精度を均一化す
ることができる。
線と受光軸線とが同軸をなすように、中心の投光用接続
ケーブルの光ファイバ端面を外囲して受光用接続ケーブ
ルの光ファイバ端面を配置し、これと同軸的に、かつ外
周に環状に光通路が確保されるように小径の投光専用集
光レンズを配置し、またこの投光専用集光レンズと被測
定物の被測定面との間に大径の投受光兼用集光レンズを
配置し、更にセンサ本体を被測定物に固定したことよ
り、照射光が上記軸線の中心のみ、その反射光が主にそ
の外周を通るように導光し、投光専用集光レンズに戻る
反射光は無駄になるものの光源からの光を無駄にせず被
測定物に照射できると共にその反射光の大部分を受光可
能とし、また別途反射光の分離手段を必要とせず、部品
点数を削減し、更に被測定物に対する位置精度も確保す
ることができる。また、センサ本体を複数同時に使用す
る際に光源と各透光手段とを接続する各接続ケーブルの
光ファイバの端面を光源からの光の光軸を中心とする同
一円周上に配置した光分配手段をもって光源からの光を
分配することで、各投光手段に均等に光を同時に均等な
光源からの光を供給して各センサの検出精度を均一化す
ることができる。
以上のことから本発明の効果は極めて大である。
第１図は本発明に基づく光学式センサ装置の模式的な構
成図である。 第２図は第１図のII−II線から見た矢視図である。 第３図は本発明に基づく光学式センサ装置のセンサ部を
拡大して示す縦断面図である。 第４図は第３図のIV−IV線から見た矢視図である。 第５図は第３図のＶ−Ｖ線から見た矢視図である。 １……エンジン、２……センサ本体 ３……投光用光ファイバ、3a、3b……端面 ４……光分配コネクタ、4a……端面 ５……レンズ、６……レーザ光発生装置 ７……受光用光ファイバ、7a……端面 ８……フォトディテクタ、９……入力端 10……シリンダブロック 10a……雌ねじ部、11……スリーブ 12……通孔、13……透光材 15……ホルダ、15a……雄ねじ部 17……光ファイバ端保持部 17a……端面、18……投光専用集光レンズ 19……投受孔兼用集光レンズ、20……環状通路 21……レンズホルダ、21a……アーム
成図である。 第２図は第１図のII−II線から見た矢視図である。 第３図は本発明に基づく光学式センサ装置のセンサ部を
拡大して示す縦断面図である。 第４図は第３図のIV−IV線から見た矢視図である。 第５図は第３図のＶ−Ｖ線から見た矢視図である。 １……エンジン、２……センサ本体 ３……投光用光ファイバ、3a、3b……端面 ４……光分配コネクタ、4a……端面 ５……レンズ、６……レーザ光発生装置 ７……受光用光ファイバ、7a……端面 ８……フォトディテクタ、９……入力端 10……シリンダブロック 10a……雌ねじ部、11……スリーブ 12……通孔、13……透光材 15……ホルダ、15a……雄ねじ部 17……光ファイバ端保持部 17a……端面、18……投光専用集光レンズ 19……投受孔兼用集光レンズ、20……環状通路 21……レンズホルダ、21a……アーム
Claims (2)
- 【請求項１】光源と、光検知手段と、前記光源からの光
を被測定物に投光する手段及び該被測定物からの光を受
光する手段を具備すると共に前記光源及び前記光検知手
段と別体をなすセンサ本体と、前記光源と前記投光手段
との間及び前記光検知手段と前記受光手段との間を接続
する光ファイバとを有し、 前記センサ本体にて、前記投光軸線及び前記受光軸線が
互いに同軸をなすように、前記受光手段の受光面をなす
光ファイバ端が前記投光手段の投光面をなす光ファイバ
端を外囲するように環状に配置され、 前記投受光面と前記被測定物の被測定面との間に、投受
光兼用集光レンズが前記投光軸線及び前記受光軸線と同
軸的に配置され、 更に前記投受光面と前記投受光兼用集光レンズとの間
に、前記投受光兼用集光レンズよりも小径な投光専用集
光レンズが前記投光軸線及び前記受光軸線と同軸的に配
置され、 前記センサ本体が前記被測定物に固定されたことを特徴
とする光学式センサ装置。 - 【請求項２】光源と、光検知手段と、前記光源からの光
を被測定物に投光する手段及び前記被測定物からの光を
受光する手段を具備すると共に前記光源及び前記光検知
手段と別体をなす複数のセンサ本体と、前記光源と前記
各投光手段との間及び前記光検知手段と前記各受光手段
との間を接続する光ファイバからなる複数の接続ケーブ
ルと、前記光源と前記各投光手段とを接続する各接続ケ
ーブルの光ファイバの端面を前記光源からの光の光軸を
中心とする同一円周上に配置した光分配手段とを有し、 前記各センサ本体にて、前記投光軸線及び前記受光軸線
が互いに同軸をなすように、前記受光手段の受光面をな
す光ファイバ端面が前記投光手段の投光面をなす光ファ
イバ端面を外囲するように環状に配置され、 前記投受光面と前記被測定物の被測定面との間に、前記
投光軸線及び前記受光軸線と同軸的に投受光兼用集光レ
ンズが配置され、 更に前記投受光兼用集光レンズと前記投受光面との間
に、前記投光軸線及び前記受光軸線と同軸的に前記投受
光兼用集光レンズよりも小径な投光用集光レンズが配置
され、 前記センサ本体が前記被測定物に固定されたことを特徴
とする光学式センサ装置。
Priority Applications (3)
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|---|---|---|---|
| JP63121455A JPH0676883B2 (ja) | 1988-05-18 | 1988-05-18 | 光学式センサ装置 |
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| JP63121455A JPH0676883B2 (ja) | 1988-05-18 | 1988-05-18 | 光学式センサ装置 |
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