JPH0676949A - 高輝度カラーｅｌパネル - Google Patents
高輝度カラーｅｌパネルInfo
- Publication number
- JPH0676949A JPH0676949A JP4248772A JP24877292A JPH0676949A JP H0676949 A JPH0676949 A JP H0676949A JP 4248772 A JP4248772 A JP 4248772A JP 24877292 A JP24877292 A JP 24877292A JP H0676949 A JPH0676949 A JP H0676949A
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- JP
- Japan
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- panel
- substrate
- color
- transparent electrode
- insulating film
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 フルカラーまたはマルチカラー表示フラット
ディスプレイに用いられる高輝度ＥＬディスプレイに関
するものである。 【構成】 表面を研磨した耐熱性の高いセラミックを基
板として用いることを特徴とし、その上に、透明電極
と、絶縁膜と、ＺｎＳ：Ｍｎ／ＳｒＳ：Ｃｅ／ＺｎＳ：
Ｍｎの３層構造からなる発光層と、絶縁膜と、透明電極
とを積層したＥＬパネルと、カラーフィルターがパター
ニングされたガラス（封止ガラス）を貼り合わせた高輝
度カラーＥＬパネルである。
ディスプレイに用いられる高輝度ＥＬディスプレイに関
するものである。 【構成】 表面を研磨した耐熱性の高いセラミックを基
板として用いることを特徴とし、その上に、透明電極
と、絶縁膜と、ＺｎＳ：Ｍｎ／ＳｒＳ：Ｃｅ／ＺｎＳ：
Ｍｎの３層構造からなる発光層と、絶縁膜と、透明電極
とを積層したＥＬパネルと、カラーフィルターがパター
ニングされたガラス（封止ガラス）を貼り合わせた高輝
度カラーＥＬパネルである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フルカラーまたはマル
チカラー表示フラットディスプレイに用いられる高輝度
ＥＬディスプレイに関するものである。
チカラー表示フラットディスプレイに用いられる高輝度
ＥＬディスプレイに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、カラーＥＬパネルの制作方法に
は、ＲＧＢ（赤、緑、青）の各発光色が得られる材料を
平面上にパターニングスル方法と、幅広い発光スペクト
ルをもつ発光層からの光をカラーフィルタでＲＧＢに分
解する方法に大別できる。発光層をパターニングする方
法はパターニング自体が困難であり、プロセスも複雑と
なることから、現在ではカラーフィルター方式が主流に
なってきている。カラーフィルター方式のＥＬパネルで
も、ガラス基板上にカラーフィルターを形成し、その上
にＥＬデバイスを構成する各層を成膜していくタイプ
と、背面電極に透明電極を用いたＥＬパネルに、カラー
フィルターがパターニングされたガラスを貼り合わせる
タイプがある。しかし、前者ではカラーフィルターの耐
熱性が低く、ＥＬの製作工程に耐えられない。また、耐
熱性の高い干渉フィルターを使用してもパターニングや
視野角が問題となるため後者のタイプが有望である。前
述したように、カラーフィルター方式のＥＬパネルでは
幅広い発光スペクトルを持って発光層が必要であり、そ
の発光はフィルターを通して取り出されるため、かなり
の高輝度が必要である。この２つの要求に対し、我々は
ＺｎＳ：Ｍｎ／ＳｒＳ：Ｃｅ／ＺｎＳ：Ｍｎからなる３
層構造の発光層を持つＥＬデバイス（特願平４−１２１
１３７）により、大きな成果をあげた。
は、ＲＧＢ（赤、緑、青）の各発光色が得られる材料を
平面上にパターニングスル方法と、幅広い発光スペクト
ルをもつ発光層からの光をカラーフィルタでＲＧＢに分
解する方法に大別できる。発光層をパターニングする方
法はパターニング自体が困難であり、プロセスも複雑と
なることから、現在ではカラーフィルター方式が主流に
なってきている。カラーフィルター方式のＥＬパネルで
も、ガラス基板上にカラーフィルターを形成し、その上
にＥＬデバイスを構成する各層を成膜していくタイプ
と、背面電極に透明電極を用いたＥＬパネルに、カラー
フィルターがパターニングされたガラスを貼り合わせる
タイプがある。しかし、前者ではカラーフィルターの耐
熱性が低く、ＥＬの製作工程に耐えられない。また、耐
熱性の高い干渉フィルターを使用してもパターニングや
視野角が問題となるため後者のタイプが有望である。前
述したように、カラーフィルター方式のＥＬパネルでは
幅広い発光スペクトルを持って発光層が必要であり、そ
の発光はフィルターを通して取り出されるため、かなり
の高輝度が必要である。この２つの要求に対し、我々は
ＺｎＳ：Ｍｎ／ＳｒＳ：Ｃｅ／ＺｎＳ：Ｍｎからなる３
層構造の発光層を持つＥＬデバイス（特願平４−１２１
１３７）により、大きな成果をあげた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実用化
のためには、ＳｒＳ：Ｃｅにより得られている青色の発
光に対して、更なる高輝度化が必要とされている。Ｓｒ
Ｓ：Ｃｅの高輝度化には、成膜時の基板温度を高くする
ことが非常に有効であるが、ガラス基板の熱的限界のた
め最適な基板温度で成膜することができないという問題
がある。本発明は上記従来の問題点に着目し、フルカラ
ー、マルチカラー、表示フラットディスプレイに用いら
れる高輝度ＥＬディスプレイの提供を目的としている。
のためには、ＳｒＳ：Ｃｅにより得られている青色の発
光に対して、更なる高輝度化が必要とされている。Ｓｒ
Ｓ：Ｃｅの高輝度化には、成膜時の基板温度を高くする
ことが非常に有効であるが、ガラス基板の熱的限界のた
め最適な基板温度で成膜することができないという問題
がある。本発明は上記従来の問題点に着目し、フルカラ
ー、マルチカラー、表示フラットディスプレイに用いら
れる高輝度ＥＬディスプレイの提供を目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の高輝度カラーＥＬパネルでは、表面を研磨
した耐熱性の高いセラミックを基板として用いること事
を特徴とし、その上に、透明電極と、絶縁膜と、Ｚｎ
Ｓ：Ｍｎ／ＳｒＳ：Ｃｅ／ＺｎＳ：Ｍｎの３層構造から
なる発光層と、絶縁膜と、透明電極とを積層したＥＬパ
ネルと、カラーフィルターがパターニングされたガラス
（封止ガラス）を貼り合わせる。
に、本発明の高輝度カラーＥＬパネルでは、表面を研磨
した耐熱性の高いセラミックを基板として用いること事
を特徴とし、その上に、透明電極と、絶縁膜と、Ｚｎ
Ｓ：Ｍｎ／ＳｒＳ：Ｃｅ／ＺｎＳ：Ｍｎの３層構造から
なる発光層と、絶縁膜と、透明電極とを積層したＥＬパ
ネルと、カラーフィルターがパターニングされたガラス
（封止ガラス）を貼り合わせる。
【０００５】
【作用】カラーフィルター貼り合わせ方式のＥＬパネル
では基板が透明である必要がない。それで耐熱性が高い
セラミックを基板に用いることで、熱による膨張や変
形、割れ等を伴わずに、ガラス基板使用時よりも高い基
板温度でＳｒＳ：Ｃｅを成膜できる。
では基板が透明である必要がない。それで耐熱性が高い
セラミックを基板に用いることで、熱による膨張や変
形、割れ等を伴わずに、ガラス基板使用時よりも高い基
板温度でＳｒＳ：Ｃｅを成膜できる。
【０００６】
【実施例】ＥＬデイバイスの基板として、表面を研磨し
た酸化アルミ（Ａｌ2 Ｏ3 ）等の耐熱性の高いセラミッ
クを使用した場合の効果を調べた。表面を研磨した酸化
アルミ（Ａｌ2 Ｏ3 ）の基板上に、厚さ０．１μｍのＩ
ＴＯ透明電極と、厚さ０．１２μｍのＳｉＯＮ絶縁膜
と、厚さ０．８５μｍのＳｒＳ：Ｃｅの発光層と、厚さ
０．１２μｍのＳｉＯＮ絶縁膜と、厚さ０．１μｍのＩ
ＴＯ透明電極を、順次積層したＥＬデバイスを、Ｓｒ
Ｓ：Ｃｅの発光層成膜時の基板温度を換えて３種類制作
した。デバイスの青フィルター透過後の輝度ー電圧特性
を、パルス幅４０μｓｅｃ、周波数６０Ｈｚのパルス波
で測定した結果を図２に示す。この結果では、ＳｒＳ：
Ｃｅの発光層成膜時の基板温度が５５０℃→６００℃→
６５０℃と高くなる従い、輝度が向上している。また、
ガラス基板では５５０℃程度が熱的限界であるが、本発
明では６５０℃でも問題なく成膜が可能であった。
た酸化アルミ（Ａｌ2 Ｏ3 ）等の耐熱性の高いセラミッ
クを使用した場合の効果を調べた。表面を研磨した酸化
アルミ（Ａｌ2 Ｏ3 ）の基板上に、厚さ０．１μｍのＩ
ＴＯ透明電極と、厚さ０．１２μｍのＳｉＯＮ絶縁膜
と、厚さ０．８５μｍのＳｒＳ：Ｃｅの発光層と、厚さ
０．１２μｍのＳｉＯＮ絶縁膜と、厚さ０．１μｍのＩ
ＴＯ透明電極を、順次積層したＥＬデバイスを、Ｓｒ
Ｓ：Ｃｅの発光層成膜時の基板温度を換えて３種類制作
した。デバイスの青フィルター透過後の輝度ー電圧特性
を、パルス幅４０μｓｅｃ、周波数６０Ｈｚのパルス波
で測定した結果を図２に示す。この結果では、ＳｒＳ：
Ｃｅの発光層成膜時の基板温度が５５０℃→６００℃→
６５０℃と高くなる従い、輝度が向上している。また、
ガラス基板では５５０℃程度が熱的限界であるが、本発
明では６５０℃でも問題なく成膜が可能であった。
【０００７】上記比較実験の結果、ＥＬデバイスの基板
に耐熱性の高いセラミックを用いれば、高い基板温度で
ＳｒＳ：Ｃｅの発光層を成膜することができ、それによ
り高輝度化することができた。次に、セラミック基板を
用いて、実際にカラーＥＬパネルを試作した例を図面を
参照して詳細に説明する。図１は本発明による高輝度カ
ラーＥＬの構造図である。図１において、高輝度カラー
ＥＬパネル１は、表面を研磨したセラミック（酸化アル
ミ：Ａｌ2 Ｏ3 ）基板１１上に、ＩＴＯ透明電極１２
と、ＳｉＯＮ絶縁膜１３と、ＺｎＳ：Ｍｎ、ＳｒＳ：Ｃ
ｅ、ＺｎＳ：Ｍｎの３層構造からなる発光層１４と、Ｓ
ｉＯＮ絶縁膜１５と、ＩＴＯ透明電極１６を、順次積層
したＥＬパネル１０と、カラーフィルター２１がパター
ニングされた封止ガラス２２を、接着材２３を用いて貼
り合わせ、その隙間に、絶縁性流動体２４が封止された
構造になっている。
に耐熱性の高いセラミックを用いれば、高い基板温度で
ＳｒＳ：Ｃｅの発光層を成膜することができ、それによ
り高輝度化することができた。次に、セラミック基板を
用いて、実際にカラーＥＬパネルを試作した例を図面を
参照して詳細に説明する。図１は本発明による高輝度カ
ラーＥＬの構造図である。図１において、高輝度カラー
ＥＬパネル１は、表面を研磨したセラミック（酸化アル
ミ：Ａｌ2 Ｏ3 ）基板１１上に、ＩＴＯ透明電極１２
と、ＳｉＯＮ絶縁膜１３と、ＺｎＳ：Ｍｎ、ＳｒＳ：Ｃ
ｅ、ＺｎＳ：Ｍｎの３層構造からなる発光層１４と、Ｓ
ｉＯＮ絶縁膜１５と、ＩＴＯ透明電極１６を、順次積層
したＥＬパネル１０と、カラーフィルター２１がパター
ニングされた封止ガラス２２を、接着材２３を用いて貼
り合わせ、その隙間に、絶縁性流動体２４が封止された
構造になっている。
【０００８】試作したパネルは、３層構造からなる発光
層のうち、ＳｒＳ：Ｃｅ層成膜時の基板温度を５５０
℃、６５０℃とした２種類である。これらのパネルの赤
（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）フィルター透過後の画素輝
度をパルス幅４０μｓｅｃ、周波数６０Ｈｚのパルス波
で測定した。図３の輝度ー電圧特性に示すように、Ｓｒ
Ｓ：Ｃｅ層成膜時の基板温度が６５０℃と高温の方が青
色の輝度が増加している。
層のうち、ＳｒＳ：Ｃｅ層成膜時の基板温度を５５０
℃、６５０℃とした２種類である。これらのパネルの赤
（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）フィルター透過後の画素輝
度をパルス幅４０μｓｅｃ、周波数６０Ｈｚのパルス波
で測定した。図３の輝度ー電圧特性に示すように、Ｓｒ
Ｓ：Ｃｅ層成膜時の基板温度が６５０℃と高温の方が青
色の輝度が増加している。
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基板側第１電極に、ＥＬ製作中の高温工程でも問題が生
じない透明電極を使用しても、パネルから取り出される
光にはセラミック基板表面からの反射光が含まれるた
め、ガラス基板を用いた同様の構造を持つカラーＥＬパ
ネルに比べ、赤、緑、青の全発光領域にわたって高輝度
のカラーＥＬパネルが得られる。
基板側第１電極に、ＥＬ製作中の高温工程でも問題が生
じない透明電極を使用しても、パネルから取り出される
光にはセラミック基板表面からの反射光が含まれるた
め、ガラス基板を用いた同様の構造を持つカラーＥＬパ
ネルに比べ、赤、緑、青の全発光領域にわたって高輝度
のカラーＥＬパネルが得られる。
【図１】本発明の薄膜カラーＥＬパネルの断面構造図で
ある。
ある。
【図２】ＳｒＳ：Ｃｅ ＥＬデバイスの青色フィルター
透過後の輝度ー電圧特性の、ＳｒＳ：Ｃｅ成膜時基板温
度依存性を示した図である。
透過後の輝度ー電圧特性の、ＳｒＳ：Ｃｅ成膜時基板温
度依存性を示した図である。
【図３】本発明のＲ．Ｇ．Ｂフィルター透過後の輝度−
電圧特性を測定した図である。
電圧特性を測定した図である。
１ 高輝度カラーＥＬパネル １０ ＥＬパネル １１ セラミック基板 １２、１６ 透明電極 １３、１５ 絶縁膜 １４ 発光層 ２１ 封止ガラス
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年１月２９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００２】
【従来の技術】従来、カラーＥＬパネルの製作方法に
は、ＲＧＢ（赤、緑、青）の各発光色が得られる材料を
平面上にパターニングする方法と、幅広い発光スペクト
ルをもつ発光層からの光をカラーフィルタでＲＧＢに分
解する方法に大別できる。発光層をパターニングする方
法はパターニング自体が困難であり、プロセスも複雑と
なることから、現在ではカラーフィルター方式が主流に
なってきている。カラーフィルター方式のＥＬパネルで
も、ガラス基板上にカラーフィルターを形成し、その上
にＥＬデバイスを構成する各層を成膜していくタイプ
と、背面電極に透明電極を用いたＥＬパネルに、カラー
フィルターがパターニングされたガラスを貼り合わせる
タイプがある。しかし、前者ではカラーフィルターの耐
熱性が低く、ＥＬの製作工程に耐えられない。また、耐
熱性の高い干渉フィルターを使用してもパターニングや
視野角が問題となるため後者のタイプが有望である。前
述したように、カラーフィルター方式のＥＬパネルでは
幅広い発光スペクトルを持った発光層が必要であり、そ
の発光はフィルターを通して取り出されるため、かなり
の高輝度が必要である。この２つの要求に対し、我々は
ＺｎＳ：Ｍｎ／ＳｒＳ：Ｃｅ／ＺｎＳ：Ｍｎからなる３
層構造の発光層を持つＥＬデバイス（特願平４−１２１
１３７）により、大きな成果をあげた。
は、ＲＧＢ（赤、緑、青）の各発光色が得られる材料を
平面上にパターニングする方法と、幅広い発光スペクト
ルをもつ発光層からの光をカラーフィルタでＲＧＢに分
解する方法に大別できる。発光層をパターニングする方
法はパターニング自体が困難であり、プロセスも複雑と
なることから、現在ではカラーフィルター方式が主流に
なってきている。カラーフィルター方式のＥＬパネルで
も、ガラス基板上にカラーフィルターを形成し、その上
にＥＬデバイスを構成する各層を成膜していくタイプ
と、背面電極に透明電極を用いたＥＬパネルに、カラー
フィルターがパターニングされたガラスを貼り合わせる
タイプがある。しかし、前者ではカラーフィルターの耐
熱性が低く、ＥＬの製作工程に耐えられない。また、耐
熱性の高い干渉フィルターを使用してもパターニングや
視野角が問題となるため後者のタイプが有望である。前
述したように、カラーフィルター方式のＥＬパネルでは
幅広い発光スペクトルを持った発光層が必要であり、そ
の発光はフィルターを通して取り出されるため、かなり
の高輝度が必要である。この２つの要求に対し、我々は
ＺｎＳ：Ｍｎ／ＳｒＳ：Ｃｅ／ＺｎＳ：Ｍｎからなる３
層構造の発光層を持つＥＬデバイス（特願平４−１２１
１３７）により、大きな成果をあげた。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実用化
のためには、ＳｒＳ：Ｃｅにより得られている青色の発
光に対して、更なる高輝度化が必要とされている。Ｓｒ
Ｓ：Ｃｅの高輝度化には、成膜時の基板温度を高くする
ことが非常に有効であるが、ガラス基板の熱的限界のた
め最適な基板温度で成膜することができないという問題
がある。本発明は上記従来の問題点に着目し、フルカラ
ーまたはマルチカラー表示フラットディスプレイに用い
られる高輝度ＥＬディスプレイの提供を目的としてい
る。
のためには、ＳｒＳ：Ｃｅにより得られている青色の発
光に対して、更なる高輝度化が必要とされている。Ｓｒ
Ｓ：Ｃｅの高輝度化には、成膜時の基板温度を高くする
ことが非常に有効であるが、ガラス基板の熱的限界のた
め最適な基板温度で成膜することができないという問題
がある。本発明は上記従来の問題点に着目し、フルカラ
ーまたはマルチカラー表示フラットディスプレイに用い
られる高輝度ＥＬディスプレイの提供を目的としてい
る。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】ＥＬデイバイスの基板として、表面を研磨
した酸化アルミ（Ａｌ２Ｏ３）等の耐熱性の高いセラミ
ックを使用した場合の効果を調べた。表面を研磨した酸
化アルミ（Ａｌ２Ｏ３）の基板上に、厚さ０．１μｍの
ＩＴＯ透明電極と、厚さ０．１２μｍのＳｉＯＮ絶縁膜
と、厚さ０．８５μｍのＳｒＳ：Ｃｅの発光層と、厚さ
０．１２μｍのＳｉＯＮ絶縁膜と、厚さ０．１μｍのＩ
ＴＯ透明電極を、順次積層したＥＬデバイスを、Ｓｒ
Ｓ：Ｃｅの発光層成膜時の基板温度を変えて３種類製作
した。デバイスの青フィルター透過後の輝度−電圧特性
を、パルス幅４０μｓｅｃ、周波数６０Ｈｚのパルス波
で測定した結果を図２に示す。この結果では、ＳｒＳ：
Ｃｅの発光層成膜時の基板温度が５５０℃→６００℃→
６５０℃と高くなるに従い、輝度が向上している。ま
た、ガラス基板では５５０℃程度が熱的限界であるが、
本発明では６５０℃でも問題なく成膜が可能であった。
した酸化アルミ（Ａｌ２Ｏ３）等の耐熱性の高いセラミ
ックを使用した場合の効果を調べた。表面を研磨した酸
化アルミ（Ａｌ２Ｏ３）の基板上に、厚さ０．１μｍの
ＩＴＯ透明電極と、厚さ０．１２μｍのＳｉＯＮ絶縁膜
と、厚さ０．８５μｍのＳｒＳ：Ｃｅの発光層と、厚さ
０．１２μｍのＳｉＯＮ絶縁膜と、厚さ０．１μｍのＩ
ＴＯ透明電極を、順次積層したＥＬデバイスを、Ｓｒ
Ｓ：Ｃｅの発光層成膜時の基板温度を変えて３種類製作
した。デバイスの青フィルター透過後の輝度−電圧特性
を、パルス幅４０μｓｅｃ、周波数６０Ｈｚのパルス波
で測定した結果を図２に示す。この結果では、ＳｒＳ：
Ｃｅの発光層成膜時の基板温度が５５０℃→６００℃→
６５０℃と高くなるに従い、輝度が向上している。ま
た、ガラス基板では５５０℃程度が熱的限界であるが、
本発明では６５０℃でも問題なく成膜が可能であった。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基板として、表面を研磨した耐熱性の高いセラミックを
用いているために、ガラス基板使用時よりも高い基板温
度でＳｒＳ：Ｃｅを成膜できる。これにより、ガラス基
板を用いた同様の構造を持つカラーＥＬパネルで問題と
なっていた青色の発光輝度不足を解決した高輝度のカラ
ーＥＬパネルが得られる。
基板として、表面を研磨した耐熱性の高いセラミックを
用いているために、ガラス基板使用時よりも高い基板温
度でＳｒＳ：Ｃｅを成膜できる。これにより、ガラス基
板を用いた同様の構造を持つカラーＥＬパネルで問題と
なっていた青色の発光輝度不足を解決した高輝度のカラ
ーＥＬパネルが得られる。
Claims (1)
- 【請求項１】 表面を研磨した耐熱性の高いセラミック
を基板として用いること事を特徴とし、その上に、透明
電極と、絶縁膜と、ＺｎＳ：Ｍｎ／ＳｒＳ：Ｃｅ／Ｚｎ
Ｓ：Ｍｎの３層構造からなる発光層と、絶縁膜と、透明
電極とを積層したＥＬパネルと、カラーフィルターがパ
ターニングされたガラス（封止ガラス）を貼り合わせた
高輝度カラーＥＬパネル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4248772A JPH0676949A (ja) | 1992-08-25 | 1992-08-25 | 高輝度カラーｅｌパネル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4248772A JPH0676949A (ja) | 1992-08-25 | 1992-08-25 | 高輝度カラーｅｌパネル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0676949A true JPH0676949A (ja) | 1994-03-18 |
Family
ID=17183157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4248772A Pending JPH0676949A (ja) | 1992-08-25 | 1992-08-25 | 高輝度カラーｅｌパネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0676949A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100844021B1 (ko) * | 2006-05-12 | 2008-07-04 | 주식회사 센플러스 | 평판표시장치용 기판 및 제조방법 그리고 상기 기판을이용한 평판표시장치 및 제조방법 |
-
1992
- 1992-08-25 JP JP4248772A patent/JPH0676949A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100844021B1 (ko) * | 2006-05-12 | 2008-07-04 | 주식회사 센플러스 | 평판표시장치용 기판 및 제조방법 그리고 상기 기판을이용한 평판표시장치 및 제조방법 |
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