JPH0677287A - ボンディングノズルおよびその保持方法 - Google Patents
ボンディングノズルおよびその保持方法Info
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- JPH0677287A JPH0677287A JP4229630A JP22963092A JPH0677287A JP H0677287 A JPH0677287 A JP H0677287A JP 4229630 A JP4229630 A JP 4229630A JP 22963092 A JP22963092 A JP 22963092A JP H0677287 A JPH0677287 A JP H0677287A
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- Japan
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- bonding
- bonding nozzle
- nozzle
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- holding
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ボンディングノズルをホルダーに取り付けた
際に遊合状態が発生せず、高精度のボンディングを可能
にする。 【構成】 ボンディングノズルは、部品を吸着するため
の吸着孔３を有する管状体２の一方の先端に部品を吸着
するための部品吸着面を備えた吸着部１を有し、他方の
先端に近い位置に多角形の保持部４を有し、保持部４を
構成する多角形の側面の３面以上には管状体２の長さ方
向に垂直でかつ部品吸着面に平行な溝５が形成されてい
る。このようなボンディングノズルは、保持部４が４方
から押されるため安定して保持され、ボンディング精度
が向上する。
際に遊合状態が発生せず、高精度のボンディングを可能
にする。 【構成】 ボンディングノズルは、部品を吸着するため
の吸着孔３を有する管状体２の一方の先端に部品を吸着
するための部品吸着面を備えた吸着部１を有し、他方の
先端に近い位置に多角形の保持部４を有し、保持部４を
構成する多角形の側面の３面以上には管状体２の長さ方
向に垂直でかつ部品吸着面に平行な溝５が形成されてい
る。このようなボンディングノズルは、保持部４が４方
から押されるため安定して保持され、ボンディング精度
が向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品実装機におい
て電子部品を吸着するボンディングノズルおよびその保
持方法に関する。
て電子部品を吸着するボンディングノズルおよびその保
持方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、高密度実装の分野において半導体
素子を初めとしてＴＡＢ実装された電子部品（以下ＴＡ
Ｂ実装された電子部品をＴＡＢ電子部品という）が大量
に使用されるようになってきた。ＴＡＢ電子部品はフィ
ルムキャリアに半導体素子を実装したもので、フィルム
キャリヤに半導体素子を実装する工程をインナーリード
ボンディング（以下ＩＬＢという）、ＴＡＢ電子部品を
回路基板などに実装する工程をアウターリードボンディ
ング（以下ＯＬＢという）と呼んでいる。
素子を初めとしてＴＡＢ実装された電子部品（以下ＴＡ
Ｂ実装された電子部品をＴＡＢ電子部品という）が大量
に使用されるようになってきた。ＴＡＢ電子部品はフィ
ルムキャリアに半導体素子を実装したもので、フィルム
キャリヤに半導体素子を実装する工程をインナーリード
ボンディング（以下ＩＬＢという）、ＴＡＢ電子部品を
回路基板などに実装する工程をアウターリードボンディ
ング（以下ＯＬＢという）と呼んでいる。
【０００３】以下従来のボンディングノズルおよびその
保持方法について、説明する。図６は従来のボンディン
グノズルの斜視図である。図６において、１はボンディ
ングノズルの部品を吸着する吸着部、２は内部に真空吸
着用の吸着孔３を有する管状体、４は保持部、５は保持
部４の側面に設けられた溝である。図６に示すように、
従来のボンディングノズルでは溝５は保持部４の対向す
る２面のみに形成されていた。
保持方法について、説明する。図６は従来のボンディン
グノズルの斜視図である。図６において、１はボンディ
ングノズルの部品を吸着する吸着部、２は内部に真空吸
着用の吸着孔３を有する管状体、４は保持部、５は保持
部４の側面に設けられた溝である。図６に示すように、
従来のボンディングノズルでは溝５は保持部４の対向す
る２面のみに形成されていた。
【０００４】図７は従来のボンディングノズルの保持方
法を説明するための概略断面図である。図７に示すよう
に、ホルダー７の下部の側面には板ばね８がねじ９で固
定されており、その板ばね８の先端は屈曲していてボン
ディングノズルの保持部４の側面に設けられた溝５に合
致するようになっている。このようなホルダー７にボン
ディングノズルの保持部４を挿入し、板ばね８で固定し
ていた。
法を説明するための概略断面図である。図７に示すよう
に、ホルダー７の下部の側面には板ばね８がねじ９で固
定されており、その板ばね８の先端は屈曲していてボン
ディングノズルの保持部４の側面に設けられた溝５に合
致するようになっている。このようなホルダー７にボン
ディングノズルの保持部４を挿入し、板ばね８で固定し
ていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、ボンディングノズルが２方向でしか保持
されていないためにボンディングノズルの中心を軸とす
る回転方向に遊合状態を生じ、ボンディング精度にばら
つきを発生させるという課題を有していた。
来の構成では、ボンディングノズルが２方向でしか保持
されていないためにボンディングノズルの中心を軸とす
る回転方向に遊合状態を生じ、ボンディング精度にばら
つきを発生させるという課題を有していた。
【０００６】例えば、図８に示すように吸着部１を先端
部に有し、保持部４の外寸Ｄ1 が9.95mmから10mmの範囲
で長さＬ1 が50mmのボンディングノズルを図９に示すよ
うな内寸Ｄ2 が10mmから10.05mm の範囲のホルダーで保
持した場合について説明する。図１０は従来のボンディ
ングノズルが保持された状態で生じるずれを説明するた
めの図であり、図９をＡ−Ａ線で切断した図である。こ
のように、ホルダー７の内寸Ｄ2 が最大で10.05mm に対
してボンディングノズルの保持部４の外寸Ｄ1は最小で
9.95mmであるため軸を中心にして回転し、ずれ角θ1は
最大で0.579゜となる。このように保持されたボンディ
ングノズルを用いて図１１に示す外寸Ｗが30mmでリード
ピッチＰが0.1mm のＴＡＢ電子部品をボンディングする
場合、リード先端部で0.152mm の位置ずれを生じる。当
然のことながらリードピッチが0.1mm のＴＡＢ電子部品
では短絡不良が発生する。
部に有し、保持部４の外寸Ｄ1 が9.95mmから10mmの範囲
で長さＬ1 が50mmのボンディングノズルを図９に示すよ
うな内寸Ｄ2 が10mmから10.05mm の範囲のホルダーで保
持した場合について説明する。図１０は従来のボンディ
ングノズルが保持された状態で生じるずれを説明するた
めの図であり、図９をＡ−Ａ線で切断した図である。こ
のように、ホルダー７の内寸Ｄ2 が最大で10.05mm に対
してボンディングノズルの保持部４の外寸Ｄ1は最小で
9.95mmであるため軸を中心にして回転し、ずれ角θ1は
最大で0.579゜となる。このように保持されたボンディ
ングノズルを用いて図１１に示す外寸Ｗが30mmでリード
ピッチＰが0.1mm のＴＡＢ電子部品をボンディングする
場合、リード先端部で0.152mm の位置ずれを生じる。当
然のことながらリードピッチが0.1mm のＴＡＢ電子部品
では短絡不良が発生する。
【０００７】また図６に示すように溝５が形成されてい
ない面には板ばね８が配置されていないので、図１２に
示すようにボンディングノズルの長さ方向に対してずれ
角θ 2 が最大で 0.573゜となる。その結果、吸着部１の
部分では位置ずれｄが0.5mmとなり、図１１に示すＴＡ
Ｂ電子部品では短絡不良が発生する。
ない面には板ばね８が配置されていないので、図１２に
示すようにボンディングノズルの長さ方向に対してずれ
角θ 2 が最大で 0.573゜となる。その結果、吸着部１の
部分では位置ずれｄが0.5mmとなり、図１１に示すＴＡ
Ｂ電子部品では短絡不良が発生する。
【０００８】本発明は上記の従来の課題を解決するもの
で、ボンディングノズルをホルダーに取り付けた際に遊
合状態が発生せず、高精度のボンディングが可能となる
ボンディングノズルおよびその保持方法を提供すること
を目的とする。
で、ボンディングノズルをホルダーに取り付けた際に遊
合状態が発生せず、高精度のボンディングが可能となる
ボンディングノズルおよびその保持方法を提供すること
を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のボンディングノズルは、その保持部を構成す
る多角形の側面の３面以上にボンディングノズルの長さ
方向に垂直でかつ部品吸着面に平行な溝が形成された構
成を有している。
に本発明のボンディングノズルは、その保持部を構成す
る多角形の側面の３面以上にボンディングノズルの長さ
方向に垂直でかつ部品吸着面に平行な溝が形成された構
成を有している。
【００１０】
【作用】この構成によって、ボンディングノズルがホル
ダーによって３方向以上から押しつけられて保持される
ことになり、軸の回りに遊合状態が発生しにくくなり、
高精度のボンディングが容易に実現できる。
ダーによって３方向以上から押しつけられて保持される
ことになり、軸の回りに遊合状態が発生しにくくなり、
高精度のボンディングが容易に実現できる。
【００１１】
【実施例】以下本発明の第１の実施例について、図面を
参照しながら説明する。図１は本発明の第１の実施例に
おけるボンディングノズルの斜視図である。図１に示す
ように、一方の先端に吸着部１を有する管状体２には真
空吸着用の吸着孔３が設けられており、管状体２の他方
の先端に近い部分には溝５を有する保持部４が設けられ
ている。保持部４を構成する多角形の４側面には管状体
２の長さ方向に垂直な溝が形成されている。このように
保持部４の４側面に溝５を形成し、これらの溝５に板ば
ねの先端の屈曲部分を押しつけることによりボンディン
グノズルが強固に保持され、ボンディング精度を高める
ことができる。
参照しながら説明する。図１は本発明の第１の実施例に
おけるボンディングノズルの斜視図である。図１に示す
ように、一方の先端に吸着部１を有する管状体２には真
空吸着用の吸着孔３が設けられており、管状体２の他方
の先端に近い部分には溝５を有する保持部４が設けられ
ている。保持部４を構成する多角形の４側面には管状体
２の長さ方向に垂直な溝が形成されている。このように
保持部４の４側面に溝５を形成し、これらの溝５に板ば
ねの先端の屈曲部分を押しつけることによりボンディン
グノズルが強固に保持され、ボンディング精度を高める
ことができる。
【００１２】次に本発明の第２の実施例について、図面
を参照しながら説明する。図２は本発明の第２の実施例
におけるボンディングノズルの斜視図であり、回転防止
機構を設けたものである。図１に示す第１の実施例と異
なる点は、ボンディングノズルの保持部４の上に回転防
止機構として外周の一部に平面部を設けた円盤６を取り
付けている点である。図１に示す第１の実施例ではボン
ディングノズルを固定するための板ばねの保持力が均一
でない場合、ボンディングノズルの中心を軸として回転
方向にずれを生ずるが、本実施例では円盤６に設けた平
面部分で回転方向のずれを防止することができる。
を参照しながら説明する。図２は本発明の第２の実施例
におけるボンディングノズルの斜視図であり、回転防止
機構を設けたものである。図１に示す第１の実施例と異
なる点は、ボンディングノズルの保持部４の上に回転防
止機構として外周の一部に平面部を設けた円盤６を取り
付けている点である。図１に示す第１の実施例ではボン
ディングノズルを固定するための板ばねの保持力が均一
でない場合、ボンディングノズルの中心を軸として回転
方向にずれを生ずるが、本実施例では円盤６に設けた平
面部分で回転方向のずれを防止することができる。
【００１３】次に本発明のボンディングノズルの保持方
法について、図面を参照しながら説明する。図３は本発
明の一実施例におけるボンディングノズルの保持方法を
説明するための概略断面図である。ホルダー７の側面の
先端部には先端が屈曲した板ばね８がねじ９で固定され
ており、ボンディングノズルを保持している。なお図３
は部分断面図であるため板ばね８は２本しか示してない
が、実際は４方向に板ばね８を配置している。図４は図
３をＡ−Ａ線で切断した概略断面図である。板ばね４を
固定するねじ９は保持部７の辺の中間に配置されてお
り、この状態でも十分に板ばね８を保持できるが、図５
に示すようにねじ９を保持部７の辺の中間からずらせた
位置に配置することにより一層効果的にボンディングノ
ズルを固定することができる。
法について、図面を参照しながら説明する。図３は本発
明の一実施例におけるボンディングノズルの保持方法を
説明するための概略断面図である。ホルダー７の側面の
先端部には先端が屈曲した板ばね８がねじ９で固定され
ており、ボンディングノズルを保持している。なお図３
は部分断面図であるため板ばね８は２本しか示してない
が、実際は４方向に板ばね８を配置している。図４は図
３をＡ−Ａ線で切断した概略断面図である。板ばね４を
固定するねじ９は保持部７の辺の中間に配置されてお
り、この状態でも十分に板ばね８を保持できるが、図５
に示すようにねじ９を保持部７の辺の中間からずらせた
位置に配置することにより一層効果的にボンディングノ
ズルを固定することができる。
【００１４】
【発明の効果】以上のように本発明は、少なくとも３方
向からボンディングノズルを押しつける構造としたため
にボンディングノズルとホルダーとの間に遊合状態が発
生しにくい優れたボンディングノズルおよびその保持方
法を実現できるものであり、高精度のボンディングが可
能となる。
向からボンディングノズルを押しつける構造としたため
にボンディングノズルとホルダーとの間に遊合状態が発
生しにくい優れたボンディングノズルおよびその保持方
法を実現できるものであり、高精度のボンディングが可
能となる。
【図１】本発明の第１の実施例におけるボンディングノ
ズルの斜視図
ズルの斜視図
【図２】本発明の第２の実施例におけるボンディングノ
ズルの斜視図
ズルの斜視図
【図３】本発明の一実施例におけるボンディングノズル
の保持方法を説明するための概略断面図
の保持方法を説明するための概略断面図
【図４】図３をＡ−Ａ線で切断した概略断面図
【図５】本発明の他の実施例におけるボンディングノズ
ルの保持方法を説明するための概略断面図
ルの保持方法を説明するための概略断面図
【図６】従来のボンディングノズルの斜視図
【図７】従来のボンディングノズルの保持方法を説明す
るための概略断面図
るための概略断面図
【図８】従来のボンディングノズルの側面図
【図９】従来のボンディングノズルを保持した状態を説
明するための概略断面図
明するための概略断面図
【図１０】従来のボンディングノズルが保持された状態
で生じる軸回りのずれを説明するための図
で生じる軸回りのずれを説明するための図
【図１１】ＴＡＢ電子部品の上面図
【図１２】従来のボンディングノズルが保持された状態
で生じる軸の長さ方向のずれを説明するための概略断面
図
で生じる軸の長さ方向のずれを説明するための概略断面
図
１ 吸着部 ２ 管状体 ３ 吸着孔 ４ 保持部 ５ 溝
Claims (3)
- 【請求項１】 部品を吸着するための吸着孔を有する管
状体の一方の先端に部品を吸着するための部品吸着面を
備えた吸着部を有し、他方の先端に近い位置に多角形の
保持部を有するボンディングノズルであって、前記保持
部を構成する多角形の側面の３面以上には管状体の長さ
方向に垂直でかつ前記部品吸着面に平行な溝が形成され
ているボンディングノズル。 - 【請求項２】 保持部の上または下に平板状でかつその
側面には対向する位置に平面部または管状体の軸方向に
平行な溝を有する請求項１記載のボンディングノズル。 - 【請求項３】 ボンディングヘッドの穴に管状体の他方
の先端を挿入し、かつボンディングヘッドの先端部側面
に設けた弾性部材の先端をボンディングノズルの保持部
に設けられた溝に合致させて保持するボンディングノズ
ルの保持方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22963092A JP3243850B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | ボンディングノズルおよびその保持方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22963092A JP3243850B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | ボンディングノズルおよびその保持方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0677287A true JPH0677287A (ja) | 1994-03-18 |
| JP3243850B2 JP3243850B2 (ja) | 2002-01-07 |
Family
ID=16895212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22963092A Expired - Fee Related JP3243850B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | ボンディングノズルおよびその保持方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3243850B2 (ja) |
-
1992
- 1992-08-28 JP JP22963092A patent/JP3243850B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3243850B2 (ja) | 2002-01-07 |
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Legal Events
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