JPH067782Y2 - 弗素樹脂系多孔質フイルタ− - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 「考案の目的」 本考案は弗素樹脂系多孔質フィルターの考案に係り、耐
用性が著しく改善され、しかも精度の高い濾過作用をな
すことのできるフィルターを得ようとするものである。

産業上の利用分野 半導体工業やメッキ工業などにおける各種液体またはガ
スの濾過処理用フィルター。

従来の技術 各種液体ないしガスを濾過するために耐薬品性に優れた
弗素樹脂系多孔質フィルムを用いることは従来から種々
に実施されている。即ちこのような従来技術の代表例は
第８図から第１２図に示す如くであって、以下の如くで
ある。

ポリテトラフルオロエチレンのような多孔質の弗素樹
脂フィルムを第８図のように褶曲２１を形成したプリー
ツ状部体となし、或いは第９図のように膜片２８のまま
で保持体と共にケースに入れ、カートリッジフィルター
としたもの。

第１０図のように多孔質フィルム２０を通孔２２の配
設された内外のパイプ２３、２４の間に保持させたも
の。

弗素樹脂系多孔質の第１１図に示すようなチューブ２
５、或いは第１２図に示すように該チューブ２５の外側
に弗素樹脂系フィルム２６を管状として被包し、更にそ
の外側に弗素樹脂系のクロス２７を管状として被包した
もの。

考案が解決しようとする問題点 前記のものは液が直接に多孔質フィルムで濾過され
るため、高濃度液、粗粒分含有液などを濾過するに当た
って目詰まりが発生し、従って別にプレフィルターを必
要とすることが多い。

又前記〜のものは何れも液がフィルムに接触するの
で、液中に鋭利な角部をもった金属などが含有された場
合にフィルムが破損せしめられる。然してこのような濾
過設備として従来一般的に用いられているものは使用槽
やタンクなどから濾液をパイプなどで取出したものをフ
ィルターモジュールで濾過した後、パイプで使用槽やタ
ンク等に戻す外部設置型カートリッジフィルターが大部
分であって前記のようなフィルムの破損により被処理液
が槽外に流出し重大事故となるのでその防止のための設
備が非常にコスト高となる。

のチューブ単体によるものはその孔径からして0.4μ
ｍ以下の微粒子を捕捉し難い。

なおのものはフィルムが破れた場合に全体を取換えな
ければならない。

「考案の構成」 問題点を解決するための手段 弗素樹脂系多孔質内側チューブの外側に弗素樹脂系多孔
質フィルムによる被覆層を形成し、該被覆層の外面に更
に弗素樹脂系多孔質外側チューブを覆装したことを特徴
とする弗素樹脂系多孔質フィルター。

作用 弗素樹脂系多孔質フィルムはその微細な多孔組織によっ
て濾過精度を充分に向上する。

前記フィルムの内外面に形成された弗素樹脂系多孔質チ
ューブは該フィルムを保護し、又プレフィルターとして
の機能を果たし、更にフィルムに対するバックアップ部
体として有効に作用する。即ち濾過すべき流体に混入し
た粗粒分を予め濾別してフィルムによる精度の高い濾過
を行わしめ、しかもフィルムをバックアップして相当の
高圧条件下での濾過をも安定して行わしめる。勿論鋭利
な粒子などによるフィルムの損傷をなからしめる。

実施例 上記したような本考案によるものの具体的な実施態様を
添付図面に示すものについて説明すると、第１図に示す
ようにポリテトラフルオロエチレンの多孔質内側チュー
ブ２の外側にポリテトラフルオロエチレンの多孔質フィ
ルム１を積層せしめ、しかもこのような多孔質フィルム
１の外側に更にポリテトラフルオロエチレンの多孔質外
側チューブ３を覆着したものである。即ち同じポリテト
ラフルオロエチレンであってもこれを延伸して多孔質化
した場合に得られる孔径はチューブ成形の場合において
は比較的大きいものとなり、そのフィブリル化組織の強
度においては平面的に延伸して得られるフィルムよりも
高い傾向があり、斯うした内外側チューブ２、３の間に
微小な孔径を有する多孔質フィルム１を保持させたもの
である。

斯かる本考案のフィルターについての使用状態は第２図
から第６図に示す如くであって、第２図に示すような濾
過体入口部体１０に配設された出口１１部分に両端を取
付け、斯うして得られたものを第５図に示すように槽８
内においてポンプ６に連結し、槽８内の液をポンプ６で
部体１０に圧入し配設されたフィルター５によって濾過
する。又第６図のものはフィルターシャワーとしての利
用状態を示すものであって、槽８内に設けられたポンプ
６で圧送された流体をフィルター５で滴下しコンベヤ１
８上で移送される製品上に滴下する。

なお上記したような実施態様においてはパイプ状をなす
本考案フィルター５の内部に流体を圧入して濾過する場
合を示しているが、本考案のものは場合によっては上述
したようなフィルター５の内部に例えば第１０図に示し
たような穿孔パイプ２３または網材によるパイプを内装
し、ポンプ６の吸入側に連結して濾過する用法に採用す
ることを妨げるものでない。

具体的な製造例として外径が5.6mmで、内径が5.0mmであ
り、多孔質組織の孔径が3.5μｍで穿孔率７０％とされ
た内側チューブ２に対して厚さが0.05mmで、孔径が0.1
μｍであり、空孔率が８５％とされたポリテトラフルオ
ロエチレンフィルム１を、４５０℃、圧力0.5kg／cm²で
５０秒間加圧し熱融着して作った管状フィルム（外径6.
0mm、内径5.9mm）を両端がそれぞれ１cmだけチューブ２
から出るように被せ、このようにして得られたものの外
側に上記したチューブ２と同じ組織をもった外側チュー
ブ（外径7.0mm、内径6.4mm）をその両端を内側チューブ
２とそろえて被せた長さ１ｍの本考案フィルターを得、
これをポリテトラフルオロエチレン角棒より切り出した
第２図のような濾過体入口部体１０の出口１１部分に夫
々両端を第３図に示す如く差込んで取付け、熱収縮チュ
ーブ（ＰＦＡ製、長さ２０mmで有効固定範囲が6.0〜9.0
mm）で第７図に示すように加熱収縮させて固定した。又
このような濾過体入口部体１０の入口１２とは反対側に
0.5mmφのエア抜き孔１３を第３図のように取付け、熱
収縮チューブ９の一端を加熱によって固定し、他端を第
５図に示すようにポンプ６の吸入口に連結した。

即ち濾過体はポンプ→フィルターと流れ、エヤはエヤ抜
きから除かれてフィルター内部に留まることはなくなる
もので、上記のような３層構造の管状フィルターを１５
本制作し、第４図のようなフィルターモジュールを作成
したときの性能は次表の如くである。

「考案の効果」 以上説明したような本考案によるときは濾過精度の高い
フィルムが内外の多孔質チューブによって適切に保護一
体化され、又プレフィルターおよびバックアップ層とし
ての機能を発揮して目詰まりの有効防止とフィルム層に
おける耐圧性向上を図り、それらの結果として効率的な
濾過処理を行わしめ、しかもその耐用性を従来品の数十
倍にも向上せしめ、勿論すべてが弗素樹脂系であること
から安定した耐薬品性を有するなど工業的にその効果の
大きい考案である。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の技術的内容を示すものであって、第１図
は本考案によるものの部分切欠した端部の斜面図、第２
図は本案品の適用される濾過体入口部体の斜面図、第３
図はこれに本案品を取付けた状態の斜面図、第４図は本
案品の利用形態の１例についての側面図、第５図と第６
図は夫々本案品の別の利用形態を示した説明図、第７図
は本案品の入口部に対する取付状態の断面図、第８図か
ら第１２図は夫々従来の濾過材についての斜面図、第１
３図と第１４図はその利用状態を示した説明図である。 然してこれらの図面において、１は弗素樹脂系多孔質フ
ィルム、２は弗素樹脂系多孔質内側チューブ、３は弗素
樹脂系多孔質外側チューブ、５はフィルター、６はポン
プ、８はタンク、９は熱収縮性チューブ、１０は濾過体
入口部体、１１は出口を示すものである。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】弗素樹脂系多孔質内側チューブの外側に弗
   素樹脂系多孔質フィルムによる被覆層を形成し、該被覆
   層の外面に更に弗素樹脂系多孔質外側チューブを覆装し
   たことを特徴とする弗素樹脂系多孔質フィルター。