JPH0678171B2 - ス−トの観察方法 - Google Patents
ス−トの観察方法Info
- Publication number
- JPH0678171B2 JPH0678171B2 JP9168183A JP9168183A JPH0678171B2 JP H0678171 B2 JPH0678171 B2 JP H0678171B2 JP 9168183 A JP9168183 A JP 9168183A JP 9168183 A JP9168183 A JP 9168183A JP H0678171 B2 JPH0678171 B2 JP H0678171B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- soot
- gas
- reaction chamber
- plate
- holes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
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- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は気相軸付法によつて形成される反応室内のスー
トを反応室外から観察するためのスートの観察方法に関
する。
トを反応室外から観察するためのスートの観察方法に関
する。
気相軸付法によつて形成されるスートの堆積面における
温度分布は、屈折率を決定する上で重要な要素であり、
このためスートの製造工程で反応室外から内部のスート
の堆積面における温度を赤外放射温度計等によつて測定
し、該測定値を製造条件にフイードバツクし、スートの
堆積面の温度を制御するようにしている。
温度分布は、屈折率を決定する上で重要な要素であり、
このためスートの製造工程で反応室外から内部のスート
の堆積面における温度を赤外放射温度計等によつて測定
し、該測定値を製造条件にフイードバツクし、スートの
堆積面の温度を制御するようにしている。
第１図は従来のスートの温度測定方法を示すもので、反
応室ａに配置された図示しないターゲツト棒を回転させ
つつ上昇させ、このターゲツト棒に下方からガスバーナ
ｂによつて原料を供給してスートｃを形成するものであ
るが、このスートｃの堆積面の温度を測定するため、反
応室ａの底部に観察窓部ｄを開設し、開口面に内部のガ
スの漏洩を防止するための赤外線の透過率の良いフツ化
カルシウム板等の結晶板ｅを設け、この結晶板ｅを介し
て赤外放射温度計ｆによりスートｃの温度を測定するよ
うにしている。
応室ａに配置された図示しないターゲツト棒を回転させ
つつ上昇させ、このターゲツト棒に下方からガスバーナ
ｂによつて原料を供給してスートｃを形成するものであ
るが、このスートｃの堆積面の温度を測定するため、反
応室ａの底部に観察窓部ｄを開設し、開口面に内部のガ
スの漏洩を防止するための赤外線の透過率の良いフツ化
カルシウム板等の結晶板ｅを設け、この結晶板ｅを介し
て赤外放射温度計ｆによりスートｃの温度を測定するよ
うにしている。
しかし上記結晶板ｅ上には、排気口ｇから排気しきれな
かつたスス等の酸化微粒子が付着して結晶板ｅがくもる
ため、赤外線の透過率が低下し、したがつてスートｃの
温度が正確に測定できず、このためフイードバツク機構
を設けてもスートｃの温度を充分に制御し得ないという
問題があつた。
かつたスス等の酸化微粒子が付着して結晶板ｅがくもる
ため、赤外線の透過率が低下し、したがつてスートｃの
温度が正確に測定できず、このためフイードバツク機構
を設けてもスートｃの温度を充分に制御し得ないという
問題があつた。
本発明は外部からの観察の妨げにならないように観察窓
部に受板部を設け、該受板部に気体を導入して室内に流
入させ、該気体の流入路からスートを観察することによ
つて上記問題点を解決しようというもので、これを図面
に示す実施例を参照しながら説明すると、第２図におい
て（１）は反応室であつて、前述したようにガスバーナ
（２）から供給される気相原料の堆積によつてスート
（３）が形成される。
部に受板部を設け、該受板部に気体を導入して室内に流
入させ、該気体の流入路からスートを観察することによ
つて上記問題点を解決しようというもので、これを図面
に示す実施例を参照しながら説明すると、第２図におい
て（１）は反応室であつて、前述したようにガスバーナ
（２）から供給される気相原料の堆積によつてスート
（３）が形成される。
同図において、（４）は反応室（１）内のスート（３）
を観察するための観察窓部（４）であつて、反応室
（１）の底部を外力に延出させ、その先端を切除開口し
て窓フランジ（５）を形成し、この窓フランジ（５）内
に１つ以上の仕切板（６）ａ、（６）ｂを設置すると共
に同フランジ（５）の先端に赤外線の透過率の良いフツ
化カルシウム板（７）を設け、上記仕切板（６）ａ、
（６）ｂの夫々の略中央部に通孔（８）ａ、（８）ｂを
形成することによつて構成された受板部（９）を有して
いる。
を観察するための観察窓部（４）であつて、反応室
（１）の底部を外力に延出させ、その先端を切除開口し
て窓フランジ（５）を形成し、この窓フランジ（５）内
に１つ以上の仕切板（６）ａ、（６）ｂを設置すると共
に同フランジ（５）の先端に赤外線の透過率の良いフツ
化カルシウム板（７）を設け、上記仕切板（６）ａ、
（６）ｂの夫々の略中央部に通孔（８）ａ、（８）ｂを
形成することによつて構成された受板部（９）を有して
いる。
窓フランジ（５）の側壁には、仕切板（６）ａ、（６）
ｂ間及び仕切板（６）ｂとフツ化カルシウム板（７）と
の間の夫々の間隙部（10）ａ、（10）ｂに連通するガス
導入孔（11）ａ、（11）ｂが設けられており、これらガ
ス導入孔（11）ａ、（11）ｂから空気、窒素、アルゴン
またはヘリウム等の気体Ｇが導入可能となつている。
ｂ間及び仕切板（６）ｂとフツ化カルシウム板（７）と
の間の夫々の間隙部（10）ａ、（10）ｂに連通するガス
導入孔（11）ａ、（11）ｂが設けられており、これらガ
ス導入孔（11）ａ、（11）ｂから空気、窒素、アルゴン
またはヘリウム等の気体Ｇが導入可能となつている。
気体の導入量は気相原料の堆積が影響を受けない程度に
設定される。
設定される。
上記通孔（８）ａ、（８）ｂの大きさとしては、スート
（３）の堆積面における温度を測定するための赤外放射
温度計（12）のスポツトサイズより僅かに大きく設定さ
れる。
（３）の堆積面における温度を測定するための赤外放射
温度計（12）のスポツトサイズより僅かに大きく設定さ
れる。
尚、上記仕切板（６）ａ、（６）ｂの数は、図面に示さ
れているように２枚に限らず、１枚でもあるいは３枚以
上でもよく、その数が多い程通孔（８）ａ、（８）ｂの
サイズを大きくすることができ、これに応じて赤外放射
温度計（12）のスポツトサイズも大きくすることができ
る。
れているように２枚に限らず、１枚でもあるいは３枚以
上でもよく、その数が多い程通孔（８）ａ、（８）ｂの
サイズを大きくすることができ、これに応じて赤外放射
温度計（12）のスポツトサイズも大きくすることができ
る。
また、仕切板（６）ａ、（６）ｂの数と、通孔（８）
ａ、（８）ｂの大きさと、気体の導入量とを調節するこ
とによつて、フツ化カルシウム板（７）を用いずとも反
応室（１）内のガスの流出を防止できるため、直接スー
ト（３）の温度を測定することが可能になる。
ａ、（８）ｂの大きさと、気体の導入量とを調節するこ
とによつて、フツ化カルシウム板（７）を用いずとも反
応室（１）内のガスの流出を防止できるため、直接スー
ト（３）の温度を測定することが可能になる。
ここでスート（３）の堆積面における温度の測定方法に
ついて述べると、ガスバーナ（２）から気相原料を供給
しつつ、ガス導入孔（11）ａ、（11）ｂから窓フランジ
（５）内に気体Ｇを導入すれば、気体Ｇは通孔（８）
ａ、（８）ｂから反応室（１）内に流入することにな
り、したがつてスス等の微粒子は通孔（８）ａ、（８）
ｂを通つてフツ化カルシウム板（７）上に達することな
く、仕切板（６）ａ上に付着することになり、たとえ同
仕切板（６）ａの通孔（８）ａ内に入つたとしてもそれ
より下位の仕切板（６）ｂ上に堆積することになる。
ついて述べると、ガスバーナ（２）から気相原料を供給
しつつ、ガス導入孔（11）ａ、（11）ｂから窓フランジ
（５）内に気体Ｇを導入すれば、気体Ｇは通孔（８）
ａ、（８）ｂから反応室（１）内に流入することにな
り、したがつてスス等の微粒子は通孔（８）ａ、（８）
ｂを通つてフツ化カルシウム板（７）上に達することな
く、仕切板（６）ａ上に付着することになり、たとえ同
仕切板（６）ａの通孔（８）ａ内に入つたとしてもそれ
より下位の仕切板（６）ｂ上に堆積することになる。
スート（３）の温度は、上記温度計（12）により通孔
（８）ａ、（８）ｂを介して測定されるのであるが、通
孔（８）ａ、（８）ｂからは気体が吹き出しているた
め、ススが通孔（８）ａ、（８）ｂを閉塞することはな
く、したがつて温度測定に支障が生ずることはない。
（８）ａ、（８）ｂを介して測定されるのであるが、通
孔（８）ａ、（８）ｂからは気体が吹き出しているた
め、ススが通孔（８）ａ、（８）ｂを閉塞することはな
く、したがつて温度測定に支障が生ずることはない。
ここでより具体的な例について述べると、反応室（１）
として直径230mmの反応球を用い、その底部に直径50mm
の円筒形の窓フランジ（５）を取り付け、同フランジ
（５）の下端面に厚さ5mmのフツ化カルシウム板（７）
を設置すると共に同板（７）の上位に２枚の仕切板
（６）ａ、（６）ｂを設け、両板（６）ａ、（６）ｂの
間隔を20mmとし、また通孔（８）ａ、（８）ｂの直径
を、赤外線放射温度計（12）のスポツトサイズが直径2m
mであることから5mmとし、ガス導入孔（11）ａから3l/m
inのチツ素ガスを、また他方のガス導入孔（11）ｂから
2l/minのチツ素ガスを導入し、窓フランジ（５）の圧力
を反応室（１）内のそれよりやや高く保持した。
として直径230mmの反応球を用い、その底部に直径50mm
の円筒形の窓フランジ（５）を取り付け、同フランジ
（５）の下端面に厚さ5mmのフツ化カルシウム板（７）
を設置すると共に同板（７）の上位に２枚の仕切板
（６）ａ、（６）ｂを設け、両板（６）ａ、（６）ｂの
間隔を20mmとし、また通孔（８）ａ、（８）ｂの直径
を、赤外線放射温度計（12）のスポツトサイズが直径2m
mであることから5mmとし、ガス導入孔（11）ａから3l/m
inのチツ素ガスを、また他方のガス導入孔（11）ｂから
2l/minのチツ素ガスを導入し、窓フランジ（５）の圧力
を反応室（１）内のそれよりやや高く保持した。
比較のため、第１図に示す装置を用いてスート（３）の
温度測定実験を行なつた。
温度測定実験を行なつた。
上記具体例及び比較例ともに10時間のスート製造を行な
い、スート製造終了後、フツ化カルシウム板（７）の汚
れを調べたところ、具体例においてはススの付着が認め
られなかつたのに対し、他方比較例においてはススの付
着があり、白く汚れていた。
い、スート製造終了後、フツ化カルシウム板（７）の汚
れを調べたところ、具体例においてはススの付着が認め
られなかつたのに対し、他方比較例においてはススの付
着があり、白く汚れていた。
さらにこれらフツ化カルシウム板を通して、500℃の温
度の黒体炉を温度測定したところ、具体例の場合には温
度計が正確に500℃を示したのに対し比較例の場合には3
80℃を示し、正確な温度測定ができないということがわ
かつた。
度の黒体炉を温度測定したところ、具体例の場合には温
度計が正確に500℃を示したのに対し比較例の場合には3
80℃を示し、正確な温度測定ができないということがわ
かつた。
以上のように本発明においては観察窓部に受板部を設
け、同受板部に気体を導入して反応室内に流入させ、該
気体の流入路からスートを観察するようにしたので、ス
ス等の微粒子の堆積によつて反応室外からのスートの観
察が妨げられることがなく、したがつて赤外放射温度計
を用いてスートの堆積面における温度を測定する場合に
も、赤外線の透過率が落ちず、このため長時間にわたる
スートの製造工程中においても正確な温度を測定するこ
とができることになる。
け、同受板部に気体を導入して反応室内に流入させ、該
気体の流入路からスートを観察するようにしたので、ス
ス等の微粒子の堆積によつて反応室外からのスートの観
察が妨げられることがなく、したがつて赤外放射温度計
を用いてスートの堆積面における温度を測定する場合に
も、赤外線の透過率が落ちず、このため長時間にわたる
スートの製造工程中においても正確な温度を測定するこ
とができることになる。
第１図は従来例に使用される装置の略示図、第２図は本
発明に係る方法に使用される装置の略示図である。 （１）……反応室 （３）……スート （４）……観察窓部 Ｇ……気体
発明に係る方法に使用される装置の略示図である。 （１）……反応室 （３）……スート （４）……観察窓部 Ｇ……気体
Claims (3)
- 【請求項１】気相軸付法によりスートを形成すべき反応
室に設けた観察窓部からスートを観察する方法におい
て、上記観察窓部に、スス等の微粒子を受け止めるため
の複数の板状部材からなる受板部を設けておき、当該受
板部内に気体を導入して上記反応室内に流入させつつ該
流入路を介してスートを観察することを特徴とするスー
トの観察方法。 - 【請求項２】受板部は通孔を有する１つ以上の仕切板
と、該仕切板より外側にあつて、観察窓部を密閉する密
閉板とから構成されており、気体は上記仕切板の下部に
導入され、通孔から反応室内に流入すると共に当該通孔
及び密閉板を介してスートが観察可能なることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のスートの観察方法。 - 【請求項３】受板部は通孔を有する多数の仕切板から構
成されており、気体は各仕切板間に導入されると共に通
孔を介してスートが観察可能であることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のスートの観察方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9168183A JPH0678171B2 (ja) | 1983-05-25 | 1983-05-25 | ス−トの観察方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9168183A JPH0678171B2 (ja) | 1983-05-25 | 1983-05-25 | ス−トの観察方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59217638A JPS59217638A (ja) | 1984-12-07 |
| JPH0678171B2 true JPH0678171B2 (ja) | 1994-10-05 |
Family
ID=14033232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9168183A Expired - Lifetime JPH0678171B2 (ja) | 1983-05-25 | 1983-05-25 | ス−トの観察方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0678171B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63127946U (ja) * | 1987-02-10 | 1988-08-22 | ||
| JP4762408B2 (ja) * | 2000-10-10 | 2011-08-31 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ多孔質母材の製造方法 |
| TWI419617B (zh) * | 2010-11-05 | 2013-12-11 | Ind Tech Res Inst | 電漿製程視窗元件與電漿設備的製程觀測裝置 |
| JP5294354B2 (ja) * | 2011-04-18 | 2013-09-18 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ多孔質母材の製造方法 |
| CN109796121A (zh) * | 2019-02-26 | 2019-05-24 | 安徽丹凤集团桐城玻璃纤维有限公司 | 一种玻璃纤维布生产用窑炉 |
-
1983
- 1983-05-25 JP JP9168183A patent/JPH0678171B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59217638A (ja) | 1984-12-07 |
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