JPH067872U - Residual amount detection mechanism of fluid supply device - Google Patents

Residual amount detection mechanism of fluid supply device

Info

Publication number
JPH067872U
JPH067872U JP5214892U JP5214892U JPH067872U JP H067872 U JPH067872 U JP H067872U JP 5214892 U JP5214892 U JP 5214892U JP 5214892 U JP5214892 U JP 5214892U JP H067872 U JPH067872 U JP H067872U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
syringe
holder
plunger
fluid
supply device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP5214892U
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2587813Y2 (en
Inventor
浩之 長谷川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Chemi Con Corp
Original Assignee
Nippon Chemi Con Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Chemi Con Corp filed Critical Nippon Chemi Con Corp
Priority to JP1992052148U priority Critical patent/JP2587813Y2/en
Publication of JPH067872U publication Critical patent/JPH067872U/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2587813Y2 publication Critical patent/JP2587813Y2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 流動体供給装置の残量検出レベルを容易に高
精度で調整できるようにするとともに、レベル調整機構
の占有容積を低減する。 【構成】 シリンジ(3)に収納された流動体(17)
を圧縮空気によって加圧して該シリンジの排出口(5)
から外部に供給する流動体供給装置の残量検出機構であ
って、前記シリンジを高さ方向に移動可能に収容するホ
ルダ(1)と、前記シリンジ内に挿入され、前記流動体
の水準面の移動に応じて移動するプランジャ(19)前
記ホルダの所定位置に固定され、前記プランジャの位置
を前記シリンジ外部から検出する近接センサ(23)
と、前記ホルダ下部にねじ止めされ、前記シリンジの下
方向への移動を規制するキャップ(11)と、該キャッ
プと前記ホルダとのねじ止め部分に挿入され、前記シリ
ンジの高さを調整するためのスペーサ(29)とを備え
る。前記スペーサの厚さを変えることにより近接センサ
とシリンジとの間の相対高さを調整する。
(57) [Abstract] [Purpose] To make it possible to easily adjust the remaining amount detection level of the fluid supply device with high accuracy and reduce the volume occupied by the level adjustment mechanism. [Composition] Fluid (17) housed in syringe (3)
The compressed air with compressed air and the outlet of the syringe (5)
A holder (1) for accommodating the syringe movably in the height direction and a holder (1) for movably moving the syringe in the height direction, which is a remaining amount detection mechanism of a fluid supply device supplied to the outside from a level surface of the fluid. Proximity sensor (23) which is fixed at a predetermined position of the holder and moves from the outside of the syringe, the plunger (19) moving according to the movement.
A cap (11) which is screwed to the lower part of the holder and regulates the downward movement of the syringe; and a cap (11) which is inserted into a screwed part between the cap and the holder to adjust the height of the syringe. Spacer (29). The relative height between the proximity sensor and the syringe is adjusted by changing the thickness of the spacer.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、流動体供給装置の残量検出機構に関し、例えばハイブリッドIC装 置の表面をコーティングするための樹脂を供給する装置において該樹脂の使用残 量を適確に検出できるようにする技術に関する。 The present invention relates to a remaining amount detecting mechanism of a fluid supply device, for example, to a technique for accurately detecting a remaining amount of the resin used in a device for supplying a resin for coating the surface of a hybrid IC device. .

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

例えば、ハイブリッドIC装置のような、いわゆるチップオンボード(COB )製品の製造プロセスには、半導体チップその他の部品が装着されたセラミック 基板の表面を樹脂でコーティングして表面保護を行なうための工程がある。この ようなコーティングに使用される樹脂は、例えば黒色の不透明流動体であり、所 定容量のシリンジ、すなわち注射器、に充填されている。そして、このような流 動体樹脂は圧縮空気によって加圧されてシリンジの排出口に設けられたニードル を通りセラミック基板上の所定部分に塗布される。 For example, in the manufacturing process of so-called chip-on-board (COB) products such as hybrid IC devices, there is a process for coating the surface of a ceramic substrate on which semiconductor chips and other parts are mounted with resin to protect the surface. is there. The resin used for such a coating is, for example, a black opaque fluid, which is filled in a predetermined volume of syringe, ie a syringe. Then, such a fluid resin is pressurized by compressed air and is applied to a predetermined portion on the ceramic substrate through a needle provided at the outlet of the syringe.

【0003】 このようなチップコート樹脂のシリンジ内の残量は従来例えば図2の(a)お よび(b)に示されるような機構によって検出していた。すなわち、シリンジ1 01内に収納されたチップコート用樹脂103の上面に金属製フロート107を 置き、例えば平型の金属センサ111によってフロート107の高さを検出して いた。なお、105はシリンジ101内に圧縮空気を供給するための空気導入用 開口を有するキャップである。The remaining amount of such chip coat resin in the syringe has been conventionally detected by a mechanism as shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b), for example. That is, the metal float 107 is placed on the upper surface of the chip coating resin 103 housed in the syringe 101, and the height of the float 107 is detected by, for example, a flat metal sensor 111. Reference numeral 105 is a cap having an air introduction opening for supplying compressed air into the syringe 101.

【0004】 このような平型金属センサ111はブラケット109に設けられた長穴113 に対し固定ビス115によって固定されていた。そして、固定ビス115を緩め 金属センサ111を長穴113に沿って上下に移動することが可能であり、これ によってチップコート用樹脂の残量の検出レベルを調整することが可能であった 。Such a flat metal sensor 111 is fixed to a long hole 113 provided in the bracket 109 with a fixing screw 115. Then, it was possible to loosen the fixing screw 115 and move the metal sensor 111 up and down along the elongated hole 113, whereby the detection level of the remaining amount of the resin for chip coating could be adjusted.

【0005】[0005]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

ところが、上述のような樹脂残量検出機構においては、シリンジ外周部に比較 的大きな容積を占める高さ調整機構を設けなければならず、特にチップコート樹 脂として加熱または保温を必要とするものを使用する場合には、シリンジ外周部 にヒータを設ける必要があり、前記高さ調整機構とヒータとをシリンジ外周に併 設することはスペースの点で非常に困難であった。 However, in the resin residual amount detection mechanism as described above, a height adjustment mechanism that occupies a relatively large volume must be provided on the outer peripheral portion of the syringe, and especially a tip coat resin that requires heating or heat retention. When it is used, it is necessary to provide a heater on the outer peripheral portion of the syringe, and it is very difficult to provide the height adjusting mechanism and the heater together on the outer peripheral portion of the syringe in terms of space.

【0006】 本考案の目的は、前述の従来の装置における問題点に鑑み、流動体供給装置の 残量検出機構において、シリンジ外周部の大きな容積を占有することなく、前記 流動体の残量検出レベルを容易に調整できるようにすることにある。In view of the above-mentioned problems in the conventional device, an object of the present invention is to detect the remaining amount of the fluid in the remaining amount detection mechanism of the fluid supply device without occupying a large volume of the outer peripheral portion of the syringe. It is to be able to easily adjust the level.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

上記目的を達成するため、本考案によれば、シリンジに収納された流動体を圧 縮空気によって加圧して該シリンジの排出口から外部に供給する流動体供給装置 の残量検出機構が提供され、該残量検出機構は、 前記シリンジを高さ方向に移動可能に収容するホルダと、前記シリンジ内に挿 入され、前記流動体の水準面の移動に応じて移動するプランジャと、前記ホルダ の所定位置に固定され、前記プランジャの位置を前記シリンジ外部から検出する 検出センサと、前記ホルダ下部にねじ止めされ、前記シリンジの下方向への移動 を規制するキャップと、該キャップと前記ホルダとのねじ止め部分に挿入され、 前記シリンジの高さを調整するためのスペーサを備えることを特徴とする。 In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a residual amount detecting mechanism of a fluid supply device which pressurizes a fluid contained in a syringe with compressed air and supplies the fluid from an outlet of the syringe to the outside. The remaining amount detecting mechanism includes a holder for accommodating the syringe movably in the height direction, a plunger inserted in the syringe and moving according to the movement of the level surface of the fluid, and a holder for the holder. A detection sensor that is fixed at a predetermined position and that detects the position of the plunger from outside the syringe; a cap that is screwed to the lower part of the holder and that restricts downward movement of the syringe; and the cap and the holder. It is characterized in that it is provided with a spacer that is inserted into a screwed portion and adjusts the height of the syringe.

【0008】 また、前記プランジャは金属部材で形成するか、あるいは前記プランジャに金 属部材を付加し、前記近接センサは該金属部材の位置を検出する金属センサとす ると好都合である。It is convenient that the plunger is formed of a metal member, or a metal member is added to the plunger, and the proximity sensor is a metal sensor that detects the position of the metal member.

【0009】[0009]

【作用】[Action]

上記構成においては、前記プランジャは前記流動体の水準面上に位置し、外部 から供給される圧縮空気によって押圧されて前記流動体をシリンジの排出口から 外部に排出させる。そして、流動体の排出によって該流動体のシリンジ内の水準 面が移動すると、前記プランジャもこの移動に応じてシリンジ内を移動する。従 って、該プランジャの位置を前記シリンジ外部から近接センサによって検出する ことにより、シリンジ内の前記流導体の残量などを適確に知ることができる。 In the above structure, the plunger is located on the level surface of the fluid and is pressed by the compressed air supplied from the outside to eject the fluid from the outlet of the syringe to the outside. Then, when the level surface of the fluid inside the syringe moves due to the discharge of the fluid, the plunger also moves inside the syringe according to this movement. Therefore, by detecting the position of the plunger from the outside of the syringe with the proximity sensor, it is possible to accurately know the remaining amount of the flow conductor in the syringe.

【0010】 そして、前記キャップと前記ホルダとのねじ止め部分に挿入されたスペーサの 厚さを変えることにより、前記シリンジの前記ホルダに対する相対高さが調整さ れ、従って近接センサとシリンジとの間の相対高さが調整可能となる。このよう な構成によれば、近接センサとして平型の金属センサよりも動作安定性が高い円 筒形の金属センサを用いることができ、この円筒形の金属センサはシリンジ外周 部における占有容積が小さいため、シリンジ外周部に加熱用ヒータを設ける場合 にも障害とならない。Then, by changing the thickness of the spacer inserted in the screwed portion between the cap and the holder, the relative height of the syringe with respect to the holder is adjusted, so that the distance between the proximity sensor and the syringe is adjusted. The relative height of can be adjusted. With this configuration, a cylindrical metal sensor that has higher operation stability than a flat metal sensor can be used as the proximity sensor, and this cylindrical metal sensor occupies a small volume in the outer peripheral portion of the syringe. Therefore, there is no obstacle when a heater for heating is provided on the outer peripheral portion of the syringe.

【0011】[0011]

【実施例】【Example】

以下、図面を参照して本考案の1実施例につき説明する。図1は、本考案の1 実施例に係わる流動体供給装置の残量検出機構を概略的に示す。同図の装置は、 ホルダ1内に縦方向に配置されたシリンジ3を具備する。シリンジ3の下部の排 出口5には液だれ防止弁7を介してニードル9が接続されている。また、ニード ル9はニードル固定用のキャップ11で位置決めされている。そして、ニードル 9のフランジ部31がキャップ11の内部底面に当接し、これによってニードル 9およびシリンジ3の縦方向の位置が規制されている。キャップ11はホルダ1 下部にねじ止めされており、キャップ11とホルダ1とのねじ止め部分にはスペ ーサ29が挿入されている。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 schematically shows a remaining amount detecting mechanism of a fluid supply device according to an embodiment of the present invention. The apparatus shown in the figure comprises a syringe 3 vertically arranged in a holder 1. A needle 9 is connected to a discharge port 5 at the bottom of the syringe 3 via a dripping prevention valve 7. Also, the needle 9 is positioned by a needle fixing cap 11. Then, the flange portion 31 of the needle 9 abuts on the inner bottom surface of the cap 11, whereby the positions of the needle 9 and the syringe 3 in the vertical direction are regulated. The cap 11 is screwed to the lower portion of the holder 1, and a spacer 29 is inserted in the screwed portion between the cap 11 and the holder 1.

【0012】 また、シリンジ3の上部は、取り外し可能なアダプタ13によって塞がれてお り、該アダプタ13は図示しない圧縮空気供給装置につながる空気導入用開口1 5を有する。The upper part of the syringe 3 is closed by a removable adapter 13, and the adapter 13 has an air introduction opening 15 connected to a compressed air supply device (not shown).

【0013】 シリンジ3内には、例えば前述のチップコート樹脂17が収納されており、該 チップコート樹脂17の上部にはプランジャ19が載置されており、該プランジ ャ19はチップコート樹脂17の水準面の移動に従って移動する。プランジャ1 9の上部のシリンジ3内の空間には圧縮空気が供給されることになる。The syringe 3 contains, for example, the above-mentioned tip coat resin 17, and a plunger 19 is placed on the tip coat resin 17, and the plunger 19 is mounted on the tip coat resin 17. It moves according to the movement of the level surface. Compressed air will be supplied to the space inside the syringe 3 above the plunger 19.

【0014】 さらに、プランジャ19の円筒面の外側には例えばアルミテープのような、金 属条片21が巻回接着されている。また、ホルダ1には、円筒形の金属センサ2 3が取付けられており、プランジャ19に付加された金属条片21の近接を検出 する。また、金属センサ23には警報回路25が接続されている。なお、ホルダ 1の外側には、シリンジ3内の樹脂を加熱するためのヒータ27が設けられてい る。Further, a metal strip 21 such as an aluminum tape is wound and adhered on the outside of the cylindrical surface of the plunger 19. A cylindrical metal sensor 23 is attached to the holder 1 and detects the proximity of the metal strip 21 added to the plunger 19. An alarm circuit 25 is connected to the metal sensor 23. A heater 27 for heating the resin in the syringe 3 is provided outside the holder 1.

【0015】 図1の装置においては、図示しない圧縮空気供給装置からアダプタ13の開口 15を介してシリンジ3内に供給される圧縮空気により、プランジャ19が下方 向に押圧され、該プランジャ19の下部にあるチップコート樹脂17を液だれ防 止弁5およびニードル9を介して外部に供給する。これによって、例えばハイブ リッドIC装置のセラミック基板上の所定部分をコーティングして表面保護用の 処理を行なうことができる。また、ヒータ27によりチップコート樹脂17は適 切な温度に保たれる。In the device of FIG. 1, the plunger 19 is pressed downward by the compressed air supplied from the compressed air supply device (not shown) into the syringe 3 through the opening 15 of the adapter 13, and the lower portion of the plunger 19 is pressed. The tip coat resin 17 in the above is supplied to the outside through the liquid stop valve 5 and the needle 9. As a result, for example, a predetermined portion on the ceramic substrate of the hybrid IC device can be coated to perform the surface protection treatment. Further, the heater 27 keeps the chip coat resin 17 at an appropriate temperature.

【0016】 また、このような動作において、シリンジ3内のチップコート樹脂17が外部 に排出され、該チップコート樹脂の残量が徐々に減少し、かつプランジャ19も 降下する。そして、チップコート樹脂17の残量が少なくなり、プランジャ19 が例えば図1に示す位置まで降下すると、金属センサ23がプランジャ19に巻 回された金属条片21の近接を検知し、所定の検出信号を警報回路25に入力す る。これにより、警報回路25は例えば図示しないブザーなどで警報音を発生し 、あるいは警報ライトを点滅させるなどの動作を行なう。さらに、製造ラインが 自動停止するように停止指令信号を出力することもできる。警報回路のそのよう な動作は、例えば警報回路25にマイクロコンピュータを組込み、該マイクロコ ンピュータがこのような動作を行なうようプログラムすることによって実現でき る。Further, in such an operation, the tip coat resin 17 in the syringe 3 is discharged to the outside, the remaining amount of the tip coat resin is gradually reduced, and the plunger 19 is also lowered. Then, when the remaining amount of the chip coat resin 17 becomes small and the plunger 19 descends to the position shown in FIG. 1, for example, the metal sensor 23 detects the proximity of the metal strip 21 wound around the plunger 19 and makes a predetermined detection. The signal is input to the alarm circuit 25. As a result, the alarm circuit 25 performs an operation such as generating an alarm sound with a buzzer (not shown) or blinking an alarm light. Further, it is possible to output a stop command signal so that the manufacturing line automatically stops. Such operation of the alarm circuit can be realized, for example, by incorporating a microcomputer in the alarm circuit 25 and programming the microcomputer to perform such operation.

【0017】 さらに、上記装置において、ニードル9の位置決めを行なうキャップ11とホ ルダ1との間に挿入されたスペーサ29の厚さを変えることによりシリンジ3の ホルダ1に対する相対高さを変えることができ、従ってシリンジ3と金属センサ 23との位置関係を調整することができる。これにより、シリンジ3内の樹脂残 量の検出レベルが調整できる。なお、図1の実施例においては、キャップ11は ニードル9のフランジ部31を指示しているが、キャップ11は例えばシリンジ 3の下部を直接指示するように構成することもできる。Further, in the above device, the relative height of the syringe 3 with respect to the holder 1 can be changed by changing the thickness of the spacer 29 inserted between the cap 11 for positioning the needle 9 and the holder 1. Therefore, the positional relationship between the syringe 3 and the metal sensor 23 can be adjusted. Thereby, the detection level of the residual resin amount in the syringe 3 can be adjusted. Although the cap 11 indicates the flange portion 31 of the needle 9 in the embodiment of FIG. 1, the cap 11 may be configured to directly indicate the lower portion of the syringe 3, for example.

【0018】[0018]

【考案の効果】[Effect of device]

以上のように、本考案によれば、簡単な装置構成により、流動体供給装置の樹 脂残量の検出レベルを適確かつ自在に調整することが可能になる。また、樹脂残 量の検出レベル調整機構はシリンジ外周部に配置されていないため、シリンジ外 周部に小型の円筒形金属センサを使用することとあいまって、シリンジ外周部に 加熱または保温用ヒータを適確に配設することが可能になる。 As described above, according to the present invention, the detection level of the remaining amount of resin in the fluid supply device can be adjusted properly and freely with a simple device configuration. In addition, since the resin residual amount detection level adjustment mechanism is not located on the outer circumference of the syringe, a heater for heating or heat retention is provided on the outer circumference of the syringe in combination with the use of a small cylindrical metal sensor on the outer circumference of the syringe. It becomes possible to dispose properly.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案の1実施例に係わる流動体供給装置の残
量検出機構の概略の構成を示す断面的説明図である。
FIG. 1 is a cross-sectional explanatory view showing a schematic configuration of a remaining amount detecting mechanism of a fluid supply device according to an embodiment of the present invention.

【図2】従来の流動体供給装置の残量検出機構の概略の
構成を示す説明的正面図(a)および側面図(b)であ
る。
FIG. 2 is an explanatory front view (a) and a side view (b) showing a schematic configuration of a remaining amount detecting mechanism of a conventional fluid supply device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ホルダ 3 シリンジ 5 排出口 7 液だれ防止弁 9 ニードル 11 キャップ 13 アダプタ 15 空気導入用開口 17 チップコート樹脂 19 プランジャ 21 金属条片 23 金属センサ 25 警報回路 27 ヒータ 29 スペーサ 31 フランジ部 1 Holder 3 Syringe 5 Discharge Port 7 Drip Prevention Valve 9 Needle 11 Cap 13 Adapter 15 Air Inlet 17 Chip Coat Resin 19 Plunger 21 Metal Strip 23 Metal Sensor 25 Alarm Circuit 27 Heater 29 Spacer 31 Flange Part

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 シリンジに収納された流動体を圧縮空気
によって加圧して該シリンジの排出口から外部に供給す
る流動体供給装置の残量検出機構であって、 前記シリンジを高さ方向に移動可能に収容するホルダ
と、 前記シリンジ内に挿入され、前記流動体の水準面に移動
に応じて移動するプランジャと、 前記ホルダの所定位置に固定され、前記プランジャの位
置を前記シリンジ外部から検出する近接センサと、 前記ホルダ下部にねじ止めされ、前記シリンジの下方向
への移動を規制するキャップと、 該キャップと前記ホルダとのねじ止め部分に挿入され、
前記シリンジの高さを調整するためのスペーサと、 を具備し、前記スペーサの厚さを変えることにより前記
近接センサと前記シリンジとの間の相対高さを調整可能
としたことを特徴とする流動体供給装置の残量検出機
構。
1. A remaining amount detecting mechanism of a fluid supply device which pressurizes a fluid contained in a syringe with compressed air and supplies the fluid from an outlet of the syringe to the outside, wherein the syringe is moved in a height direction. A holder that can be accommodated, a plunger that is inserted into the syringe and moves according to the movement on the level surface of the fluid, and a fixed position of the holder that detects the position of the plunger from outside the syringe. A proximity sensor, a cap screwed to the lower portion of the holder to restrict downward movement of the syringe, and inserted into a screwed portion between the cap and the holder,
A spacer for adjusting the height of the syringe; and a relative height between the proximity sensor and the syringe can be adjusted by changing the thickness of the spacer. Remaining amount detection mechanism of body feeding device.
【請求項2】 前記プランジャは金属部材で形成されあ
るいは前記プランジャには金属部材が付加されており、
かつ前記近接センサは該金属部材の位置を検出する金属
センサである請求項1に記載の流動体供給装置の残量検
出機構。
2. The plunger is formed of a metal member, or a metal member is added to the plunger,
The remaining amount detection mechanism of the fluid supply device according to claim 1, wherein the proximity sensor is a metal sensor that detects the position of the metal member.
JP1992052148U 1992-07-01 1992-07-01 Remaining amount detection mechanism of fluid supply device Expired - Lifetime JP2587813Y2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1992052148U JP2587813Y2 (en) 1992-07-01 1992-07-01 Remaining amount detection mechanism of fluid supply device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1992052148U JP2587813Y2 (en) 1992-07-01 1992-07-01 Remaining amount detection mechanism of fluid supply device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH067872U true JPH067872U (en) 1994-02-01
JP2587813Y2 JP2587813Y2 (en) 1998-12-24

Family

ID=12906791

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1992052148U Expired - Lifetime JP2587813Y2 (en) 1992-07-01 1992-07-01 Remaining amount detection mechanism of fluid supply device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2587813Y2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JP2587813Y2 (en) 1998-12-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4425123A (en) Parenteral liquid application apparatus
JP2015532941A (en) Hot melt level sensor and sensor housing
US3881509A (en) Mechanism for maintaining the level of a viscous liquid
JP2587813Y2 (en) Remaining amount detection mechanism of fluid supply device
GB1437738A (en) Drop dispensing apparatus
CN106687223A (en) Valve seat for dispenser
JP2000167467A (en) Dispenser movement controller
WO2009144910A1 (en) Resin sealing device and resin sealing method
JPH067873U (en) Residual amount detection mechanism of fluid supply device
JPH1076210A (en) Flux feeding apparatus
JPS61234968A (en) Coating device
CN214667105U (en) Liquid height probe
EP0608129A1 (en) Liquid dispensers
JP4494647B2 (en) Powder container level probe
US7096730B2 (en) Measurement systems
KR102068003B1 (en) Inkjet type liquid dispensing module
JPS63296863A (en) Viscous fluid coating apparatus
CN216631405U (en) Drawing glue assembly, chip mounting device and die bonder
JPH0111336Y2 (en)
CN218399415U (en) Thickness precision adjustment mechanism of inflation film manufacturing machine
KR101512310B1 (en) Auto fluid detailed infuser
CN223556403U (en) Wafer waxing device
CN212581489U (en) Canning equipment with adjustable structure for glue production
KR102149145B1 (en) Reservior of liquid dispensing module
CN220468501U (en) Paper coating device