JPH0678998B2 - 定性分析装置 - Google Patents
定性分析装置Info
- Publication number
- JPH0678998B2 JPH0678998B2 JP58248823A JP24882383A JPH0678998B2 JP H0678998 B2 JPH0678998 B2 JP H0678998B2 JP 58248823 A JP58248823 A JP 58248823A JP 24882383 A JP24882383 A JP 24882383A JP H0678998 B2 JPH0678998 B2 JP H0678998B2
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/225—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion
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Description
【発明の詳細な説明】 （イ） 産業上の利用分野 本発明は主としてエレクトロンプローブマイクロアナラ
イザ（EPMA）を適用して得られた測定データを定性分析
する装置に関する。
イザ（EPMA）を適用して得られた測定データを定性分析
する装置に関する。
（ロ） 従来技術 一般に、EPMAを適用して試料中に含有される元素の定性
分析を行なうには特性Ｘ線の強度を測定して波長プロフ
イールを求める。この場合、従来では試料中に微量元素
が含まれているときでも、それが他の強い強度を示す元
素の高次線ピークなのか本来の微量元素の示すピークな
のかどうか明確化することができなかつたので、ピーク
認定の判断を誤り、定性分析の信頼性が損なわれる場合
があつた。
分析を行なうには特性Ｘ線の強度を測定して波長プロフ
イールを求める。この場合、従来では試料中に微量元素
が含まれているときでも、それが他の強い強度を示す元
素の高次線ピークなのか本来の微量元素の示すピークな
のかどうか明確化することができなかつたので、ピーク
認定の判断を誤り、定性分析の信頼性が損なわれる場合
があつた。
（ハ） 目的 本発明は従来の問題点を解消し、微量含有元素について
も充分に定性分析できるようにして分析の信頼性を向上
させるとともに、この分析作業を自動化して簡便にする
ことを目的とする。
も充分に定性分析できるようにして分析の信頼性を向上
させるとともに、この分析作業を自動化して簡便にする
ことを目的とする。
（ニ） 構成 このような目的を達成するため、本発明にかかる定性分
析装置は、エレクトロンプローブマイクロアナライザに
よって試料の特性Ｘ線の強度を測定して求められた波長
プロフィールを記憶する測定値記憶部と、各種元素の特
性Ｘ線波長データファイルが記憶されたデータ記憶部
と、前記測定値記憶部から読み出した波長プロフィール
から最大ピーク値を示す波長を検出するピーク検出部
と、前記ピーク検出部によって検出された前記最大ピー
ク値波長を示す元素を前記データ記憶部のデータファイ
ルを参照して同定するとともに、該同定元素の一次線強
度の割合から順次高次線強度を算出して、前記一次線強
度データを含む算出された高次線強度データを前記波長
プロフィールから差し引く演算手段と、を備えたことを
特徴とする。
析装置は、エレクトロンプローブマイクロアナライザに
よって試料の特性Ｘ線の強度を測定して求められた波長
プロフィールを記憶する測定値記憶部と、各種元素の特
性Ｘ線波長データファイルが記憶されたデータ記憶部
と、前記測定値記憶部から読み出した波長プロフィール
から最大ピーク値を示す波長を検出するピーク検出部
と、前記ピーク検出部によって検出された前記最大ピー
ク値波長を示す元素を前記データ記憶部のデータファイ
ルを参照して同定するとともに、該同定元素の一次線強
度の割合から順次高次線強度を算出して、前記一次線強
度データを含む算出された高次線強度データを前記波長
プロフィールから差し引く演算手段と、を備えたことを
特徴とする。
（ホ） 実施例 以下、本発明を実施例について図面に基づいて詳細に説
明する。
明する。
第１図は本発明を実施するために適用される定性分析装
置とEPMAとを含むブロツク構成図である。同図において
符号１はEPMA、２は定性分析装置、４はEPMA1と定性分
析装置２とを接続するインタフエイスである。この定性
分析装置２は各種制御処理を行なう中央制御部６、特性
Ｘ線波長データフアイルや各種プログラムデータが記憶
された第１記憶部、EPMA1で測定された特性Ｘ線強度デ
ータや中央制御部６で処理したデータを一時記憶する第
２記憶部、特性Ｘ線の波長プロフイール中に含まれるピ
ークの有無を検出するピーク検出部12、特性Ｘ線の強度
データの引き算などの演算処理を行なう演算処理部14、
演算結果を表示する表示部16とを備えて構成される。
置とEPMAとを含むブロツク構成図である。同図において
符号１はEPMA、２は定性分析装置、４はEPMA1と定性分
析装置２とを接続するインタフエイスである。この定性
分析装置２は各種制御処理を行なう中央制御部６、特性
Ｘ線波長データフアイルや各種プログラムデータが記憶
された第１記憶部、EPMA1で測定された特性Ｘ線強度デ
ータや中央制御部６で処理したデータを一時記憶する第
２記憶部、特性Ｘ線の波長プロフイール中に含まれるピ
ークの有無を検出するピーク検出部12、特性Ｘ線の強度
データの引き算などの演算処理を行なう演算処理部14、
演算結果を表示する表示部16とを備えて構成される。
なお、本実施例においては、測定値記憶部は、第２記憶
部10から構成されており、データ記憶部は第１記憶部８
から構成されており、演算手段は演算処理部14から構成
されている。
部10から構成されており、データ記憶部は第１記憶部８
から構成されており、演算手段は演算処理部14から構成
されている。
次に本装置を用いた定性分析方法について第２図のフロ
ーチヤートを参照して説明する。
ーチヤートを参照して説明する。
まずEPMA1で、分析試料について点分析を行ない、EPMA1
のＸ線分光器を回して試料から放出される特性Ｘ線の強
度を測定し、得られる波長プロフイールのデータをイン
タフエイス４を介して定性分析装置２に送出する（ステ
ツプn1）。定性分析装置２の中央制御部６に入力された
波長プロフィールのデータは第２記憶部に10に記憶され
るとともに、ピーク検出部12に転送される。ピーク検出
部12は得られた波長プロフイールについてピークが存在
するか否かを検出する（ステツプn2）。波長プロフイー
ルにたとえば第３図（ａ）に示すようなピークが存在す
る場合、測定対象区間Ｘ内の最大ピーク（第３図（ａ）
中の ）が一つの元素Ａの一次線強度を示すので、中央制御部
６はピーク検出部12のピーク検出信号に基づき当該ピー
ク を示す元素を第１記憶部８に記憶された特性Ｘ線波長デ
ータフアイルを参照して同定する（ステツプn3）。続い
て、中央制御部６は第１記憶部８から読み出した同定元
素Ａの強度データを演算処理部14に転送するので、演算
処理部14は同定元素Ａのこの測定条件のもとでの二次線
以上の高次線のＸ線強度データ を一次線の強度 割合から算出する。そして、中央制御部６は演算処理部
14で算出されたこの同定元素Ａとこれが示す強度データ を第２記憶部10に転送してここにメモリする（ステツプ
n4）。さらに、中央制御部６は先に測定して得られた波
長プロフイール（第３図（ａ））と同定元素Ａの強度デ
ータ とを第２記憶部10より読み出し、これを再び演算処理部
14の送出するので、演算処理部14により先の波長プロフ
イールより同定元素Ａの強度データ を差し引く（ステップn5）。次いで、中央処理部６は、
波長プロフィールのデータに代えて、演算処理部14で差
し引かれた残り波長プロフィールを第２記憶部10に更新
記憶させるとともに、この残りの波長プロフィールをピ
ーク検出部12に転送する。そして、ピーク検出部12は転
送された残りの波長プロフィールにピークが存在するか
否かを判定する（ステップn6）。第３図（ｂ）に示すよ
うにピークが依然存在する場合にはステツプn3に戻り、
前述と同様にして測定対象区間Ｘ内の最大ピーク が一つの元素Ｂの一次線強度を示すので中央制御部６
は、これを基に当該ピーク を示す元素を第１記憶部８に記憶された特性Ｘ線波長デ
ータフアイルを参照して同定する。そし、演算処理部14
で同定元素Ｂの強度データ を算出し、メモリした後すでに差引いた波長プロフイー
ル（第３図（ｂ））よりさらに同定元素Ｂの強度データ を差引く。そうすると残余の波長プロフイールは第３図
（ｃ）のようになる。このようにして残余のピークがな
くなるまで順次ステツプn3からステツプn6までの走査を
繰返す。そして処理が終了した結果は表示器16に表示さ
れる。従つて、一つの元素のピークとの元素のピークと
が重なつている可能性のあるときでも各元素ごとにピー
クが明確化されるので、ピーク認定を誤ることはない。
のＸ線分光器を回して試料から放出される特性Ｘ線の強
度を測定し、得られる波長プロフイールのデータをイン
タフエイス４を介して定性分析装置２に送出する（ステ
ツプn1）。定性分析装置２の中央制御部６に入力された
波長プロフィールのデータは第２記憶部に10に記憶され
るとともに、ピーク検出部12に転送される。ピーク検出
部12は得られた波長プロフイールについてピークが存在
するか否かを検出する（ステツプn2）。波長プロフイー
ルにたとえば第３図（ａ）に示すようなピークが存在す
る場合、測定対象区間Ｘ内の最大ピーク（第３図（ａ）
中の ）が一つの元素Ａの一次線強度を示すので、中央制御部
６はピーク検出部12のピーク検出信号に基づき当該ピー
ク を示す元素を第１記憶部８に記憶された特性Ｘ線波長デ
ータフアイルを参照して同定する（ステツプn3）。続い
て、中央制御部６は第１記憶部８から読み出した同定元
素Ａの強度データを演算処理部14に転送するので、演算
処理部14は同定元素Ａのこの測定条件のもとでの二次線
以上の高次線のＸ線強度データ を一次線の強度 割合から算出する。そして、中央制御部６は演算処理部
14で算出されたこの同定元素Ａとこれが示す強度データ を第２記憶部10に転送してここにメモリする（ステツプ
n4）。さらに、中央制御部６は先に測定して得られた波
長プロフイール（第３図（ａ））と同定元素Ａの強度デ
ータ とを第２記憶部10より読み出し、これを再び演算処理部
14の送出するので、演算処理部14により先の波長プロフ
イールより同定元素Ａの強度データ を差し引く（ステップn5）。次いで、中央処理部６は、
波長プロフィールのデータに代えて、演算処理部14で差
し引かれた残り波長プロフィールを第２記憶部10に更新
記憶させるとともに、この残りの波長プロフィールをピ
ーク検出部12に転送する。そして、ピーク検出部12は転
送された残りの波長プロフィールにピークが存在するか
否かを判定する（ステップn6）。第３図（ｂ）に示すよ
うにピークが依然存在する場合にはステツプn3に戻り、
前述と同様にして測定対象区間Ｘ内の最大ピーク が一つの元素Ｂの一次線強度を示すので中央制御部６
は、これを基に当該ピーク を示す元素を第１記憶部８に記憶された特性Ｘ線波長デ
ータフアイルを参照して同定する。そし、演算処理部14
で同定元素Ｂの強度データ を算出し、メモリした後すでに差引いた波長プロフイー
ル（第３図（ｂ））よりさらに同定元素Ｂの強度データ を差引く。そうすると残余の波長プロフイールは第３図
（ｃ）のようになる。このようにして残余のピークがな
くなるまで順次ステツプn3からステツプn6までの走査を
繰返す。そして処理が終了した結果は表示器16に表示さ
れる。従つて、一つの元素のピークとの元素のピークと
が重なつている可能性のあるときでも各元素ごとにピー
クが明確化されるので、ピーク認定を誤ることはない。
（ヘ） 効果 以上のように本発明によれば、同定元素ごとにその元素
の示す一次線強度から高次線強度を算出し、それらを波
長フロプィールから差し引いていくので、微量含有元素
が存在する場合は、高次線をも含めて他の含有元素のピ
ークがより明確化されることになり定性分析の信頼度が
格段に向上するという顕著な効果が得られる。
の示す一次線強度から高次線強度を算出し、それらを波
長フロプィールから差し引いていくので、微量含有元素
が存在する場合は、高次線をも含めて他の含有元素のピ
ークがより明確化されることになり定性分析の信頼度が
格段に向上するという顕著な効果が得られる。
また、このような分析作業をピーク認定作業という従来
では自動化が難しかった作業含めて、微量含有元素の同
定作業が終了するまで完全に自動化できたので、エロク
トロンプローブマイクロアナライザを用いた分析作業を
簡便なものとすることができるようになった。
では自動化が難しかった作業含めて、微量含有元素の同
定作業が終了するまで完全に自動化できたので、エロク
トロンプローブマイクロアナライザを用いた分析作業を
簡便なものとすることができるようになった。
図面は本発明の一実施例を示し、第１図は本発明を実施
するために適用される装置のブロツク構成図、第２図は
定性分析の手順を説明するためのフローチヤート、第３
図は波長プロフイールを示す線図である。
するために適用される装置のブロツク構成図、第２図は
定性分析の手順を説明するためのフローチヤート、第３
図は波長プロフイールを示す線図である。
Claims (1)
- 【請求項１】エレクトロンプローブマイクロアナライザ
によって試料の特性Ｘ線の強度を測定して求められた波
長プロフィールを記憶する測定値記憶部と、 各種元素の特性Ｘ線波長データファイルが記憶されたデ
ータ記憶部と、 前記測定値記憶部から読み出した波長プロフィールから
最大ピーク値を示す波長を検出するピーク検出部と、 前記ピーク検出部によって検出された前記最大ピーク値
波長を示す元素を前記データ記憶部のデータファイルを
参照して同定するとともに、該同定元素の一次線強度の
割合から順次高次線強度を算出して、前記一次線強度デ
ータを含む算出された高次線強度データを前記波長プロ
フィールから差し引く演算手段と、を備えたことを特徴
とする定性分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58248823A JPH0678998B2 (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 定性分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58248823A JPH0678998B2 (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 定性分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60135849A JPS60135849A (ja) | 1985-07-19 |
| JPH0678998B2 true JPH0678998B2 (ja) | 1994-10-05 |
Family
ID=17183944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58248823A Expired - Fee Related JPH0678998B2 (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 定性分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0678998B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0740005B2 (ja) * | 1986-08-29 | 1995-05-01 | 日本電子株式会社 | 特性ｘ線スペクトルによる元素同定方法 |
| JPH07104298B2 (ja) * | 1988-06-16 | 1995-11-13 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線分光分析におけるデータ処理方法 |
| JPH0744022B2 (ja) * | 1988-06-20 | 1995-05-15 | 日本電子株式会社 | Ｘ線マイクロアナライザ |
| JP2655562B2 (ja) * | 1991-05-17 | 1997-09-24 | 株式会社島津製作所 | 蛍光ｘ線分析による定性分析方法 |
| CN115684231B (zh) * | 2022-10-28 | 2026-01-30 | 北京山水云图科技有限公司 | 一种轻质元素检测方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58210556A (ja) * | 1982-05-31 | 1983-12-07 | Shimadzu Corp | Ｘ線分光分析装置 |
-
1983
- 1983-12-26 JP JP58248823A patent/JPH0678998B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60135849A (ja) | 1985-07-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |