JPH0679051B2 - 異常波形検査装置 - Google Patents
異常波形検査装置Info
- Publication number
- JPH0679051B2 JPH0679051B2 JP59030578A JP3057884A JPH0679051B2 JP H0679051 B2 JPH0679051 B2 JP H0679051B2 JP 59030578 A JP59030578 A JP 59030578A JP 3057884 A JP3057884 A JP 3057884A JP H0679051 B2 JPH0679051 B2 JP H0679051B2
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 23
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 title claims description 13
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 4
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 2
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、異常波形検査装置に係り、詳しくは、被測定
デバイスとは別に、被測定デバイスの中の良品デバイス
若しくは被測定デバイスとほぼ同じ機能を有するもの
（以下これらを標準デバイスと呼ぶ）を設け、この標準
デバイスと前記被測定デバイスとの出力波形を比較して
検査を行う異常波形検査装置に関する。
デバイスとは別に、被測定デバイスの中の良品デバイス
若しくは被測定デバイスとほぼ同じ機能を有するもの
（以下これらを標準デバイスと呼ぶ）を設け、この標準
デバイスと前記被測定デバイスとの出力波形を比較して
検査を行う異常波形検査装置に関する。
従来例の構成とその問題点 異常波形検査装置は、被測定デバイスに出力される信号
波形を検出し、その波形に応じて良否を判定するもので
ある。信号波形を検出する最も簡便な方法は、オシロス
コープ等を用い、信号波形を直接観察することである。
波形を検出し、その波形に応じて良否を判定するもので
ある。信号波形を検出する最も簡便な方法は、オシロス
コープ等を用い、信号波形を直接観察することである。
第１図は、従来バケット・ブリケード・デバイス（BB
D）の検査に用いられるこの種の検査装置のブロック構
成である。第２図は第１図要部の動作波形図である。以
下これらの図面を参照して回路動作を説明する。
D）の検査に用いられるこの種の検査装置のブロック構
成である。第２図は第１図要部の動作波形図である。以
下これらの図面を参照して回路動作を説明する。
被測定デバイス（BBD）１に、信号入力端子２より第２
図ａに示す入力信号をコンデンサ３を介して与え、さら
にクロック信号入力端子４よりクロック信号（図示せ
ず）を加える。次に、バイアス源５より、被測定デバイ
ス１が正常に動作する領域内に直流バイアスを設定する
と、良品デバイスは、第２図ｂに示すように、入力信号
より所定の時間t1だけ遅れた出力信号として、オシロス
コープ６上に現れる。しかし、被測定デバイス１が不良
である場合には、たとえば第２図ｃ〜ｆに示すような出
力波形となる。従来、上記の良否を判定する一連の検査
作業は検査員の視覚判定が主体であるために正確かつ迅
速に検査を行うことには限度があった。
図ａに示す入力信号をコンデンサ３を介して与え、さら
にクロック信号入力端子４よりクロック信号（図示せ
ず）を加える。次に、バイアス源５より、被測定デバイ
ス１が正常に動作する領域内に直流バイアスを設定する
と、良品デバイスは、第２図ｂに示すように、入力信号
より所定の時間t1だけ遅れた出力信号として、オシロス
コープ６上に現れる。しかし、被測定デバイス１が不良
である場合には、たとえば第２図ｃ〜ｆに示すような出
力波形となる。従来、上記の良否を判定する一連の検査
作業は検査員の視覚判定が主体であるために正確かつ迅
速に検査を行うことには限度があった。
発明の目的 本発明は上記の不都合を排除した異常波形検査装置を提
供するものである。
供するものである。
発明の構成 本発明は上記の目的を達成するために、所定入力信号に
対応させて第１のパルスと前記第１のパルスに同期し
て、振幅値およびパルス幅がそれぞれ前記第１のパルス
より小さい、第２のパルスとを発生して、前記第１のパ
ルスを標準デバイスに、前記第２のパルスを被測定デバ
イスに、それぞれ、与える、一対の信号発生手段と、前
記標準デバイスの出力信号を、振幅器を介して、一方の
入力とし、前記被測定デバイスの出力信号を他方の入力
とする第１比較器と、前記第１比較器からの出力信号を
一方の入力とし、基準電圧を他方の入力とする第２比較
器と、前記第２比較器からの出力信号を検出し、その検
出値に応じて良否の判定を行う手段と、をそなえた異常
波形検査装置である。これによれば、検査回路装置は簡
便に構成でき、加えて自動検査が可能である。
対応させて第１のパルスと前記第１のパルスに同期し
て、振幅値およびパルス幅がそれぞれ前記第１のパルス
より小さい、第２のパルスとを発生して、前記第１のパ
ルスを標準デバイスに、前記第２のパルスを被測定デバ
イスに、それぞれ、与える、一対の信号発生手段と、前
記標準デバイスの出力信号を、振幅器を介して、一方の
入力とし、前記被測定デバイスの出力信号を他方の入力
とする第１比較器と、前記第１比較器からの出力信号を
一方の入力とし、基準電圧を他方の入力とする第２比較
器と、前記第２比較器からの出力信号を検出し、その検
出値に応じて良否の判定を行う手段と、をそなえた異常
波形検査装置である。これによれば、検査回路装置は簡
便に構成でき、加えて自動検査が可能である。
実施例の説明 第３図は本発明の一実施例にかかる異常波形検査装置を
示す。まず、本発明の異常波形検査装置の特長は、被測
定デバイスとほぼ同一の機能を有する標準デバイスを用
いることにあるが、この標準デバイスとしては、被測定
デバイスの中の良品デバイスであると好都合である。な
ぜならば、これら両者に同じ入力信号を同時に加えるな
らば、それら出力信号の振幅値、パルス幅、位相遅れ等
はほぼ同じであるので、両者の出力信号の比較のみで検
査が可能であるからである。このことは、ここでいう標
準デバイスを用いないで、たとえば、BBDを検査する装
置では、出力信号の振幅値，パルス幅，位相差等を検出
する手段がそれぞれに必要であることからも理解できよ
う。
示す。まず、本発明の異常波形検査装置の特長は、被測
定デバイスとほぼ同一の機能を有する標準デバイスを用
いることにあるが、この標準デバイスとしては、被測定
デバイスの中の良品デバイスであると好都合である。な
ぜならば、これら両者に同じ入力信号を同時に加えるな
らば、それら出力信号の振幅値、パルス幅、位相遅れ等
はほぼ同じであるので、両者の出力信号の比較のみで検
査が可能であるからである。このことは、ここでいう標
準デバイスを用いないで、たとえば、BBDを検査する装
置では、出力信号の振幅値，パルス幅，位相差等を検出
する手段がそれぞれに必要であることからも理解できよ
う。
第４図は、第３図要部の動作波形図を示し、とりわけ、
被測定デバイスが良品の場合である。以下これらの図面
を参照して回路動作を説明する。
被測定デバイスが良品の場合である。以下これらの図面
を参照して回路動作を説明する。
標準デバイス７に信号入力端子８よりコンデンサ９、バ
ッファ10を介して第４図ａに示す入力信号を加える。さ
らに、バイアス源11より所定の直流バイアスを与え、ス
イッチ12をイ側に接続すると、標準デバイス７側のＸ点
には、標準デバイス７の出力信号が、増幅器23を介し
て、第４図ｂに示すように、入力信号よりもt2だけ遅れ
た、振幅値H1、パルス幅W1の出力信号として現れる。な
お、13はクロック信号入力端子である。
ッファ10を介して第４図ａに示す入力信号を加える。さ
らに、バイアス源11より所定の直流バイアスを与え、ス
イッチ12をイ側に接続すると、標準デバイス７側のＸ点
には、標準デバイス７の出力信号が、増幅器23を介し
て、第４図ｂに示すように、入力信号よりもt2だけ遅れ
た、振幅値H1、パルス幅W1の出力信号として現れる。な
お、13はクロック信号入力端子である。
一方、被測定デバイス14にも標準デバイス７に加えたの
と同じ入力信号が信号入力端子８より、コンデンサ15、
バッファ16を介して与えられる。さらに被測定デバイス
14の直流バイアスは、たとえばマイクロコンピュータ17
で制御されるプログラマブル電源18より抵抗19を介して
与えられる。ここで、スイッチ12をロ側に接続して、プ
ログラマブル電源18からの直流バイアスを前記バイアス
源11の直流バイアスとは別の、たとえば、それより低レ
ベルの所定の値に設定するならば、端子８に与えられる
入力信号が、抵抗19を介して付加される直流バイアスに
よってレベル変動され、被測定デバイス14側のＹ点に
は、第４図ｃに示すように、振幅値H2、パルス幅W2の出
力信号波形が現れる。これらＸ点およびＹ点に生じた第
４図ｂおよびｃに示す出力信号は、スイッチ12をイ側に
接続して、かつ、それぞれ抵抗20,21を介してコンパレ
ータ22に加えられる。なお、ここで、標準デバイス７側
のＸ点に生じる、すなわち、第４図ｂに示す出力信号の
振幅値H1およびパルス幅W1は、被測定デバイス側のＹ点
に生じる出力信号の振幅値H2およびパルス幅W2よりもや
や大きくなるように設定することが望まれる。なぜなら
ば、被測定デバイス14は製造条件のばらつき等により、
その出力信号の振幅値，パルス幅等に、良品デバイスと
して許容できる範囲でのばらつきが生じることに依拠す
る。増幅器23は、上述の被測定デバイスのばらつきを考
慮して、上記振幅値H1とH2との間にH1＞H2の関係を確実
にもたせるためのものである。又、パルス幅W1とW2との
間にW1＞W2の関係をもたせることは、バイアス源11とプ
ログラマブル電源18との各直流バイアス値の設定で、た
とえば、プログラマブル電源18の側を低くすることで可
能である。
と同じ入力信号が信号入力端子８より、コンデンサ15、
バッファ16を介して与えられる。さらに被測定デバイス
14の直流バイアスは、たとえばマイクロコンピュータ17
で制御されるプログラマブル電源18より抵抗19を介して
与えられる。ここで、スイッチ12をロ側に接続して、プ
ログラマブル電源18からの直流バイアスを前記バイアス
源11の直流バイアスとは別の、たとえば、それより低レ
ベルの所定の値に設定するならば、端子８に与えられる
入力信号が、抵抗19を介して付加される直流バイアスに
よってレベル変動され、被測定デバイス14側のＹ点に
は、第４図ｃに示すように、振幅値H2、パルス幅W2の出
力信号波形が現れる。これらＸ点およびＹ点に生じた第
４図ｂおよびｃに示す出力信号は、スイッチ12をイ側に
接続して、かつ、それぞれ抵抗20,21を介してコンパレ
ータ22に加えられる。なお、ここで、標準デバイス７側
のＸ点に生じる、すなわち、第４図ｂに示す出力信号の
振幅値H1およびパルス幅W1は、被測定デバイス側のＹ点
に生じる出力信号の振幅値H2およびパルス幅W2よりもや
や大きくなるように設定することが望まれる。なぜなら
ば、被測定デバイス14は製造条件のばらつき等により、
その出力信号の振幅値，パルス幅等に、良品デバイスと
して許容できる範囲でのばらつきが生じることに依拠す
る。増幅器23は、上述の被測定デバイスのばらつきを考
慮して、上記振幅値H1とH2との間にH1＞H2の関係を確実
にもたせるためのものである。又、パルス幅W1とW2との
間にW1＞W2の関係をもたせることは、バイアス源11とプ
ログラマブル電源18との各直流バイアス値の設定で、た
とえば、プログラマブル電源18の側を低くすることで可
能である。
コンパレータ22に、第４図b,cに示す出力信号が与えら
れると、その出力Ｐ点には第４図ｄに示すようにほぼ零
電圧が生じる。さらに、この電圧は、コンパレータ24の
一方の入力端子に与えられる。ここで、コンパレータ24
の他方の入力端子に基準電圧源25を設定するならば、コ
ンパレータ24の出力Ｑ点には第４図ｅに示すようにほぼ
零電圧が生じる。この電圧は、DC変換手段26で直流電圧
に変換され、さらにA/Dコンバータ27に送られ、さらに
マイクロコンピュータ17で被測定デバイス14の良否が判
定される。第４図示は、被測定デバイス14が良品である
場合の一例であるので、コンパレータ24の出力Ｑ点に生
じる電圧をたとえば、100（mV）以下で良品とするなら
ば、この値に対応するA/Dコンバータ27の信号で良品と
すればよい。
れると、その出力Ｐ点には第４図ｄに示すようにほぼ零
電圧が生じる。さらに、この電圧は、コンパレータ24の
一方の入力端子に与えられる。ここで、コンパレータ24
の他方の入力端子に基準電圧源25を設定するならば、コ
ンパレータ24の出力Ｑ点には第４図ｅに示すようにほぼ
零電圧が生じる。この電圧は、DC変換手段26で直流電圧
に変換され、さらにA/Dコンバータ27に送られ、さらに
マイクロコンピュータ17で被測定デバイス14の良否が判
定される。第４図示は、被測定デバイス14が良品である
場合の一例であるので、コンパレータ24の出力Ｑ点に生
じる電圧をたとえば、100（mV）以下で良品とするなら
ば、この値に対応するA/Dコンバータ27の信号で良品と
すればよい。
次に被測定デバイス14が不良である場合の一例を第５図
に示す。第５図ａは信号入力端子８に供給される入力信
号、第５図ｂは標準デバイス７側のＸ点に生じる出力信
号である。第５図ｃは、被測定デバイス14側のＹ点に生
じる出力信号であり、この信号波形は、既に第２図ｃに
示した不良デバイスの出力波形と同じである。コンパレ
ータ22に、第５図b,cに示す信号が加えられると、その
出力Ｐ点には第５図ｄに示す出力信号が生じ、この出力
信号はコンパレータ24に与えられ、さらに入力端子25に
設定された基準電圧と比較されて、コンパレータ24の出
力Ｑ点には第５図ｅに示す出力信号が生じる。さらに、
この出力信号は、DC変換手段26で直流電圧に変換されA/
Dコンバータ27でアナログ信号からデジタル信号に変換
されてマイクロコンピュータ17に送致されて不良と判定
される。
に示す。第５図ａは信号入力端子８に供給される入力信
号、第５図ｂは標準デバイス７側のＸ点に生じる出力信
号である。第５図ｃは、被測定デバイス14側のＹ点に生
じる出力信号であり、この信号波形は、既に第２図ｃに
示した不良デバイスの出力波形と同じである。コンパレ
ータ22に、第５図b,cに示す信号が加えられると、その
出力Ｐ点には第５図ｄに示す出力信号が生じ、この出力
信号はコンパレータ24に与えられ、さらに入力端子25に
設定された基準電圧と比較されて、コンパレータ24の出
力Ｑ点には第５図ｅに示す出力信号が生じる。さらに、
この出力信号は、DC変換手段26で直流電圧に変換されA/
Dコンバータ27でアナログ信号からデジタル信号に変換
されてマイクロコンピュータ17に送致されて不良と判定
される。
発明の効果 以上説明したように、本発明の異常波形検査装置は、被
測定デバイスとほぼ同じ機能を有する標準デバイスを設
け、これら両者に同時に同じ入力信号を加え、これらの
出力信号を比較し、波形の相違を検出して被測定デバイ
スの良否を判定するので、検査回路がきわめて簡便に構
成できる。加えて、自動検査も可能となるのでその工業
的価値は大きい。
測定デバイスとほぼ同じ機能を有する標準デバイスを設
け、これら両者に同時に同じ入力信号を加え、これらの
出力信号を比較し、波形の相違を検出して被測定デバイ
スの良否を判定するので、検査回路がきわめて簡便に構
成できる。加えて、自動検査も可能となるのでその工業
的価値は大きい。
第１図は従来の異常波形検査装置を示す図、第２図は第
１図要部の動作波形図、第３図は本発明にかかる異常波
形検査装置を示す図、第４図，第５図は被測定デバイス
がそれぞれ良品，不良品の場合の第３図要部の動作波形
図を示す。 ７……標準デバイス、８……信号入力端子、9,15……コ
ンデンサ、10,16……バッファ、11……バイアス源、12
……スイッチ、13……クロック信号入力端子、14……被
測定デバイス、17……マイクロコンピュータ、18……プ
ログラマブル電源、19,20,21……抵抗、22,24……コン
パレータ、25……基準電圧源、26……DC変換手段、27…
…A/Dコンバータ。
１図要部の動作波形図、第３図は本発明にかかる異常波
形検査装置を示す図、第４図，第５図は被測定デバイス
がそれぞれ良品，不良品の場合の第３図要部の動作波形
図を示す。 ７……標準デバイス、８……信号入力端子、9,15……コ
ンデンサ、10,16……バッファ、11……バイアス源、12
……スイッチ、13……クロック信号入力端子、14……被
測定デバイス、17……マイクロコンピュータ、18……プ
ログラマブル電源、19,20,21……抵抗、22,24……コン
パレータ、25……基準電圧源、26……DC変換手段、27…
…A/Dコンバータ。
Claims (2)
- 【請求項１】所定入力信号に対応させて第１のパルスと
前記第１のパルスに同期して、振幅値およびパルス幅が
それぞれ前記第１のパルスより小さい、第２のパルスと
を発生して、前記第１のパルスを標準デバイスに、前記
第２のパルスを被測定デバイスに、それぞれ、与える、
一対の信号発生手段と、 前記標準デバイスの出力信号を、増幅器を介して、一方
の入力とし、前記被測定デバイスの出力信号を他方の入
力とする第１比較器と、 前記第１比較器からの出力信号を一方の入力とし、基準
電圧を他方の入力とする第２比較器と、 前記第２比較器からの出力信号を検出し、その検出値に
応じて良否の判定を行う手段と、 をそなえた異常波形検査装置。 - 【請求項２】前記良否の判定を行う手段に、DC変換手段
とA/Dコンバータとマイクロコンピュータとを含む特許
請求の範囲第１項記載の異常波形検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59030578A JPH0679051B2 (ja) | 1984-02-20 | 1984-02-20 | 異常波形検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59030578A JPH0679051B2 (ja) | 1984-02-20 | 1984-02-20 | 異常波形検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60173482A JPS60173482A (ja) | 1985-09-06 |
| JPH0679051B2 true JPH0679051B2 (ja) | 1994-10-05 |
Family
ID=12307735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59030578A Expired - Lifetime JPH0679051B2 (ja) | 1984-02-20 | 1984-02-20 | 異常波形検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0679051B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2538156B2 (ja) * | 1991-12-11 | 1996-09-25 | 本田技研工業株式会社 | 工作機械のワ―クパレットクランプ装置 |
| JP4845953B2 (ja) * | 2008-11-26 | 2011-12-28 | トヨタ自動車株式会社 | 動特性検査装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5554478A (en) * | 1978-10-17 | 1980-04-21 | Mitsubishi Electric Corp | Comparing test method |
-
1984
- 1984-02-20 JP JP59030578A patent/JPH0679051B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60173482A (ja) | 1985-09-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |