JPS60173482A - 異常波形検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、異常波形検査装置に係シ、詳しくは、被測定
デバイスとは別に、被測定デバイスの中の良品デバイス
若しくは被測定デバイスとほぼ同じ機能を有するもの（
以下これらを標準デバイスと呼ぶ）を設け、この標準デ
バイスと前記被測定デバイスとの出力波形を比較して検
査を行う異常波形検査装置に関する。

従来例の構成とその問題点 異常波形検査装置は、被測定デバイスに出力される信号
波形を検出し、その波形に応じて良否を判定するもので
ある。信号波形を検出する最も簡便な方法は、オンロヌ
コープ等を用い、信号波形を直接観察することである。

第１図は、従来バケット・ブリケート・デバイス（ＢＢ
Ｄ）の検査に用いられるこの沖の検査装置のブロック構
成である。第２図は第１図要部の動作波形図である。以
下これらの図面を参照して回路動作を説明する。

被測定デバイス（ＢＢＤ）１に、信号入力端子２より第
２図＆に示す入力信号をコンデンサ３を介して与え、さ
らにクロック信号入力端子４よシクロツク信号（図示せ
ず）を加える。次に、バイアス源５より、被測定デノく
イス１か正常に動作する領域内に直流バイアスを設定す
ると、良品デバイスは、第２図すに示すように、入力信
号より所定の時間ｔ１だけ遅れた出力信号としてオシロ
スコープ６＋、に現れる。しかし、被ｌ１ｌｌＩ定デバ
イス１か不良で、ある場合には、たとえば第２図ｃ−ｆ
に示すような出力波形となる。従来、上記の良否を判定
する一連の検査作業は検査員の視覚判定が主体であるた
めに正確かつ迅速に検査を行うことにｄ限度があった。

発明の目的 本発明は上記の不都合を排除した異常波形検査装置を提
供するものである。

発明の（イ４成 本発明は上記の目的を達成するために、被ｌ１ｌｌＩ定
デバイスおよび同被測定デバイスとほぼ同じ機能を有す
る標準デバイスの２つの出力信号を入力とする第１比較
器と、前記第１比較器からの出力信号と基準′電圧とを
入力とする第２比較器と、前記第２比較器からの出力信
号を検出しその検出値に応動し７て良否の判定を行う手
段とを具えた異常波形検査装置である。これによりは、
検査回路装置は簡便に構成でき、加えて自動検査か可能
である。

実施例の説明 第３図は本発明の一実施例にかかる異常波形検査装置を
示す。まず、本発明の異常波形検査装置の特長は、被測
定デバイスとほぼ同一の機能を有する標準デバイスを用
いることにあるが、この標準デバイスとしては、被測定
デバイヌの中の良品デバイスであると好都合である。な
ぜなら目、これら両者に同じ入力信号を同時に加えるな
らば、それら出力信−りの振幅値、パルス幅、位相遅れ
等はほぼ同じであるので、両者の出力信号の比較のみで
検査が可能であるからである。このことは、ここでいう
標準デバイスを用いないで、たとえば、ＢＢＤを検査す
る装置では、出力信号の振幅値。

パルス幅２位和差等を検出する手段かそれぞれに必要で
あることからも理解できよう。

第４図は、第３図要部の動作波形図を示し、とりわけ、
被測定デバイスが良品の場合である。以上こＪｌらの１
ン１而を参照して回路動作を説明する。

標準デバイス７に信号入力端子８よりコンデンサ９、）
くノファ１０を介して第４図ａに示す入力信号を加える
。さらに、バイアヌ源１１より所定の直流バイアスを与
え、スイッチ１２をイ側に接続すると、標準デバイスＴ
側のＸ点には、第４図すに示すように入力信号よりもｔ
２だけ遅れた出ツノ信号が現れる。なお、１３はクロッ
ク信号入力端子である。

一方、被測定デバイス１４にも標準デバイス７に加えた
のと同じ入力信号か信号人ツノ端子８より、コンデンサ
１５、バッファ１６を介して与えられる。さらに被測定
デバイヌ１４の直流バイアスは、たとえばマイクロコン
ピュータ１７で制御されるプログラマブ／ｌ／　１＞源
１８より抵抗１９を介して与えられる。ここで、スイッ
チ１２を口側に接続して、プログラマブル電源１８から
の直流バイアスを所定の値に設定するならば、被測定デ
バイス１４側のＹ点には、第４　ｐ］　ｃに示す出力信
号波形が現れる。これらＸ点およびＹ点に生じた第４図
すおよびＣに示す出力信号は、そねぞれ抵抗２０゜２１
を介１．てコンパレータ２２に加えられる。なお、ここ
で、標準デバイス７側のＸ点に生じるすなわち第４図す
に示す出力信号の振幅値Ｈ１およびパルス幅Ｗ１は、被
測定デバイス側のＹ点に生じる出力信号の振幅（ｆｌ’
Ｈ２およびパルス幅Ｗ２よりもやや大きくなるように設
定することか望まれる。

なぜならば、被測定デバイヌ１４は製造条件のばらつき
等により、その出力信号の振幅値、パルス幅等に、良品
デバイヌとして許容できる範囲でのばらつきが生じるこ
とに依拠する。増幅器２３は、上記振幅値Ｈ１とＨ２と
の間にＨ，）　Ｈ２の関係をもたせるものである。又、
パルス幅Ｗ１とＷ２との間にＷｌ〉Ｗ２の関係をもたせ
ることは、バイアヌ源１１とプログラマブル電源１８の
設定で可能である。

コンパレーク２２に、第４図す、ｃに示す出力信号が与
えられると、その出力Ｐ点には第４図ｄに示すようにほ
ぼ零電圧が生じる。さらに、この電圧は、コンパレータ
２４の一方の入力端子に与えられる。ここで、コンパレ
ータ２４の他方の入力端子に基準電圧源２５を設定する
ならば、コンパレータ２４の出力Ｑ点には第４図ｅに示
すようにほぼ零電圧が生じる。この電圧は、ＤＣ変換手
段２６で直流電圧に変換され、さらにＡ　／　Ｄコンバ
ータ２７に送られ、さらにマイクロコンピュータ１７で
被測定デバイス１４の良否か判定される。

第４図示は、被測定デバイス１４か良品である場合の一
例であるので、コンパレータ２４　ノ出力Ｑ点に生じる
’ｔＷ圧をたとえば、１０ｏ（ｍ■）以下で良品とする
ならば、この値に対応するＡ／Ｄコンバータ２７の信号
で良品とすればよい。

次に被測定デバイス１４か不良である場合の一例を第５
図に示す。第５図ａは信号入力端子８に供給される入力
信号、第６図すは標準デ／＜イスγ側のＸ点に生じる出
力信号である。第５図Ｃは、被測定デバイス１４側のＹ
点に生じる出力信号であり、この信号波形は、既に第２
図Ｃに示した不良デバイスの出力波形と同じである。コ
ンパレータ２２に、第５図す、ｃに示す信号が加えられ
ると、その出力Ｐ点には第５図ｄに示す出ノＪ信り°が
生じ、この出力信号はコンパレーク２４に与えられ、さ
らに入力端子２５に設定された基準電圧と比較されて、
コンパレーク２４の出力Ｑ点には第５図ｅに示す出力信
号が生じる。さらに、この出力信号は、ＤＣ変換手段２
６で直流電圧に変換さｉＡ／Ｄコンバータ２７でアナロ
グ信号からデジタル信号に変換されてマイクロコンピュ
ータ１７に送致されて不良と判定される。

発明の詳細 な説明したように、本発明の異常波形検査装置は、被測
定デバイスどほぼ同じ機能を有する標準デバイスを設け
、これら両者に同時に同じ入力信号を加え、これらの出
力信号を比較し、波形の相違を検出して被測定デバイス
の良否を判定するので、検査回路がきわめて簡便に構成
できる。加えて、自動検査も可能となるのでその工業的
価値は大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の異常波形検査装置を示す図、第２図は第
１図要部の動作波形図、第３図は本発明にかかる異常波
形検査装置を示す図、第４図、第５図は被測定デバイス
がそれぞれ良品、不良品の場合の第３図要部の動作波形
図を示す。 ７・・・・・標準デバイス、８・・・・・信号入力端子
、９゜１６・・・・・・コンデンサ、１０．１６・・・
・・バンファ、１１・・・・バイアス源、１２・・・・
・・ヌイッチ、１３・・・・・・クロック信号入力端子
、１４・・・・・被測定デバイス、１７・・・・・マイ
クロコン上０ユータ、１８・・・・・プロクラマブ）Ｖ
電源、１９，２０．２１・・・・抵抗、２２．２４・・
・コンパレーク、２５　・・基準電圧源、２６・・・・
・ＤＣ変換手段、２７　・・Ａ／Ｄコンバーク。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 第　４　図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被測定デバイスおよび同被測定デバイスとほぼ同
   じ機能を有する標準デバイスの２つの出力信号を入力と
   する第１比較器と、前記第１比較器からの出力信号と基
   準電圧とを入力とする第２比較器と、前記第２比較器か
   らの出力信号を検出しその検出値に応動して良否の判定
   を行う手段とを具えたことを特徴とする異常波形検査装
   置。“
2. （２）良否の判定を行う手段は、Ｄ、Ｇ変換手段とＡ／
   Ｄコンバータとマイクロコンピュータを含むことを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の異常波形検査装置。