JPH0679061U - イオン源装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 安価でかつ破損を防止する。 【構成】 ケーブル３２が着脱自在に接続される金属端
子２３と，導体２４と，取付板３３とから構成された電
流導入端子３５と、取付板３３をガスケット３６を介し
てアークチャンバ２の蓋板３の開口１８の周縁部に電気
的に絶縁した状態で気密に装着した取付ねじ３８と、ア
ークチャンバ２内に導入された導体２４の先端部３１に
装着されたフィラメント５とを備える。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、熱フィラメントを用いたイオン源装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来のイオン源装置の１例は図３及び図４に示す構成になっている。それらの 図において、１は円筒状の筐体、２は筐体１内に形成されたアークチャンバ、３ は筐体１の一端を閉塞した蓋板、４は蓋板３を貫通し，アークチャンバ２内に導 入された２個の電流導入部、５は両端が両導入部４の先端部に装着された熱フィ ラメントであり、カソードとしての熱電子放出源となる。６は両導入部４の基部 に接続され，フィラメント５を加熱するためのフィラメント電源、７はアークチ ャンバ２内に配設された円筒状のアノード、８はアークチャンバ２内にイオン化 ガスであるアルゴン等の希ガスや酸素等の活性ガスを導入するガス導入口である 。

【０００３】 ９は筐体１の他端に取り付けられ，イオンビームを引き出す多孔電極系であり 、アークチャンバ２側の加速電極１０と，中間の減速電極１１と，外側の接地電 極１２とからなる。 １３はアノード７にアーク電圧を印加するアーク電源、１４は抵抗１５を介し て加速電極１０に正の加速電圧を印加する加速電源、１６は減速電極１１に負の 電圧を印加する減速電源、１７はアークチャンバ２内で生成されたプラズマであ る。

【０００４】 つぎに、導入部４について詳細に説明する。１８は蓋板３に形成された開口、 １９は開口１８の周縁部に形成されたＯリング溝、２０はＯリング溝１９に装着 されたＯリング、２１は蓋板３に装着され，開口１８を閉塞した端子台、２２は 端子台２１に形成された挿入孔、２３は金属端子、２４は金属端子２３に基部が ろう付けして固着された導体、２５は導体２４の周面を覆ったセラミック等の割 れやすい管状の絶縁物、２６は金属端子２３，導体２４，絶縁物２５等からなる ２個で一対の電流導入端子であり、絶縁物２５が端子台２１の挿入孔２２に挿入 されて端子台２１に固着され、導体２４が開口１８に挿通されてアークチャンバ ２内に導入されている。

【０００５】 ２７は導体２４の先端面に形成された螺孔、２８は導体２４の先端面に当てが われたカバー、２９はカバー２８の中央部に形成された透孔、３０は固定ねじで あり、フィラメント５の端部のわん状部，透孔２９に挿通し、螺孔２７に螺合し 、導体２４の先端部３１にカバー２８及びフィラメントを装着している。３２は 金属端子２３に着脱自在に接続されたフィラメント電源６のケーブルである。

【０００６】 そして、フィラメント５がフィラメント電源６による抵抗加熱により高温に保 持されて熱電子ｅを放出し、カソードであるフィラメント５とアノード７との間 の放電によりガス導入口８よりアークチャンバ２内に導入されたイオン化ガスの プラズマ１７が生成され、多孔電極系９のビーム引き出し作用により、プラズマ １７中のイオンがイオンビームとなって引き出される。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】

従来の前記イオン源装置の場合、電流導入端子２６がセラミック等の絶縁物２ ５から構成されているため、高価であり、さらにメンテナンスに際しケーブル３ ２を取り外す場合、割れやすい絶縁物２５に相当の力がかかり、絶縁物２５が破 損するという問題点がある。 本考案は、前記の点に留意し、安価でかつ破損を防止したイオン源装置を提供 することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

前記課題を解決するために、本考案のイオン源装置は、ケーブルが着脱自在に 接続される金属端子と，導体と，取付板とから構成された電流導入端子と、取付 板をガスケットを介してアークチャンバの蓋板の開口の周縁部に電気的に絶縁し た状態で気密に装着した取付ねじと、アークチャンバ内に導入された導体の先端 部に装着されたフィラメントとを備えたものである。

【０００９】

【作用】

前記のように構成された本考案のイオン源装置は、電流導入端子を、ケーブル が着脱自在に接続される金属端子と，導体と，取付板とから構成し、アークチャ ンバの蓋板の開口の周縁部に、取付板を取付ねじによりガスケットを介して電気 的に絶縁した状態で気密に装着するようにしたため、導体が金属材料からなる取 付板に直接溶接，ろう付け等により固着され、例えばメンテナンス時に金属端子 に接続されたケーブルを取り外す場合、相当の力が作用しても破損を防止する。 さらに、高価なセラミックを使用していないため、従来のセラミックを用い
た 場合に比して安価に製作される。

【００１０】

【実施例】

１実施例について図１及び図２を参照して説明する。それらの図において、図 ３及び図４と同一符号は同一もしくは相当するものを示す。 ３３は金属材料からなる取付板、３４は取付板３３に透設された挿通孔であり 、導体２４が挿通され、溶接により導体２４が取付板３３に固着されている。３ ５は金属端子２３，導体２４，取付板３３から構成された電流導入端子、３６は 開口１８の周縁部に配設された絶縁物からなる断面角形のガスケット、３７は取 付板３３の両端部に透設された透孔、３８は絶縁カラー３９を介して透孔３７に 挿通され，蓋板３に螺合した取付ねじであり、取付板３３がガスケット３６を介 して蓋板３に電気的に絶縁した状態で気密に装着されている。 なお、金属端子２３，導体２４，取付板３３は一体物であってもよい。またガ スケット３６は断面丸形であってもよく、同様の作用を有するものであればどん な形でもよい。

【００１１】

【考案の効果】 本考案は、以上説明したように構成されているため、つぎに記載する効果を奏 する。 本考案のイオン源装置は、電流導入端子３５を、ケーブル３２が接続される金 属端子２３と，導体２４と，取付板３３とから構成し、アークチャンバ２の蓋板 ３の開口１８の周縁部に、取付板３３を取付ねじ３８によりガスケット３６を介 して電気的に絶縁した状態で気密に装着するようにしたため、導体２４が金属材 料からなる取付板３３に直接溶接，ろう付け等により固着され、例えばメンテナ ンス時に金属端子２３に接続されたケーブル３２を取り外す場合、相当の力が作 用しても破損を防止することができる。 さらに、高価なセラミックを使用していないため、従来のセラミックを用いた 場合に比して安価に製作することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の１実施例の切断正面図である。

【図２】図１の一部の切断側面図である。

【図３】イオン源装置の概略構成図である。

【図４】従来例の切断正面図である。

【符号の説明】

２ アークチャンバ ３ 蓋板 ５ フィラメント １８ 開口 ２３ 金属端子 ２４ 導体 ３１ 導体の先端部 ３２ ケーブル ３３ 取付板 ３５ 電流導入端子 ３６ ガスケット ３８ 取付ねじ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ケーブルが着脱自在に接続される金属端
   子と，導体と，取付板とから構成された電流導入端子
   と、前記取付板をガスケットを介してアークチャンバの
   蓋板の開口の周縁部に電気的に絶縁した状態で気密に装
   着した取付ねじと、前記アークチャンバ内に導入された
   前記導体の先端部に装着されたフィラメントとを備えた
   イオン源装置。