JPH0732851U - イオン源装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 イオン引出電極の支持部の長さを短くし、小
形にする。 【構成】 イオン引出電極１０を電極支持枠１４に絶縁
スペーサ２４を介して支持するようにしたイオン源装置
において、スペーサ２４の上面に上ねじ孔２５を形成す
るとともに、スペーサ２４の下面の上ねじ孔２５に対し
ずれた位置に下ねじ孔２６を形成し、電極の透孔に挿通
した上ねじ２０を上ねじ孔２５に螺合し、支持枠１４の
透孔に挿通した下ねじ２１を下ねじ孔２６に螺合する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、イオン引出電極を電極支持枠に絶縁スペーサを介して支持するよう にしたイオン源装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来のイオン源装置の回路構成を図２について説明する。１はアークチャンバ 、２はアークチャンバ１の筐体３を貫通した２個の電流導入端子、４は筐体３内 の両端子２に接続されたフィラメント、５は筐体３外の両端子２に接続されたフ ィラメント電源、６は＋極が筐体３に接続され，−極がフィラメント電極５の− 極に接続されたアーク電源である。

【０００３】 ７，８，９はイオン引出電極１０を構成する加速電極，減速電極，接地電極、 １１は＋極が抵抗１２を介して加速電極７に接続された加速電源であり、−極が 接地され、さらに＋極がアーク電源６の−極に接続されている。１３は−極が減 速電極８に接続され，＋極が接地された減速電源である。

【０００４】 そして、フィラメント４にフィラメント電源５から加熱電流が供給され、アー ク電源６によりアーク電圧が印加されることにより、フィラメント４から放出さ れた熱電子が加速され、アークチャンバ１のガスが電離されてプラズマが生成さ れる。

【０００５】 さらに、加速電極７，加速電源１１，減速電極８，減速電源１４，接地電極９ により形成される電界により、プラズマ中からイオンビームが引き出される。 つぎに、図２のイオン引出電極１０の支持部を図３について説明する。１４は 電極支持枠、１５は支持枠１４の内縁突部１６の上面に形成されたねじ孔、１７ は接地電極９の透孔に挿通されねじ孔１５に螺合したねじであり、接地電極９が 支持されている。

【０００６】 １８は円筒状の絶縁スペーサ、１９はスペーサ１８に貫通して形成されたねじ 孔、２０は減速電極８の透孔に挿通され，ねじ孔１９の上部に螺合した上ねじ、 ２１は支持枠１４のつば部２２の透孔に挿通され，ねじ孔１９の下部に螺合した 下ねじであり、減速電極８が支持されている。 ２３は前記スペーサ１８より長尺の絶縁スペーサであり、減速電極８と同様、 加速電極７がスペーサ２３，上ねじ２０，下ねじ２１により支持枠１４に支持さ れている。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】

従来の図３に示す支持手段の場合、絶縁スペーサ１８の１個のねじ孔１９に上 ，下から上ねじ２０，下ねじ２１により支持しているため、両ねじ２０，２１の 先端間に充分な絶縁距離をとる必要がある。即ち絶縁スペーサ１８の長さに、（ 上，下ねじ２０，２１の締め付け部の長さ）＋（絶縁距離）以上の長さが要求さ れ、スペーサ１８が長くなり、イオン引出電極１０の支持部が長く，大形になる という問題点がある。 本考案は、前記の点に留意し、イオン引出電極の支持部の長さが短く、小形に なるイオン源装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

前記課題を解決するために、本考案は、イオン引出電極を電極支持枠に絶縁ス ペーサを介して支持するようにしたイオン源装置において、前記スペーサの上面 に上ねじ孔を形成するとともに、前記スペーサの下面の前記上ねじ孔に対しずれ た位置に下ねじ孔を形成し、電極の透孔に挿通した上ねじを前記上ねじ孔に螺合 し、前記支持枠の透孔に挿通した下ねじを前記下ねじ孔に螺合したものである。

【０００９】

【作用】

前記のように構成された本考案のイオン源装置は、絶縁スペーサの上ねじ孔に 対し、下ねじ孔がずれた位置に別々に形成されているため、従来のように、上ね じと下ねじの先端間が同じねじ孔で対向しなく、スペーサの長さは、（１個のね じの締め付け部の長さ）＋（絶縁距離）以上となり、従来に比し、１個のねじの 締め付け部の長さだけ短くすることができ、スペーサの長さが短く、支持部が短 く小形になる。

【００１０】

【実施例】

１実施例について図１を参照して説明する。同図において、図３と同一符号は 同一もしくは相当するものを示し、図３と異なる点は、絶縁スペーサ２４であり 、横断面が矩形状で、上ねじ孔２５，下ねじ孔２６が上下に貫通して並設され、 一方の上ねじ孔２５の上部に、前記減速電極８の透孔に挿通された上ねじ２０が 螺合し、他方の下ねじ孔２６の下部に、電極支持枠１４のつば部２２の透孔に挿 通された下ねじ２１が螺合し、減速電極８が支持された点である。

【００１１】 即ち、１個のねじ孔に上，下から上ねじ２０と下ねじ２０とが螺合しなく、別 々のねじ孔２５，２６に各ねじ２０，２１が螺合し、両ねじ２０，２１の先端間 が１個のねじ孔で対向しないようにしている。 なお、両ねじ孔２５，２６は、上下に貫通しないものであってもよいことは勿 論である。

【００１２】

【考案の効果】

本考案は、以上説明したように構成されているため、つぎに記載する効果を奏 する。 本考案のイオン源装置は、絶縁スペーサ２４の上ねじ孔２５に対し、下ねじ孔 ２６がずれた位置に別々に形成されているため、従来のように、上ねじ２０と下 ねじ２１の先端間が同じねじ孔で対向しなく、スペーサ２４の長さは、（１個の ねじの締め付け部の長さ）＋（絶縁距離）以上となり、従来に比し、１個のねじ の締め付け部の長さだけ短くすることができ、スペーサの長さが短く、支持部を 短く小形にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】Ａ，Ｂ，Ｃは本考案の１実施例の切断正面図，
一部の切断右側面図，一部の平面図である。

【図２】従来例の回路構成図である。

【図３】従来例の一部切断正面図である。

【符号の説明】

８ 減速電極 １０ イオン引出電極 １４ 電極支持枠 ２０ 上ねじ ２１ 下ねじ ２４ 絶縁スペーサ ２５ 上ねじ孔 ２６ 下ねじ孔

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 イオン引出電極を電極支持枠に絶縁スペ
   ーサを介して支持するようにしたイオン源装置におい
   て、 前記スペーサの上面に上ねじ孔を形成するとともに、前
   記スペーサの下面の前記上ねじ孔に対しずれた位置に下
   ねじ孔を形成し、 電極の透孔に挿通した上ねじを前記上ねじ孔に螺合し、
   前記支持枠の透孔に挿通した下ねじを前記下ねじ孔に螺
   合したイオン源装置。