JPH067946A - シーム溶接装置および電子部品製造設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】比較的簡単な機構の組み合わせで信頼性の高い
封止パッケジングを自動的に行うこと。 【構成】所定の回路素子又は電子回路を収納してなるケ
ースと蓋とをシーム溶接する装置であって，順次搬送さ
れて来るケースの対応するものに供給されるべき蓋を複
数積載可能な蓋積載部と，その蓋積載部とケースとの間
に位置し，蓋積載部から移載された蓋を少なくとも両側
から挟んで一定位置に位置決めするアライメント部と，
蓋積載部から蓋をアライメント部に移載し，またアライ
メント部から蓋を対応するケースに移載する蓋移載機構
とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【産業上の利用分野】本発明は，水晶発振器，半導体集
積回路などの電子部品の製造において回路素子又は電子
回路を収納してなる角型ケースを封止するシーム溶接装
置および電子部品の製造設備に関する。

【従来の技術】一般に知られているように，水晶発振子
や半導体素子は外界の影響を受け易いので，パッケージ
で気密封止されるものも多い。このようなパッケージの
内，角型ケースの封止は平行に並んだロール状電極の間
を蓋の仮付けされた角型ケースが往復するパラレルシー
ム溶接によりパッケージの気密封止がなされている。こ
の例を特公昭５６ー２４１６号公報に記載されたパラレ
ルシーム溶接装置で説明すると，これは図８に示すよう
に，先ず回路素子又は電子回路を収納してなる角型ケー
ス２１を回転台２２に固定し，角型ケース２１の上の角
型シールフレーム２４の上に角型蓋２３を被せてから駆
動スイッチをいれる。これにより，パラレル電極２５が
角型シールフレーム２４まで下降し，角型蓋２３を抑え
る。次に回転台２２が矢印方向（手前）に移動し長辺側
を封止する。長辺側の封止が完了すると，回転台２２を
９０°方向転換させた後に矢印方向（手元）に移動して
短辺側の封止を完了する。そして回転台２２が９０°方
向転換して元の位置に戻る。また，その他にもパラレル
電極の形状を工夫したもの，角型ケースなどを改良した
ものなど，多数発表されている。

【発明が解決しようとする課題】しかし，従来のパラレ
ルシーム溶接の場合，比較的大きな角型ケースと蓋とを
１個づつマニュアルでセットしてシーム溶接する場合に
はマニュアルでケースと蓋との位置関係を調整したり，
位置決めしたりできるので，特に問題が生じないが，特
別な機構上の配慮をせずに角型ケースを回転台に固定
し，固定されたパラレル電極に対して回転台を回転させ
ることにより角型ケースを回転させて溶接を行っている
だけなので，自動化した場合にはケースと蓋とのズレを
生じるなどの溶接不良が発生すること，回転台が往復運
動と回転運動を行うため封止速度が遅いこと，および設
備の保守が難しいなどいろいろ欠点がある。いずれにせ
よ搬送ライン上を次々と送られてくるケースと蓋を自動
的に溶接するには不向きであった。また，一台のシーム
溶接機を用い，固定されたケースと蓋に対しパラレル電
極が動いて第１の一対の辺を溶接し，次にそのパラレル
電極がそれらと直角な他の一対の辺を溶接するといった
方法もあるが，この場合も溶接速度が遅く，量産ライン
への適用は不向きであった。したがって，本発明では搬
送ライン上を次々と送られてくるケースと蓋を溶接する
のに適した，しかも無人で信頼性の高い良好な封止パッ
ケージを生産するのに適した装置を提供することを目的
としている。

【問題点を解決するための手段】第１の発明は，所定の
回路素子又は電子回路を収納してなるケースと蓋とをシ
ーム溶接する装置であって，順次搬送されて来るケース
の対応するものに供給されるべき蓋を複数積載可能な蓋
積載部と，その蓋積載部とケースとの間に位置し，蓋積
載部から移載された蓋を少なくとも両側から挟んで一定
位置に位置決めするアライメント部と，蓋積載部から蓋
をアライメント部に移載し，またアライメント部から蓋
を対応するケースに移載する蓋移載機構とを備えたもの
である。第２の発明は，所定の回路素子又は電子回路を
収納してなるケースと蓋とをシーム溶接する装置であっ
て，ケース各々の位置決めを行う凹所を複数ほぼ一定間
隔で備えた板状部材であり，前記凹所に前記ケースを載
置した状態で搬送手段により順次搬送されるワークカセ
ットと，ケースに斜め方向の押圧力を与えてそのケース
をワークカセットの凹所の１つの角部を基準に位置決め
するケース位置決め機構と，ケースのそれぞれに蓋を供
給する蓋供給機構と，を備えている。第３の発明は，所
定の回路素子又は電子回路を収納してなるケース各々の
位置決めを行う凹所を複数ほぼ一定間隔で備えた板状部
材であって，その凹所に前記ケースを載置した状態で搬
送手段により順次搬送されるワークカセットと，搬送手
段に沿って位置し，ワークカセット上のケースと蓋が所
定位置に停止したときその蓋に所定の加圧を加えるまで
仮付け用電極を下降させて前記蓋をケースに仮付けする
仮付け機構と，搬送手段に沿って前記仮付け機構より下
流に位置し，ワークカセット上のケースと蓋が所定位置
に停止したときその蓋に所定の加圧を加えるまで溶接用
電極を下降させた後，溶接用電極を回動させてケースと
蓋の対向し合う２辺をシーム溶接するＸ方向溶接機構
と，搬送手段に沿って前記仮付け機構より下流に位置
し，ワークカセット上の前記ケースと蓋が所定位置に停
止したときその蓋に所定の加圧を加えるまで溶接用電極
を下降させた後，その溶接用電極を回動させてケースと
蓋の前記２辺と直角な他の２辺をシーム溶接して封止パ
ッケージとするＹ方向溶接機構と，搬送手段により搬送
されてくる前記封止パッケージを排出する排出機構とを
備えている。第４の発明は，ほぼ一定間隔で備えた複数
の凹所にケースを載置してなる金属製ワークカセットを
複数収納可能なマガジンと，マガジンを収納し所定温度
でそのマガジンに収められたワークカセット上のケース
のベーキングを行うベーク炉と，該ベーク炉から供給さ
れたケースの酸化を防ぐため不活性のガスが充満されて
おり，マガジンから金属製ワークカセットを搬送手段又
は受け台上にワークカセットを一個宛送り出すワークカ
セット供給室と，金属製ワークカセット上のケースのそ
れぞれに蓋を供給する蓋供給機構と，搬送手段に沿って
位置し，ワークカセット上のケースと蓋が所定位置に停
止したときその蓋に所定の加圧を加えるまで溶接用電極
を下降させた後，その溶接用電極に通電してケースと蓋
の対向し合う２辺を溶接するＸ方向溶接機構と，搬送手
段に沿って位置しワークカセット上のケースと蓋が所定
位置に停止したときその蓋に所定の加圧を加えるまで溶
接用電極を下降させた後，その溶接用電極に通電してワ
ークの前記２辺と直角な他の２辺を溶接して封止パッケ
ージとするＹ方向溶接機構と，搬送手段から封止パッケ
ージをワークカセットごと排出する排出機構を備えたた
ものである。

【実施例】以下図面により本発明の一実施例について説
明する。図１において，この製造設備は大きく分けて，
ワークを加熱するためのベーク炉１，ワークの酸化を防
ぐためのワークカセット供給部２，ケースと蓋を組み合
わせて封止パッケージを得るための封止機構部３，およ
びパッケージを排出するための排出部４とで構成され
る。ベーク炉１は，マガジン５に１０段積載された図２
に示すような金属製のワークカッセット６に予め載置さ
れたケース内の回路素子などをベーキングして所望の特
性を得るためのものであり，複数のワークカッセット６
を同時に収容できる大きさをもっている。マガジン５は
ベーク炉１の出口からワークカッセット供給室２に入れ
られる。このワークカッセット供給室２はベーク炉１か
ら供給されたばかりのケースの温度が高いため，ケース
内の回路素子などが酸化するのを防ぐために窒素ガスが
充満されている。このワークカッセット供給室２でワー
クカッセット６は室内に設置された送り出し機構２Ａに
よりワークカッセット６が１個宛，通常のベルトコンベ
アのような搬送手段７上に送られる。勿論，この搬送手
段７上に供給する前に，受け台（図示せず）上に一旦供
給した後で搬送手段７に供給してもよい。ワークカッセ
ット６が全て取り出されたマガジン５は，ワークカッセ
ット供給室２から取り出されるが，このとき大気が流れ
込むのを防ぐため，まず小室２Ｂに入れられ，それらの
間の仕切りを閉じた後，外部に取り出される。小室２Ｂ
からマガジン５を外部に取り出すとき，小室２Ｂには大
気が流入するが，小室２Ｂはワークカセット供給室２に
比べてかなり容積が小さいので，必要な窒素ガス量は大
幅に少なくて済む。ここで，ワークカッセット６は単な
る搬送用治具ではなく，他の機構と協働してケースの位
置決め治具としても働く。次に封止機構部３には，ワー
クカセット供給室２からのワークカッセット６を排出部
４まで搬送する搬送手段７に沿って，ワークカッセット
６の凹所に納められたケースに斜め方向の押圧力を与え
てそのケースを凹所の１つの角部へ位置決めする，図３
および図４に示すようなケース位置決め機構８，図５に
示すように蓋積載部９Ａから蓋をアライメント部９Ｂを
介して移載ヘッド９Ｃにより１個宛，搬送手段７上を順
次搬送されて来るケースに供給する蓋供給機構９，仮付
け時，又は溶接時にワークカッセット６の凹所に納めら
れたケースを吸着する吸着装置１０，蓋をケースに仮付
けする仮付け機構１１，蓋とケースのＹ軸方向の２辺を
溶接するＹ軸方向溶接機構１２，および蓋とケースのＸ
軸方向の２辺を溶接するＸ軸方向溶接機構１３などが備
えられている。そしてこの封止機構部３には窒素ガスが
充満している。搬送手段７により搬送されるワークカッ
セット６は，図２に示すように帯状の金属板の中央長手
方向に沿って一定間隔でケースを位置決めするための凹
所６Ａを１０個，各凹所６Ａの両側に設けられたワーク
カッセット位置決め用の孔６Ｂを備えている。そして各
凹所６Ａの底部には吸引孔６Ｃが形成されており，後で
詳述するように仮り付けおよび各溶接が行われるとき，
吸引孔６Ｃを通してケースを吸引して安定させる。各凹
所６Ａは４隅が円上になっており，ケースの角がワーク
カッセット６の側壁の金属材料に当たらないようになっ
ている。これにより各凹所６Ａの４辺の側壁とケースの
側壁との間に隙間ができないよう，各凹所６Ａ内にケー
スを遊びが無いよう安定に保持できる。しかしながら，
実際の装置では各凹所６Ａ内でケースの遊びが無いよう
にそれぞれの寸法を設定すると，各凹所６Ａ内にケース
を容易に入れることができないので，この実施例では各
凹所６Ａの寸法はケースが容易にセットできる程度に大
きく設定されている。このように遊びがあると，各凹所
６Ａ内でのケースの位置がバラバラになり，次の段階で
蓋をケースの所定箇所に正確に供給できないという問題
が生じるので，図３（Ａ），（Ｂ）に示すように，ケー
ス位置決め部材８Ａによりワークカッセット６の凹所６
Ａに納められたケースＨに斜め方向（例えば，ワークカ
ッセット６の長手方向に対して４５度）の押圧力を与え
て，そのケースＨを凹所６Ａの１つの角部へ位置決めす
るようにしている。これによりケースＨは必ず凹所６Ａ
の一定箇所に位置する。このようなケース位置決め部材
８Ａを備えるケース位置決め機構８は，図４に示すよう
にその他にシリンダロッド８ｂを有するシリンダ８Ｂ，
シリンダロッド８ｂの先端に固定され，ケース位置決め
部材８Ａを支持する支持部材８Ｃ，支持部材８Ｃを水平
レベルに沿って案内するガイド部材８Ｄなどからなる。
このガイド部材はレール８d1とリニアモーションベアリ
ング８d2などからなる。そしてケース位置決め機構８は
後述するケースと蓋との仮付け位置にあり，搬送手段７
により搬送されるワークカッセット６が停止，つまりケ
ースが停止すると同時に，シリンダ８Ｂが動作し，その
シリンダロッド８ｂが前進することによりケース位置決
め部材８Ａが前進して，図３で示すようにケース位置決
め部材８ＡでケースＨの位置決めを行う。しかる後，図
３（Ｂ）に示すように，ワークカッセット６の下方に位
置する吸引装置１０Ａの吸着パッド１０ａがシリンダロ
ッド１０ｂの前進により上昇し，ワークカッセット６の
凹所６Ａの底部に設けられた孔６Ｃを塞ぐよう，ワーク
カッセット６の裏側に当接する。吸引装置１０Ａの吸引
作用により，ケースＨはワークカッセット６の凹所６Ａ
に位置決めされた状態で，図５に示すように蓋供給機構
９の蓋積載部９Ａから蓋Ｌが１個宛ケースＨに供給され
る。蓋ＬをケースＨに正確に供給するために，蓋積載部
９Ａに多数積載された蓋Ｌは１個づつ，一旦アライメン
ト部９Ｂに移載され，アライメント部９Ｂからワークカ
ッセット６上のケースＨに供給される。蓋積載部９Ａは
多数の蓋Ｌをセットし易いように蓋の幅より幾分大きい
断面コの字状の収納部を備えており，そしてその下部に
は，図示しないが，最も上に位置する蓋が一定レベルに
あるように，蓋が取り出される毎に蓋の厚みだけ積載さ
れた蓋を上昇させるような上下動機構が備えられてい
る。このように，多数の蓋Ｌを蓋積載部９Ａの収納部に
積載しセットし易いように，蓋Ｌの寸法に対してその収
納部の寸法に余裕を持たせたため遊びが生じることもあ
って，蓋移載ヘッド９Ｃにより蓋積載部９Ａから直接蓋
Ｌをワークカッセット６上のケースＨに供給すると，蓋
ＬがケースＨに対し所望の位置関係で供給されない場合
も多く，不良品が発生することも多い。したがって，こ
の実施例ではワークカッセット６と蓋積載部９Ａとの間
の距離を２等分した中間点にアライメント部９Ｂを備え
ている。アライメント部９Ｂは蓋積載部９Ａからの蓋Ｌ
を載置する平面を有し，その平面に載置された蓋Ｌを図
５（Ｂ）に示すような位置決め部材９b1, ９b2で挟んで
一定箇所に位置させる。位置決め部材９b1，９b2は蓋Ｌ
の長幅よりも大きい幅をもち，位置決め部材９b2はその
矢印方向に対し直角な先端面を有するが，位置決め部材
９b1は両側から幅中央に向かって低くなる断面Ｖ字状の
先端面を有する。これら位置決め部材９b1，９b2は，互
いに逆方向，つまりそれぞれの矢印方向に等速度で動く
ことにより，必ず一定箇所に位置させる。この機構でも
かなりの精度で蓋Ｌの位置決めができるが，更に高精度
の位置決めが必要とされる場合には，蓋Ｌを四方から同
様にして挟む機構を用いればよい。蓋積載部９Ａからア
ライメント部９Ｂへ，またアライメント部９Ｂからワー
クカッセット６上のケースＨへそれぞれ蓋Ｌを移載する
蓋移載ヘッド９Ｃは，２つの吸着グリップ９c1 ,９c2を
有する。吸着グリップ９c1 ,９c2それぞれが蓋積載部９
Ａの蓋Ｌのほぼ中央，アライメント部９Ｂ上の位置決め
された蓋Ｌのほぼ中央をそれぞれ同時に吸着できるよ
う，２つの吸着グリップ９c1と９c2との間の間隔はワー
クカッセット６上のケースＨのほぼ中央と蓋積載部９Ａ
上の蓋Ｌのほぼ中央との間の距離を２等分した距離に等
しくなっている。したがって，一方の吸着グリップ９c1
により蓋積載部９Ａからアライメント部９Ｂへ蓋Ｌを運
び，同時に他方の吸着グリップ９c2でアライメント部９
Ｂ上の蓋をワークカッセット６上のケースＨの所定位置
へ移載する。この移載時，吸着グリップ９c2は蓋Ｌをケ
ースＨに所定の加圧力で押しつける。このように吸着グ
リップ９c2が蓋ＬとケースＨとを正確に位置決めを保持
した状態で，仮付け機構部１１が動作を開始し，図６に
示すように仮付け用電極１１Ａ，１１Ｂが前進すると共
に，蓋Ｌの短辺に所定の加圧を与えるまで降下し，しか
る後仮付け用電極１１Ａと１１Ｂ間に電圧を印加して蓋
ＬとケースＨとを仮付けするので，仮付け用電極１１
Ａ，１１Ｂが蓋Ｌに接触するときに蓋ＬとケースＨが決
してずれることが無く，必ず蓋ＬとケースＨとを正確に
位置決めした状態で刈る付けできる。この場合，ケース
Ｈが良好な導電性を有するならば，仮付け用電極１１
Ａ，１１Ｂそれぞれと接地状態にあるワークカセット６
との間に電圧を印加し，蓋ＬとケースＨ間に電流を短時
間だけ流して仮付けすることも可能である。仮付け用電
極１１Ａ，１１Ｂが蓋Ｌに加圧を与えると同時に，吸着
グリップ９c2が蓋ＬとケースＨを開放し，次の蓋移載動
作に入る。そして蓋ＬとケースＨの仮付けが完了する
と，仮付け用電極１１Ａ，１１Ｂは上昇すると共に，吸
引装置１０Ａの吸着パッド１０ａも吸引動作を止めて下
降し，搬送手段７によりワークカッセット６上の蓋Ｌと
ケースＨはＹ方向溶接機構部１２へ送られ，その所定位
置で停止する。このときワークカッセット６を所定位置
に正確に停止させるため，特に図示しないが，ピンが下
方から上昇しワークカッセット６の孔６Ｂに入る。又
は，搬送手段７の種類によってそのピンがワークカッセ
ット６の孔６Ｂに入った状態で，ワークカッセット６が
搬送されることもある。また，仮付け用電極１１Ａ，１
１Ｂが１か所だけ汚れたり，磨耗するのを防ぐため，図
７に示すように，自由回転できるよう軸支された仮付け
用電極１１Ａ，１１Ｂが上昇又は下降するとき，前進・
後退が可能な弾性部材１１Ｃが仮付け用電極１１Ａ，１
１Ｂに接することにより，これら電極は回転する。した
がって，仮付け用電極１１Ａ，１１Ｂのいろいろな箇所
で仮付けが行われ，所期の目的を達成することができ
る。次に蓋ＬとケースＨがＹ方向溶接機構部１２の所定
位置で停止すると，Ｙ方向溶接機構部１２が動作を開始
し，その断面台形のロール状電極１２Ａ，１２Ｂが降下
して蓋Ｌに所定の加圧を与え，ワークカッセット６の長
手方向に回動する。この際，ロール状電極１２Ａと１２
Ｂとの間には所定の電圧が印加されているので，ロール
状電極１２Ａ，１２Ｂが回動するのに伴い蓋Ｌとケース
Ｈの対向する一対の辺がシーム溶接される。このとき図
３（Ｂ）で示すような吸引装置と同様な吸引装置１０Ｂ
が同じように働く。このようにＹ方向に一対の辺のシー
ム溶接が完了すると，ロール状電極１２Ａ，１２Ｂが蓋
Ｌから離れ，再び搬送手段７により蓋ＬとケースＨはワ
ークカッセット６ともどもＸ方向溶接機構部１３へ運ば
れる。そしてＹ方向溶接機構部１２と同様に，ロール状
電極１３Ａ，１３Ｂが動作して蓋ＬとケースＨの対向す
る他方の一対の辺をシーム溶接する。Ｘ方向溶接機構部
１３で蓋ＬとケースＨの対向する他方の一対の辺をシー
ム溶接している間に，並行してＹ方向溶接機構部１２で
も別の蓋ＬとケースＨの対向する一対の辺をシーム溶接
しており，また仮付け機構部１１でも新たな蓋Ｌとケー
スＨの仮付けを行っている。したがって，この溶接工程
では，蓋ＬとケースＨの長手方向の辺を溶接するＸ方向
溶接機構部１３での溶接時間が最も長いとすると，その
溶接時間に等しい時間を停止時間として搬送手段７が間
欠的に動作すれば良いので，一辺の溶接のみに必要な時
間に等しい長さの時間毎に封止されたパッケージが得ら
れ，従来に比べて溶接時間が大幅に短縮できる。ここ
で，仮付け機構部１１，Ｙ方向溶接機構部１２，Ｘ方向
溶接機構部１３のシーム溶接装置として同一構成のもの
を用いた。特に仮付け機構部１１では，蓋ＬとケースＨ
の一点だけを溶接すれば足りるのであるが，ロール状の
電極を用いることにより，その汚れと磨耗が小さく信頼
性の高い仮付け動作を長期間にわたって行うことができ
る。しかしこのことは本発明の必須要件ではない。ま
た，この実施例では，溶接時間に比べて短時間で仮付け
作業を行える仮付け部１１でケースの位置決めを行い，
そして正確に位置決めされた蓋をケースに供給している
ので，更にこのことが溶接サイクルを短縮している。こ
のようにして溶接されシールされた蓋ＬとケースＨから
なるパッケージは，ベーキングから排出まで一度もワー
クカッセット６から取り出されることなく，排出部４に
おいてワークカッセット６ごと搬送手段７から取り出さ
れ，排出部４にて待機せるマガジン１４に順次積載され
排出される。マガジン１４はマガジン５と同様なもので
ある。

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば，下記
のような効果を得ることができる。 （１）蓋積載部から一旦蓋をアライメント部に移して所
定の位置決めを行い，しかる後にケース上に供給し，蓋
位置決め機構により蓋とケースとの位置関係を所望の状
態に維持しながら，これらを仮付けし溶接するので，自
動封止ラインにおいても蓋とケースとの位置ずれが無い
信頼性の高い封止パッケージを得ることができる。 （２）ワークカセットの凹所にセットしたケースを，ケ
ース位置決め機構により，その凹所の一隅に押し付けて
位置決めを行い，その位置決めした状態でケース上に蓋
を供給しているので，ワークカセットの凹所とケースと
の間に遊びがあっても正確にケース上に蓋を供給でき，
また蓋をワークカセットの凹所に容易にセットできる。 （３）搬送手段により順次搬送されるワークカセット上
の蓋とケースとの対向する一対の辺２組を別々のシーム
溶接機構によりシリーズで溶接しているので，従来に比
べて溶接時間が短縮できる。 （４）金属製のワークカセットを用い，そのワークカセ
ットにケースをセットすることにより，ベーキング工程
から封止工程，排出工程までケース又はケースと蓋から
なるワークをワークカセットからその後一回も外すこと
くワークカセット単位で処理できるので，電子部品製造
設備の機構を簡素化できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の全体図を示す図である。

【図２】本発明の一実施例に用いられるワークカセット
の一例を示す図である。

【図３】本発明の一実施例を説明するための図である。

【図４】本発明の一実施例を説明するための図である。

【図５】本発明の一実施例を説明するための図である。

【図６】本発明の一実施例を説明するための図である。

【図７】本発明の一実施例を説明するための図である。

【図８】従来例を説明するための図である。

【符号の説明】

１・・・・ベーク炉 ２・・・・ワークカセット供給部 ３・・・・封止機構部 ４・・・・排出部 ５・・・・マガジン ６・・・・ワークカセット ６Ａ・・・ワークカセットの凹所 ７・・・・搬送手段 ８・・・・ケース位置決め機構 ８Ａ・・・ケース位置決め部材 ９・・・・蓋供給機構 ９Ａ・・・蓋積載部 ９Ｂ・・・アライメント部 ９Ｃ・・・蓋移載ヘッド １０・・・・吸引装置 １１・・・・仮付け機構 １２・・・・Ｙ軸方向溶接機構 １３・・・・Ｘ軸方向溶接機構 １４・・・・マガジン Ｈ・・・・ケース Ｌ・・・・蓋

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ２３Ｋ 101:36

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の回路素子又は電子回路を収納して
   なるケースと蓋とをシーム溶接する装置において，順次
   搬送されて来る前記ケースの対応するものに供給される
   べき蓋を複数積載可能な蓋積載部と，該蓋積載部と前記
   順次搬送されて来るケースとの間に位置し，該蓋積載部
   から移載された前記蓋を少なくとも両側から挟んで一定
   位置に位置決めするアライメント部と，前記蓋積載部か
   ら蓋を前記アライメント部に移載し，また該アライメン
   ト部から蓋を前記対応するケースに移載する蓋移載機構
   と，一対のロール状電極を１組以上備える溶接機構と，
   を備えたことを特徴とするシーム溶接装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のシーム溶接装置におい
   て，前記蓋移載機構は前記蓋が前記ケースに仮付けされ
   るまで，その蓋を押さえることを特徴とするシーム溶接
   装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載のシーム溶接装置
   において，前記アライメント部が，前記蓋積載部と前記
   順次搬送されて来るケースとの間の距離を２等分した位
   置に配置され，前記蓋移載機構が，前記蓋積載部と前記
   アライメント部間の距離に等しい距離だけ離れた位置に
   ２つの吸着グリップを備え，前記蓋積載部から蓋を前記
   アライメント部に移載すると同時に，そのアライメント
   部から蓋を前記順次搬送されて来るケースに移載するこ
   とを特徴とするシーム溶接装置。
4. 【請求項４】 所定の回路素子又は電子回路を収納して
   なるケースと蓋とをシーム溶接する装置において，前記
   ケース各々の位置決めを行う凹所を複数ほぼ一定間隔で
   備えた板状部材であって，前記凹所に前記ケースを載置
   した状態で搬送手段により順次搬送されるワークカセッ
   ト，前記ケースに斜め方向の押圧力を与えてそのケース
   を前記ワークカセットの凹所の１つの角部を基準に位置
   決めするケース位置決め機構，前記ケースのそれぞれに
   蓋を供給する蓋供給機構，一対のロール状電極を１組以
   上備える溶接機構と，を備えたことを特徴とするシーム
   溶接装置。
5. 【請求項５】 請求項４に記載のシーム溶接装置におい
   て，ケース位置決め機構は，蓋がケースに供給されるま
   でそのケースの位置決め作用を継続することを特徴とす
   るシーム溶接装置。
6. 【請求項６】 所定の回路素子又は電子回路を収納して
   なるケースと蓋とをシーム溶接する装置において，前記
   ケース各々の位置決めを行う凹所を複数ほぼ一定間隔で
   備えた板状部材であって，前記凹所に前記ケースを載置
   した状態で搬送手段により順次搬送されるワークカセッ
   ト，前記搬送手段に沿って位置し，該ワークカセット上
   の前記ケースと蓋が所定位置に停止したときその蓋に所
   定の加圧を加えるまで仮付け用電極を下降させて前記蓋
   をケースに仮付けする仮付け機構，前記搬送手段に沿っ
   て前記仮付け機構より下流に位置し，前記ワークカセッ
   ト上の前記ケースと蓋が所定位置に停止したときその蓋
   に所定の加圧を加えるまで溶接用電極を下降させた後，
   該溶接用電極を回動させて前記ケースと蓋の対向し合う
   ２辺をシーム溶接するＸ方向溶接機構，前記搬送手段に
   沿って前記仮付け機構より下流に位置し，前記ワークカ
   セット上の前記ケースと蓋が所定位置に停止したときそ
   の蓋に所定の加圧を加えるまで溶接用電極を下降させた
   後，該溶接用電極を回動させて前記ケースと蓋の前記２
   辺と直角な他の２辺をシーム溶接して封止パッケージと
   するＹ方向溶接機構，および前記搬送手段により搬送さ
   れてくる前記封止パッケージを排出する排出機構を備え
   たことを特徴とするシーム溶接装置。
7. 【請求項７】 請求項６に記載のシーム溶接装置におい
   て，前記仮付け用電極が移動中に回転することを特徴と
   するシーム溶接装置。
8. 【請求項８】 所定の回路素子又は電子回路をケース内
   に収納してなる電子部品を製造する設備において，ほぼ
   一定間隔で備えた複数の凹所に前記ケースを載置してな
   る金属製ワークカセットを複数収納可能なマガジン，該
   マガジンを収納し，所定温度でそのマガジンに収められ
   た前記ワークカセット上の前記ケースのベーキングを行
   うベーク炉，該ベーク炉から供給された前記ケースの酸
   化を防ぐため不活性のガスが充満されており，前記マガ
   ジンから前記金属製ワークカセットを搬送手段又は受け
   台上にワークカセットを一個宛送り出すワークカセット
   供給室，前記金属製ワークカセット上の前記ケースのそ
   れぞれに蓋を供給する蓋供給機構，前記搬送手段に沿っ
   て位置し，前記ワークカセット上の前記ケースと蓋が所
   定位置に停止したときその蓋に所定の加圧を加えるまで
   溶接用電極を移動させ，該溶接用電極に通電して前記ケ
   ースと蓋の対向し合う２辺を溶接するＸ方向溶接機構，
   前記搬送手段に沿って位置し，前記ワークカセット上の
   前記ケースと蓋が所定位置に停止したときその蓋に所定
   の加圧を加えるまで溶接用電極を下降させた後，該溶接
   用電極に通電して前記ワークの前記２辺と直角な他の２
   辺を溶接して封止パッケージとするＹ方向溶接機構，お
   よび前記搬送手段から前記封止パッケージを前記ワーク
   カセットごと排出する排出機構を備えたことを特徴とす
   る電子部品の製造設備。
9. 【請求項９】 請求項６乃至８のいずれかに記載された
   シーム溶接装置において，前記ワークカセットはその凹
   所の底部に吸引穴を備え，前記Ｘ方向溶接機構，Ｙ方向
   溶接機構それぞれの前記溶接用電極が回動する際に前記
   吸引穴を通して吸引を行う吸引機構を備えたことを特徴
   とするシーム溶接装置。