JPH0964220A - パッケ−ジのキャップ仮止め用ヘッドとキャップ仮止め装置 - Google Patents

パッケ−ジのキャップ仮止め用ヘッドとキャップ仮止め装置

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JPH0964220A
JPH0964220A JP24255095A JP24255095A JPH0964220A JP H0964220 A JPH0964220 A JP H0964220A JP 24255095 A JP24255095 A JP 24255095A JP 24255095 A JP24255095 A JP 24255095A JP H0964220 A JPH0964220 A JP H0964220A
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 半導体素子,IC,水晶振動子等のチップを
収納するセラミックあるいは金属性のパッケ−ジを,マ
イクロパラレルシ−ム接合法などによりキャップで気密
封止する際に,金属製のキャップ仮止め用ヘッドと該ヘ
ッドを使用したキャップ仮止め装置を提供する。 【解決手段】 パッケ−ジを位置決めするセンタリング
エリアからパッケ−ジ1とキャップ2とを仮止めするた
めのワ−クエリアまでキャップを吸着した状態で移動す
るとともに,このキャップをパッケ−ジに載置する吸着
ヘッド19と,パッケ−ジに載置されたキャップをパッ
ケ−ジに仮止めするための溶接ヘッド20とからなり,
吸着ヘッド19のノズル19aが溶接ヘッドの対向する
一対の電極20aの間隙に位置するように吸着ヘッド1
9と溶接ヘッド20とを水平方向および垂直方向に一体
的に移動可能に連設するようにしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は,半導体素子,I
C,水晶振動子等のチップを収納するセラミックあるい
は金属性のパッケ−ジを,マイクロパラレルシ−ム接合
法などによりキャップで気密封止する際に,金属製のキ
ャップを仮止めするためのキャップ仮止め用ヘッドとこ
のキャップ仮止め用ヘッドを使用したキャップ仮止め装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来,チップをパッケ−ジに気密封止す
る方法として,マイクロパラレルシ−ム接合法が広く用
いられている。そして,パッケ−ジとしては,セラミッ
ク基板に金属製のシ−ルフレ−ムを接合したセラミック
製のパッケ−ジや,全体が金属で形成されている金属製
のパッケ−ジ等があり,これらのパッケ−ジは,キャリ
ア上に位置決めされて多数搭載されている。
【0003】このキャリアに搭載されているパッケ−ジ
の内部には,リ−ドが配線されたチップが収納されてお
り,リ−ドの内部配線終了後,パッケ−ジの開口端部は
キャップで覆われる。そして,このキャップの互いに対
向する周縁に沿って回転する一対のテ−パ−つきのロ−
ラ電極(それぞれX方向とY方向とを回転する)に加
圧,通電して,パッケ−ジとキャップとは,その接合部
に発生するジュ−ル熱によりシ−ム溶接されている。
【0004】この際,一対のロ−ラ電極をキャップの対
向する縁部に沿って転接させる際には,パッケ−ジの開
口端部を覆っているキャップが移動し易いという欠点が
あった。そこで,従来はシ−ム接合する前工程でキャッ
プをパッケ−ジ開口端部に仮止めするためのスポット溶
接が行われている。
【0005】即ち,センタリングエリアでパッケ−ジの
位置決めがなされた後,このパッケ−ジを搭載したキャ
リアは,仮止め装置のワ−クエリアに搬送される。ここ
で,吸着ヘッドに吸着されたキャップが,キャリア上に
搭載されているパッケ−ジの開口端部に載置され,次い
で,一対の電極に通電しつつ,この電極をキャップ周縁
部に押圧してパッケ−ジとキャップとがスポット溶接さ
れて仮止めされている。
【0006】図5,図6に示すように,パッケ−ジ1と
キャップ2とを仮止めするためには,センタリングエリ
アでパッケ−ジ1を位置決めした後,この位置決めされ
たパッケ−ジ1を搭載したキャリアは,ワ−クエリアに
搬送される。ここで,キャップ2は吸着ヘッド3に吸着
されてワ−クエリアに移動し(矢印A),溶接ヘッド4
が上昇すると同時に吸着ヘッド3が下降してキャップ2
がパッケ−ジ1に載置された後(矢印B),吸着ヘッド
3がワ−クエリアから移動すると同時に溶接ヘッド4が
再度下降して(矢印C),この溶接ヘッド4の一対のロ
−ラ電極4aが通電しつつキャップ周縁部に押圧される
と,パッケ−ジ1とキャップ2とがスポット溶接されて
仮止めされる。
【0007】そして,この仮止めされたパッケ−ジ1と
キャップ2とは,キャリア上に載置されてマイクロパラ
レルシ−ム接合装置(図示せず)のワ−クテ−ブルに搬
送され,シ−ム接合され,気密封止されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】このように,パッケ−
ジ1とキャップ2とを仮止めする場合には,矢印A,
B,Cで示すように吸着ヘッド3と溶接ヘッド4との動
作として3動作が必要である。特に吸着ヘッド3の移動
動作に時間がかかるという問題がある。その上,吸着ヘ
ッド3と溶接ヘッド4とは,連動しつつ別々の動作を行
うため,機械的な構造も複雑となり,それだけキャップ
仮止め装置としてコストがかかるという問題もある。
【0009】
【課題を解決するための手段】第1の発明は,パッケ−
ジを位置決めするセンタリングエリアからパッケ−ジと
キャップとを仮止めするためのワ−クエリアまでキャッ
プを吸着した状態で移動するとともに,このキャップを
パッケ−ジに載置する吸着ヘッドと,パッケ−ジに載置
されたキャップをパッケ−ジに仮止めするための溶接ヘ
ッドとからなり,吸着ヘッドのノズルが溶接ヘッドの対
向する一対の電極の間隙に位置するように吸着ヘッドと
溶接ヘッドとを水平方向および垂直方向に一体的に移動
可能に連設するようにしたものである。
【0010】第2の発明は,キャップカセットからパッ
ケ−ジを位置決めするセンタリングエリアまで水平方向
に移動可能であるとともに,昇降する第1の吸着ヘッド
と,パッケ−ジを搬送する搬送機構と,パッケ−ジを位
置決めするセンタリングエリアからパッケ−ジとキャッ
プとを仮止めするためのワ−クエリアまでキャップを吸
着した状態で移動するとともに,このキャップをパッケ
−ジに載置する吸着ヘッドと,パッケ−ジに載置された
キャップをパッケ−ジに仮止めするための溶接ヘッドと
からなり,吸着ヘッドのノズルが溶接ヘッドの対向する
一対の電極の間隙に位置するように吸着ヘッドと溶接ヘ
ッドとを一体的に移動可能に連設したキャップ仮止め用
ヘッドと,溶接ヘッドを昇降させる溶接ヘッド用ア−ム
と第1及び第2の吸着ヘッドを昇降させる吸着ヘッド用
ア−ムとが当接して第2の吸着ヘッドが下降した直後
に,溶接ヘッドが下降するようにロ−タリ−シリンダに
軸着した偏心カムとを有する仮止め用ヘッドの駆動機構
とを備えたものである。
【0011】
【発明の実施の形態】この発明の実施例を,図1〜図4
に基づいて詳細に説明する。図1はこの発明の実施例を
示す要部正面図,図2は図1の要部上面図,図3は仮止
め用ヘッド18の説明図,図4はパッケ−ジ1とキャッ
プ2とをシ−ム接合する際の要部工程図である。なお,
従来例と同一のものは,同一名称,同一符号を付すとと
もに,その説明を省略する。
【0012】図1,図2および図4おいて,10は第1
の吸着ヘッドで,キャップカセット12を吸着してキャ
ップ供給部11からセンタリングエリア(センタリング
ユニット13が設置されているエリア)まで移動可能に
設定されており,吸着ヘッド用基板14に固着されてい
るLMガイド15に保持されている。16は第1の吸着
ヘッド10の垂直方向の動作を検知するセンサ−であ
る。17は吸着ヘッド10のノズル10aを固定する固
定ねじである。
【0013】18は仮止め用ヘッドで,第2の吸着ヘッ
ド19と溶接ヘッド20とが一体となって水平方向およ
び垂直方向に移動出来るように両者を一体化して形成さ
れており,パッケ−ジ1に位置決めされたキャップ2を
吸着してセンタリングエリアから仮止めするためのワ−
クエリアまで移動可能に設定されている。
【0014】そして,図2,図3に示すように,第2の
吸着ヘッド19と溶接ヘッド20とは,ヘッド用基板2
1(前基板21aと後基板21bとがねじ22により一
体的に固定されている)の前面(前基板21aの前面)
に固着されているLMガイド23と背面(後基板21b
の背面)に固着されているLMガイド24とにそれぞれ
上下動自在に保持されているが,この両者の位置関係
は,第2の吸着ヘッド19のノズル19aが,溶接ヘッ
ド20の電極20aと電極20aとの間隙(一対の電極
20aにより,パッケ−ジ1とキャップ2とを仮止めす
るためにスポット溶接される間隔に相当する)に位置す
るように配設されている。
【0015】25は偏心カムで,吸着ヘッド19と溶接
ヘッド20との垂直方向の動作が,第2の吸着ヘッド1
9が降下した後に溶接ヘッド20が降下するように制御
するものである。なお,原則としては仮止め用ヘッド1
8を構成する吸着ヘッド19と溶接ヘッド20とは一体
的に形成され,一体的に移動するように構成されてい
る。
【0016】偏心カム25は,ヘッド用基板21に回転
自在に支持されているロ−タリ−シリンダ26の軸に軸
着されてこれと同期して回転するように配設されてお
り,この偏心カム25には,この偏心運動に連動してヘ
ッド用基板21に固定されている摺動軸27に沿って上
下動する2本のア−ム(溶接ヘッド用ア−ム28と吸着
ヘッド用ア−ム29)が設けられている。
【0017】溶接ヘッド用ア−ム28は,溶接ヘッド2
0のみを上下動するためのもので,先端部は偏心カム2
5の上部に当接しており,末端部は摺動軸27の上部に
上下動自在に支持されている。吸着ヘッド用ア−ム29
は連接,離脱自在な2本のア−ム(第2の吸着ヘッド用
ア−ム29a,第1の吸着ヘッド用ア−ム29bとによ
り構成されている。
【0018】第2の吸着ヘッド用ア−ム29aは第2の
吸着ヘッド19を上下動するためのもので,その先端部
は偏心カム25に当接しており,末端部は摺動軸27の
下部に上下動自在に支持されている。第1の吸着ヘッド
用ア−ム29bは,第1の吸着ヘッド10を上下動する
ためのもので,その先端部は第2の吸着ヘッド用ア−ム
29aの先端部に連接,離脱自在に当接しており,末端
部は摺動軸30に上下動自在に支持されている。従っ
て,第1の吸着ヘッド10は,第2の吸着ヘッド用ア−
ム29aの先端部が第1の吸着ヘッド用ア−ム29bに
連接された状態の時,偏心カム25の偏心運動に連動し
て上下動するように構成されている。
【0019】31はヒンジ機構で,溶接ヘッド20の電
極20a等を交換する際に,ヘッド用基板21を90°
の範囲内で水平方向に回動出来るようにするためのもの
である。32はストッパ−で,ヘッド用基板21が90
°以上回動しないよう規制している。33は第2の吸着
ヘッド19のストッパ−,34は溶接ヘッド20のスト
ッパ−,35は第2の吸着ヘッド19の上下方向を検出
するセンサ−である。
【0020】図4において,40はオ−ブンチャンバ−
で,パッケ−ジ1を搭載したキャリアがこのオ−ブンチ
ャンバ−40内に収納されて加熱乾燥される。41は仮
止め装置,42はマイクロパラレルシ−ム接合装置で,
パッケ−ジ1とキャップ2との仮止めが終了した後に,
シ−ム溶接するためのもので,Yシ−ムヘッド42a,
Xシ−ムヘッド42b,Yシ−ムエリヤ42c,Xシ−
ムエリヤ42dおよび不良品のパッケ−ジを排出する排
出ユニット42eとにより構成されている。43は搬送
機構である。
【0021】次に,作用動作について説明する。まず,
第1の吸着ヘッド10によるピックアンドフレ−ズ動作
により,キャップ供給部11からキャップカセット13
が吸着されてセンタリングエリアへ移送される。センタ
リングエリアでパッケ−ジ1の位置決めがなされた後,
このパッケ−ジ1を搭載したキャリア(図示せず)は,
仮止め装置41のワ−クエリアに搬送される。
【0022】このワ−クエリアの上方には,水平方向お
よび垂直方向に移動可能な仮止め用ヘッド18が配設さ
れており,この仮止め用ヘッド18の吸着ヘッド19に
よるピックアンドプレ−ズ動作により,キャップ2は1
個づつ負圧により吸着されて各パッケ−ジ1の開口端部
上面に運ばれ,仮止め用ヘッド18が下降してキャップ
2はパッケ−ジ1の開口端部に載置される。
【0023】この際,溶接ヘッド20も吸着ヘッド19
とともに移動しているから,偏心カム25の扁平部分が
上方向に位置するように回転すると,吸着ヘッド用ア−
ム29により吸着ヘッド19が最初に降下し,これに吸
着されているキャップ2が,パッケ−ジ1の開口端部に
載置される。このようにして,すべてのパッケ−ジ1に
キャップ2が載置される。
【0024】続いて,偏心カム25の扁平部分が下方向
に位置するように回転すると,吸着ヘッド用ア−ム29
は僅かに上昇し,反対に溶接ヘッド用ア−ム28が降下
して,通電されて加熱されている一対の電極20aがキ
ャップ周縁部に押圧されてパッケ−ジ1とキャップ2と
がスポット溶接され,仮止めされる。
【0025】このような仮止め用ヘッド18の上下動
は,いずれもLMガイド23,24に沿って行われ,仮
止め用ヘッド18が停止した直後の吸着ヘッド19と溶
接ヘッド20との上下動は,摺動軸27に沿っておこな
われる。
【0026】このように,仮止め用ヘッド18は,セン
タリングエリアからワ−クエリアまで移動するが,この
時,キャップ2は吸着ヘッド19に吸着されてワ−クエ
リアに移動し(矢印A),吸着ヘッド19とともに溶接
ヘッド20も下降して,キャップ2がパッケ−ジ1に載
置されるとほぼ同時にパッケ−ジ1とキャップ2とがス
ポット溶接されて仮止めされる(矢印B)から,図5に
示す従来例のように,吸着ヘッド3が移動した後,溶接
ヘッド4が下降するという矢印Cで示す動作が必要なく
なる。
【0027】このようにして仮止めされたパッケ−ジ1
とキャップ2とは,キャリア上に載置されてマイクロパ
ラレルシ−ム接合装置43のワ−クテ−ブルのYシ−ム
エリヤ42cに搬送され,Yシ−ムヘッド42aにより
Y方向がシ−ム溶接される。次いで,Xシ−ムエリヤ4
2dに搬送されてXシ−ムヘッド42bによりX方向が
シ−ム溶接され,気密封止される。なお,不良品は排出
ユニット42eから排出される。このようにして,キャ
リアに載置されているすべてのキャップ2のシ−ム溶接
が終了すると,このキャリアは次の工程へと搬送され
る。
【0028】なお,搬送機構43の移動停止によるキャ
リアの搬送停止,仮止め用ヘッド18の上昇下降,ロ−
タリ−シリンダ26の回転停止等の一連の動作は,コン
ピュ−タ(図示せず)によりシ−ケンス制御されてい
る。
【0029】
【発明の効果】第1の発明は,パッケ−ジを位置決めす
るセンタリングエリアからパッケ−ジとキャップとを仮
止めするためのワ−クエリアまでキャップを吸着した状
態で移動するとともに,このキャップをパッケ−ジに載
置する吸着ヘッドと,パッケ−ジに載置されたキャップ
をパッケ−ジに仮止めするための溶接ヘッドとからな
り,吸着ヘッドのノズルが溶接ヘッドの対向する一対の
電極の間隙に位置するように吸着ヘッドと溶接ヘッドと
を水平方向および垂直方向に一体的に移動可能に連設す
るようにしたので,吸着ヘッドと溶接ヘッドとの機械的
な構造が従来のものに比較して簡単となり,それだけキ
ャップ仮止め装置としてコストが安くなる。即ち,従来
のものは吸着ヘッドと溶接ヘッドとが連動しつつ別々の
動作を行うため,機械的な構造が複雑であったが,この
発明では機械的な構造も簡単である。
【0030】第2の発明は,キャップカセットからパッ
ケ−ジを位置決めするセンタリングエリアまで水平方向
に移動可能であるとともに,昇降する第1の吸着ヘッド
と,パッケ−ジを搬送する搬送機構と,パッケ−ジを位
置決めするセンタリングエリアからパッケ−ジとキャッ
プとを仮止めするためのワ−クエリアまでキャップを吸
着した状態で移動するとともに,このキャップをパッケ
−ジに載置する吸着ヘッドと,パッケ−ジに載置された
キャップをパッケ−ジに仮止めするための溶接ヘッドと
からなり,吸着ヘッドのノズルが溶接ヘッドの対向する
一対の電極の間隙に位置するように吸着ヘッドと溶接ヘ
ッドとを一体的に移動可能に連設したキャップ仮止め用
ヘッドと,溶接ヘッドを昇降させる溶接ヘッド用ア−ム
と第1及び第2の吸着ヘッドを昇降させる吸着ヘッド用
ア−ムとが当接して第2の吸着ヘッドが下降した直後
に,溶接ヘッドが下降するようにロ−タリ−シリンダに
軸着した偏心カムとを有する仮止め用ヘッドの駆動機構
としたので,従来,吸着ヘッドと溶接ヘッドとの動作と
して3動作が必要であったのに対して,1動作分省略さ
れて2動作となり,それだけ仮止めのためのスポット溶
接の作業時間を節約することが出来る。その上,従来,
吸着ヘッドの移動動作に時間がかかっていた動作が省略
されるから,スポット溶接のための時間をさらに短縮す
ることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例を示す要部正面図である。
【図2】図1の要部上面図である。
【図3】この発明の実施例を示すもので,仮止め用ヘッ
ド18の説明図である。
【図4】パッケ−ジ1とキャップ2とをシ−ム溶接する
際の要部工程図である。
【図5】従来例を示す要部正面図である。
【図6】従来例を示す要部上面図である。
【符号の説明】
1 パッケ−ジ 2 キャップ 10 第1の吸着ヘッド 18 仮止め用ヘッド 19 第2の吸着ヘッド 20 溶接ヘッド 20a 電極 25 偏心カム 26 ロ−タリ−シリンダ 27,30 摺動軸 28 溶接ヘッド用ア−ム 29 吸着ヘッド用ア−ム 41 仮止め装置 42 マイクロパラレルシ−ム接合装置

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 チップを収納したパッケ−ジにキャップ
    を仮止めするためのキャップ仮止め用ヘッドにおいて,
    前記パッケ−ジを位置決めするセンタリングエリアから
    前記パッケ−ジと前記キャップとを仮止めするためのワ
    −クエリアまで前記キャップを吸着した状態で移動する
    とともに,このキャップを前記パッケ−ジに載置する吸
    着ヘッドと,前記パッケ−ジに載置された前記キャップ
    を前記パッケ−ジに仮止めするための溶接ヘッドとから
    なり,前記吸着ヘッドのノズルが前記溶接ヘッドの対向
    する一対の電極の間隙に位置するように前記吸着ヘッド
    と溶接ヘッドとを水平方向および垂直方向に一体的に移
    動可能に連設したことを特徴とするパッケ−ジのキャッ
    プ仮止め用ヘッド。
  2. 【請求項2】 前記吸着ヘッドが下降した直後に前記溶
    接ヘッドが下降するように垂直方向に可動可能な手段を
    設けたことを特徴とする請求項1に記載のパッケ−ジの
    キャップ仮止め用ヘッド。
  3. 【請求項3】 チップを収納したパッケ−ジに,キャッ
    プを仮止めするためのキャップ仮止め装置において,キ
    ャップカセットから前記パッケ−ジを位置決めするセン
    タリングエリアまで水平方向に移動可能であるととも
    に,昇降する第1の吸着ヘッドと,前記パッケ−ジを搬
    送する搬送機構と,前記パッケ−ジを位置決めする前記
    センタリングエリアから前記パッケ−ジと前記キャップ
    とを仮止めするための前記ワ−クエリアまで前記キャッ
    プを吸着した状態で移動するとともに,このキャップを
    前記パッケ−ジに載置する吸着ヘッドと,前記パッケ−
    ジに載置された前記キャップを前記パッケ−ジに仮止め
    するための溶接ヘッドとからなり,前記吸着ヘッドのノ
    ズルが前記溶接ヘッドの対向する一対の電極の間隙に位
    置するように前記吸着ヘッドと前記溶接ヘッドとを一体
    的に移動可能に連設したキャップ仮止め用ヘッドと,前
    記溶接ヘッドを昇降させる溶接ヘッド用ア−ムと前記第
    1及び第2の吸着ヘッドを昇降させる吸着ヘッド用ア−
    ムとが当接して前記第2の吸着ヘッドが下降した直後
    に,前記溶接ヘッドが下降するようにロ−タリ−シリン
    ダに軸着した偏心カムとを有する前記仮止め用ヘッドの
    駆動機構とを備えたことを特徴とするキャップ仮止め装
    置。
JP24255095A 1995-08-28 1995-08-28 チップを収納したパッケ−ジに,キャップを仮止めするためのキャップ仮止め装置 Expired - Lifetime JP3374182B2 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011014756A (ja) * 2009-07-03 2011-01-20 Akim Kk ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置

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JP2011014756A (ja) * 2009-07-03 2011-01-20 Akim Kk ターレットによる複数ヘッド式リッド溶接装置

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