JPH0680411B2 - 衝撃波検出装置 - Google Patents
衝撃波検出装置Info
- Publication number
- JPH0680411B2 JPH0680411B2 JP60129781A JP12978185A JPH0680411B2 JP H0680411 B2 JPH0680411 B2 JP H0680411B2 JP 60129781 A JP60129781 A JP 60129781A JP 12978185 A JP12978185 A JP 12978185A JP H0680411 B2 JPH0680411 B2 JP H0680411B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- shock wave
- vacuum
- optical system
- window
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H7/00—Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は衝撃波検出装置に係り，特に，真空系と実験装
置とをつなぐ真空通路の途中に高速シャッタを設け，実
験装置側での真空破損事故時に真空系側へ突入する大気
の衝撃波を検出して上記高速シャッタを閉じる構成の真
空系保護機構に用いる衝撃波検出装置に関する。
置とをつなぐ真空通路の途中に高速シャッタを設け，実
験装置側での真空破損事故時に真空系側へ突入する大気
の衝撃波を検出して上記高速シャッタを閉じる構成の真
空系保護機構に用いる衝撃波検出装置に関する。
例えばシンクロトロン軌道放射（Synchrotoron Orbital
Radiation,SORと略す）光を利用した研究を行う際に
は，10-7Torr以上の高真空に保った電子蓄積リングから
ビームラインを介してSOR光を取り出し，これらのビー
ムラインの末端に実験装置がそれぞれ接続される構成と
なる。この場合，実験装置側に真空破損等の不慮の事故
が発生しても，電子蓄積リングの高真空系へ影響を与え
ないよう，各ビームラインごとに高速シャッタやディレ
イラインが設けられるが，この高速シャッタの応答時間
を、実験装置側真空破損時に突入する大気の侵入速度よ
り高速にするシステムを確立することが課題となってい
る。
Radiation,SORと略す）光を利用した研究を行う際に
は，10-7Torr以上の高真空に保った電子蓄積リングから
ビームラインを介してSOR光を取り出し，これらのビー
ムラインの末端に実験装置がそれぞれ接続される構成と
なる。この場合，実験装置側に真空破損等の不慮の事故
が発生しても，電子蓄積リングの高真空系へ影響を与え
ないよう，各ビームラインごとに高速シャッタやディレ
イラインが設けられるが，この高速シャッタの応答時間
を、実験装置側真空破損時に突入する大気の侵入速度よ
り高速にするシステムを確立することが課題となってい
る。
上記課題に対処して，佐藤 繁，他「超高真空系用高速
シャッター」，昭和58年電気学会全国大会予稿集,59頁
が提案されている。しかし，上記提案装置では，衝撃波
検出器として排気速度が１/secのイオンポンプを用い
ており，イオン電流値がμＡのオーダであることから，
ノイズを拾って誤動作しやすく，圧力が高くなると，イ
オンポンプの電源が落ちてポンプ動作そのものが停止
し，またイオンポンプの応答時間も数m sec程度であ
り，実用上，これらの点についての対策が充分でないと
いう問題点があった。
シャッター」，昭和58年電気学会全国大会予稿集,59頁
が提案されている。しかし，上記提案装置では，衝撃波
検出器として排気速度が１/secのイオンポンプを用い
ており，イオン電流値がμＡのオーダであることから，
ノイズを拾って誤動作しやすく，圧力が高くなると，イ
オンポンプの電源が落ちてポンプ動作そのものが停止
し，またイオンポンプの応答時間も数m sec程度であ
り，実用上，これらの点についての対策が充分でないと
いう問題点があった。
本発明の目的は，従来技術での上記した問題点を解決
し，ノイズに強く，動作が安定で，かつ，応答速度の速
い衝撃波検出装置を提供することにある。
し，ノイズに強く，動作が安定で，かつ，応答速度の速
い衝撃波検出装置を提供することにある。
本発明では，上記目的を達成するために，真空系と実験
装置とをつなぐ真空通路の途中に高速シャッタを設け，
実験装置側での真空破損事故時に真空系側へ突入する大
気の衝撃波を検出して上記高速シャッタを閉じる構成の
真空系保護機構に用いる衝撃波検出装置において，真空
通路の管壁に光入射窓と光出射窓とを対向させて設け，
上記光入射窓に直線偏光のあるいは偏光していない光束
を入射する光学系と，上記光出射窓から出射してくる光
を収束する光学系と，収束された光を一方の端面に受け
る光ファイバと、この光ファイバの受ける光の明るさの
変化を検出して前記高速シャッタの駆動用信号に変換し
て出力する光検出器とを備えた構成とする。
装置とをつなぐ真空通路の途中に高速シャッタを設け，
実験装置側での真空破損事故時に真空系側へ突入する大
気の衝撃波を検出して上記高速シャッタを閉じる構成の
真空系保護機構に用いる衝撃波検出装置において，真空
通路の管壁に光入射窓と光出射窓とを対向させて設け，
上記光入射窓に直線偏光のあるいは偏光していない光束
を入射する光学系と，上記光出射窓から出射してくる光
を収束する光学系と，収束された光を一方の端面に受け
る光ファイバと、この光ファイバの受ける光の明るさの
変化を検出して前記高速シャッタの駆動用信号に変換し
て出力する光検出器とを備えた構成とする。
超高真空に保たれた真空通路中を一方から衝撃波が突進
する場合，衝撃波の圧力分布は，その波頭部分の超高真
空から後尾部分の大気圧まで急激に変化していることに
なる。この波頭の通路に直角に光を入射させておくと，
波頭通過時に大きな屈折率の変化が生じ，回折像が発生
する。この現象を利用して透明な物体の変化を観察する
方法はシュリーレン法と呼ばれる。本発明は、このシュ
リーレン法の原理を衝撃波検出に応用しようとするもの
である。
する場合，衝撃波の圧力分布は，その波頭部分の超高真
空から後尾部分の大気圧まで急激に変化していることに
なる。この波頭の通路に直角に光を入射させておくと，
波頭通過時に大きな屈折率の変化が生じ，回折像が発生
する。この現象を利用して透明な物体の変化を観察する
方法はシュリーレン法と呼ばれる。本発明は、このシュ
リーレン法の原理を衝撃波検出に応用しようとするもの
である。
以下，本発明の一実施例を第１図により説明する。
電子蓄積リングを例に採り，実験装置30と超高真空系
（電子蓄積リング）40とをつなぐ真空通路（ビームライ
ン）35に，実験装置側に真空破損事故があり,31で示す
Ｘ印の個所から破損による大気侵入があり，これにより
真空通路35中に生じる衝撃波32を検出するものとする。
真空通路35の管壁に，光入射窓６と光出射窓６′とを，
管壁の対向する位置に，それぞれ超高真空に耐えるよう
に設ける。１はレーザ光発振用の電源,2は遠赤外〜赤外
領域の波長の直線偏光したレーザ光を発振するレーザ・
ダイオード,3はビーム拡大用のエクスパンダ,4はビーム
・エクスパンダ３から出たレーザ光を平行光線にするコ
リメータ・レンズ,5は偏光板であり，これらの１〜５で
入射側の光学系を構成する。偏光板５は，電子蓄積リン
グ内のSOR光が例えば水平面内で直線偏光している場合
は，レーザ・ダイオード２で発振するレーザ光は鉛直面
内で直線偏光させ，偏光板５の偏光方向もこのレーザ光
の偏光方向に合せて，光入射窓６に入射させる。
（電子蓄積リング）40とをつなぐ真空通路（ビームライ
ン）35に，実験装置側に真空破損事故があり,31で示す
Ｘ印の個所から破損による大気侵入があり，これにより
真空通路35中に生じる衝撃波32を検出するものとする。
真空通路35の管壁に，光入射窓６と光出射窓６′とを，
管壁の対向する位置に，それぞれ超高真空に耐えるよう
に設ける。１はレーザ光発振用の電源,2は遠赤外〜赤外
領域の波長の直線偏光したレーザ光を発振するレーザ・
ダイオード,3はビーム拡大用のエクスパンダ,4はビーム
・エクスパンダ３から出たレーザ光を平行光線にするコ
リメータ・レンズ,5は偏光板であり，これらの１〜５で
入射側の光学系を構成する。偏光板５は，電子蓄積リン
グ内のSOR光が例えば水平面内で直線偏光している場合
は，レーザ・ダイオード２で発振するレーザ光は鉛直面
内で直線偏光させ，偏光板５の偏光方向もこのレーザ光
の偏光方向に合せて，光入射窓６に入射させる。
５′は上記偏光板５と同じ偏光方向を持つように光出射
側に設けた偏光板,7はレーザ光の発振波長成分のみを通
過させるバンドパスフィルタ,8は結像用のフォーカシン
グ・レンズ,9はレーザ光のうち衝撃波の影響しない成分
をカットするエッヂ,10は，衝撃波32の波頭部分が真空
通路35内のレーザ光を横切る際の光屈折率変化によって
生じる回折像を端面に受ける光ファイバ,11はこの光フ
ァイバ10に生じた回折像を導入して電気信号に変換する
光検出器である。以上の１〜11で，本発明衝撃波検出器
の一実施例が構成される。
側に設けた偏光板,7はレーザ光の発振波長成分のみを通
過させるバンドパスフィルタ,8は結像用のフォーカシン
グ・レンズ,9はレーザ光のうち衝撃波の影響しない成分
をカットするエッヂ,10は，衝撃波32の波頭部分が真空
通路35内のレーザ光を横切る際の光屈折率変化によって
生じる回折像を端面に受ける光ファイバ,11はこの光フ
ァイバ10に生じた回折像を導入して電気信号に変換する
光検出器である。以上の１〜11で，本発明衝撃波検出器
の一実施例が構成される。
12は高速シャッタ制御装置,13は信号伝送ケーブル,14は
シャッタ駆動シリンダ,15は衝撃波遅延管,16は高速シャ
ッタ,17はバルブ制御用シーケンサ,18はバルブ駆動シリ
ンダ,19は自動ゲートバルブ，20は11,12,17等を納める
ラックであり，以上の12〜20が超高真空系40と実験装置
30との間を遮断する機構部分を構成する。
シャッタ駆動シリンダ,15は衝撃波遅延管,16は高速シャ
ッタ,17はバルブ制御用シーケンサ,18はバルブ駆動シリ
ンダ,19は自動ゲートバルブ，20は11,12,17等を納める
ラックであり，以上の12〜20が超高真空系40と実験装置
30との間を遮断する機構部分を構成する。
次に動作を説明する。レーザ・ダイオード２からは，例
えば波長1.3μｍの直線偏光したレーザ光を発振する。
この直線偏光の偏光方向としては，前述のように，真空
通路35内のSOR光が例えば水平面内で直線偏光している
場合はレーザ光は鉛直面内で直線偏光させるようにす
る。このようにすることで，衝撃波検出時のノイズ発生
を大幅に軽減することが可能となる。このレーザ光は，
ビーム・エクスパンダ3,コリメータレンズ４により拡
大，平行光線となり，偏光板５によりレーザ光と同じ偏
光方向を持つ直線偏光が光入射窓６に入射する。光出射
窓６′を出射した光は，偏光板５′，バンドパスフィル
タ７で入射レーザ光の偏光方向と同じ方向の直線偏光の
みを取り出し，フォーカシングレンズ８で収束されてエ
ッジ９の位置に焦点を結ぶ。ただし，これは真空通路35
に異常がない場合であり，実験装置30側に真空破損等の
事故発生時は，衝撃波32の波頭部分が入射光束を通過す
る際，光の屈折率に変化を生じ，この屈折率変化により
光ファイバ10の端面に像が結ばれる。この場合，エッヂ
９の位置に結んだ像は屈折率変化に関係しないので，エ
ッヂ９で遮ぎる。すなわち，光ファイバ10の端面は，入
射光が屈折率の変化を受けない平常時と，屈折率に変化
を生じる異常発生時とで，その明るさが大きく変わる。
えば波長1.3μｍの直線偏光したレーザ光を発振する。
この直線偏光の偏光方向としては，前述のように，真空
通路35内のSOR光が例えば水平面内で直線偏光している
場合はレーザ光は鉛直面内で直線偏光させるようにす
る。このようにすることで，衝撃波検出時のノイズ発生
を大幅に軽減することが可能となる。このレーザ光は，
ビーム・エクスパンダ3,コリメータレンズ４により拡
大，平行光線となり，偏光板５によりレーザ光と同じ偏
光方向を持つ直線偏光が光入射窓６に入射する。光出射
窓６′を出射した光は，偏光板５′，バンドパスフィル
タ７で入射レーザ光の偏光方向と同じ方向の直線偏光の
みを取り出し，フォーカシングレンズ８で収束されてエ
ッジ９の位置に焦点を結ぶ。ただし，これは真空通路35
に異常がない場合であり，実験装置30側に真空破損等の
事故発生時は，衝撃波32の波頭部分が入射光束を通過す
る際，光の屈折率に変化を生じ，この屈折率変化により
光ファイバ10の端面に像が結ばれる。この場合，エッヂ
９の位置に結んだ像は屈折率変化に関係しないので，エ
ッヂ９で遮ぎる。すなわち，光ファイバ10の端面は，入
射光が屈折率の変化を受けない平常時と，屈折率に変化
を生じる異常発生時とで，その明るさが大きく変わる。
光検出器11は例えばフォトダイオードで構成されてい
て，光ファイバ10の端面に生じた明暗の差を受けてこれ
を電気信号に変換し，この電気信号を高速シャッタ16を
閉じるための信号として，高速シャッタ制御装置12,信
号伝送ケーブル13を介してシャッタ駆動シリンダ14に送
る。シャッタ駆動シリンダ14としては，電磁力で起動す
るプランジャ構造を備えたもの，またはエアシリンダや
油圧シリンダ構造のもの，いずれをも使用することがで
き，信号伝送ケーブルを介して送られてくる電気信号に
よって起動してシリンダ内のプランジャまたはピストン
を押し下げて高速シャッタ16を閉じる。一方，衝撃波32
の波頭部分の進行速度は，衝撃波遅延管15で数十〜数百
m sec程度遅くすることができる。この間に高速シャッ
タ16が閉じれば，実験装置30側での真空破損の，超高真
空系40側への影響を阻止できることになる。本実施例で
は，圧力変化を光の屈折率の変化として衝撃波を検出す
る構成であるので，検出の応答速度は光検出器11で決ま
り，光検出器11をフォトダイオードで構成するときはこ
の応答速度は数十n sec以下であり，超高真空系40の保
護機構として充分にその目的を達成可能である。バルブ
制御用シーケンサ17,バルブ駆動シリンダ18,自動ゲート
バルブ19は，真空封止をさらに完全にするためのもの
で，自動ゲートバルブ19に閉信号を送ることによって超
高真空仕様の自動ゲートバルブ19を閉じるようになって
いる。
て，光ファイバ10の端面に生じた明暗の差を受けてこれ
を電気信号に変換し，この電気信号を高速シャッタ16を
閉じるための信号として，高速シャッタ制御装置12,信
号伝送ケーブル13を介してシャッタ駆動シリンダ14に送
る。シャッタ駆動シリンダ14としては，電磁力で起動す
るプランジャ構造を備えたもの，またはエアシリンダや
油圧シリンダ構造のもの，いずれをも使用することがで
き，信号伝送ケーブルを介して送られてくる電気信号に
よって起動してシリンダ内のプランジャまたはピストン
を押し下げて高速シャッタ16を閉じる。一方，衝撃波32
の波頭部分の進行速度は，衝撃波遅延管15で数十〜数百
m sec程度遅くすることができる。この間に高速シャッ
タ16が閉じれば，実験装置30側での真空破損の，超高真
空系40側への影響を阻止できることになる。本実施例で
は，圧力変化を光の屈折率の変化として衝撃波を検出す
る構成であるので，検出の応答速度は光検出器11で決ま
り，光検出器11をフォトダイオードで構成するときはこ
の応答速度は数十n sec以下であり，超高真空系40の保
護機構として充分にその目的を達成可能である。バルブ
制御用シーケンサ17,バルブ駆動シリンダ18,自動ゲート
バルブ19は，真空封止をさらに完全にするためのもの
で，自動ゲートバルブ19に閉信号を送ることによって超
高真空仕様の自動ゲートバルブ19を閉じるようになって
いる。
本実施例の衝撃波検出器により,100mWのレーザ光を用い
て10-4Torrの圧力変化を検知することができた。
て10-4Torrの圧力変化を検知することができた。
なお，本実施例ではレーザ光を直線偏光させて使用する
として説明したが，本発明はこれに限定されず，偏光し
ていないレーザ光を用いても，さらにレーザ光にも限定
されず，通常の光を用いても同様に動作し，同様の効果
を生じ得るものである。また、本実施例では光ファイバ
の端面に回折像を結ばせるとして説明したが、これは一
例を示したものであり、光ファイバに入射する光の明る
さの変化、即ち光の振幅値の変化、を検出すれば良いも
のである。
として説明したが，本発明はこれに限定されず，偏光し
ていないレーザ光を用いても，さらにレーザ光にも限定
されず，通常の光を用いても同様に動作し，同様の効果
を生じ得るものである。また、本実施例では光ファイバ
の端面に回折像を結ばせるとして説明したが、これは一
例を示したものであり、光ファイバに入射する光の明る
さの変化、即ち光の振幅値の変化、を検出すれば良いも
のである。
本発明によれば次の効果を生じる。
（イ）従来方式では検出の応答速度が数m sec程度であ
ったのに対し，本発明によれば，圧力変化を光の屈折率
の変化として検出することから，検出の応答速度は光検
出器で決まり，この応答速度は数十n sec以下であり，
高速シャッタへ迅速に閉信号を送ることができる。
ったのに対し，本発明によれば，圧力変化を光の屈折率
の変化として検出することから，検出の応答速度は光検
出器で決まり，この応答速度は数十n sec以下であり，
高速シャッタへ迅速に閉信号を送ることができる。
（ロ）本発明の衝撃波検出器はすべて光学系で構成され
ていることから，電磁ノイズに対して影響を受けること
はない。すなわち，電子蓄積リングは大電流で作動する
磁石類から構成されているためにノイズが発生し周囲へ
の影響が大きく，従来方式はこの影響を受け装置の誤動
作が発生しやすかったのに対し，本発明は光方式である
ことから電磁ノイズによる誤動作は極めて生じにくいと
いう利点がある。
ていることから，電磁ノイズに対して影響を受けること
はない。すなわち，電子蓄積リングは大電流で作動する
磁石類から構成されているためにノイズが発生し周囲へ
の影響が大きく，従来方式はこの影響を受け装置の誤動
作が発生しやすかったのに対し，本発明は光方式である
ことから電磁ノイズによる誤動作は極めて生じにくいと
いう利点がある。
（ハ）本発明において用いる光学系はすべて真空通路の
外側に配置する構成であることから，真空通路の真空を
破る必要がなく，真空通路内に検出器を組み込んでいた
従来方式に比べて，取り扱いが非常に容易になる利点が
ある。
外側に配置する構成であることから，真空通路の真空を
破る必要がなく，真空通路内に検出器を組み込んでいた
従来方式に比べて，取り扱いが非常に容易になる利点が
ある。
第１図は本発明の一実施例装置を組み込んだ真空系保護
機構の全体構成図である。 ＜符号の説明＞ ２…レーザ・ダイオード ３…ビーム・エクスパンダ ４…コリメータレンズ、5,5′…偏光板 ６…光入射窓、６′…光出射窓 ７…バンドパスフィルタ ８…フォーカシングレンズ、９…エッヂ 10…光ファイバ、11…光検出器 14…シャッタ駆動シリンダ 15…衝撃波遅延管、16…高速シャッタ 19…自動ゲートバルブ、30…実験装置
機構の全体構成図である。 ＜符号の説明＞ ２…レーザ・ダイオード ３…ビーム・エクスパンダ ４…コリメータレンズ、5,5′…偏光板 ６…光入射窓、６′…光出射窓 ７…バンドパスフィルタ ８…フォーカシングレンズ、９…エッヂ 10…光ファイバ、11…光検出器 14…シャッタ駆動シリンダ 15…衝撃波遅延管、16…高速シャッタ 19…自動ゲートバルブ、30…実験装置
Claims (2)
- 【請求項１】真空系と実験装置とをつなぐ真空通路の途
中に高速シャッタを設け、実験装置側での真空破損事故
時に真空系側へ突入する大気の衝撃波を検出して上記高
速シャッタを閉じる構成の真空系保護機構に用いる衝撃
波検出装置において、真空通路の管壁に光入射窓と光出
射窓とを対向させて設け、上記光入射窓に直線偏光のあ
るいは偏光していない光束を入射する第１の光学系と、
上記光出射窓から出射してくる光を収束する第２の光学
系と、この第２の光学系からの光を一方の端面に受ける
光ファイバと、この光ファイバの受ける光の明るさの変
化を検出して前記高速シャッタの駆動用信号に変換して
出力する光検出器とを備えたことを特徴とする衝撃波検
出装置。 - 【請求項２】前記入射側の光学系が、レーザ光を受けて
このレーザ光と同じ偏光成分をもつ光束を前記光入射窓
に入射する光学系であり、前記出射側の光学系が、出射
してくる光からレーザ光成分のみを取り出してこれを収
束する光学系であることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の衝撃波検出装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60129781A JPH0680411B2 (ja) | 1985-06-17 | 1985-06-17 | 衝撃波検出装置 |
| US06/871,997 US4704540A (en) | 1985-06-17 | 1986-06-09 | Photoelectric shock wave detection system for vacuum protection |
| DE19863620237 DE3620237A1 (de) | 1985-06-17 | 1986-06-16 | Stosswellen-schutzsystem |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60129781A JPH0680411B2 (ja) | 1985-06-17 | 1985-06-17 | 衝撃波検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61288125A JPS61288125A (ja) | 1986-12-18 |
| JPH0680411B2 true JPH0680411B2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=15018062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60129781A Expired - Lifetime JPH0680411B2 (ja) | 1985-06-17 | 1985-06-17 | 衝撃波検出装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4704540A (ja) |
| JP (1) | JPH0680411B2 (ja) |
| DE (1) | DE3620237A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3711293A1 (de) * | 1987-04-03 | 1988-10-27 | Fraunhofer Ges Forschung | Schnellschliessendes durchgangsventil eines vakuum-schutzsystems |
| JPS6435299A (en) * | 1987-07-30 | 1989-02-06 | Nec Corp | Protection of x-ray source and device therefor |
| DE3808973A1 (de) * | 1988-03-17 | 1989-10-05 | Kernforschungsz Karlsruhe | Gastargetvorrichtung |
| US5283430A (en) * | 1992-12-16 | 1994-02-01 | The Boeing Company | Optical frequency encoding for normal shock and position sensing having a broadband light source and a color gradient filter |
| GB2276958A (en) * | 1993-04-01 | 1994-10-12 | Nigel Howard Mckrill | Light controlled pneumatic fast-response actuator |
| DE10316902A1 (de) * | 2003-04-12 | 2004-11-11 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Vorrichtung zur schnellen Vakuumkontrolle |
| DE102004004601B4 (de) * | 2004-01-29 | 2006-04-27 | Schott, Wolfgang, Dr. | Schnellschließendes Hochvakuumventil |
| JP5165278B2 (ja) * | 2007-05-18 | 2013-03-21 | 公益財団法人高輝度光科学研究センター | ビーム測定装置、ビーム測定方法、及びそれを用いたポンプ・プローブ測定方法 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3731743A (en) * | 1971-10-20 | 1973-05-08 | Us Navy | Fire control apparatus air pollution product abatement |
| US3885162A (en) * | 1973-10-31 | 1975-05-20 | Contraves Goerz Corp | Optical measuring apparatus |
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