JPH06804A - 積層セラミックグリーンシートの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 積層セラミックコンデンサ等を製造するの
に、表面に導電ペーストを塗布した内部電極を有するセ
ラミックグリーンシートを積層し形成する際に、デラミ
ネーションの発生することのない積層セラミックグリー
ンシートの製造方法を提供することを目的とする。 【構成】 表面に離型処理を施したキャリアフィルム１
上に導電ペーストを印刷等により内部電極２を形成し、
後その上にセラミックグリーンシート３をドクターブレ
ード法により形成し、キャリアフィルムよりセラミック
グリーンシートを剥離し積層して積層セラミックグリー
ンシートとする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば積層セラミック
コンデンサや、積層セラミックアクチュエータ等を形成
する際に用いられるセラミックグリーンシートを積み重
ねて成形する積層セラミックグリーンシートの製造方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、セラミックグリーンシートを用い
て、例えば積層コンデンサを製造する時に用いるセラミ
ックグリーンシートを作製する製造方法としては、大別
して、ドクターブレード法とスクリーン印刷法とがあ
る。ドクターブレード法の場合には、従来はセラミック
グリーンシートを形成し、セラミックグリーンシート上
に内部電極を導電ペーストを用いスクリーン印刷し、そ
れらを積み重ねて積層セラミックグリーンシートを製造
していた。従来の製造方法では、積層体を作るために１
枚毎にセラミックグリーンシート上に内部電極となる導
電ペーストをスクリーン印刷し積み重ねなければなら
ず、積層した時、内部電極の厚みの分だけ電極面とセラ
ミックグリーンシートとの間に段差を生じ、その段差に
よって積層した後にデラミネーションが発生するという
欠点があり、更に作業が煩雑で量産的ではなかった。
又、スクリーン印刷法では、セラミックスラリーをシル
クスクリーンにより印刷してセラミックグリーンシート
を形成し、セラミックグリーンシート上に内部電極とな
る導電ペーストを印刷するという工程を繰り返すもので
あり、この方法ではセラミックグリーンシートにはスク
リーンの網目の跡がそのまま凸凹模様となって残ってし
まうという問題があった。又このスクリーン印刷法で
は、セラミックペースト、又はセラミックスラリーを印
刷し、その上に内部電極となる導電ペーストを印刷する
という工程を繰り返すため、内部電極の厚みの分だけ電
極面とセラミックグリーンシートとの間に段差を生じ、
スクリーン印刷法によってもその段差によってセラミッ
クグリーンシートを積層した時、デラミネーションが発
生する。このようなデラミネーションの発生を防止する
ためには、スクリーン印刷法にあっては、内部電極を塗
布したセラミックグリーンシートの面を平坦にする必要
がある。そのために内部電極の厚みに相当する厚み分だ
けさらにセラミックペースト、又はセラミックスラリー
を印刷する工程が余分に必要になっていた。しかもこの
時セラミックペーストないしセラミックスラリーを印刷
する位置がずれると更に段差を発生させる等の不都合が
あった。一方、スクリーン印刷法ではセラミックグリー
ンシートの厚みの精度が悪く、必要な厚みのものがなか
なか得られないこと、又、スクリーン印刷法では他の問
題として、スクリーンの網目に異物がつまるとその箇所
がピンホールとなり、各層のセラミックグリーンシート
の同じ箇所に同じようにピンホールが形成されてしま
い、積層コンデンサとして完成とした時には内部電極ど
うしが短絡してしまうという問題があった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、積層セラミ
ックコンデンサ、積層セラミックアクチュエータ等に用
いるセラミックグリーンシートの製造方法において、セ
ラミックグリーンシート上に印刷した導電ペーストの内
部電極とセラミックグリーンシートとの間に段差を生ず
ることがなく、デラミネーションの発生がなく、能率の
よい積層セラミックグリーンシートの製造方法を提供す
ることにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、セラミックグ
リーンシートを積み重ねて形成する積層セラミックグリ
ーンシートの製造方法において、予めキャリアフィルム
上に導電ペーストを塗布した内部電極を形成したキャリ
アフィルム上に、ドクターブレード法等のシート成膜方
法により、セラミックグリーンシートを形成することに
よって解決する。

【０００５】即ち本発明は、セラミックグリーンシート
上に導電ペーストを印刷して、内部電極を形成し、積み
重ね成形する積層セラミックグリーンシートの製造方法
において、予め表面に離型処理を行い導電ペーストを塗
布して内部電極を形成したキャリアフィルム上に、ドク
ターブレード法などのシート成膜法によりセラミックス
ラリーを塗布して内部電極を有するセラミックグリーン
シートを形成し、積層してなることを特徴とする積層セ
ラミックグリーンシートの製造方法である。

【０００６】

【作用】セラミックグリーンシートを積み重ねて形成す
るセラミックグリーンシートの製造方法において、例え
ば積層セラミックコンデンサ、積層セラミックアクチュ
エータ等に利用される積層セラミックグリーンシートを
製造する工程において、予め離型処理を施した電極面の
形状に導電ペーストを塗布したキャリアフィルム上に、
セラミックスラリーをドクターブレード法等のシート成
膜方法によりセラミックグリーンシートを形成すること
により、導電ペーストを塗布した内部電極とセラミック
グリーンシートとの間に段差のないセラミックグリーン
シートを得、このセラミックグリーンシートを積層する
ことにより積層後においてもデラミネーションの発生が
なく、信頼性があり、作業効率もよい積層セラミックグ
リーンシートを製造するものである。

【０００７】

【実施例】以下にこの発明の実施例を図を用いて説明す
る。

【０００８】

【実施例１】図１に示す表面に離型処理を施した厚さ５
０μのポリエステルフィルムからなるキャリアフィルム
１上に導電ペーストを用いて厚さ５μの内部電極２を印
刷し形成した。用いた電極ペーストは、銀パラジウムペ
ーストである。ついで図２に示すように、前記キャリア
フィルム１上にドクターブレード法を用いて、セラミッ
クグリーンシート３を成膜した。用いたセラミックスラ
リーは、セラミック粉末、アクリル系バインダー、有機
溶剤により形成した。形成されたセラミックグリーンシ
ート３は、厚さ５０μｍ、幅１５０ｍｍである。図３
に、図２に示すＡ−Ａ線の断面図を示す。図４に、前記
セラミックグリーンシート３をキャリアフィルム１より
剥離した表面の外観図を示す。得られたセラミックグリ
ーンシートは、電極パターンである導電ペーストとセラ
ミックとの間に段差は発生しておらず、内部電極、セラ
ミックグリーンシート面は平滑な表面状態を示してい
た。更に、このセラミックグリーンシートを５枚積層し
て、８０℃で３０分、単位面積当り２５０Ｋｇの圧力で
熱プレスしてセラミックグリーンシート積層体を形成し
た。その断面図を図５に示す。このセラミックグリーン
シート積層体を大気中４００℃で７０時間程保持し脱バ
インダーした後、大気中で１１００℃で２時間の焼成を
行い、積層セラミック焼結体を得た。得られた焼結体
は、セラミックスと内部電極との間にデラミネーション
の発生がなく、又内部電極どうしの短絡も認められなか
った。比較のため、表１に従来の方法による積層セラミ
ックグリーンシートの製造方法による焼結体と、本発明
による積層セラミックグリーンシートの製造方法による
焼結体の、デラミネーションの発生率と内部電極間の短
絡事故発生率の値を示す。

【０００９】

【表１】

【００１０】

【発明の効果】以上述べたごとく、本発明によるフィル
ム表面に離型処理を施したキャリアフィルム上に、導電
ペーストによる表面電極を形成し、その上にドクターブ
レード法等によりセラミックグリーンシートを形成し、
積層成形して、例えば積層セラミックコンデンサの製造
の際に利用される積層セラミックグリーンシートの製造
方法とすることにより、内部電極となる導電ペーストと
セラミックグリーンシートとの間に段差を生ずることが
なく、従ってデラミネーションの発生がなく、極めて信
頼性の高い、作業効率のよい積層セラミックグリーンシ
ートの製造方法が提供できるようになった。

【図面の簡単な説明】

【図１】離型処理を施されたキャリアフィルム上に形成
された内部電極パターンの外観図。

【図２】キャリアフィルム上に形成した内部電極パター
ンの上に形成されたセラミックグリーンシートの外観
図。

【図３】キャリアフィルム上に形成した内部電極パター
ンの上に形成されたセラミックグリーンシートの断面
図。

【図４】内部電極パターンを形成したセラミックグリー
ンシートをキャリアフィルムより剥離した外観斜視図。

【図５】内部電極パターンを形成したセラミックグリー
ンシートを積層し形成したセラミックグリーンシート積
層体の断面図。

【符号の説明】

１ キャリアフィルム ２ 内部電極 ３ セラミックグリーンシート

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 セラミックグリーンシート上に導電ペー
   ストを印刷して内部電極を形成し、積み重ね成形する積
   層セラミックグリーンシートの製造方法において、予め
   表面に離型処理を行い導電ペーストを塗布して内部電極
   を形成したキャリアフィルム上に、ドクターブレード法
   などのシート成膜法によりセラミックスラリーを塗布し
   て内部電極を有するセラミックグリーンシートを形成
   し、積層してなることを特徴とする積層セラミックグリ
   ーンシートの製造方法。