JPH068109Y2 - ウエハー搬送用ベルト - Google Patents
ウエハー搬送用ベルトInfo
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- JPH068109Y2 JPH068109Y2 JP1988043093U JP4309388U JPH068109Y2 JP H068109 Y2 JPH068109 Y2 JP H068109Y2 JP 1988043093 U JP1988043093 U JP 1988043093U JP 4309388 U JP4309388 U JP 4309388U JP H068109 Y2 JPH068109 Y2 JP H068109Y2
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- fluororesin
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Landscapes
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
- Structure Of Belt Conveyors (AREA)
- Belt Conveyors (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 考案の技術分野 本考案は、ウエハーを装置内で搬送あるいは次工程へ移
送する際に使用されるウエハー搬送用ベルトに関する。
送する際に使用されるウエハー搬送用ベルトに関する。
考案の技術的背景ならびにその問題点 ＩＣやＬＳＩの製造において、その素材となるシリコン
や化合物半導体（たとえばGa-As）等で構成されたウエ
ハーは、種々の工程を経るときに、ウエハー収納キャリ
アから他のキャリアへ、あるいはウエハー収納キャリア
から各種処理装置へと移送される。ウエハーの搬送は、
一般にゴム製ベルト、チェーン、真空ピンセット等によ
って行なわれるが、主として断面円形状のゴムベルトで
行なわれる。このゴムベルトの材質としては、ウエハー
処理工程を中心とした移送工程ではフッ素ゴムが用いら
れ、ウエハー検査工程では、ウレタンゴム等が通常使用
される。その他、ディバイスメーカーによっては、シリ
コーンゴム、ＮＢＲ等も使用される。
や化合物半導体（たとえばGa-As）等で構成されたウエ
ハーは、種々の工程を経るときに、ウエハー収納キャリ
アから他のキャリアへ、あるいはウエハー収納キャリア
から各種処理装置へと移送される。ウエハーの搬送は、
一般にゴム製ベルト、チェーン、真空ピンセット等によ
って行なわれるが、主として断面円形状のゴムベルトで
行なわれる。このゴムベルトの材質としては、ウエハー
処理工程を中心とした移送工程ではフッ素ゴムが用いら
れ、ウエハー検査工程では、ウレタンゴム等が通常使用
される。その他、ディバイスメーカーによっては、シリ
コーンゴム、ＮＢＲ等も使用される。
しかしながら、ウエハーは、このゴムベルトに載せられ
て移送されるから、接触するウエハーの接触面（裏面）
にゴムの成分やゴム添加剤の成分が移行して付着した
り、ゴムベルトとプーリとの摩擦による発塵、あるいは
プラズマ、イオン、反応性ガスなどによるベルトの劣化
から生ずるダストの付着等の虞がある。ウエハーに微細
な回路を形成するＩＣやＬＳＩの場合、このような目に
見えないサブミクロンクラスの不純物がウエハーの処理
液や処理環境の中に混入することは、不良なＩＣやＬＳ
Ｉが作られる原因ともなる。しかも、特に最近、技術進
歩の著しいドライエッチング装置は温度的、電気的、化
学的、物理的にも処理条件がきびしくなっており、ゴム
ベルトがかかえている上記問題点の改善が早急に要求さ
れている。
て移送されるから、接触するウエハーの接触面（裏面）
にゴムの成分やゴム添加剤の成分が移行して付着した
り、ゴムベルトとプーリとの摩擦による発塵、あるいは
プラズマ、イオン、反応性ガスなどによるベルトの劣化
から生ずるダストの付着等の虞がある。ウエハーに微細
な回路を形成するＩＣやＬＳＩの場合、このような目に
見えないサブミクロンクラスの不純物がウエハーの処理
液や処理環境の中に混入することは、不良なＩＣやＬＳ
Ｉが作られる原因ともなる。しかも、特に最近、技術進
歩の著しいドライエッチング装置は温度的、電気的、化
学的、物理的にも処理条件がきびしくなっており、ゴム
ベルトがかかえている上記問題点の改善が早急に要求さ
れている。
考案の目的 本考案は、上記従来技術が有する問題点を解消するため
になされ、耐熱性、耐薬品性、耐溶剤性を具備すると共
に、引張強度、弾力性、プーリとの適度な摩擦力をも兼
備し、ウエハーに傷やほこりないしゴミを付けることな
く、ウエハーを良好に搬送し得るウエハー搬送用ベルト
を提供することを目的とする。
になされ、耐熱性、耐薬品性、耐溶剤性を具備すると共
に、引張強度、弾力性、プーリとの適度な摩擦力をも兼
備し、ウエハーに傷やほこりないしゴミを付けることな
く、ウエハーを良好に搬送し得るウエハー搬送用ベルト
を提供することを目的とする。
考案の概要 かかる目的を達成するために、本考案に係るウエハー搬
送用ベルトは、ゴム材で構成されたベルト本体の表面
に、ベルト本体の長手方向に沿って連続もしくは断続的
に直線状に延び、前記ベルト本体の表面から外方に突出
してウェハーと接触するフッ素樹脂製当接部を、この基
端部をベルト本体の内部に埋設して配置したことを特徴
としている。
送用ベルトは、ゴム材で構成されたベルト本体の表面
に、ベルト本体の長手方向に沿って連続もしくは断続的
に直線状に延び、前記ベルト本体の表面から外方に突出
してウェハーと接触するフッ素樹脂製当接部を、この基
端部をベルト本体の内部に埋設して配置したことを特徴
としている。
このような本考案に係るウェハー搬送用ベルトによれ
ば、フッ素樹脂製当接部の基端部をベルト本体の内部に
埋設させることによって、この当接部の幅をベルト本体
の幅よりもかなり狭くし、この突出端でウェハーと当接
させてこれを保持することにより、ウェハーとの接触面
積を極力少なくすることができる。また、フッ素樹脂は
比較的柔らかいため、このフッ素樹脂から成る当接部が
ウエハーを傷付けることはない。
ば、フッ素樹脂製当接部の基端部をベルト本体の内部に
埋設させることによって、この当接部の幅をベルト本体
の幅よりもかなり狭くし、この突出端でウェハーと当接
させてこれを保持することにより、ウェハーとの接触面
積を極力少なくすることができる。また、フッ素樹脂は
比較的柔らかいため、このフッ素樹脂から成る当接部が
ウエハーを傷付けることはない。
特にフッ素樹脂は、高温ないし腐蝕性雰囲気下でも安定
していると共に、プラズマ、イオン等のエネルギーに対
しても安定していることから、このフッ素樹脂から成る
当接部がウエハーに悪影響を与える虞はほとんどない。
していると共に、プラズマ、イオン等のエネルギーに対
しても安定していることから、このフッ素樹脂から成る
当接部がウエハーに悪影響を与える虞はほとんどない。
また、フッ素樹脂は、優れた耐熱性、耐薬品性、耐溶剤
性を具備していることから、このフッ素樹脂から成る当
接部を有する搬送用ベルトも優れた耐熱性、耐薬品性、
耐溶剤性を具備することになる。しかも、導電性物質を
フッ素樹脂に配合する等して非帯電性が付与されたフッ
素樹脂を使用すればダストの吸引がないため、さらに好
ましい。
性を具備していることから、このフッ素樹脂から成る当
接部を有する搬送用ベルトも優れた耐熱性、耐薬品性、
耐溶剤性を具備することになる。しかも、導電性物質を
フッ素樹脂に配合する等して非帯電性が付与されたフッ
素樹脂を使用すればダストの吸引がないため、さらに好
ましい。
さらに、フッ素樹脂製当接部がベルト本体の表面の一部
を占めるようにして、この当接部のベルト本体の持つ弾
性力に対する影響を少なくして、ベルト本体の有する弾
性を有効に生かすことができる。さらにまた、ベルト本
体としては、耐摩耗性に優れたゴム材で構成されている
ことから、本考案に係る搬送用ベルトは、優れた引張強
度、弾力性、プーリとの適度な摩擦力を具備することに
なる。上記ゴム材に導電性物質を配合する等して、ベル
ト本体に非帯電性を付与させ、ダストの吸引を防止する
ようにしても良い。
を占めるようにして、この当接部のベルト本体の持つ弾
性力に対する影響を少なくして、ベルト本体の有する弾
性を有効に生かすことができる。さらにまた、ベルト本
体としては、耐摩耗性に優れたゴム材で構成されている
ことから、本考案に係る搬送用ベルトは、優れた引張強
度、弾力性、プーリとの適度な摩擦力を具備することに
なる。上記ゴム材に導電性物質を配合する等して、ベル
ト本体に非帯電性を付与させ、ダストの吸引を防止する
ようにしても良い。
なお、本考案によれば、フッ素樹脂製当接部の代りに、
ポリエチレンないしポリプロピレン等の合成樹脂製当接
部を用いることも可能である。ポリエチレンないしポリ
プロピレン等の合成樹脂は、フッ素樹脂に比較して多小
耐熱性が劣るが、他の特性がフッ素樹脂に似ているの
で、同様な作用効果が期待できる。
ポリエチレンないしポリプロピレン等の合成樹脂製当接
部を用いることも可能である。ポリエチレンないしポリ
プロピレン等の合成樹脂は、フッ素樹脂に比較して多小
耐熱性が劣るが、他の特性がフッ素樹脂に似ているの
で、同様な作用効果が期待できる。
考案の具体的説明 以下、本考案を図面に示す実施例に基づき具体的に説明
する。
する。
第１図は本考案の一実施例に係るウエハー搬送用ベルト
の断面図、第２図は同ベルトの使用状態を示す側面図、
第３図は第２図に示すIII−III線に沿う断面図、第４図
は本考案の他の実施例に係るウエハー搬送用ベルトの断
面図である。
の断面図、第２図は同ベルトの使用状態を示す側面図、
第３図は第２図に示すIII−III線に沿う断面図、第４図
は本考案の他の実施例に係るウエハー搬送用ベルトの断
面図である。
本考案に係るウエハー搬送用ベルトは、たとえば第１図
に示すように、ゴム材で構成されたベルト状のベルト本
体２と、このベルト本体２の長手方向外表面に沿って連
続的に形成された当接部４とから成り、第２，３図に示
すように、この当接部４のみがウエハー６に接触するよ
うになっている。
に示すように、ゴム材で構成されたベルト状のベルト本
体２と、このベルト本体２の長手方向外表面に沿って連
続的に形成された当接部４とから成り、第２，３図に示
すように、この当接部４のみがウエハー６に接触するよ
うになっている。
ベルト本体２の断面形状は、第１図に示す実施例では円
形状であるが、これに限らず、第４図に示すように矩形
状であっても良く、またはその他の形状であっても良
い。ベルト本体２は、たとえば第２，３図に示すよう
に、一対のプーリ８，８間に張架され、プーリ８，８を
回転することによって長手方向に移動するようになって
いる。
形状であるが、これに限らず、第４図に示すように矩形
状であっても良く、またはその他の形状であっても良
い。ベルト本体２は、たとえば第２，３図に示すよう
に、一対のプーリ８，８間に張架され、プーリ８，８を
回転することによって長手方向に移動するようになって
いる。
このベルト本体２を構成する材料として好ましく用いら
れるゴム材としては、フッ素ゴム、ウレタンゴム、ニト
リルゴム、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン−ジ
エンゴム（ＥＰＤＭ）等が例示できる。特に好ましくは
ウレタンゴム、フッ素ゴム等が好ましい。耐摩耗性が最
近富みに重要視されているからである。今後、さらにＬ
ＳＩの高集積化が進むと、回路が微細化するため、より
小さいゴミや不純物の付着防止が重要視され、ベルト本
体からは、極力、摩耗粉が発生しないようにする必要が
ある。また、本考案では、ベルト本体を構成するゴム材
に導電性物質を配合する等して、摩耗粉の付着を防止す
るようにしても良い。
れるゴム材としては、フッ素ゴム、ウレタンゴム、ニト
リルゴム、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン−ジ
エンゴム（ＥＰＤＭ）等が例示できる。特に好ましくは
ウレタンゴム、フッ素ゴム等が好ましい。耐摩耗性が最
近富みに重要視されているからである。今後、さらにＬ
ＳＩの高集積化が進むと、回路が微細化するため、より
小さいゴミや不純物の付着防止が重要視され、ベルト本
体からは、極力、摩耗粉が発生しないようにする必要が
ある。また、本考案では、ベルト本体を構成するゴム材
に導電性物質を配合する等して、摩耗粉の付着を防止す
るようにしても良い。
このようなゴム材から成るベルト本体２の硬度は、ＪＩ
Ｓ．Ａ．６０°〜９０°程度が好ましい。プーリ８，８
間に適度な弾力性を保持しつつ張架される必要があるか
らである。
Ｓ．Ａ．６０°〜９０°程度が好ましい。プーリ８，８
間に適度な弾力性を保持しつつ張架される必要があるか
らである。
当接部４は、好ましくはフッ素樹脂で構成され、たとえ
ば断面矩形状に形成され、ベルト本体２の外周面に突出
するように埋め込まれる。当接部４の断面形状は、矩形
状に限らず、円形状、あるいはその他の形状であっても
良い。また、この当接部４は、第４図に示すように、ベ
ルト本体２の外周面に、その長手方向に沿って断続的に
埋め込むようにしても良い。ただし、このように断続的
に当接部４を形成する際には、その間隔がウエハー６の
直径よりも小さいことが必要である。
ば断面矩形状に形成され、ベルト本体２の外周面に突出
するように埋め込まれる。当接部４の断面形状は、矩形
状に限らず、円形状、あるいはその他の形状であっても
良い。また、この当接部４は、第４図に示すように、ベ
ルト本体２の外周面に、その長手方向に沿って断続的に
埋め込むようにしても良い。ただし、このように断続的
に当接部４を形成する際には、その間隔がウエハー６の
直径よりも小さいことが必要である。
当接部４を構成するフッ素樹脂としては、ポリテトラフ
ルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン
とパーフルオロアルキルビニルエーテルとの共重合体で
あるＰＦＡ、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロ
プロピレンとの共重合体であるＦＥＰ、あるいはテトラ
フルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンとのパー
フルオロアルキルビニルエーテルとの共重合体であるＥ
ＰＥなどが例示される。
ルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン
とパーフルオロアルキルビニルエーテルとの共重合体で
あるＰＦＡ、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロ
プロピレンとの共重合体であるＦＥＰ、あるいはテトラ
フルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンとのパー
フルオロアルキルビニルエーテルとの共重合体であるＥ
ＰＥなどが例示される。
フッ素樹脂は、高温ないし腐蝕性雰囲気下でも安定して
いると共に、プラズマ、イオン等のエネルギーに対して
も安定していることから、このフッ素樹脂から成る当接
部４がウエハーに悪影響を与える虞はほとんどない。
いると共に、プラズマ、イオン等のエネルギーに対して
も安定していることから、このフッ素樹脂から成る当接
部４がウエハーに悪影響を与える虞はほとんどない。
さらに、フッ素樹脂は、合成樹脂の中でも比較的柔らか
い（Ｄ５５〜Ｄ７５）ため、ゴム材から成るベルト本体
２の柔軟性を損なうことがない。
い（Ｄ５５〜Ｄ７５）ため、ゴム材から成るベルト本体
２の柔軟性を損なうことがない。
なお、本考案によれば、フッ素樹脂製当接部４の代り
に、ポリエチレンないしポリプロピレン等の合成樹脂製
当接部を用いることも可能である。ポリエチレンないし
ポリプロピレン等の合成樹脂は、フッ素樹脂に比較して
多小耐熱性が劣るが、他の特性がフッ素樹脂に似ている
ので、同様な作用効果が期待できるからである。
に、ポリエチレンないしポリプロピレン等の合成樹脂製
当接部を用いることも可能である。ポリエチレンないし
ポリプロピレン等の合成樹脂は、フッ素樹脂に比較して
多小耐熱性が劣るが、他の特性がフッ素樹脂に似ている
ので、同様な作用効果が期待できるからである。
考案の効果 このような本考案に係るウェハー搬送用ベルトによれ
ば、ウェハーと不純物であるベルトとの接触面積をでき
る限り少なくしたいという要請に答え、かつフッ素樹脂
の有する特性と相俟ってウェハーの汚染を極力防止する
ことができる。また、フッ素樹脂は比較的柔らかいた
め、このフッ素樹脂から成る当接部がウエハーを傷付け
ることはない。
ば、ウェハーと不純物であるベルトとの接触面積をでき
る限り少なくしたいという要請に答え、かつフッ素樹脂
の有する特性と相俟ってウェハーの汚染を極力防止する
ことができる。また、フッ素樹脂は比較的柔らかいた
め、このフッ素樹脂から成る当接部がウエハーを傷付け
ることはない。
特にフッ素樹脂は、高温ないし腐蝕性雰囲気下でも安定
していると共に、プラズマ、イオン等のエネルギーに対
しても安定していることから、このフッ素樹脂から成る
当接部がウエハーに悪影響を与える虞はほとんどない。
していると共に、プラズマ、イオン等のエネルギーに対
しても安定していることから、このフッ素樹脂から成る
当接部がウエハーに悪影響を与える虞はほとんどない。
また、フッ素樹脂は、優れた耐熱性、耐薬品性、耐溶剤
性を具備していることから、このフッ素樹脂から成る当
接部を有する搬送用ベルトも優れた耐熱性、耐薬品性、
耐溶剤性を具備することになる。
性を具備していることから、このフッ素樹脂から成る当
接部を有する搬送用ベルトも優れた耐熱性、耐薬品性、
耐溶剤性を具備することになる。
さらに、ベルト本体を構成するゴム材の弾性を生かし、
プーリへの巻付けを容易となしてスムーズな搬送を実現
することができる。
プーリへの巻付けを容易となしてスムーズな搬送を実現
することができる。
なお、本考案によれば、フッ素樹脂製当接部の代りに、
ポリエチレンないしポリプロピレン等の合成樹脂製当接
部を用いることも可能である。ポリエチレンないしポリ
プロピレン等の合成樹脂は、フッ素樹脂に比較して多小
耐熱性が劣るが、他の特性がフッ素樹脂に似ているの
で、同様な作用効果が期待できる。
ポリエチレンないしポリプロピレン等の合成樹脂製当接
部を用いることも可能である。ポリエチレンないしポリ
プロピレン等の合成樹脂は、フッ素樹脂に比較して多小
耐熱性が劣るが、他の特性がフッ素樹脂に似ているの
で、同様な作用効果が期待できる。
第１図は本考案の一実施例に係るウエハー搬送用ベルト
の断面図、第２図は同ベルトの使用状態を示す側面図、
第３図は第２図に示すIII−III線に沿う断面図、第４図
は本考案の他の実施例に係るウエハー搬送用ベルトの断
面図である。 ２…ベルト本体、４…当接部 ６…ウエハー、８プーリ
の断面図、第２図は同ベルトの使用状態を示す側面図、
第３図は第２図に示すIII−III線に沿う断面図、第４図
は本考案の他の実施例に係るウエハー搬送用ベルトの断
面図である。 ２…ベルト本体、４…当接部 ６…ウエハー、８プーリ
Claims (3)
- 【請求項１】ゴム材で構成されたベルト本体の表面に、
ベルト本体の長手方向に沿って連続もしくは断続的に直
線状に延び、前記ベルト本体の表面から外方に突出して
ウェハーと接触するフッ素樹脂製当接部を、この基端部
をベルト本体の内部に埋設して配置したことを特徴とす
るウェハー搬送用ベルト。 - 【請求項２】ゴム材で構成されたベルト本体の表面に、
ベルト本体の長手方向に沿って連続もしくは断続的に直
線状に延び、前記ベルト本体の表面から外方に突出して
ウェハーと接触する合成樹脂製当接部を、この基端部を
ベルト本体の内部に埋設して配置したことを特徴とする
ウェハー搬送用ベルト。 - 【請求項３】前記合成樹脂製当接部は、ポリエチレンも
しくはポリプロピレンで構成されていることを特徴とす
る請求項２に記載のウェハー搬送用ベルト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988043093U JPH068109Y2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | ウエハー搬送用ベルト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988043093U JPH068109Y2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | ウエハー搬送用ベルト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01147340U JPH01147340U (ja) | 1989-10-12 |
| JPH068109Y2 true JPH068109Y2 (ja) | 1994-03-02 |
Family
ID=31269494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988043093U Expired - Lifetime JPH068109Y2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | ウエハー搬送用ベルト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH068109Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT201700111949A1 (it) * | 2017-10-05 | 2019-04-05 | Morello Forni Di Morello Marco & C S A S | Metodo di formatura della pasta da pizza e macchina per la sua attuazione |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6132888Y2 (ja) * | 1981-05-22 | 1986-09-25 |
-
1988
- 1988-03-31 JP JP1988043093U patent/JPH068109Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01147340U (ja) | 1989-10-12 |
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