JPH063587U - 表面平板状物体の搬送治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 表面平板状物体を吸着する際、その表面への
摺接による悪影響をなくすこと。 【構成】 搬送装置のアーム先端に取付けられる取付け
部３と、この取付け部に取付けられ表面平板状物体の表
面に吸着する傘状の吸着部５とを有する表面平板状物体
の搬送治具であって、上記傘状の吸着部の開口部周縁に
リング状部材６を設けた表面平板状物体の搬送治具。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、表面平板状物体の表面を吸着し、当該物体を搬送する表面平板状物 体の搬送治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、表面平板状物体を搬送するには、所謂吸着盤を備えた搬送治具によりな されることが知られている。これを具体例で示すと、露光機によりレジストが塗 布された表面平板状物体たる半導体ウエーハの表面を吸着し、プリアライメント ステージからウエーハチャック部まで搬送する半導体ウエーハの搬送治具として 、例えば図５に示す構造のものが知られている。

【０００３】 この種の搬送治具２１は、搬送装置に設けられた吸引アームの先端側に取付け られ、取付け部のねじ部２２を外周に有する取付け部２３と、この取付け部２３ の先端に固着された取付け用平板２４と、この取付け用平板２４に基端側が取着 されゴム等の可撓性部材により先端側が傘状に形成された吸着部２５とから構成 されている。また、上記取付け部２３および取付け用平板２４には吸着部２５内 に連通する吸引孔２６が設けられている。

【０００４】 そして、半導体ウエーハを吸着する場合は、図６に示す状態から、図７に示す ように、吸着部２５を半導体ウエーハ２７の表面に押付けるとともに、吸引孔２ ３（図５参照）を通じて吸引することにより半導体ウエーハ２７を吸着する。こ の場合、吸着部２５の押付け力は、可撓性を有する吸着部２５が広がる方向すな わち放射方向へと作用する。その後、半導体ウエーハを吸引して持上げた状態で 所定箇所まで搬送される。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、上述した従来の搬送治具においては、半導体ウエーハの吸着時に、 図７中の矢印で示すように、吸着部の開口が伸縮して、その当接周縁（開口部周 縁）が放射方向に広がるため、半導体ウエーハの表面上で吸着部の開口部周縁が 摺接しつつスライドし、これにより半導体ウエーハ表面のレジストを剥離してし まうおそれがあった。因みに、レジストが剥離してしまうと、剥離部分の酸化膜 がはげてしまい、この部位が拡散してしまう不具合がある。

【０００６】 そこで、本考案は、この種半導体ウエーハ等表面平板状物体の吸着時に、半導 体ウエーハの表面上で吸着部のスライドをなくし表面平板状物体への悪影響を防 止した表面平板状物体の搬送治具を提供することを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

本考案の搬送治具は、搬送装置のアーム先端に取付けられる取付け部と、この 取付け部に取付けられ表面平板状物体の表面に吸着する傘状の吸着部とを有する 表面平板状物体の搬送治具であって、上記傘状の吸着部の開口部周縁にリング状 部材を設けた構成とされている。

【０００８】

【作用】

傘状の吸着部の開口部周縁にリング状部材を設けたことにより、搬送治具を表 面平板状物体の表面に押付けて吸着する場合においても、吸着部の開口部周縁の 広がろうとする動きがリング状部材により抑制され、吸着時の押付け力が吸着部 自体の可撓作用によって吸収されることになる。その結果、表面平板状物体に接 するリング状部材が該物体の表面上でスライドすることがないので、表面平板状 物体の表面に悪影響を与えることがなく、例えば、半導体ウエーハ表面にレジス トが設けられている場合でもレジストの剥離を低減させることができる。

【０００９】

【実施例】

以下に、本考案の一実施例を図面に基づいて説明する。図１は本実施例の搬送 治具１の縦断面を示し、この搬送治具１は搬送装置に設けられた吸引装置のアー ムの先端に取付けられる。

【００１０】 搬送治具１は、図１に示すように、外周にねじ部２を有する取付け部３と、こ の取付け部３の先端に固着された取付け用平板４と、この取付け用平板４に基端 部が取着され先端側が傘状に形成された吸着部５と、この傘状の吸着部５の開口 部周縁に固着されたリング状部材６とにより構成されている。

【００１１】 上記取付け部３と取付け用平板４とは金属により形成され、上記取付け部３が 搬送装置（図示省略）に設けられた吸引装置（図示省略）のアームに螺着される 。上記吸着部５はゴム等の可撓性部材により形成されている。上記取付け部３お よび取付け用平板４には、吸着部５内に連通する吸引孔７が設けられている。ま た、上記リング状部材６は当該リング状物体が広がる方向（放射方向）には伸縮 しない材料、例えばシリコン系ゴム、テフロン樹脂により形成され、半導体ウエ ーハ８の表面を傷つけない材料となっている。

【００１２】 このような搬送治具１により半導体ウエーハ８を吸着する場合について説明す ると、まず、吸引装置のアームに搬送治具１の取付け部３を取付けた図２に示す 状態から、図３に示すように、吸引装置により吸引しながら半導体ウエーハ８の 吸着が行なわれる。

【００１３】 半導体ウエーハ８の吸着は、搬送治具１を半導体ウエーハ８の表面に押付ける ことにより行なわれる。この場合、半導体ウエーハ８の搬送治具１を押付けても 、傘状の吸着部５の開口部にリング状部材６が設けられているので、搬送治具１ の押付け力は、図３中の矢印で示すように、上下方向において傘状の吸着部５に より吸収される。

【００１４】 つまり、半導体ウエーハ８に搬送治具１を押付けると、吸着部５の開口部が半 導体ウエーハ８の表面に沿って放射方向に広がろうとするが、吸着部５の開口部 にリング状部材６が設けられていることから、このリング状部材６により吸着部 ５の開口部周縁の広がりが抑制される。

【００１５】 この結果、半導体ウエーハ８の吸着時には、押付け力が吸着部５の可撓作用に よりスムーズに吸収されるとともに、吸着部５およびリング状部材６が半導体ウ エーハ８の表面上でスライドすることがないので、半導体ウエーハ８の表面に塗 布されたレジストを剥離する等の悪影響を及ぼすことなく吸着して搬送すること ができる。

【００１６】 本考案者が試験した結果を図４に示すと、リング状部材のない従来の治具を用 いた場合には、黒丸で示すレジストの剥離発生率は４０％以上であったが、本実 施例のようなリング状部材を有する治具を用いた場合には、レジストの剥離発生 率は約５％となり大幅に減少した。

【００１７】 尚、実施例では、表面平板状物体につき半導体ウエーハを例にとって説明した が、本考案はこれに限られずに、表面が平板状の被搬送物体一般に用いることが できるものである。

【００１８】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によれば、傘状の吸着部の開口部周縁にリング状 部材を設けたことにより、搬送治具を表面平板状物体の表面に押付けて吸着する 場合においても、吸着部の開口部周縁の広がろうとする動きがリング状部材によ り抑制され、吸着時の押付け力が吸着部の可撓作用により吸着部自体に吸収され ることになる。その結果、表面平板状物体に接するリング状部材がその表面上で スライドすることがないので、表面平板状物体の表面に悪影響を与えることがな く、例えば、実施例のように半導体ウエーハ表面にレジストが設けられている場 合でもレジストの剥離を低減させることができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例に係り、搬送治具の縦断面図
である。

【図２】搬送治具の正面図である。

【図３】半導体ウエーハ吸着時の搬送治具を示す正面図
である。

【図４】レジスト剥離発生率を示す特性図である。

【図５】従来例に係り、搬送治具の縦断面図である。

【図６】搬送治具の正面図である。

【図７】半導体ウエーハ吸着時の搬送治具を示す正面図
である。

【符号の説明】

１ 搬送治具 ３ 取付け部 ５ 吸着部 ６ リング状部材

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送装置のアーム先端に取付けられる取
   付け部と、この取付け部に取付けられ表面平板状物体の
   表面に吸着する傘状の吸着部とを有する表面平板状物体
   の搬送治具において、 前記傘状の吸着部の開口部周縁にリング状部材を設けた
   ことを特徴とする表面平板状物体の搬送治具。