JPH0681177A - 腐食防止膜及びその形成方法 - Google Patents
腐食防止膜及びその形成方法Info
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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-
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 コバルト等の不動態化せず腐食される金属上
に、腐食防止膜を形成することを目的とする。 【構成】 前記金属加工品をCu2+イオンとベンゾトリ
アゾル(1H−BTA)の希薄溶液に晒すことによって
永久的な腐食防止膜Cu(I)−BTAが形成される。
ホウ酸−ホウ酸塩等の緩衝剤を溶液に添加して、溶液の
pHを8乃至9の範囲に調整すれば、腐食防止膜形成中
の加工品の腐食を抑制することができる。
に、腐食防止膜を形成することを目的とする。 【構成】 前記金属加工品をCu2+イオンとベンゾトリ
アゾル(1H−BTA)の希薄溶液に晒すことによって
永久的な腐食防止膜Cu(I)−BTAが形成される。
ホウ酸−ホウ酸塩等の緩衝剤を溶液に添加して、溶液の
pHを8乃至9の範囲に調整すれば、腐食防止膜形成中
の加工品の腐食を抑制することができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は腐食防止に関し、特に不
動態化せず腐食される金属の腐食を防止するCu(I)
−BTAの薄膜の形成に関する。より具体的には、磁気
ディスクや磁気記録ヘッド等に用いられるコバルトやコ
バルト合金の腐食防止に関する。
動態化せず腐食される金属の腐食を防止するCu(I)
−BTAの薄膜の形成に関する。より具体的には、磁気
ディスクや磁気記録ヘッド等に用いられるコバルトやコ
バルト合金の腐食防止に関する。
【0002】
【従来の技術】腐食は数種を除けばすべての貴金属に見
られる自発的プロセスであり、普遍的な問題である。中
でもコバルトは特に腐食しやすい。コバルトはアルカリ
溶液中では非本質的な保護不動層を形成するが、それで
もDI水(脱イオン水)中では0.2μm/日の速度で
腐食が起こり不動態化の形跡はない。またコバルトは腐
食される金属であり他のより腐食しにくい金属と接触す
ると異種金属接触腐食をかなり起こしやすくなる。コバ
ルトとその合金は優れた磁性を有するために磁気用途で
は広く用いられている。たとえば薄膜磁気ディスクと薄
膜磁気記録ヘッドはコバルト合金から製造できる。この
ような製品は製造時にも使用時にも腐食損失に特に弱
い。
られる自発的プロセスであり、普遍的な問題である。中
でもコバルトは特に腐食しやすい。コバルトはアルカリ
溶液中では非本質的な保護不動層を形成するが、それで
もDI水(脱イオン水)中では0.2μm/日の速度で
腐食が起こり不動態化の形跡はない。またコバルトは腐
食される金属であり他のより腐食しにくい金属と接触す
ると異種金属接触腐食をかなり起こしやすくなる。コバ
ルトとその合金は優れた磁性を有するために磁気用途で
は広く用いられている。たとえば薄膜磁気ディスクと薄
膜磁気記録ヘッドはコバルト合金から製造できる。この
ような製品は製造時にも使用時にも腐食損失に特に弱
い。
【0003】不動態化(パシベーション)については様
々な手法が知られているが、コバルトの腐食速度を大幅
に低下させるうえで効果のある手法はきわめて少ない。
これについて考慮すべき点は、腐食防止の方法は物質の
磁性に何の悪影響も与えてはならないということであ
る。たとえば、腐食される金属をクロム等の元素で合金
化する方法、熱酸化法、変換層の適用等はすべて腐食さ
れる金属を不動態化するうえで可能な方法である。しか
し、これらには望ましくない制限がある。また、腐食防
止剤を使用することで、コバルトやその合金が処理液と
接する製造段階で不要な金属溶解を制御することも可能
である。ただし、多くの腐食防止剤がその場のコバルト
の加工品を一定限度で保護できるだけであり、腐食防止
剤のある環境からコバルトの加工品を取除いてしまうと
保護機能は低下する。
々な手法が知られているが、コバルトの腐食速度を大幅
に低下させるうえで効果のある手法はきわめて少ない。
これについて考慮すべき点は、腐食防止の方法は物質の
磁性に何の悪影響も与えてはならないということであ
る。たとえば、腐食される金属をクロム等の元素で合金
化する方法、熱酸化法、変換層の適用等はすべて腐食さ
れる金属を不動態化するうえで可能な方法である。しか
し、これらには望ましくない制限がある。また、腐食防
止剤を使用することで、コバルトやその合金が処理液と
接する製造段階で不要な金属溶解を制御することも可能
である。ただし、多くの腐食防止剤がその場のコバルト
の加工品を一定限度で保護できるだけであり、腐食防止
剤のある環境からコバルトの加工品を取除いてしまうと
保護機能は低下する。
【0004】たとえば銅はコバルトよりも腐食しにくい
が、同じく非本質的な表面不動態化物である酸化物を持
つ。銅は工学的物質として有用であるが、これは概して
ベンゾトリアゾル(1H−BTA)とその誘導体による
極めて効果的な腐食防止性のためである。1H−BTA
化合物は金属Cu面と反応してCu−BTA膜を形成す
る。調整の条件にもよるが、この膜の厚みを2nm程度
に薄くすることができる。このような薄い膜でさえ効果
的な腐食防止性を示す。薄膜は一度形成されれば、(腐
食防止剤の添加とは無関係に)水中の銅の腐食速度を2
倍以上低下させる。
が、同じく非本質的な表面不動態化物である酸化物を持
つ。銅は工学的物質として有用であるが、これは概して
ベンゾトリアゾル(1H−BTA)とその誘導体による
極めて効果的な腐食防止性のためである。1H−BTA
化合物は金属Cu面と反応してCu−BTA膜を形成す
る。調整の条件にもよるが、この膜の厚みを2nm程度
に薄くすることができる。このような薄い膜でさえ効果
的な腐食防止性を示す。薄膜は一度形成されれば、(腐
食防止剤の添加とは無関係に)水中の銅の腐食速度を2
倍以上低下させる。
【0005】これと同じように効果的な腐食防止剤はコ
バルト加工品と併用するものでは知られていない。ベン
ゾトリアゾルは水溶液中でコバルトの表面に化学吸着
し、腐食速度を1桁程度低減させる。しかしその後コバ
ルト加工品を1H−BTAを含まない溶液に浸すと、あ
らかじめ1H−BTAに晒していないコバルト加工品に
比べて腐食速度が3分の1乃至5分の1程度減少するに
すぎない。
バルト加工品と併用するものでは知られていない。ベン
ゾトリアゾルは水溶液中でコバルトの表面に化学吸着
し、腐食速度を1桁程度低減させる。しかしその後コバ
ルト加工品を1H−BTAを含まない溶液に浸すと、あ
らかじめ1H−BTAに晒していないコバルト加工品に
比べて腐食速度が3分の1乃至5分の1程度減少するに
すぎない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、簡単
な化学処理により不動態化せず腐食される金属上に腐食
防止膜を形成する方法を提供することである。
な化学処理により不動態化せず腐食される金属上に腐食
防止膜を形成する方法を提供することである。
【0007】本発明の目的は、不動態化せず腐食される
金属上にCu(I)−BTAを含む腐食防止膜を形成す
る方法を提供することである。
金属上にCu(I)−BTAを含む腐食防止膜を形成す
る方法を提供することである。
【0008】本発明の目的は、不動態化せず腐食される
金属上に腐食防止膜を形成するための溶液であり、Cu
2+イオン、1H−BTA、及び溶液のpHを制御するた
めのホウ酸塩緩衝剤を含むものを提供することである。
金属上に腐食防止膜を形成するための溶液であり、Cu
2+イオン、1H−BTA、及び溶液のpHを制御するた
めのホウ酸塩緩衝剤を含むものを提供することである。
【0009】本発明の目的は、Cu(I)−BTAを含
む腐食防止薄膜で被覆された不動態化せず腐食される金
属加工品を提供することである。
む腐食防止薄膜で被覆された不動態化せず腐食される金
属加工品を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】上述の制限を克服し腐食
防止効果を大きく改善するために、コバルトを含む加工
品上にCu−BTAを含む薄膜が形成される。
防止効果を大きく改善するために、コバルトを含む加工
品上にCu−BTAを含む薄膜が形成される。
【0011】銅を含む加工品上のCu−BTAの薄膜に
よって得られる保護機能は、当業者にはよく知られてい
るが、本発明に関わるのは、第2銅イオン・ベンゾトリ
アゾルとその誘電体を含む処理浴を使用して、銅を含ま
ず、不動態化せず、腐食される加工品上にそのようなC
u(I)−BTA膜を形成することである。符号Cu
(I)はベンゾトリアゾルと化合する銅が+1の酸化状
態にあることを示す。ベンゾトリアゾルとその誘電体
は、1H−BTA、5CH3 −BTA及び5Cl−BT
Aよりなる群から選択される。
よって得られる保護機能は、当業者にはよく知られてい
るが、本発明に関わるのは、第2銅イオン・ベンゾトリ
アゾルとその誘電体を含む処理浴を使用して、銅を含ま
ず、不動態化せず、腐食される加工品上にそのようなC
u(I)−BTA膜を形成することである。符号Cu
(I)はベンゾトリアゾルと化合する銅が+1の酸化状
態にあることを示す。ベンゾトリアゾルとその誘電体
は、1H−BTA、5CH3 −BTA及び5Cl−BT
Aよりなる群から選択される。
【0012】この保護膜は本発明に従って、Cu2+イオ
ンとベンゾトリアゾル(1H−BTA)を含む溶液にコ
バルト加工品を晒すことによって形成される。Cu2+と
Coの自発的相互作用により、Co表面にCu(I)B
TAが形成されコバルトの永久腐食防止膜が得られる。
Cu2+は銅塩(好ましくは、硫酸銅)の希薄溶液から得
られる。本発明はコバルト、コバルト合金の他、アルミ
ニウム、マグネシウム、鉄、マンガン、タングステン、
亜鉛、及びそれらの合金に対しても適用できる。
ンとベンゾトリアゾル(1H−BTA)を含む溶液にコ
バルト加工品を晒すことによって形成される。Cu2+と
Coの自発的相互作用により、Co表面にCu(I)B
TAが形成されコバルトの永久腐食防止膜が得られる。
Cu2+は銅塩(好ましくは、硫酸銅)の希薄溶液から得
られる。本発明はコバルト、コバルト合金の他、アルミ
ニウム、マグネシウム、鉄、マンガン、タングステン、
亜鉛、及びそれらの合金に対しても適用できる。
【0013】上記に代わる方法では、ホウ酸ナトリウム
などのホウ酸塩と、ホウ酸との溶液であるホウ酸塩緩衝
剤をCu2+イオンと1H−BTAの水溶液に添加し、p
Hを8−9の範囲に調整する。ホウ酸塩緩衝剤をBTA
+Cu2++H2O の溶液に添加することで、加工品表面
にCu(I)−BTAの保護膜を形成しつつ、第2銅イ
オンと1H−BTAの溶液における処理中の加工品の腐
食速度を低下させることができる。
などのホウ酸塩と、ホウ酸との溶液であるホウ酸塩緩衝
剤をCu2+イオンと1H−BTAの水溶液に添加し、p
Hを8−9の範囲に調整する。ホウ酸塩緩衝剤をBTA
+Cu2++H2O の溶液に添加することで、加工品表面
にCu(I)−BTAの保護膜を形成しつつ、第2銅イ
オンと1H−BTAの溶液における処理中の加工品の腐
食速度を低下させることができる。
【0014】
【実施例】本発明は簡単な化学処理により、不動態化せ
ず腐食される金属上に腐食防止膜を形成することに関す
る。保護膜はCu(I)−BTA錯体を含む。
ず腐食される金属上に腐食防止膜を形成することに関す
る。保護膜はCu(I)−BTA錯体を含む。
【0015】本発明は2成分(好適には3成分)のシス
テムに関わる。具体的には、通常は1H−BTAのみに
より非本質的に保護されるコバルト、鉄等の金属上に本
質的保護膜を形成するためにCu2+イオンとベンゾトリ
アゾル(1H−BTA)の希薄溶液(ホウ酸塩緩衝剤を
含むものが望ましい)が用いられる。コバルト等の金属
を、Cu2+イオンと1H−BTAを含む溶液に晒すこと
によって、Cu2+と金属の自発的相互作用により金属表
面にCu(I)BTAの膜が作られ、金属の永久腐食防
止機能が得られる。
テムに関わる。具体的には、通常は1H−BTAのみに
より非本質的に保護されるコバルト、鉄等の金属上に本
質的保護膜を形成するためにCu2+イオンとベンゾトリ
アゾル(1H−BTA)の希薄溶液(ホウ酸塩緩衝剤を
含むものが望ましい)が用いられる。コバルト等の金属
を、Cu2+イオンと1H−BTAを含む溶液に晒すこと
によって、Cu2+と金属の自発的相互作用により金属表
面にCu(I)BTAの膜が作られ、金属の永久腐食防
止機能が得られる。
【0016】以下の例はCu(I)−BTAを含む腐食
防止膜をコバルトまたはコバルト合金の加工品上に形成
するための浴溶液を示す。
防止膜をコバルトまたはコバルト合金の加工品上に形成
するための浴溶液を示す。
【0017】コバルトまたはコバルト合金の加工品は、
0.01Mの1H−BTAと低濃度の第2銅イオンを含
む水溶液(または蒸留水もしくは脱イオン水)に晒され
る。該望ましい水溶液は1×10-5M乃至6×10-5M
の範囲のCuSO45H2Oである。
0.01Mの1H−BTAと低濃度の第2銅イオンを含
む水溶液(または蒸留水もしくは脱イオン水)に晒され
る。該望ましい水溶液は1×10-5M乃至6×10-5M
の範囲のCuSO45H2Oである。
【0018】水中のCoの開路電位は通常、Cu酸化の
可逆電位より低い約400mVである。そのため第2銅
イオンはCo表面で還元する傾向を示す。還元速度は希
薄溶液で限定される拡散の程度である。
可逆電位より低い約400mVである。そのため第2銅
イオンはCo表面で還元する傾向を示す。還元速度は希
薄溶液で限定される拡散の程度である。
【0019】非錯化溶液中におけるCu++の最初の還元
ステップはCu+ の形成である。次のステップではCu
+ から金属Cuが形成される。これはCuの電着メカニ
ズムの1つである。
ステップはCu+ の形成である。次のステップではCu
+ から金属Cuが形成される。これはCuの電着メカニ
ズムの1つである。
【0020】本発明の第2ステップは、溶液にしたがっ
てCo表面にBTA- があるために妨げられる。BTA
はCu+ イオンと素早く反応しCu(I)−BTAの薄
膜が加工品表面に形成される。第2銅イオンの還元速度
がCoの溶解を制御する酸素の還元速度をかなり下回る
ように、Cuイオン濃度は低く保つことが大切である。
Cu(I)−BTAの膜厚はその場の偏光解析法で評価
される際には、CuSO4 濃度、溶液のpH、攪拌速
度、及び浸漬時間に依存する。たとえばベンゾトリアゾ
ルと6×10-5MのCuSO4を含む水溶液がO2気泡で
攪拌されると膜厚は放物線状に増加し、10分間では約
12nmの厚みになる。
てCo表面にBTA- があるために妨げられる。BTA
はCu+ イオンと素早く反応しCu(I)−BTAの薄
膜が加工品表面に形成される。第2銅イオンの還元速度
がCoの溶解を制御する酸素の還元速度をかなり下回る
ように、Cuイオン濃度は低く保つことが大切である。
Cu(I)−BTAの膜厚はその場の偏光解析法で評価
される際には、CuSO4 濃度、溶液のpH、攪拌速
度、及び浸漬時間に依存する。たとえばベンゾトリアゾ
ルと6×10-5MのCuSO4を含む水溶液がO2気泡で
攪拌されると膜厚は放物線状に増加し、10分間では約
12nmの厚みになる。
【0021】電気化学データによると上記の方法で形成
された膜は、ベンゾトリアゾルを含む溶液中でも、その
後ベンゾトリアゾルのない溶液に晒されている時でもコ
バルト加工品の保護膜となる。水中の腐食速度は以下に
示すように元の値の4%にまで下がる。
された膜は、ベンゾトリアゾルを含む溶液中でも、その
後ベンゾトリアゾルのない溶液に晒されている時でもコ
バルト加工品の保護膜となる。水中の腐食速度は以下に
示すように元の値の4%にまで下がる。
【0022】
【表1】 3重蒸留水の点滴で測定した腐食電位(V、MSE)と腐食速度(A/cm2 ) の関係 サンプル 腐食電圧(V、MSE) 腐食速度(A/cm2) Co −0.66 1×10-6 Cu(I)−BTA被覆のCo −0.82 4×10-8
【0023】Cu(I)−BTA膜を有するコバルト加
工品の腐食電位が、膜を持たないCoサンプルで測定さ
れた腐食電位よりも低いという事実は、膜に金属Cuが
ないことと、膜が酸素の還元に対して天然酸化物の場合
よりも強い障壁になっていることを示す。
工品の腐食電位が、膜を持たないCoサンプルで測定さ
れた腐食電位よりも低いという事実は、膜に金属Cuが
ないことと、膜が酸素の還元に対して天然酸化物の場合
よりも強い障壁になっていることを示す。
【0024】上述のシステムの変形では、ホウ酸ナトリ
ウムなどのホウ酸塩とホウ酸とのホウ酸塩緩衝剤を処理
液に添加してpHが8乃至9の範囲とした場合には、処
理中のコバルトの腐食速度はさらに著しく低下する。
ウムなどのホウ酸塩とホウ酸とのホウ酸塩緩衝剤を処理
液に添加してpHが8乃至9の範囲とした場合には、処
理中のコバルトの腐食速度はさらに著しく低下する。
【0025】1H−BTAとホウ酸塩緩衝剤の水溶液で
コバルト加工品を処理しても、加工品を溶液から取出せ
ば腐食防止機能は得られない。コバルト加工品をCuS
O4+1H−BTAの水溶液で処理すれば保護機能が持
続するが、処理中の加工品の腐食速度は小型磁性素子の
処理等、特定の分野では極めて速くなり得る。コバルト
加工品をCuSO4 +1H−BTA+ホウ酸塩緩衝剤の
水溶液で処理した場合は、永続的な保護膜が形成され、
処理中の加工品の腐食速度は非常に低くなる。
コバルト加工品を処理しても、加工品を溶液から取出せ
ば腐食防止機能は得られない。コバルト加工品をCuS
O4+1H−BTAの水溶液で処理すれば保護機能が持
続するが、処理中の加工品の腐食速度は小型磁性素子の
処理等、特定の分野では極めて速くなり得る。コバルト
加工品をCuSO4 +1H−BTA+ホウ酸塩緩衝剤の
水溶液で処理した場合は、永続的な保護膜が形成され、
処理中の加工品の腐食速度は非常に低くなる。
【0026】実験では0.09Mのホウ酸と0.005
Mのホウ酸ナトリウムがCu2++1H−BTAの水溶液
に添加され、pH8.2の溶液が得られた。ホウ酸/ホ
ウ酸塩緩衝剤等のアルカリ溶液でpH8.2あるいは希
アンモニアでpH8.8乃至9にあれば、1H−BTA
だけでコバルトに対する効果的な腐食防止剤となる。ホ
ウ酸/ホウ酸塩溶液だけではコバルトに対して有用な腐
食防止剤とはならない。しかし1H−BTAがあればホ
ウ酸/ホウ酸塩緩衝剤が腐食防止プロセスに有用と認め
られた。
Mのホウ酸ナトリウムがCu2++1H−BTAの水溶液
に添加され、pH8.2の溶液が得られた。ホウ酸/ホ
ウ酸塩緩衝剤等のアルカリ溶液でpH8.2あるいは希
アンモニアでpH8.8乃至9にあれば、1H−BTA
だけでコバルトに対する効果的な腐食防止剤となる。ホ
ウ酸/ホウ酸塩溶液だけではコバルトに対して有用な腐
食防止剤とはならない。しかし1H−BTAがあればホ
ウ酸/ホウ酸塩緩衝剤が腐食防止プロセスに有用と認め
られた。
【0027】ベンゾトリアゾルを含む10-5MのCuS
O4 水溶液中でコバルト加工品を使用して行なった測定
では、いずれもCo腐食速度が1分間で2倍低下し、5
分間では10倍低下したことがわかった。ただし、10
-5MのCuSO4 及びホウ酸/ホウ酸塩とのアルカリ溶
液からの10-2MのBTAを含む浴ではCoの溶解が実
際上、即座に約100分の1に減少した。新たに形成さ
れた保護膜CuBTAは非常に薄く、10分間で3.2
nmの厚みになった。
O4 水溶液中でコバルト加工品を使用して行なった測定
では、いずれもCo腐食速度が1分間で2倍低下し、5
分間では10倍低下したことがわかった。ただし、10
-5MのCuSO4 及びホウ酸/ホウ酸塩とのアルカリ溶
液からの10-2MのBTAを含む浴ではCoの溶解が実
際上、即座に約100分の1に減少した。新たに形成さ
れた保護膜CuBTAは非常に薄く、10分間で3.2
nmの厚みになった。
【0028】膜は一度形成されると、ベンゾトリアゾル
の処理だけで観測される場合よりも良好な永久保護機能
を示す。
の処理だけで観測される場合よりも良好な永久保護機能
を示す。
【0029】CuSO4 、1H−BTA及びホウ酸塩緩
衝剤の溶液はCo消費量が極めて少なく、そのため、よ
り高い濃度のCuSO4 (10-3M等)は最大10nm
までの厚みのあるCuBTA膜を得て、永久腐食防止機
能を最高2倍にまで高めるのに使用できる。
衝剤の溶液はCo消費量が極めて少なく、そのため、よ
り高い濃度のCuSO4 (10-3M等)は最大10nm
までの厚みのあるCuBTA膜を得て、永久腐食防止機
能を最高2倍にまで高めるのに使用できる。
【0030】上記の内容は主にコバルトとコバルト合金
の加工品を対象にしているが、本発明は、開路電位が銅
よりも低い他の金属や合金にも適用できる。このような
金属としてアルミニウム、マグネシウム、鉄、マンガ
ン、タングステン、亜鉛、それらの合金等がある。また
本発明は5CH3 −BTA、5Cl−BTA等、ベンゾ
トリアゾルの他の誘導体にも有用である。
の加工品を対象にしているが、本発明は、開路電位が銅
よりも低い他の金属や合金にも適用できる。このような
金属としてアルミニウム、マグネシウム、鉄、マンガ
ン、タングステン、亜鉛、それらの合金等がある。また
本発明は5CH3 −BTA、5Cl−BTA等、ベンゾ
トリアゾルの他の誘導体にも有用である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジェラルド・サイモン・フランケル アメリカ合衆国10562、ニューヨーク州オ シニング、アンダーヒル・ロード 72 (72)発明者 ティナ・アレクサンドリア・ピーターソン アメリカ合衆国10546、ニューヨーク州ミ ルウッド、ピー・オー・ボックス 353 (72)発明者 ベンジャミン・マーク・ラッシュ アメリカ合衆国94705、カリフォルニア州 バークレイ、ローブル・ロード 75 (72)発明者 アレジャンドロ・ジィ・シャーロット アメリカ合衆国10011、ニューヨーク州ニ ューヨーク、アパートメント 9−ビィ、 ウエスト12ストリート 175
Claims (11)
- 【請求項1】金属上に腐食防止膜を形成する水溶液であ
って、Cu2+イオン、ベンゾトリアゾル、及びその誘導
体を含む水溶液。 - 【請求項2】上記水溶液のpHを調整するためのホウ酸
塩緩衝剤を含む請求項1記載の水溶液。 - 【請求項3】約0.01Mの1H−BTAと濃度が約1
×10-5乃至6×10-5Mの範囲のCuSO45H2Oを
含む請求項2記載の水溶液。 - 【請求項4】上記ベンゾトリアゾルとその誘導体が1H
−BTA、5CH3 −BTA、及び5Cl−BTAより
成るグループから選択される請求項1記載の水溶液。 - 【請求項5】上記ベンゾトリアゾルとその誘導体が1H
−BTAである請求項4記載の水溶液。 - 【請求項6】金属上に腐食防止膜を形成する方法であっ
て、Cu2+イオン、ベンゾトリアゾル、及びその誘導体
を含む溶液に上記金属を晒して上記金属上にCu(I)
−BTAの薄膜を形成するステップを含む方法。 - 【請求項7】請求項6記載の方法に従って形成されるC
u(I)−BTAの薄膜で被覆された金属。 - 【請求項8】上記金属がコバルト、アルミニウム、マグ
ネシウム、鉄、マンガン、タングステン、亜鉛、及びそ
れらの合金より成るグループから選択される請求項6記
載の方法。 - 【請求項9】上記溶液がさらにホウ酸塩緩衝剤を含む請
求項6記載の方法。 - 【請求項10】上記Cu2+イオンが硫酸銅から得られる
請求項6記載の方法。 - 【請求項11】磁気記録ヘッド又は磁気ディスクの腐食
防止方法であって、Cu2+イオン、ベンゾトリアゾル、
及びその誘導体を含む水溶液に上記ヘッド又は磁気ディ
スクを晒して上記ヘッド又は磁気ディスク上にCu
(I)−BTAの薄膜を形成するステップを含む方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/849,856 US5316573A (en) | 1992-03-12 | 1992-03-12 | Corrosion inhibition with CU-BTA |
| US849856 | 1992-03-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0681177A true JPH0681177A (ja) | 1994-03-22 |
| JPH07116626B2 JPH07116626B2 (ja) | 1995-12-13 |
Family
ID=25306687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5006952A Expired - Lifetime JPH07116626B2 (ja) | 1992-03-12 | 1993-01-19 | 腐食防止膜及びその形成方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5316573A (ja) |
| EP (1) | EP0560083B1 (ja) |
| JP (1) | JPH07116626B2 (ja) |
| DE (1) | DE69302205T2 (ja) |
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| KR20160145537A (ko) | 2014-05-02 | 2016-12-20 | 미쯔비시 가스 케미칼 컴파니, 인코포레이티드 | 반도체소자의 세정액 및 세정방법 |
| KR20170083025A (ko) | 2014-11-13 | 2017-07-17 | 미쯔비시 가스 케미칼 컴파니, 인코포레이티드 | 코발트의 데미지를 억제한 반도체 소자의 세정액, 및 이것을 이용한 반도체 소자의 세정방법 |
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| CN101353205B (zh) * | 2008-09-16 | 2011-11-02 | 河北省首钢迁安钢铁有限责任公司 | 防止软化水腐蚀设备的方法 |
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