JPH0682081B2 - 動的面出入り測定装置 - Google Patents
動的面出入り測定装置Info
- Publication number
- JPH0682081B2 JPH0682081B2 JP30672889A JP30672889A JPH0682081B2 JP H0682081 B2 JPH0682081 B2 JP H0682081B2 JP 30672889 A JP30672889 A JP 30672889A JP 30672889 A JP30672889 A JP 30672889A JP H0682081 B2 JPH0682081 B2 JP H0682081B2
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- laser
- laser beam
- incident
- polygon mirror
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、レーザプリンタ等に用いられるポリゴンミラ
ーを使ったレーザスキャニング装置の評価装置に関する
ものである。
ーを使ったレーザスキャニング装置の評価装置に関する
ものである。
（従来の技術） レーザプリンタでは、高解像度、高印字品質などの性能
を維持するため、各ユニットには高い加工精度が要求さ
れる。なかでも、レーザ光学系の中核となるレーザスキ
ャナ部ではサブミクロンの精度で加工組立てを行ない、
ユニット全体として長時間にわたって高精度を保証しな
ければならない。スキャナでは、ポリゴンミラーがスピ
ンドルに直結し高速に回転している。これまでもスキャ
ナの寸法、面倒れ等の加工精度などの光学特性を静的に
測定する方法は実用化されている。しかし、スキャナが
高速に回転している状態での動的な面の出入り（軸ぶれ
を含む）を実測する有効な手段がなく、装置に実装のう
え印字の結果でその良否を判定する方法を採用するしか
なかった。
を維持するため、各ユニットには高い加工精度が要求さ
れる。なかでも、レーザ光学系の中核となるレーザスキ
ャナ部ではサブミクロンの精度で加工組立てを行ない、
ユニット全体として長時間にわたって高精度を保証しな
ければならない。スキャナでは、ポリゴンミラーがスピ
ンドルに直結し高速に回転している。これまでもスキャ
ナの寸法、面倒れ等の加工精度などの光学特性を静的に
測定する方法は実用化されている。しかし、スキャナが
高速に回転している状態での動的な面の出入り（軸ぶれ
を含む）を実測する有効な手段がなく、装置に実装のう
え印字の結果でその良否を判定する方法を採用するしか
なかった。
（発明が解決しようとする課題） 前記従来の方法では、作業効率が低く生産性の向上が期
待できず、従ってスキャナの特性を動的な条件下で高速
・高精度に測定できる手法の開発が切望されていた。
待できず、従ってスキャナの特性を動的な条件下で高速
・高精度に測定できる手法の開発が切望されていた。
又、動的な面の出入り量が、ミラー面全体に渡ってどの
ようになっているかを測定できれば回転中のミラーの歪
みの程度を知ることができるため高精度なスキャナの評
価、解析に有用となる。
ようになっているかを測定できれば回転中のミラーの歪
みの程度を知ることができるため高精度なスキャナの評
価、解析に有用となる。
（課題を解決するための手段） 本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、
実施例に対応する第１図で説明すると、回転してポリゴ
ンミラー１に第１のレーザ光源２から射出されたレーザ
ビームL1をｎ個のビームスプリッタB1,B2……Bnでｎ個
のレーザビームLa1,La2……Lanに分けて入射し、その反
射されたレーザビームLb1,Lb2……Lbnがシリンドリカル
レンズ７を通り、通過後のレーザビームの位置を検出す
る位置検出器D1,D2……Dnに入射し、更に第２のレーザ
光源４から出射されたレーザビームL3はハーフミラー５
を通過させ、その通過したレーザビームL4をポリゴンミ
ラー１に入射し、その反射されたレーザビームL5を前記
ハーフミラー５に入射し、その反射光L6をトリガ発生器
６に入射するように構成したものである。
実施例に対応する第１図で説明すると、回転してポリゴ
ンミラー１に第１のレーザ光源２から射出されたレーザ
ビームL1をｎ個のビームスプリッタB1,B2……Bnでｎ個
のレーザビームLa1,La2……Lanに分けて入射し、その反
射されたレーザビームLb1,Lb2……Lbnがシリンドリカル
レンズ７を通り、通過後のレーザビームの位置を検出す
る位置検出器D1,D2……Dnに入射し、更に第２のレーザ
光源４から出射されたレーザビームL3はハーフミラー５
を通過させ、その通過したレーザビームL4をポリゴンミ
ラー１に入射し、その反射されたレーザビームL5を前記
ハーフミラー５に入射し、その反射光L6をトリガ発生器
６に入射するように構成したものである。
（作用） 本発明によれば、多数のレーザビームLa1,La2……Lanを
ポリゴンミラー１のミラー面に入射し、その反射したレ
ーザビームLb1,Lb2……Lbnの位置ずれ量は面の出入り成
分に比例するためポリゴンミラー１のある面中の走査方
向の面出入り量の測定が可能となる。
ポリゴンミラー１のミラー面に入射し、その反射したレ
ーザビームLb1,Lb2……Lbnの位置ずれ量は面の出入り成
分に比例するためポリゴンミラー１のある面中の走査方
向の面出入り量の測定が可能となる。
更に、第２のレーザ光源４から出射されたレーザ光L3は
ハーフミラー５を通過し、ポリゴンミラー１に入射す
る。このレーザビームL3も同様にポリゴンの回転に伴っ
て走査するが同図のようにポリゴンのミラー面と入射レ
ーザビームL4が垂直になったとき、反射レーザビームL5
がハーフミラー５に入射し、その反射光L6がトリガ発生
器６に入射する。従ってポリゴンミラー１が同図のよう
な状態になったとき、トリガ発生器６からトリガ信号が
発生し、その瞬間の前記ビーム位置検出器の出力信号を
観測すれば動的面出入り量が測定される。
ハーフミラー５を通過し、ポリゴンミラー１に入射す
る。このレーザビームL3も同様にポリゴンの回転に伴っ
て走査するが同図のようにポリゴンのミラー面と入射レ
ーザビームL4が垂直になったとき、反射レーザビームL5
がハーフミラー５に入射し、その反射光L6がトリガ発生
器６に入射する。従ってポリゴンミラー１が同図のよう
な状態になったとき、トリガ発生器６からトリガ信号が
発生し、その瞬間の前記ビーム位置検出器の出力信号を
観測すれば動的面出入り量が測定される。
（実施例） 第１図は本発明の一実施例を説明する図であって、第１
のレーザ光源２からほぼ平行なレーザビームL1が出射さ
れ、ｎ個、例えば５個のビームスプリッタB1,B2……B5
で分けられレーザビームLa1,La2……La5を発生させる。
ビームスプリッタの反射率はB1,B2……B5の順で１−
2-5,2-4,2-3,2-2,2-1としてレーザビームLa1,La2……La
5のレーザパワーを等しくする。
のレーザ光源２からほぼ平行なレーザビームL1が出射さ
れ、ｎ個、例えば５個のビームスプリッタB1,B2……B5
で分けられレーザビームLa1,La2……La5を発生させる。
ビームスプリッタの反射率はB1,B2……B5の順で１−
2-5,2-4,2-3,2-2,2-1としてレーザビームLa1,La2……La
5のレーザパワーを等しくする。
このレーザビームLa1,La2……La5を角度をもって、回転
しているポリゴンミラー１に入射する。入射されたレー
ザビームLa1,La2……Lanはポリゴンミラーの回転に伴い
走査するがポリゴンミラーが同図の様な状態になった
時、ポリゴンミラーからの反射光La1,La2……La5はシリ
ンドリカルレンズ７を通り、レーザビーム位置検出器D
1,D2……D5に入射。このシリンドリカルレンズ７はポリ
ゴンミラーの副走査方向のビーム位置ずれになる面倒れ
を同時に発生しているので、これによるビーム位置検出
器３の出力誤差を低減するためのものである。
しているポリゴンミラー１に入射する。入射されたレー
ザビームLa1,La2……Lanはポリゴンミラーの回転に伴い
走査するがポリゴンミラーが同図の様な状態になった
時、ポリゴンミラーからの反射光La1,La2……La5はシリ
ンドリカルレンズ７を通り、レーザビーム位置検出器D
1,D2……D5に入射。このシリンドリカルレンズ７はポリ
ゴンミラーの副走査方向のビーム位置ずれになる面倒れ
を同時に発生しているので、これによるビーム位置検出
器３の出力誤差を低減するためのものである。
また、第２のレーザ光源４から出射されたレーザ光L3は
ハーフミラー５を通過しポリゴンミラー１に入射する。
このレーザビームL3も同様にポリゴンの回転に伴って走
査するが同図のようにポリゴンのミラー面と入射レーザ
ビームL4が垂直になったとき、反射レーザビームL5がハ
ーフミラー５に入射し、その反射光L6がトリガ発生器６
に入射する。従ってポリゴンミラー１が同図のような状
態になったとき、トリガ発生器６からトリガ信号が発生
し、その瞬間の前記ビーム位置検出器の出力信号を観測
すれば動的面出入り量が測定される。ここで第２図によ
りレーザビームLa1を例に、面出入り量の計算方法を説
明すると、レーザビームLa1が、ポリゴンミラー面が状
態Ａの時、反射光はLb1のようになる。ここで面が出て
状態Ｂになった時の反射光は、Lcとなる。ここでビーム
の移動量を図のようにd1とすると面出入り量doは do＝d1cos（θ/2） となる。
ハーフミラー５を通過しポリゴンミラー１に入射する。
このレーザビームL3も同様にポリゴンの回転に伴って走
査するが同図のようにポリゴンのミラー面と入射レーザ
ビームL4が垂直になったとき、反射レーザビームL5がハ
ーフミラー５に入射し、その反射光L6がトリガ発生器６
に入射する。従ってポリゴンミラー１が同図のような状
態になったとき、トリガ発生器６からトリガ信号が発生
し、その瞬間の前記ビーム位置検出器の出力信号を観測
すれば動的面出入り量が測定される。ここで第２図によ
りレーザビームLa1を例に、面出入り量の計算方法を説
明すると、レーザビームLa1が、ポリゴンミラー面が状
態Ａの時、反射光はLb1のようになる。ここで面が出て
状態Ｂになった時の反射光は、Lcとなる。ここでビーム
の移動量を図のようにd1とすると面出入り量doは do＝d1cos（θ/2） となる。
この様に反射レーザLb1,Lb2,…Lbnの位置ずれを測定で
きるので面の出入り量を求めることができる。
きるので面の出入り量を求めることができる。
（発明の効果） 以上、詳細に説明したように本発明によれば、レーザ光
を２個用いることによりスキャナモータが回転している
ときの動的な面の出入り量が測定できる。
を２個用いることによりスキャナモータが回転している
ときの動的な面の出入り量が測定できる。
また、多数のレーザビームを用いることにより走査方向
の面出入り量がポリゴンミラー面全体に渡ってどのよう
になっているか測定することができる利点を有する。
の面出入り量がポリゴンミラー面全体に渡ってどのよう
になっているか測定することができる利点を有する。
第１図は本発明の一実施例を示すスキャナの動的面出入
り測定装置の構成図、第２図は本実施例の動作原理を説
明する図である。 １……ポリゴンミラー ２……第１のレーザ光源 ４……第２のレーザ光源 ５……ハーフミラー ６……トリガ発生器 ７……シリンドリカルレンズ B1,B2……Bn…ビームスプリッタ D1,D2……Dn…レーザビーム位置検出器
り測定装置の構成図、第２図は本実施例の動作原理を説
明する図である。 １……ポリゴンミラー ２……第１のレーザ光源 ４……第２のレーザ光源 ５……ハーフミラー ６……トリガ発生器 ７……シリンドリカルレンズ B1,B2……Bn…ビームスプリッタ D1,D2……Dn…レーザビーム位置検出器
Claims (1)
- 【請求項１】第１のレーザ光源（２）から出射されたレ
ーザビーム（L1）をｎ個のビームスプリッタ（B1），
（B2）……（Bn）を介してｎ個のレーザビーム（La
1），（La2）……（Lan）に分け、回転しているポリゴ
ンミラー（１）に入射し、その反射されたレーザビーム
（Lb1），（Lb2）……（Lbn）をシリンドリカルレンズ
７を通して、通過後のレーザビームの位置を検出する位
置検出器（D1），（D2）……（Dn）に入射し、更に第２
のレーザ光源（４）から射出されたレーザビーム（L3）
をハーフミラー（５）を通過させ、その通過したレーザ
ビーム（L4）をポリゴンミラー（１）に入射し、その反
射されたレーザビーム（L5）を前記ハーフミラー（５）
に入射し、その反射光（L6）をトリガ発生器（６）に入
射するように構成したことを特徴とする動的面出入り測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30672889A JPH0682081B2 (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | 動的面出入り測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30672889A JPH0682081B2 (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | 動的面出入り測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03167438A JPH03167438A (ja) | 1991-07-19 |
| JPH0682081B2 true JPH0682081B2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=17960582
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30672889A Expired - Lifetime JPH0682081B2 (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | 動的面出入り測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682081B2 (ja) |
-
1989
- 1989-11-28 JP JP30672889A patent/JPH0682081B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03167438A (ja) | 1991-07-19 |
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