JPH0718981B2 - 光偏向器評価装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はレーザープリンタ等に用いられる回転多面鏡、
振動鏡等の光偏向器の評価装置に関するものである。

（従来技術） 従来における光偏向器の偏向性能の評価特性としては、
反射面の倒れ角の変動、回転ムラ等に起因するジッタが
重要視されることを考慮に入れて、種々の評価方法、評
価装置が開示されている（例えば、特開昭64−63916号
公報、特開昭64−28535号公報参照）。

更に前述のものとは別に、面出入つまり面位置の変動は
ジッタ測定値に対して影響を及ぼす点を考慮に入れて面
出入を測定する装置が提案されている（特開平１−2322
26号公報）。

（発明の解決しようとする課題） 一般的に面倒れやジッタを測定する光学系では、鏡面位
置は重要な測定要素である。ところが前述の従来例にお
いては測定しようとする光偏向器は種々の形状を呈して
おり、そのため鏡面の正確な位置を測定し、これを比較
するための効果的な手段は開示されておらず、従って測
定の再現性に乏しいという問題点があった。

又特にジッタの測定に当っては、鏡面の出入りがある
と、ジッタの測定値が変動してしまい、この変動の原因
が突発的な面出入によるものか又は回転変動によるもの
か区別ができないという問題点があった。

（課題を解決するための手段） 本発明は前記の課題を解決すべくなされたもので、その
手段を実施例に対応する添付図面で説明すると、本発明
に掛かる光偏向器評価装置は次の通りである。

偏向反射面の回転を利用してレーザビームを偏向走査す
る光偏向器において、偏向面への入射光、偏向面からの
出射光が回転軸方向から見て一致したことを検出し、ト
リガ信号を発生する様に配置した第１の光源１及び第１
の光検出器６と、第１の光源１と別方向から回転多面鏡
９の偏向面に光ビームを入射させる第２の光源２と前記
第１の光検出器６がトリガ信号を発した時に前記第２の
光源２から発し、偏向面により反射された光ビームの回
転軸方向の位置を検出する第１の光ビーム位置検出器７
と、前記各光源1,2とさらに別方向から回転多面鏡９の
偏向面に光ビームを入射させる第３の光源３と、前記第
１の光検出器６がトリガ信号を発した時に前記第３の光
源３から発し、偏向面により反射された光ビームの走査
方向の位置を検出する第２の光ビームの位置検出器10
と、回転多面鏡９の偏向走査に従い、前記第１の光源１
から出射し、回転多面鏡９で偏向走査された光ビームを
順次検出し、トリガ信号を発生するよう配置された第
２、第３の光検出器4,8とを備え、回転多面鏡９の偏向
面の倒れ角、面の回転中心からの距離、面の回転ムラを
測定することを特徴とする光偏向器評価装置である。

（作用） 本発明においては、ジッタ及び面の出入りに関するデー
タを同時に得ることが可能であるから、面出入りに起因
してジッタの測定値が変化しているのか否かを明確に知
ることができる。

又面位置を必ず特定することが可能であるため、面倒れ
やジッタの測定時の面位置の誤差により測定値の誤差を
低減することができる。

（実施例） 以下添付図面を参照して本発明の一実施例を説明する。

図示の符号1,2,3は光源であり、10は走査方向のビーム
位置を検出する一次元光センサ（以下第２の光ビーム位
置検出器という）、4,8はジッタ計測用トリガセンサで
以下それぞれ第２の光検出器、第３の光検出器という。
５はビームスプリッタ、６は面出入検出用トリガセンサ
で以下第１の光検出器という。７は回転軸に平行方向の
ビーム位置を検出する一次元光センサで、以下第１の光
ビーム位置検出器という。９は回転多面鏡である。

回転多面鏡９が所定方向へ回転すると、先ず光源１の光
が回転多面鏡９に反射して第３の光検出器であるトリガ
センサ８に入射し、トリガ信号を発生する。次に光源１
の光はビームスプリッタ５を透過し、回転多面鏡９をへ
て再びビームスプリッタ５で反射し、第１の光検出器で
ある面出入検出用トリガセンサ６に入射し、面出入検出
用トリガ信号が発生する。このとき光源３から出た光は
走査方向のビーム位置を検出する第２の光ビーム位置検
出器である一次元光センサ10に入射しており、前記面出
入用トリガ信号が発生する瞬間の一次元光センサ10上の
ビーム位置が測定される。前記面出入検出用トリガ信号
が発生する際の光源１からの光の光路は、入射光、反射
光とが一致しているので、回転多面鏡の面の位置による
影響はない。しかるに光源３から出た光は回転多面鏡の
面位置による影響をうけるので、面の位置によって第２
光ビーム位置検出器である一次元光センサ10に入射する
ビーム位置が変化するから、これにより面の出入りを計
測することが可能である。又同時に光源２からの光が回
転多面鏡９で反射して第１の光ビーム位置検出器である
一次元光センサ７に入射する。ここで反射光の回転軸に
平行方向の位置が計られるので、面倒れの計測が行われ
る。

次に光源１から出た光は、回転多面鏡９に反射して、第
２の光検出器であるトリガセンサ４に入射し、トリガ信
号を発生する。ここで前記第３の光検出器８で発生した
トリガ信号から、前記第２の光検出器４で発したトリガ
信号発生までの時間をカウンタ（図示せず）で測定する
ことにより、ジッタの計測が行われる。

このようにして、面出入り、面倒れ、ジッタ現象の同時
測定が可能となる。

更に本実施例においては３個の光源1,2,3を別々に採用
しているが、単一光源を採用し、この光源よりの光をビ
ームスプリッタ等で分割して使用することができること
は勿論である。

（効果） 本発明によれば、面出入りとジッタとを同時に測定する
ことが可能であるため、ジッタの原因となる要素より面
出入りに起因する成分を除去することができる。さらに
面出入測定時に反射面の位置が正確に特定できるので、
採用する光偏向器の形状が変っても、同一条件で安定し
た測定作業が行われる等の効果がある。

【図面の簡単な説明】 添付図面は本発明に係る光偏向器評価装置の平面図。 1,2,3…光源、4,6…トリガセンサ、５…ビームスプリッ
タ、７…一次元光センサ、８…トリガセンサ、９…回転
多面鏡、10…一次元光センサ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】偏向反射面の回転を利用してレーザビーム
   を偏向走査する光偏向器において、偏向面への入射光、
   偏向面からの出射光が回転軸方向から見て一致したこと
   を検出し、トリガ信号を発生する様に配置した第１の光
   源及び第１の光検出器と、第１の光源と別方向からの回
   転多面鏡の偏向面に光ビームを入射させる第２の光源
   と、前記第１の光検出器がトリガ信号を発した時に前記
   第２の光源から発し、偏向面により反射された光ビーム
   の回転軸方向の位置を検出する第１の光ビーム位置検出
   器と、前記各光源とさらに別方向から回転多面鏡の偏向
   面に光ビームを入射させる第３の光源と、前記第１の光
   検出器がトリガ信号を発した時に前記第３の光源から発
   し、偏向面により反射された光ビームの走査方向の位置
   を検出する第２の光ビーム位置検出器と、回転多面鏡の
   偏向走査に従い、前記第１の光源から出射し、回転多面
   鏡で偏向走査された光ビームを順次検出し、トリガ信号
   を発生するよう配置された第２、第３の光検出器とを備
   え、回転多面鏡の偏向面の倒れ角、面の回転中心からの
   距離、面の回転ムラを測定することを特徴とする光偏向
   器評価装置。