JPH06822Y2 - 半導体ウエハ移載装置 - Google Patents
半導体ウエハ移載装置Info
- Publication number
- JPH06822Y2 JPH06822Y2 JP14310087U JP14310087U JPH06822Y2 JP H06822 Y2 JPH06822 Y2 JP H06822Y2 JP 14310087 U JP14310087 U JP 14310087U JP 14310087 U JP14310087 U JP 14310087U JP H06822 Y2 JPH06822 Y2 JP H06822Y2
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- JP
- Japan
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- wafer
- holding
- groove
- boat
- wafers
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- Expired - Lifetime
Links
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 62
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 3
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、ウエハケースに収納された複数枚の半導体
ウエハ（以下単にウエハという）を、ウエハの縁部を差
し込む溝が傾斜した石英あるいはシリコン製ボートに一
斎に移載する半導体ウエハ移載装置に関するものであ
る。
ウエハ（以下単にウエハという）を、ウエハの縁部を差
し込む溝が傾斜した石英あるいはシリコン製ボートに一
斎に移載する半導体ウエハ移載装置に関するものであ
る。
ウエハの熱処理を行なう際に、炉の中で複数枚のウエハ
を保持するのに石英またはシリコン製ボートが用いられ
る。
を保持するのに石英またはシリコン製ボートが用いられ
る。
通常、このボートには表面に一定間隔ごとに面に垂直な
溝が平行に設けられていて、ウエハがその縁部が溝に差
し込まれて保持され、ボートの面に垂直に等間隔に載置
され、炉に納められる。
溝が平行に設けられていて、ウエハがその縁部が溝に差
し込まれて保持され、ボートの面に垂直に等間隔に載置
され、炉に納められる。
第３図は従来の溝が面に垂直なボートに対する半導体ウ
エハ移載装置を示す斜視図で、１はウエハ、２は二枚が
対となり、等間隔に設けられた溝２１でウエハ１の縁部
を支えウエハ１を挾持する挾持板である。
エハ移載装置を示す斜視図で、１はウエハ、２は二枚が
対となり、等間隔に設けられた溝２１でウエハ１の縁部
を支えウエハ１を挾持する挾持板である。
ある間隔を保つて対向する二枚の挾持板２の間に、ウエ
ハケースから垂直に押し上げられた各ウエハ１は、両側
の縁部がそれぞれ挾持板２の溝２１に差し込まれて二枚
の挾持板２に挾持され、ボートに一斎に移載される。
ハケースから垂直に押し上げられた各ウエハ１は、両側
の縁部がそれぞれ挾持板２の溝２１に差し込まれて二枚
の挾持板２に挾持され、ボートに一斎に移載される。
従来、一般に使用されている溝が面に垂直なボートで
は、載置したウエハが、溝の内面と差し込んだウエハの
縁部の間の隙間の存在によって、いずれかの側へいくら
か傾く。
は、載置したウエハが、溝の内面と差し込んだウエハの
縁部の間の隙間の存在によって、いずれかの側へいくら
か傾く。
各ウエハが同じ側に傾くと、ウエハの平行性が保たれ、
各ウエハにおける処理の均一性が保証されるが、各ウエ
ハが同じ側に傾くとは限らず、ウエハの平行性が保たれ
なく、ウエハの処理が不均一になることがある。
各ウエハにおける処理の均一性が保証されるが、各ウエ
ハが同じ側に傾くとは限らず、ウエハの平行性が保たれ
なく、ウエハの処理が不均一になることがある。
上記問題を回避するために、各ウエハが常に同じ側に傾
くように、溝が傾斜したボートが使用されるようになっ
てきた。この場合には、従来の移載装置では、ウエハを
ボートに一斎に移載することは難しい。
くように、溝が傾斜したボートが使用されるようになっ
てきた。この場合には、従来の移載装置では、ウエハを
ボートに一斎に移載することは難しい。
第４図は従来の移載装置による溝が傾斜したボートへの
ウエハの一斎移載の難しさを示す模式図で、第３図と同
一の符号は同一のものを示し、３はウエハ１の縁部が差
し込まれる溝３１が傾斜した構造に設けられたボートで
ある。
ウエハの一斎移載の難しさを示す模式図で、第３図と同
一の符号は同一のものを示し、３はウエハ１の縁部が差
し込まれる溝３１が傾斜した構造に設けられたボートで
ある。
二枚の挾持板２に挾持された各ウエハ１は、ボート３に
面に垂直な姿勢で移載されるために、各ウエハ１の縁部
が傾斜した溝３１に入り込まないうちに、ウエハ１自体
が倒れ、確実に移載することは難しい。
面に垂直な姿勢で移載されるために、各ウエハ１の縁部
が傾斜した溝３１に入り込まないうちに、ウエハ１自体
が倒れ、確実に移載することは難しい。
従来の移載装置では、溝が傾斜したボートにウエハを一
斎に移載することは難しく、従来は、溝が傾斜したボー
トにはウエハを一枚ずつ溝に差し込む方法が採られてい
て、効率が上らないという問題があった。
斎に移載することは難しく、従来は、溝が傾斜したボー
トにはウエハを一枚ずつ溝に差し込む方法が採られてい
て、効率が上らないという問題があった。
この考案は、上記の問題を解消するためになされたもの
で、溝が傾斜したボートにウエハを一斎に確実に移載で
きる装置を提供することを目的とする。
で、溝が傾斜したボートにウエハを一斎に確実に移載で
きる装置を提供することを目的とする。
この考案の移載装置は、ウエハケースから垂直に押し上
げられた各ウエハを両サイドから該ウエハの縁部を溝で
支えて挾持する挾持部片が各サイドこどに平行な二枚の
板にそれぞれ軸によって回転自在な構造に取り付けら
れ、両サイドの対向する一方の板を平行にずらすことら
よって上記各挾持部片が挾持する各ウエハを同じ傾きに
傾斜さすことができるものである。
げられた各ウエハを両サイドから該ウエハの縁部を溝で
支えて挾持する挾持部片が各サイドこどに平行な二枚の
板にそれぞれ軸によって回転自在な構造に取り付けら
れ、両サイドの対向する一方の板を平行にずらすことら
よって上記各挾持部片が挾持する各ウエハを同じ傾きに
傾斜さすことができるものである。
第１図はこの考案の一実施例を示す斜視図、第２図
(a)，(b)は第１図の実施例の動作を示す模式図で、第３
図、第４図と同一の符号は同一又は相当するものを示
し、４は対向する二つが対になってウエハ１を両サイド
からウエハ１の縁部を溝４１で支えて挾持する挾持部
片、５ａ，５ｂは各サイドごとの挾持部片４が軸６によ
って回転自在な構造に取り付けられ常に平行状態を保つ
ように連結された板、７はウエハケース、８はウエハ押
し上げ板である。
(a)，(b)は第１図の実施例の動作を示す模式図で、第３
図、第４図と同一の符号は同一又は相当するものを示
し、４は対向する二つが対になってウエハ１を両サイド
からウエハ１の縁部を溝４１で支えて挾持する挾持部
片、５ａ，５ｂは各サイドごとの挾持部片４が軸６によ
って回転自在な構造に取り付けられ常に平行状態を保つ
ように連結された板、７はウエハケース、８はウエハ押
し上げ板である。
複数個の挾持部片４が二枚の板５ａ，５ｂにそれぞれ軸
６によって回転自在な構造に取り付けられ、二枚の板５
ａ，５ｂが常に平行状態を保つように連結された二つの
構体がある間隔を保って対向する間に、ウエハケース７
から垂直に押し上げられた各ウエハ１は、両側の縁部が
それぞれ挾持部片４の溝４１に差し込まれて、対向する
挾持部片４に挾持される。
６によって回転自在な構造に取り付けられ、二枚の板５
ａ，５ｂが常に平行状態を保つように連結された二つの
構体がある間隔を保って対向する間に、ウエハケース７
から垂直に押し上げられた各ウエハ１は、両側の縁部が
それぞれ挾持部片４の溝４１に差し込まれて、対向する
挾持部片４に挾持される。
対向する二つの構体の平行な二枚の板５ａ，５ｂは対向
する板ごとに他の物体を介して連結されていて、一方の
板（例えば５ｂ）を平行にずらすと、各挾持部片４が同
じ傾きに傾斜する。
する板ごとに他の物体を介して連結されていて、一方の
板（例えば５ｂ）を平行にずらすと、各挾持部片４が同
じ傾きに傾斜する。
対向する挾持部片４が挾持する各ウエハ１の傾きがボー
ト３の溝３１の傾きと同じになった状態で、各ウエハの
縁部を一斎に溝３１に差し込み、各ウエハ１を挾持から
解放すれば、各ウエハ１は倒れることなく、溝３１で保
持され、確実に一斎に移載できる。
ト３の溝３１の傾きと同じになった状態で、各ウエハの
縁部を一斎に溝３１に差し込み、各ウエハ１を挾持から
解放すれば、各ウエハ１は倒れることなく、溝３１で保
持され、確実に一斎に移載できる。
以上のとおり、この考案によれば、溝が傾斜したボート
に対しても、ウエハを一斎に移載できることになり、効
率が上るという効果がある。
に対しても、ウエハを一斎に移載できることになり、効
率が上るという効果がある。
第１図はこの考案の一実施例を示す斜視図、第２図
(a)，(b)は第１図の実施例の動作を示す模式図、第３図
は従来の溝が面に垂直なボートに対する半導体ウエハ移
載装置を示す斜視図、第４図は従来の移載装置による溝
が傾斜したボートへのウエハの一斎移載の難しさを示す
模式図である。 １…ウエハ、３…ボート、４…挾持部片、５ａ，５ｂ…
板、６…軸、７…ウエハケース、８…ウエハ押し上げ
板、３１…溝、４１…溝、 なお各図中同一符号は同一または相当するものを示す。
(a)，(b)は第１図の実施例の動作を示す模式図、第３図
は従来の溝が面に垂直なボートに対する半導体ウエハ移
載装置を示す斜視図、第４図は従来の移載装置による溝
が傾斜したボートへのウエハの一斎移載の難しさを示す
模式図である。 １…ウエハ、３…ボート、４…挾持部片、５ａ，５ｂ…
板、６…軸、７…ウエハケース、８…ウエハ押し上げ
板、３１…溝、４１…溝、 なお各図中同一符号は同一または相当するものを示す。
Claims (1)
- 【請求項１】ウエハケースに収納した複数枚の半導体ウ
エハを、半導体ウエハの縁部を差し込む溝が傾斜した石
英あるいはシリコン製ボートに一斎に移載するための装
置で、ウエハケースから垂直に押し上げられた各半導体
ウエハを両サイドから該半導体ウエハの縁部を溝で支え
て挾持する各挾持部片が各サイドごとに平行な二枚の板
にそれぞれ軸によって回転自在な構造に取り付けられ、
両サイドの対向する一方の板を平行にずらすことによっ
て上記各挾持部片が挾持する各半導体ウエハを同じ傾き
に傾斜さすことができる半導体ウエハ移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14310087U JPH06822Y2 (ja) | 1987-09-21 | 1987-09-21 | 半導体ウエハ移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14310087U JPH06822Y2 (ja) | 1987-09-21 | 1987-09-21 | 半導体ウエハ移載装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6448034U JPS6448034U (ja) | 1989-03-24 |
| JPH06822Y2 true JPH06822Y2 (ja) | 1994-01-05 |
Family
ID=31409618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14310087U Expired - Lifetime JPH06822Y2 (ja) | 1987-09-21 | 1987-09-21 | 半導体ウエハ移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06822Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-09-21 JP JP14310087U patent/JPH06822Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6448034U (ja) | 1989-03-24 |
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