JPH0682726B2 - 外観検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はIC,トランジスタ等の電子部品を撮像によって
外観検査することができる外観検査装置に関する。

従来の技術 従来、IC,トランジスタ等の電子部品リードピンを認識
する場合、第４図，第５図に示す外観検査装置が用いら
れた。

以下、この従来の外観検査装置について説明する。第４
図において、１は被検査物の電子部品であり、２は同電
子部品１のリードピン、３はリードピン２を照射する照
明源、４はリードピン２から反射されてくる光を検知す
るラインセンサーカメラである。また、第５図（ａ）
で、５はラインセンサーカメラ４が検知する範囲を示し
たラインセンサーエリア、６は照明源３の光の照射部で
ある。

次に、上記のように構成された外観検査装置の動作につ
いて説明する。照明源３より発光した光はリードピン２
に照射され、ラインセンサーエリア５内での反射光をカ
メラ４で受光する。

このカメラ４から第５図（ｂ）に示す出力波形Ｔを得
て、リードピンピッチＰ、リードピン本数Ｎ、リードピ
ン幅Ｗを検出していた。

発明が解決しようとする問題点 このような従来の構成ではリードピン２の認識を第５図
（ｂ）に示す出力波形Ｔでみるため、被検査物１のリー
ド外曲がり不良または内曲がり不良の検出が困難であっ
た。また、リードピン２の表面処理状態によって、例え
ば光沢メッキ、ディップ半田処理を施したリードピンで
は、リードピンの表面が丸味を帯びるため、反射光の多
くがラインセンサーカメラ４以外の方向に進み、ライン
センサーカメラ４の受ける光量が少なくなる。このた
め、リードピンピッチＰ、リードピン幅Ｗを検出するこ
とが困難になる。また、ラインセンサーカメラ４の代り
に、二次元センサーを有するカメラを用いると、リード
ピンを画像として認識するのでリードピンの丸味による
影響は少なく、リードピンピッチＰ、リードピン幅Ｗを
検出することは可能であるが、電子部品１のリードピン
の微妙な外曲がりや内曲がりの状態を検出することはで
きなかった。

本発明は、簡単な構成で、リードピンピッチ，リードピ
ン幅，リードピン本数，リードピン形状，リードピン内
曲がり，外曲がり等のリードピンに関する総合的な検査
が可能な外観検査装置を提供することを目的とする。

問題点を解決するための手段 この目的を達成するために本発明の外観検査装置は、被
検査物を撮像するカメラと、被検査物を照射する照明系
と、リードピンからの反射光を前記カメラへ導く画像反
射板と、照明系からの照射光量の調整板とを有し、被検
査物の状態を認識するようになっている。

作用 以上の構成により、被検査物の像がカメラによって撮像
され、被検査物の幅，形状，凹凸など、画像反射板から
の反射画像の明暗を検知することによって、被検査物の
総合的な外観を認識できる。

実施例 第１図は本発明の一実施例による外観検査装置側断面図
である。以下に、この機器構成について説明する。

７は二次元センサー、たとえば、電荷結合素子（CCD）
を用いたカメラ、８は高周波蛍光燈の光源、９は光源８
近傍に付設された光源カバー、10は搬送レールカバー、
11は低歪率の画像反射板、12は画像反射板11を所定の傾
斜角度をもって保持する保持板、13は被検査物の搬送レ
ール、14は光源８からの照射光量の調整板である。

以下にこの実施例の動作を説明する。光源８によってリ
ードピン２は照射され、その照射光量を矢印Ａ方向に調
整可能な照射光量の調整板14により調整して、画像反射
板11の反射光としてカメラ７へ導く。その結果、このカ
メラ７は直接画像としてリードピン２の上面の像を検出
し、画像反射板11からの反射画像としてリードピン２の
側面の像を検出する。この検出された像に基づいて、リ
ードピンピッチ，幅，本数を検出する。また、カメラ７
で画像認識した場合に、照明光路Ｓと前記画像反射板11
の反射率の相互関係は照射光量の調整板14の位置を変化
させ、照射光量を変化させることにより適切な状態に容
易に調整できる。すなわち、カメラ７に映し出されるリ
ードピン画像は照射される光量と画像反射板11の反射率
とによって微妙に変化する。したがって、調整板14を矢
印Ａ方向に変化させ、照射光量を調整することにより、
リードピン２の外曲り、内曲りが供に明瞭に映し出され
る状態をつくり出すことができる。このように照射光量
の調整板14を調整した後に、第２図に示すようにリード
ピンの形状が、正常体2a、外曲がり体2bあるいは内曲が
り体2cである被検査物１をカメラ７の位置で見ると、第
３図の認識画像図の例に示すように、内曲がり不良状態
のリードピン画像15は光の反射率が低いため、反射画像
は暗く画像処理における２値化レベルで正常の状態のリ
ードピンと比較認識することができる。また、外曲がり
不良状態のリードピン画像16は前記内曲がりのリードピ
ン画像15の比較認識と同様で、かつ、前記画像反射板11
を介さずに直接画像16aとして認識することも可能で、
直接画像16aによる画像認識処理を適正２値化レベルに
おいて行なうことにより２方向の検査をすることが可能
であり、非常に精度の高い認識処理が得られるものであ
る。

なお照射光量を微妙に調整するためには、第１図に破線
で示すように、調整板14の先端部をテーパ面14aとする
ことも有効である。また、上記実施例では被検査物を撮
像するイメージセンサーとして二次元センサーを用いた
カメラ７を用いているが、このカメラ７は撮像管を用い
たカメラ等を用いることもできる。

発明の効果 このように本発明によれば、リードピンへの照射光量の
調整板により照射光量を調整し、画像反射板を介して反
射画像を認識処理しているため、光の反射率と画像反射
板の相互関係において認識精度の高い画像認識処理がお
こなえるという効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における外観検査装置の側断
面図、第２図は同実施例の被検査物の側面図、第３図は
同実施例においてモニター等に写し出される認識画像の
正面図、第４図は従来の外観検査装置側断面図、第５図
は従来の外観検査装置のラインセンサーカメラの出力波
形を説明するための図である。 １……被検査物、７……カメラ、８……光源、11……画
像反射板、14……照射光量の調整板。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】所定の傾斜角を設けた画像反射板と、前記
   画像反射板を介して被検査物を撮像するカメラと、前記
   カメラによる撮像可能な光量を被検査物へ照射する照明
   系と、前記照明系からの照射光量を調整する調整板とを
   そなえた外観検査装置。