JPH079405B2 - 外観検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はIC,トランジスタ等の電子部品を撮像によって
外観検査することができる外観検査装置に関する。

従来の技術 従来、IC,トランジスタ等の電子部品のリードピンを認
識する場合、第４図，第５図に示す外観検査装置が用い
られた。

以下、この従来の外観検査装置について説明する。

第４図において、１は被検査物の電子部品であり、２は
同電子部品１のリードピン、３はリードピン２を照射す
る照明源、４はリードピン２から反射されてくる光を検
知するラインセンサーカメラである。また、第５図
（ａ）で、５はラインセンサーカメラ４が検知する範囲
を示したラインセンサーエリア、６は照明源３の光の照
射部である。

次に、上記のように構成された外観検査装置の動作につ
いて説明する。照明源３より発光した光はリードピン２
に照射され、ラインセンサーエリア５内での反射光をカ
メラ４で受光する。このカメラ４から第５図（ｂ）に示
す出力波形Ｔを得て、リードピンピッチP,リードピン本
数N,リードピン幅Ｗを検出していた。

発明が解決しようとする問題点 このような従来の構成ではリードピン２の認識を第５図
（ｂ）に示す出力波形Ｔでみるため、被検査物電子部品
１のリードピン２の外曲がり不良または内曲がり不良の
検出が困難であった。また、リードピン２の表面処理状
態によって、例えば半田ディップを施したリードピンで
は、リードピン表面が半田ディップにより丸みをおびた
ものとなり、照射光が反射する際いろいろな方向へ拡散
して、ラインセンサーカメラが出力波形として出すべき
反射光を受光できないため、リードピンピッチP,リード
ピン幅Ｗを検出することすら困難であった。

また、ラインセンサーカメラ４を二次元センサー、たと
えば、電荷結合素子（CCD）カメラにした場合による認
識では直接リードピンを画像として認識するのでリード
ピン２からの反射光の拡散の影響は少なく、リードピン
ピッチP,リードピン幅Ｗを検出することは可能であるが
リードピン２の微妙な外曲がりや内曲がりの状態を検出
することはできなかった。

本発明は簡単な構成で、リードピンピッチ，リードピン
幅，リードピン本数，リードピン形状，リードピン内曲
がり，外曲がり等のリードピンに関する検査が行なえる
外観検査装置を提供することを目的とする。

問題点を解決するための手段 この目的を達成するために本発明の外観検査装置は、被
検査物を撮像するカメラと、前記被検査物を照射する照
明系と、前記被検査物からの反射光を前記カメラへ導く
画像反射板と、照明系からの照射光量および照射方向を
変化させる角度揺動可能な調整板とを有し、被検査物の
外観状態を認識するようになっている。

作用 以上の構成により、被検査物の像がカメラによって撮像
され、たとえば、被検査物電子部品のリードピンのピッ
チ，幅，形状，本数ばかりでなく、画像反射板からの反
射画像の明暗を検知することによって、同リードピンの
内曲がり，外曲がり等を認識できる。

実施例 第１図は本発明の一実施例による外観検査装置側断面図
である。以下にこの機器構成について説明する。７はCC
Dカメラ、８は高周波蛍光燈等の光源、９は光源８近傍
に付設された光源カバー、10は搬送レールカバー、11は
低歪率の画像反射板、12は画像反射板11を所定の傾斜角
度をもって保持する保持板、13は被検査物の搬送レー
ル、14は回転可能な調整板、15は支持板、16は調整板14
を支持板15に回動可能に取付けるための係留ピンであ
る。

以下にこの実施例の動作を説明する。光源８によって、
被検査物電子部品１のリードピン２は照射され、その照
射光を角度揺動可能な調整板14により、照射光量および
照射方向を調整して、画像反射板11の反射光としてCCD
カメラ７へ導く。そして、このCCDカメラ７はリードピ
ン２の直接画像としての上面および画像反射板を介した
反射画像として側面の像を検出する。この検出された像
に基づいてリードピンピッチ，幅，本数を認識する。ま
た、CCDカメラ７で画像認識した場合に、照明光路Ｓと
前記画像反射板11の反射率の相互関係は調整板14の角度
を変化させることにより適切な状態に容易に調整でき
る。このように照射光の調整板14を調整した後に、第２
図に示すように、リードピン２の形状が、正常体2a、外
曲がり体2b、あるいは内曲がり体2cである被検査物をCC
Dカメラ７の位置で見ると、第３図の認識画像の例に示
すように、内曲がり不良状態のリードピン画像17は光の
反射率が低いため、反射画像は暗く画像処理における２
値化レベルで正常の状態のリードピンと比較認識するこ
とができる。また、外曲がり不良状態のリードピン画像
18は前記内曲がりのリードピン画像17の比較認識と同様
で、かつ、前記画像反射板11を介さずに直接画像18aと
して認識することも可能で、直接画像18aによる画像認
識処理を適正２値化レベルにおいて行なうことにより２
方向の検査をすることが可能であり、非常に精度の高い
認識処理が得られるものである。

なお、上記実施例では被検査物を撮像するイメージセン
サーとしてCCDカメラを用いているが、このCCDカメラの
代りに撮像管を用いたカメラ等を用いることもできる。

発明の効果 このように本発明によれば、角度揺動可能な調整板によ
り、光源からの照射光量および照射方向を調整し、画像
反射板を介して反射画像を認識処理しているため光の反
射率と画像反射板の相互関係において認識精度の高い画
像認識処理がおこなえるという効果を有するものであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における外観検査装置の側断
面図、第２図は被検査物の側面図、第３図はモニター等
に写し出される認識画像の正面図、第４図は従来の外観
検査装置の側断面図、第５図はラインセンサーカメラに
よる代表的な出力波形を説明する図である。 １……被検査物、７……CCDカメラ、８……光源、11…
…画像反射板、14……調整板。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】所定の傾斜角を設けた画像反射板と、前記
   画像反射板を介して被検査物を撮像するカメラと、前記
   カメラの撮像可能な光量を前記被検査物へ照射する照明
   系と、前記照明系からの照射光量および照射方向を変化
   させる角度揺動可能な調整板とをそなえた外観検査装
   置。