JPH0682853U - Ｉｃ試験装置用トレイ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 トレイ搬送中における載置されるＩＣの振
動、躍り上がりを防止するＩＣ試験装置用トレイ搬送装
置を提供する。 【構成】 トレイ１３固定用フック３０_Fを下面に有す
るＩＣ落下防止カバー１００を具備し、ＩＣ落下防止カ
バー１００を下面に有するカバーホルダ１０２を具備
し、カバーホルダ１０２を鉛直方向に案内するガイドレ
ール１０５を具備し、カバーホルダ１０２を鉛直方向に
駆動するシリンダ１０６を具備し、ガイドレール１０５
に結合してこれを水平方向に駆動する移動用モータ１０
７を具備するＩＣ試験装置用トレイ搬送装置。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、ＩＣ試験装置用トレイ搬送装置に関し、ＩＣ落下防止カバーを具 備するＩＣ試験装置用トレイ搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

ＩＣ試験装置におけるトレイの搬送経路を示す図２を参照するに、ＩＣの試験 をＩＣ試験装置の恒温槽２０内の高／低温雰囲気において実施する場合、ハンド ラ１０内部のローダ部１１において、トレイ１３に載置されているＩＣをハンド ラ１０内の高／低温に耐える別のテストトレイ１４に転送載置し直すことを実施 する。このＩＣが転送載置されたテストトレイ１４は、次いで、恒温槽２０に送 り込まれ、テスト領域２１においてＩＣの高／低温試験が実施される。高／低温 試験実施後、当該ＩＣは今度はアンローダ部１２において、今度はテストトレイ １４からトレイ１３に転送載置される。トレイ１３とテストトレイ１４との間の ＩＣ転送には真空ポンプを使用した吸引搬送装置が採用され、ＩＣを一方のトレ イにおいて１個づつ吸引吸着しては他方のトレイに転送し、ここにおいて解放す ることにより一方から他方への転送は終了する。

【０００３】 ここで、トレイ１３がトレイ収容部からローダ部１１まで搬送される様子を図 ３に示される当該出願人の提案によるＩＣ試験装置を参照して説明する。 図３において、ローダ部１１およびアンローダ部１２はトレイ収容部６０と、 トレイ収容部６０に収容されるトレイ１３をの如くポジション３のレベル迄押 し上げるエレベータ５０とより成るレーンを複数本例えば１０レーン具備してい る。ローダ部１１のトレイ収容部６０内においては、試験されるべきＩＣが載置 されたトレイ１３が積層されている。全レーンはそれ自体互いに同一であって、 ローダ用レーンとアンローダ用レーンとの間の区別はなされておらず、単に複数 のレーン例えば１０レーンが具備されているに過ぎない。これらのレーンを必要 に応じて適宜にローダ用として指定し、或はアンローダ用として割り当て指定し て使用する。例えば、レーン１をこれから試験測定しようとするＩＣを装填する ローダ部１１として割り当て、レーン２ないしレーン９の８レーンを試験測定の 終了したＩＣを試験結果のカテゴリ毎に収容するアンローダ部１２として割り当 てる。レーン１０をローダ使用済みのトレイを収容する空トレイ収容部４０に割 り当て、これらレーン数は必要に応じて相対的に増減する。３０はトレイ搬送装 置であり、フック３０_Fによりトレイ１３を把持してこれを搬送する。トレイ１ ３にはトレイ搬送装置３０のフック３０_Fが係合する係合孔３０_Hが穿設されてい る。 図４は、トレイ搬送装置３０がトレイ収容部６０内において複数枚積層状 態とされているトレイ１３の内から、最上層の１枚だけをその係合孔３０_Hにフ ック３０_Fを係合することにより分離搬送する様子を極めて概念的に示す図であ る。このトレイ搬送装置３０は、駆動装置によりの如くポジション３のレベル 或はポジション２のレベルに駆動されると共に、ポジション２のレベルにおいて はの如く水平方向に配列される全レーン１ないし１０に亘って水平駆動される 。９０はトレイセットであり、搬送されたトレイ１３とテストトレイ１４との間 のＩＣ受渡しをここにおいて行う。トレイセット９０はの如く駆動装置により ポジション３のレベル或はポジション１のレベルに駆動される。

【０００４】 ここで、試験測定されるべきＩＣの載置されたトレイ１３がトレイ収容部６０ からローダ部１１に搬送され、ＩＣがトレイ１３からテストトレイ１４に転送載 置される迄を図３の状態についての説明する。 第１ レーン１のトレイ収容部６０₁に積層されるトレイ１３をエレベータ ５０₁により押圧することにより最上層のトレイをポジション３のレベル迄駆動 上昇させる。

【０００５】 第２ トレイ搬送装置３０_Lをポジション２のレベルにおいて水平駆動して レーン１の真上に位置せしめる。 第３ トレイ搬送装置３０_Lをポジション３のレベルに迄駆動降下せしめる 。 第４ トレイ搬送装置３０_Lのフック３０_Fを制御してレーン１の最上層トレ イ１３とその下のトレイとの間に割って入れる。

【０００６】 第５ 上述の最上層トレイ１３を把持するトレイ搬送装置３０_Lをポジショ ン３からポジション２のレベルに上昇せしめる。 第６ ポジション２のレベルに上昇せしめられたトレイ１３を把持するトレ イ搬送装置３０_Lをポジション２のレベルにおいて水平駆動してレーン３に移動 せしめる。次いで、 第７ ローダ部１１において、トレイセット９０はポジション３のレベルに 位置決めされている。

【０００７】 第８ レーン３のポジション２のレベルに位置しているトレイ搬送装置３０ _L をポジション３のレベルに降下せしめる。 第９ トレイ搬送装置３０_Lのフック３０_Fを制御して把持するトレイ１３を ローダ部１１のトレイセット９０上に解放、受け渡す。 第１０ 把持するトレイ１３を解放したトレイ搬送装置３０_Lをポジション３ のレベルからポジション２のレベルに上昇し、次いで水平駆動してレーン１に復 帰させる。

【０００８】 第１１ トレイ１３を受け渡されたローダ部１１のトレイセット９０をポジシ ョン３のレベルからポジション１のレベルに上昇せしめ、ここにローダ部１１に おけるトレイ１３のセットは完了する。 ここで、トレイ１３に載置されているＩＣを真空ポンプを使用した吸引搬送装 置によりハンドラ１０内の高／低温に耐えるテストトレイ１４に転送載置し、こ のＩＣが載置されたテストトレイ１４は、次いで、恒温槽２０に送り込まれて試 験測定が実施される。

【０００９】

【考案が解決しようとする課題】

以上の通りのＩＣ試験装置において、トレイ１３はトレイ搬送装置３０により 把持されてから上方向に駆動されると共に水平方向にも駆動され、ローダ部１１ にまで搬送される。トレイ１３に載置されているＩＣはここにおいて吸引搬送装 置によりテストトレイ１４に転送載置される。この搬送中において、トレイ１３ には振動、衝撃その他の力が加えられるところから、載置されるＩＣは振動し、 躍り上がることとなってトレイ１３上において位置ずれを起こし、或はトレイ１ ３から落下するに到る場合がある。

【００１０】 また、ＩＣがトレイ１３の枠内からはみ出して位置ずれを起こすとトレイ間に おけるＩＣ転送載置に際して吸引搬送装置が吸着ミスを起こす可能性があった。 この考案は、上述の通りの問題を解消したＩＣ落下防止カバーを具備するＩＣ 試験装置用トレイ搬送装置を提供するものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】

トレイ１３固定用フック３０_Fを下面に有するＩＣ落下防止カバー１００を具 備し、ＩＣ落下防止カバー１００を下面に有するカバーホルダ１０２を具備し、 カバーホルダ１０２を鉛直方向に案内するガイドレール１０５を具備し、カバー ホルダ１０２を鉛直方向に駆動するシリンダ１０６を具備し、ガイドレール１０ ５に結合してこれを水平方向に駆動する移動用モータ１０７を具備するＩＣ試験 装置用トレイ搬送装置を構成した。

【００１２】

【実施例】

この考案を図１を参照して説明する。 図１はこの考案によるトレイ搬送装置３０の断面を示す図である。図１におい て、１００はＩＣ落下防止カバーである。このカバー１００には、紙面に垂直な 方向において互いに対向する２側縁に２個づつトレイ固定用フック３０_Fが具備 され、これら固定用フック３０_Fを開閉することによりトレイ１３をカバー１０ ０下面に接触保持或は解放する構成を採用している。カバー１００は、更に、ト レイ固定用フック３０_Fが取り付けられる２側縁と直交する２側縁にトレイガイ ド用ピン１０１が取り付けられている。このトレイガイド用ピン１０１は図にお ける左右方向に取付位置を調整することができる様に取り付けられ、トレイ１３ の寸法の変化に対応している。１０２はカバーホルダである。カバー１００はカ バーホルダ１０２の下面にカバー固定用ボルト１０３により取り付けられている 。

【００１３】 １０６はシリンダであり、カバーホルダ１０２を図１についてみるとガイドレ ール１０５に沿って鉛直方向に駆動し、図３についてもの如く鉛直方向に駆動 してこれをポジション３のレベル或はポジション２のレベルに位置せしめるもの である。１０７は移動用モータであり、ガイドレール１０５に結合してこれを図 １についてみると紙面に垂直の方向に駆動するものである。そして、図３につい てみると、ガイドレール１０５をの如くポジション２のレベルにおいてこれを 水平方向に駆動してレーン１ないし１０に位置せしめるものである。即ち、移動 用モータ１０７は、回動することにより自身も結合するガイドレール１０５およ びカバー１００と共に図１において紙面に垂直の方向に移動する。

【００１４】 この考案の上述した通りのトレイ搬送装置３０は、従来の技術の項において説 明された当該出願人の提案によるＩＣ試験装置におけるトレイ搬送装置３０に代 えてそのまま全く同様に使用、動作することができるものであるので、その動作 の説明は繰り返すことはせずに省略する。

【００１５】

【考案の効果】

以上の通りであって、この考案のトレイ搬送装置３０は、そのカバーホルダ１ ０２の下面にカバー固定用ボルト１０３によりカバー１００が取り付けられてい る。このトレイ搬送装置３０が、トレイ収容部６０内において複数枚積層状態と されているトレイ１３の内から最上層の１枚だけをその係合孔３０_Hにフック３ ０_Fを係合することにより分離搬送しようとするとき、カバー１００の下面に形 成されているＩＣ押え用突部１００_Pがそれぞれに対応するＩＣを上からトレイ １３に対して押し付けることになる。従って、トレイ搬送中において、トレイ１ ３に振動、衝撃が加えられたところで、トレイに載置されるＩＣが振動、躍り上 がることは決して起こらず、トレイ１３から落下することもない。そして、従来 、トレイ間においてＩＣ転送載置するに際して吸引搬送装置が吸着ミスを起こす ことがしばしば発生し、その原因はトレイ１３に加えられる振動、衝撃に起因す るＩＣのトレイ１３の枠内からのはみ出し位置ずれであるものと類推されていた のであるが、その真の原因は不明であった。ところが、上述の如くカバー１００ の下面にＩＣ押え用突部１００_Pを形成して対応するＩＣを上からトレイ１３に 対して押し付ける構成を採用することによりＩＣ転送載置に際する吸引搬送装置 によるＩＣの吸着ミスは殆ど発生することはなくなった。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案によるトレイ搬送装置を説明する図。

【図２】ＩＣ試験装置におけるトレイの搬送経路を示す
図。

【図３】トレイがトレイ収容部からローダ部まで搬送さ
れる様子を説明する図。

【図４】複数枚積層状態とされているトレイの最上層の
１枚だけを分離搬送する様子を概念的に示す図。

【符号の説明】

１３ トレイ ３０ 固定用フック １００ ＩＣ落下防止カバー １０２ カバーホルダ １０５ ガイドレール １０６ シリンダ １０７ 移動用モータ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 トレイ固定用フックを下面に有するＩＣ
   落下防止カバーを具備し、ＩＣ落下防止カバーを下面に
   有するカバーホルダを具備し、カバーホルダを鉛直方向
   に案内するガイドレールを具備し、カバーホルダを鉛直
   方向に駆動するシリンダを具備し、ガイドレールに結合
   してこれを水平方向に駆動する移動用モータを具備する
   ことを特徴とするＩＣ試験装置用トレイ搬送装置。