JPH0683452A - 減速機を有するアクチュエータ用位置検出装置 - Google Patents
減速機を有するアクチュエータ用位置検出装置Info
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- JPH0683452A JPH0683452A JP23668192A JP23668192A JPH0683452A JP H0683452 A JPH0683452 A JP H0683452A JP 23668192 A JP23668192 A JP 23668192A JP 23668192 A JP23668192 A JP 23668192A JP H0683452 A JPH0683452 A JP H0683452A
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- Japan
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- resolver
- turned
- output shaft
- speed reducer
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 比較的低精度なレゾルバを用いても減速機出
力軸の回転位置を精度良く検出でき、しかも電源が一旦
オフになってもその後オンになれば正しく回転位置を検
出できる装置を提出すること。 【構成】 減速機２３を有するアクチュエータ１０の減
速機出力軸の回転位置を第１のレゾルバ１１で検出し、
減速機２３に連結したモータ２２の出力軸の回転位置を
第２のレゾルバ１２で検出し、第１及び第２のレゾルバ
の各位置検出信号１１Ａ，１２Ａを演算器１３に入力
し、電源がオンになった時に第１のレゾルバ１１で検出
される回転位置を初期値とし、この初期値に、電源がオ
ンになった時に第２のレゾルバ１２で検出される回転位
置に対する電源オン後に同第２のレゾルバ１２で検出さ
れる回転位置の差分を加える演算により減速機出力軸の
位置信号２０Ａを出力する。
力軸の回転位置を精度良く検出でき、しかも電源が一旦
オフになってもその後オンになれば正しく回転位置を検
出できる装置を提出すること。 【構成】 減速機２３を有するアクチュエータ１０の減
速機出力軸の回転位置を第１のレゾルバ１１で検出し、
減速機２３に連結したモータ２２の出力軸の回転位置を
第２のレゾルバ１２で検出し、第１及び第２のレゾルバ
の各位置検出信号１１Ａ，１２Ａを演算器１３に入力
し、電源がオンになった時に第１のレゾルバ１１で検出
される回転位置を初期値とし、この初期値に、電源がオ
ンになった時に第２のレゾルバ１２で検出される回転位
置に対する電源オン後に同第２のレゾルバ１２で検出さ
れる回転位置の差分を加える演算により減速機出力軸の
位置信号２０Ａを出力する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はロボット関節駆動用アク
チュエータなど、減速機を有するアクチュエータに適用
する位置検出装置に関する。
チュエータなど、減速機を有するアクチュエータに適用
する位置検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】多軸マニプレータなどのロボット関節に
は、関節駆動用アクチュエータとして、モータと減速機
を組み合せたものが内蔵されている。モータとしては、
ロボット関節の位置制御等のために、ＤＣサーボモータ
やＡＣサーボモータが使用される。このうちＡＣサーボ
モータは、モータ出力軸の回転位置をレゾルバで検出
し、サーボドライバからステータ巻線に供給する電流
を、回転位置に応じて制御する、即ちコンミテーション
することにより、サーボ制御される。
は、関節駆動用アクチュエータとして、モータと減速機
を組み合せたものが内蔵されている。モータとしては、
ロボット関節の位置制御等のために、ＤＣサーボモータ
やＡＣサーボモータが使用される。このうちＡＣサーボ
モータは、モータ出力軸の回転位置をレゾルバで検出
し、サーボドライバからステータ巻線に供給する電流
を、回転位置に応じて制御する、即ちコンミテーション
することにより、サーボ制御される。
【０００３】この種の減速機を有するアクチュエータで
は、ロボット関節の位置制御等のために減速機出力軸の
回転位置を検出する必要があり、従来は以下の２つの方
法がとられている。 （１）第１の従来方法：減速機の出力軸に高精度のレゾ
ルバを取り付けて直接的に回転位置を検出する方法。 （２）第２の従来方法：モータの出力軸の回転位置をレ
ゾルバで検出し、更にモータの幾回転にも対応するため
にレゾルバの回転数を積分して記憶することにより、減
速機出力軸の回転位置を間接的に検出する方法。
は、ロボット関節の位置制御等のために減速機出力軸の
回転位置を検出する必要があり、従来は以下の２つの方
法がとられている。 （１）第１の従来方法：減速機の出力軸に高精度のレゾ
ルバを取り付けて直接的に回転位置を検出する方法。 （２）第２の従来方法：モータの出力軸の回転位置をレ
ゾルバで検出し、更にモータの幾回転にも対応するため
にレゾルバの回転数を積分して記憶することにより、減
速機出力軸の回転位置を間接的に検出する方法。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、第１、第２の
各従来方法には、以下のような長所と短所がある。 （１）第１の従来方法：この方法は減速機出力軸を直接
的に検出することができるが、高精度が要求されるほど
レゾルバが高価になる。 （２）第２の従来方法：レゾルバの精度の減速比倍の精
度で減速機出力軸の回転位置を検出できるので、第１の
従来方法に比べて低精度のレゾルバを用いることができ
る。しかし、電源をオフしたときには記憶内容が消えて
しまい、また、電源オフの間に何らかの外力によりモー
タ出力軸が回転しても、これを補正することができな
い。この場合、電源オフを電池でバックアップすること
が考えられるが、可搬式マニプレータなど小型化、軽量
化が要求される場合には適用できない。
各従来方法には、以下のような長所と短所がある。 （１）第１の従来方法：この方法は減速機出力軸を直接
的に検出することができるが、高精度が要求されるほど
レゾルバが高価になる。 （２）第２の従来方法：レゾルバの精度の減速比倍の精
度で減速機出力軸の回転位置を検出できるので、第１の
従来方法に比べて低精度のレゾルバを用いることができ
る。しかし、電源をオフしたときには記憶内容が消えて
しまい、また、電源オフの間に何らかの外力によりモー
タ出力軸が回転しても、これを補正することができな
い。この場合、電源オフを電池でバックアップすること
が考えられるが、可搬式マニプレータなど小型化、軽量
化が要求される場合には適用できない。
【０００５】本発明は上述した従来技術に鑑み、比較的
低精度なレゾルバを用いても減速機出力軸の回転位置を
精度良く検出でき、しかも電源が一旦オフになってもそ
の後オンになれば正しく回転位置を検出できる装置を提
出することを目的とする。
低精度なレゾルバを用いても減速機出力軸の回転位置を
精度良く検出でき、しかも電源が一旦オフになってもそ
の後オンになれば正しく回転位置を検出できる装置を提
出することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の減速機を有するアクチュエータ用位置検出装置は、
減速機を有するアクチュエータの前記減速機の出力軸の
回転位置を検出する第１のレゾルバと、前記アクチュエ
ータの減速機に連結したモータの出力軸の回転位置を検
出する第２のレゾルバと、第１及び第２のレゾルバの各
位置検出信号を入力し、電源がオンになった時に第１の
レゾルバで検出される回転位置を初期値とし、この初期
値に、電源がオンになった時に第２のレゾルバで検出さ
れる回転位置に対する電源オン後に同第２のレゾルバで
検出される回転位置の差分を加える演算により減速機出
力軸の位置信号を出力する演算器とを具備することを特
徴とするものである。
明の減速機を有するアクチュエータ用位置検出装置は、
減速機を有するアクチュエータの前記減速機の出力軸の
回転位置を検出する第１のレゾルバと、前記アクチュエ
ータの減速機に連結したモータの出力軸の回転位置を検
出する第２のレゾルバと、第１及び第２のレゾルバの各
位置検出信号を入力し、電源がオンになった時に第１の
レゾルバで検出される回転位置を初期値とし、この初期
値に、電源がオンになった時に第２のレゾルバで検出さ
れる回転位置に対する電源オン後に同第２のレゾルバで
検出される回転位置の差分を加える演算により減速機出
力軸の位置信号を出力する演算器とを具備することを特
徴とするものである。
【０００７】
【作用】電源がオフからオンになった時、第２のレゾル
バの位置検出信号からは第２のレゾルバの回転数が不明
なので減速機出力軸の絶対位置が判らないが、第１のレ
ゾルバの位置検出信号から絶対位置が判るので、これを
電源オン時の初期値とする。電源オン以後の減速機出力
軸の回転位置は、第２のレゾルバの位置検出信号により
モータ出力軸の電源オン時の回転位置に対する差分が判
るから、この差分を初期値に加えたものとなる。従っ
て、第１、第２いずれのレゾルバも精度がさほど良くな
くても、減速機出力軸の回転位置を高精度に検出でき
る。また、電源オフを電池でバックアップしなくても、
電源オンになった時から正しく回転位置を検出できる。
バの位置検出信号からは第２のレゾルバの回転数が不明
なので減速機出力軸の絶対位置が判らないが、第１のレ
ゾルバの位置検出信号から絶対位置が判るので、これを
電源オン時の初期値とする。電源オン以後の減速機出力
軸の回転位置は、第２のレゾルバの位置検出信号により
モータ出力軸の電源オン時の回転位置に対する差分が判
るから、この差分を初期値に加えたものとなる。従っ
て、第１、第２いずれのレゾルバも精度がさほど良くな
くても、減速機出力軸の回転位置を高精度に検出でき
る。また、電源オフを電池でバックアップしなくても、
電源オンになった時から正しく回転位置を検出できる。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図１は本発明の適用対象である減速機を有するア
クチュエータを備えた７軸の多関節マニプレータの一例
を示し、図２は位置検出装置の一実施例を示し、図３は
演算器の一例における動作タイミングを示す。
する。図１は本発明の適用対象である減速機を有するア
クチュエータを備えた７軸の多関節マニプレータの一例
を示し、図２は位置検出装置の一実施例を示し、図３は
演算器の一例における動作タイミングを示す。
【０００９】図１において、図示しない作業床面や作業
壁面等に固定される取付面１が形成された取付ベース２
には、前記取付面１に対して垂直な第１軸周りに旋回し
得る旋回台３が連結されており、この旋回台３には前記
第１軸に対して直交する第２軸周りに回動する腕スリー
ブ４の基端部が連結されている。又、この腕スリーブ４
の先端部には、前記第２軸に対して直交する第３軸周り
に回転する中間腕５の基端部が連結されており、この中
間腕５の先端部には前記第３軸に対して直交する第４軸
周りに回動する接続スリーブ６の基端部が連結されてい
る。更に、この接続スリーブ６の先端部には、前記第４
軸に対して直交する第５軸周りに回転する延長スリーブ
７の基端部が連結されており、この延長スリーブ７の先
端部には前記第５軸に対して直交する第６軸周りに回動
する手首部８が連結されている。そして、この手首部８
には前記第６軸に対して直交する第７軸周りに回転し且
つ各種作業機器等の負荷が組み付けられる面板９が取り
付けられている。これら第１軸〜第７軸の各関節にはそ
れぞれ関節駆動用の減速機を有するアクチュエータが内
蔵されている。
壁面等に固定される取付面１が形成された取付ベース２
には、前記取付面１に対して垂直な第１軸周りに旋回し
得る旋回台３が連結されており、この旋回台３には前記
第１軸に対して直交する第２軸周りに回動する腕スリー
ブ４の基端部が連結されている。又、この腕スリーブ４
の先端部には、前記第２軸に対して直交する第３軸周り
に回転する中間腕５の基端部が連結されており、この中
間腕５の先端部には前記第３軸に対して直交する第４軸
周りに回動する接続スリーブ６の基端部が連結されてい
る。更に、この接続スリーブ６の先端部には、前記第４
軸に対して直交する第５軸周りに回転する延長スリーブ
７の基端部が連結されており、この延長スリーブ７の先
端部には前記第５軸に対して直交する第６軸周りに回動
する手首部８が連結されている。そして、この手首部８
には前記第６軸に対して直交する第７軸周りに回転し且
つ各種作業機器等の負荷が組み付けられる面板９が取り
付けられている。これら第１軸〜第７軸の各関節にはそ
れぞれ関節駆動用の減速機を有するアクチュエータが内
蔵されている。
【００１０】図２に示すように、減速機を有するアクチ
ュエータ１０としては、モータ（Ｍ）２２と、これに結
合した減速機（Ｇ）２３を有するものであり、減速機出
力軸に第１のレゾルバ（ＲＧ）１１が取り付き、モータ
出力軸に第２のレゾルバ（ＲＭ）１２が取り付いてい
る。モータ２２としてはＡＣサーボモータを用い、第
１、第２の各レゾルバ１１、１２としては、いずれも、
通常ＡＣサーボモータに用いられる比較的低精度のレゾ
ルバを用いている。これら各レゾルバ１１、１２の位置
検出信号１１Ａ，１２Ａを用いて演算器１３により、減
速機出力軸の高精度な位置信号２０Ａを得るようにして
いる。
ュエータ１０としては、モータ（Ｍ）２２と、これに結
合した減速機（Ｇ）２３を有するものであり、減速機出
力軸に第１のレゾルバ（ＲＧ）１１が取り付き、モータ
出力軸に第２のレゾルバ（ＲＭ）１２が取り付いてい
る。モータ２２としてはＡＣサーボモータを用い、第
１、第２の各レゾルバ１１、１２としては、いずれも、
通常ＡＣサーボモータに用いられる比較的低精度のレゾ
ルバを用いている。これら各レゾルバ１１、１２の位置
検出信号１１Ａ，１２Ａを用いて演算器１３により、減
速機出力軸の高精度な位置信号２０Ａを得るようにして
いる。
【００１１】本実施例では演算器１３を、図２に示すよ
うに、第１のレゾルバ１１のアナログ位置検出信号１１
Ａと第２のレゾルバ１２のアナログ位置検出信号１２Ａ
とを選択的に取り込むスイッチ１４と、このスイッチ１
４で選択されたアナログ位置検出信号をパラレルのデジ
タル信号に変換する変換器（Ｒ／Ｄ）１５と、デジタル
変換された第１のレゾルバ１１からの位置検出データを
記憶する第１のメモリ１６と、この第１のメモリ１６か
ら読み出された位置検出データに減速機２３の減速比を
掛ける乗算器１７と、デジタル変換された第２のレゾル
バ１２からの位置検出データを記憶する第２のメモリ１
８と、デジタル変換された第２のレゾルバ１２からの位
置検出データの最上位ビットのパルス数をカウントする
カウンタ１９と、乗算器１７の出力、第２のメモリ１８
の出力、変換器１５の出力、並びにカウンタ１９の出力
を基に減速機出力軸の位置信号２０Ａを算出する加減算
器２０と、制御器２１とで構成してある。
うに、第１のレゾルバ１１のアナログ位置検出信号１１
Ａと第２のレゾルバ１２のアナログ位置検出信号１２Ａ
とを選択的に取り込むスイッチ１４と、このスイッチ１
４で選択されたアナログ位置検出信号をパラレルのデジ
タル信号に変換する変換器（Ｒ／Ｄ）１５と、デジタル
変換された第１のレゾルバ１１からの位置検出データを
記憶する第１のメモリ１６と、この第１のメモリ１６か
ら読み出された位置検出データに減速機２３の減速比を
掛ける乗算器１７と、デジタル変換された第２のレゾル
バ１２からの位置検出データを記憶する第２のメモリ１
８と、デジタル変換された第２のレゾルバ１２からの位
置検出データの最上位ビットのパルス数をカウントする
カウンタ１９と、乗算器１７の出力、第２のメモリ１８
の出力、変換器１５の出力、並びにカウンタ１９の出力
を基に減速機出力軸の位置信号２０Ａを算出する加減算
器２０と、制御器２１とで構成してある。
【００１２】制御器２１は電源がオフからオンになる
と、スイッチ１４、第１のメモリ１６、第２のメモリ１
８及びカウンタ１９の動作を制御するものであり、それ
ぞれに対して指令信号２１Ａ〜２１Ｄを出力する。図３
に指令信号２１Ａ〜２１Ｄの発生例を示す。
と、スイッチ１４、第１のメモリ１６、第２のメモリ１
８及びカウンタ１９の動作を制御するものであり、それ
ぞれに対して指令信号２１Ａ〜２１Ｄを出力する。図３
に指令信号２１Ａ〜２１Ｄの発生例を示す。
【００１３】スイッチ１４は通常、ａ側に投入されてい
て第２のレゾルバ１２の位置検出信号１２Ａを変換器１
５に与え、電源オン時に制御器２１から切換指令信号２
１Ａを受けて短時間だけｂ側に投入されて第１のレゾル
バ１１の位置検出信号１１Ａを変換器１５に与える。ｂ
側投入後、ａ側投入に戻る。
て第２のレゾルバ１２の位置検出信号１２Ａを変換器１
５に与え、電源オン時に制御器２１から切換指令信号２
１Ａを受けて短時間だけｂ側に投入されて第１のレゾル
バ１１の位置検出信号１１Ａを変換器１５に与える。ｂ
側投入後、ａ側投入に戻る。
【００１４】第１のメモリ１６は、スイッチ１４がｂ側
に投入されている間に制御器２１から書込指令信号２１
Ｂを受け、変換器１５によりデジタル変換された位置検
出信号１１Ａを記憶する。即ち第１のメモリ１６には、
減速機出力軸の電源オン時の絶対位置ＲＧO が初期値と
して記憶される。
に投入されている間に制御器２１から書込指令信号２１
Ｂを受け、変換器１５によりデジタル変換された位置検
出信号１１Ａを記憶する。即ち第１のメモリ１６には、
減速機出力軸の電源オン時の絶対位置ＲＧO が初期値と
して記憶される。
【００１５】乗算器１７は、第１のメモリ１６に記憶し
た減速機出力軸の電源オン時の絶対位置データに減速機
２３の減速比Ｇを掛ける。これは減速機出力軸の電源オ
ン時の絶対位置ＲＧO を、第２のレゾルバ１２から見た
モータ出力軸の電源オン時の回転位置ＲＧO ・Ｇに換算
するためである。
た減速機出力軸の電源オン時の絶対位置データに減速機
２３の減速比Ｇを掛ける。これは減速機出力軸の電源オ
ン時の絶対位置ＲＧO を、第２のレゾルバ１２から見た
モータ出力軸の電源オン時の回転位置ＲＧO ・Ｇに換算
するためである。
【００１６】第２のメモリ１８は、スイッチ１４がｂ側
に投入される前後いずれでも良いが、ａ側に投入されて
いる間で電源オン時に極めて近い時点で制御器２１から
書込指令信号２１Ｃを受け、変換器１５によりデジタル
変換された位置検出信号１２Ａを記憶する。即ち第２の
メモリ１８には、モータ出力軸の電源オン時の回転位置
ＲＭO が記憶される。
に投入される前後いずれでも良いが、ａ側に投入されて
いる間で電源オン時に極めて近い時点で制御器２１から
書込指令信号２１Ｃを受け、変換器１５によりデジタル
変換された位置検出信号１２Ａを記憶する。即ち第２の
メモリ１８には、モータ出力軸の電源オン時の回転位置
ＲＭO が記憶される。
【００１７】カウンタ１９は、スイッチ１４がｂ側から
ａ側に投入された時に制御器２１からリセット指令信号
２１Ｄを受けてリセットされ、変換器１５によりデジタ
ル変換された位置検出信号１２Ａの最上位ビットのパル
ス数をカウントする。即ち、カウンタ１９は電源オン後
の第２のレゾルバ１２換言すればモータ出力軸の回転数
Ｃをカウントする。
ａ側に投入された時に制御器２１からリセット指令信号
２１Ｄを受けてリセットされ、変換器１５によりデジタ
ル変換された位置検出信号１２Ａの最上位ビットのパル
ス数をカウントする。即ち、カウンタ１９は電源オン後
の第２のレゾルバ１２換言すればモータ出力軸の回転数
Ｃをカウントする。
【００１８】加減算器２０は、乗算器１７が出力する電
源オン時の減速機出力軸の回転位置ＲＧO ・Ｇと、第２
のメモリ１８が出力する電源オン時のモータ出力軸の回
転位置ＲＭO と、変換器１５が出力する電源オン後各時
点のモータ出力軸の回転位置ＲＭと、カウンタ２０が出
力するモータ出力軸の回転数Ｃとから、 ＲＧO ・Ｇ＋ＲＭ−ＲＭO ＋Ｃ なる加減算を行い、位置検出信号２０Ａとする。ＲＭ−
ＲＭO が電源オン後の第２のレゾルバ１２による回転位
置の差分である。
源オン時の減速機出力軸の回転位置ＲＧO ・Ｇと、第２
のメモリ１８が出力する電源オン時のモータ出力軸の回
転位置ＲＭO と、変換器１５が出力する電源オン後各時
点のモータ出力軸の回転位置ＲＭと、カウンタ２０が出
力するモータ出力軸の回転数Ｃとから、 ＲＧO ・Ｇ＋ＲＭ−ＲＭO ＋Ｃ なる加減算を行い、位置検出信号２０Ａとする。ＲＭ−
ＲＭO が電源オン後の第２のレゾルバ１２による回転位
置の差分である。
【００１９】なお、図２は演算器１３の一構成例を示す
ものにすぎず、第１及び第２のレゾルバの各位置検出信
号１１Ａ，１２Ａを入力し、電源がオンになった時に第
１のレゾルバ１１で検出される回転位置を初期値とし、
この初期値に、電源がオンになった時に第２のレゾルバ
１２で検出される回転位置に対する電源オン後に同第２
のレゾルバ１２で検出される回転位置の差分を加える演
算により減速機出力軸の位置信号２０Ａを出力する構成
であれば、何でも良い。また、動作タイミングも必ずし
も図３に限るものではない。
ものにすぎず、第１及び第２のレゾルバの各位置検出信
号１１Ａ，１２Ａを入力し、電源がオンになった時に第
１のレゾルバ１１で検出される回転位置を初期値とし、
この初期値に、電源がオンになった時に第２のレゾルバ
１２で検出される回転位置に対する電源オン後に同第２
のレゾルバ１２で検出される回転位置の差分を加える演
算により減速機出力軸の位置信号２０Ａを出力する構成
であれば、何でも良い。また、動作タイミングも必ずし
も図３に限るものではない。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、第１、第２いずれのレ
ゾルバの精度が良くなくても減速機出力軸の回転位置を
精度良く検出でき、しかも電池による電源のバックアッ
プがなくても、電源がオンになりさえすれば回転位置を
正しく検出できる。
ゾルバの精度が良くなくても減速機出力軸の回転位置を
精度良く検出でき、しかも電池による電源のバックアッ
プがなくても、電源がオンになりさえすれば回転位置を
正しく検出できる。
【図１】本発明の適用対象の一例として示す多関節マニ
プレータの外観図。
プレータの外観図。
【図２】本発明の一実施例の位置検出装置の構成図。
【図３】演算器の動作タイミングの一例を示す図。
１０ 減速機を有するアクチュエータ １１ 第１のレゾルバ １２ 第２のレゾルバ １３ 演算器 ２２ モータ ２３ 減速機
Claims (1)
- 【請求項１】 減速機を有するアクチュエータの前記減
速機の出力軸の回転位置を検出する第１のレゾルバと、
前記アクチュエータの減速機に連結したモータの出力軸
の回転位置を検出する第２のレゾルバと、第１及び第２
のレゾルバの各位置検出信号を入力し、電源がオンにな
った時に第１のレゾルバで検出される回転位置を初期値
とし、この初期値に、電源がオンになった時に第２のレ
ゾルバで検出される回転位置に対する電源オン後に同第
２のレゾルバで検出される回転位置の差分を加える演算
により減速機出力軸の位置信号を出力する演算器とを具
備することを特徴とする減速機を有するアクチュエータ
用位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23668192A JPH0683452A (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | 減速機を有するアクチュエータ用位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23668192A JPH0683452A (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | 減速機を有するアクチュエータ用位置検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0683452A true JPH0683452A (ja) | 1994-03-25 |
Family
ID=17004205
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23668192A Pending JPH0683452A (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | 減速機を有するアクチュエータ用位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0683452A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001035435A (ja) * | 1999-05-24 | 2001-02-09 | Applied Materials Inc | イオン注入装置 |
| JP2002010578A (ja) * | 2000-06-22 | 2002-01-11 | Nabco Ltd | アクチュエータ |
| JP2016124094A (ja) * | 2015-01-08 | 2016-07-11 | ファナック株式会社 | 複数の回転角検出器により回転角を更新するロボット制御装置 |
Citations (2)
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1992
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