JPH068367A

JPH068367A - アモルファス金属薄膜積層体および積層シート

Info

Publication number: JPH068367A
Application number: JP4294549A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Obayashi; 勉大林
Original assignee: Hiraoka and Co Ltd
Current assignee: Hiraoka and Co Ltd
Priority date: 1987-03-25
Filing date: 1992-11-02
Publication date: 1994-01-18
Anticipated expiration: 2011-10-23
Also published as: JP2546588B2

Abstract

(57)【要約】【目的】静電気および電磁波遮蔽効果にすぐれたアモ
ルファス金属薄膜積層体、および更に耐衝撃強度、耐屈
曲強度などにすぐれたアモルファス金属薄膜積層シート
を提供する。【構成】アモルファス金属薄膜積層体は、複数のアモ
ルファス金属薄膜を積層してなるものであり、アモルフ
ァス金属薄膜積層シートは、少なくとも１個の上記積層
体と、この積層体に積層された少なくとも１個の可撓性
樹脂被覆層とからなるものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、アモルファス金属薄膜
積層体および積層シートに関するものである、更に詳し
く述べるならば、本発明は、積層一体化された複数層の
アモルファス金属薄膜からなる積層体、およびこの積層
体を含むアモルファス金属薄膜積層シートに関するもの
である。これらは電磁波に対してすぐれたシールド効果
を有する。

【０００２】

【従来の技術】近年エレクトロニクス機器の発達および
普及に伴い、これらの機器および、磁気記録体などを、
静電気、および電磁波の悪影響から保護することが必要
になり、この保護材料として、シート材料、例えば、被
覆用シート材料および包装用シート材料の需要が大きく
なってきている。

【０００３】従来エレクトロニクス機器を静電気の影響
から保護するために、カーボン粉末、カーボン繊維、金
属箔、又は金属粉末を含有する導電性材料を含む導電性
シートが用いられている。しかし、このような従来の導
電性シートは、エレクトロニクス機器を電磁波の影響か
ら保護する目的には十分に効果があるとは云えないもの
である。例えば、ＭＲＩ（核磁気共鳴診断装置）などに
おいては、外部の電磁波によって強い障害を受けやす
く、このためＭＲＩは厚さ２cmの鉄板でシールドされて
いる。このような厚いシールド材料を用いると、装置の
重量が極めて大きなものとなり、かつ、その製作や加工
に困難を生ずる。更に、上記鉄板シールドの最も重大な
欠点は、鉄板自身が磁気を帯び易いという点にある。

【０００４】上記のような従来の電磁波シールド材料の
欠点を解消するためにアモルファス金属の利用が試みら
れた。アモルファス金属は、すぐれた電磁波に対するシ
ールド効果を有し、かつ負荷を除くと、直ちにもとの状
態に復帰し、磁気を帯びることがないという利点を有し
ている。

【０００５】しかしながら、アモルファス金属は、従来
の電磁波シールド材料（例えば鉄板）に対し、下記のよ
うな問題点を有している。（イ）一般にアモルファス金属材料の厚さは、１００μ
ｍ以下( 市販アモルファス金属薄膜の大部分は５０μｍ
以下の厚さを有する) に限定され、これ以上の厚さを有
するアモルファス金属材料を得ることが困難である。

【０００６】（ロ）一般に、アモルファス金属材料は１
００mm以下の幅（最も一般には２０mm以下）で供給され
ており、これ以上に広い幅を有するものを入手すること
が困難である。（ハ）従って、広幅の、かつかなりの厚さ、例えば、１
００μｍより大きな厚さを有するアモルファス金属材料
を得ることは困難である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来の厚
さ、および、幅の小さなアモルファス金属薄膜リボンを
用いて、所望の幅と厚さを有するアモルファス金属薄膜
積層体およびそれを含む積層体シートを提供しようとす
るものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明のアモルファス金
属薄膜積層体は、複数のアモルファス金属薄膜を積層し
てなるものである。

【０００９】また、本発明のアモルファス金属薄膜積層
シートは、複数のアモルファス金属薄膜を積層してなる
少なくとも１個の積層体と、この積層体に積層されてお
り、かつ可撓性樹脂を主成分として含む少なくとも１個
の被覆層とを含むものである。

【００１０】

【作用】最近アモルファス金属を、その特性に基いて、
種々の用途に使用することが試みられている。一般にア
モルファス金属薄膜は、幅：２．５４〜１０．１６cmの
リボン状材料として供給されており、その幅の拡大に関
しては近い将来、幅：２０．３２cmの小幅シートが、供
給されることが期待されている程度である。また、供給
されているアモルファス金属薄膜は、一般に５〜５０μ
ｍの厚さを有するもので、極く稀に１００μｍ程度の厚
さを有するものがあるに過ぎない。

【００１１】従来は、上述のようなリボン状、又は小
（細）幅材料は、カードケース、或は小物用包装収納材
料としてのみ使用可能であって、これを１００〜３００
cmの広幅が要求される被覆シートなどに利用することは
殆んど不可能と考えられていた。

【００１２】本発明の積層体においては、アモルファス
金属薄膜は、その供給幅のまゝ、または、必要に応じ、
これを所望の幅に接合して使用される。

【００１３】上述のエレクトロニクス機器の保護効果と
は、電磁波シールド手段により電磁波エネルギーを吸収
したり、或は反射したりして、エレクトロニクス機器に
電磁波エネルギーの影響が及ばないようにする効果を云
う。この電磁波シールド手段による電磁波エネルギー減
衰の程度は単位デシベル（ｄＢ）で表わされ、電磁波シ
ールド材料としてはこの数値が大きい程減衰効果が大き
く、好ましいことになる。

【００１４】本発明の積層体において、その電磁波シー
ルド効果は、それに含まれている金属薄膜のシールド効
果にほぼ依存し、一般に、３０ｄＢ以上であることが好
ましく、６０ｄＢ以上であることが更に好ましく、９０
ｄＢ以上であることがより一層好ましい。

【００１５】本発明において有用なアモルファス金属薄
膜としては、一般には鉄を主成分とし、これにホウ素、
珪素、炭素、ニッケル、コバルト、および、モリブデン
などから選ばれた１種以上を添加して得られるアモルフ
ァス合金から選ばれることが好ましい。例えば、アライ
ド社の商品名ＭＥＴＧＬＡＳＮｏ．２６０５ＳＣ（Ｆ
ｅ：８１％、Ｂ：１３．５％、Ｓｉ：３．５％、Ｃ：
２％のアモルファス合金）、Ｎｏ．２６０５Ｓ−２（Ｆ
ｅ：７８％、Ｂ：１３％、Ｓｉ：９％のアモルファス合
金）、Ｎｏ．２６０５−Ｃｏ（Ｆｅ：８７部、Ｂ：１４
部、Ｓｉ：１部、Ｃｏ：１８部のアモルファス合金）
、Ｎｏ．２８２６−ＭＢ（Ｆｅ：４０％、Ｎｉ：３８
％、Ｍｏ：４％、Ｂ：１８％のアモルファス合金）など
を用いることができる。

【００１６】また、上記の鉄を主成分とする合金系の外
に、コバルトを主成分とする合金系（例えばＣｏ₉₀Ｚｒ
₁₀，Ｃｏ₇₈Ｓｉ₁₀Ｂ_12,Ｃｏ₅₆Ｃｒ₂₆Ｃ₁₈，ＣＯ₄₄Ｍｏ
₃₆Ｃ ₂₀，Ｃｏ₃₄Ｃｒ₂₈Ｍｏ₂₀Ｃ₁₈）、ニッケルを主成分
とする合金系（例えばＮｉ₉₀Ｚｒ₁₀，Ｎｉ₇₈Ｓｉ
₁₀Ｂ₁₂，Ｎｉ₃₄Ｃｒ₂₄Ｍｏ₂₄Ｃ₁₈およびその他の金属を
主成分とする合金系（例えばＰｄ₈₀Ｓｉ₂₀，Ｃｕ₈₀Ｚｒ
₂₀，Ｎｂ₅₀Ｎｉ₅₀，Ｔｉ₅₀Ｃｕ₅₀）等も利用できる。

【００１７】また、アモルファス金属薄膜は、その電磁
波シールド性に実質的な影響のない範囲内で、有孔薄膜
であってもよい。

【００１８】これらのアモルファス金属薄膜は、前述の
ようにリボン又は細幅シートの形状で供給されている場
合が多いので、本発明の積層体に、これらを使用すると
き、必要に応じて複数のリボン状、又は、細幅シート状
のアモルファス金属薄膜を互に並列に配列して、広幅薄
膜体とするか、または、必要によりそれらの対向する側
縁部を導電性接着剤又は半田により接着して、所望の幅
を有する広幅薄膜体とする。複数のリボンから広幅薄膜
を作成するとき、リボンは、得られる積層体の長手軸方
向に平行に伸びるように配置されてもよいし、或は、こ
れに直角な方向に伸びるように配置されていてもよい。
また、アモルファス金属薄膜は、アモルファス金属の粉
末を利用して形成してもよい。或は、アモルファス金属
からなる細線から編織物状、又は不織布状シートとし
て、これをアモルファス金属薄膜として用いてもよい。

【００１９】アモルファス金属薄膜は電界に対するシー
ルド効果を有するが、特に磁界に対しすぐれたシールド
効果を有している。

【００２０】本発明の積層体においてアモルファス金属
薄膜は、アモルファス金属薄膜単独から形成されたもの
であってもよいし、或は、アモルファス金属薄膜からな
る基体と、その少なくとも一面を被覆している導電性金
属メッキ層とからなるものであってもよい。メッキ用導
電性金属としては、例えば銅、ニッケル、コバルト、
鉄、アルミニウム、金、銀、錫、亜鉛およびこれらから
選ばれた２種以上の合金などを用いることができる。こ
のようにして、アモルファス金属薄膜からなる基体の少
なくとも一面上に導電性金属をメッキすると、得られる
アモルファス金属薄膜は前記磁界シールド性に、メッキ
層による電界シールド性が加算され、アモルファス金属
薄膜全体として、低周波から高周波までの広範囲の電磁
波に対して、すぐれたシールド効果を示すことができ
る。また、導電性金属メッキ層は、アモルファス金属薄
膜の半田接着性を向上させ、アモルファス金属薄膜リボ
ンから、広巾薄膜の形成を容易にする効果もある。

【００２１】また、アモルファス金属薄膜中に含まれる
導電性金属メッキ層は、０．１μｍ以上の厚さを有する
ことが好ましく、０．１〜５μｍ程度の厚さを有するこ
とがより好ましい。またアモルファス金属薄膜又はその
金属メッキ層表面に、防錆剤その他の薄い保護膜を形成
してもよい。

【００２２】アモルファス金属薄膜は前述のようにそれ
ぞれ５〜５０μｍの厚さを有するものであるが、本発明
のアモルファス金属薄膜の積層体は全体として５０μｍ
以上の厚さを有することが好ましく、１００〜５，００
０μｍの厚さを有することがより好ましい。このため
に、本発明のアモルファス金属薄膜積層体においては好
ましくは２〜２００枚のアモルファス金属薄膜が厚さ方
向に積層一体化されている。積層体のシールド効果を強
化し、安定化させるためには、多数のアモルファス金属
薄膜を積層することが望ましい。すなわち、アモルファ
ス金属薄膜を広く大きな面積に接合して使用する場合、
面積が大きくなればなる程、シールド効果に不均一を生
じ、効果が低下し、或は不安定になるおそれがある。こ
のような問題点を解消し、安定したシールド効果を得る
ためには、多数の薄膜を積層することが望ましい。

【００２３】本発明の積層体は、少なくとも１個のメッ
キ層付きアモルファス金属薄膜と、少なくとも１個のメ
ッキ層を有しないアモルファス金属薄膜とを含むもので
あってもよい。このようにアモルファス金属薄膜の一部
からメッキ層を省略することにより製品コストを低下さ
せながら、所要の電磁波シールド性を得ることができ
る。

【００２４】多数のアモルファス金属薄膜を積層し接合
する場合、接着剤又は粘着剤による接合域が互に重複し
て、得られる積層体中に局部的に厚さの異なる部分が形
成されないように、接着剤又は粘着剤の接合域が互に重
複しないように、積層体中にほゞ均一に分布させ、それ
によって厚さ、風合の均一性を維持することが好まし
い。

【００２５】接着剤又は粘着剤は、積層された複数のア
モルファス金属薄膜を電気的に互に連結させるために、
導電性、又は半導電性であることが好ましく、更にそれ
が防錆性を有することができる。このような接着剤、又
は粘着剤の種類には格別の限定はなく使用目的に応じ
て、既存のものから任意に選択して使用することができ
る。例えば、使用環境に応じて耐寒性の高いもの、或は
耐熱性の高いものなどを選択して使用すればよい。

【００２６】一般に、積層体中における複数のアモルフ
ァス金属薄膜は互に接着剤又は粘着剤により接着又は粘
着されていてもよい。この接着又は粘着において互に上
下に隣接し、重なり合うアモルファス金属薄膜の全面に
接着剤又は粘着剤が塗布固着されていてもよい。しか
し、この場合、積層体が折曲げられたとき、互に接着又
は粘着されたアモルファス金属薄膜間の相互変位の自由
度が不十分となる。この問題は、特に接着剤が用いられ
たときに顕著である。このような問題点を解決するため
には、複数のアモルファス金属薄膜が互に接着又は粘着
されていないことが好ましいが、この場合複数のアモル
ファス金属薄膜の一体化が困難になる。

【００２７】本発明のアモルファス金属薄膜積層体内に
おいて、各アモルファス金属薄膜がその上下に隣接し重
なり合って部分的に接着又は粘着され、接着又は粘着部
分以外の部分で、互に相対的変位が可能であることが好
ましい。このため各アモルファス金属薄膜がその上下に
隣接し重なり合っている部分に対し、少なくとも１個の
線状、又は点状に配置された接着剤又は粘着剤の層によ
り接着又は粘着されていることが好ましい。例えば複数
のアモルファス金属薄膜からなる積層体中において、そ
の構成アモルファス金属薄膜は、少なくとも１個の線状
又は点状に或は、これらの混合状態に分布させた接着剤
又は粘着剤の層により接着又は粘着されることが好まし
い。このような態様の接着又は粘着により複数のアモル
ファス金属薄膜は、互に接合され一体化される。しかし
アモルファス金属薄膜の非接合部分は屈曲に応じて互に
相対的に変位することができ、これにより積層体の屈曲
が容易になり、また屈曲に伴う積層体の破断が防止され
る。

【００２８】接合部分の形状は、１個以上の直線、曲
線、又はこれらの混合であってもよく、或は１個以上の
点からなるものであってもよく、これらの接合部分の合
計は、当該アモルファス金属薄膜の接合面積に対し９０
％以下であることが好ましく、１〜９０％の範囲内にあ
ることがより好ましい。

【００２９】アモルファス金属薄膜積層体に含まれる点
状、又は線状の接着剤又は粘着剤の塗布域は、積層体に
局部的に厚さの不均一を生じないように、互に重複しな
いよう、ほゞ均一に分布させることが好ましく、これに
よってほゞ均一の充実度を有する積層体が得られる。

【００３０】本発明のアモルファス金属薄膜積層体にお
いて、複数のアモルファス金属薄膜が積層され、この積
層体が互に対向する２枚の可撓性重合体樹脂シート（フ
ィルム）の間にパックされ、一体化されていてもよい。
また、これらのパックされ一体化されたものを複数個重
ね合わせてもよい。

【００３１】本発明のアモルファス金属薄膜積層シート
は、複数のアモルファス金属薄膜を積層してなる少なく
とも１個の積層体と、この積層体に積層されており、か
つ可撓性樹脂を主成分として含む少なくとも１個の被覆
層とを含むものである。このような可撓性樹脂被覆層
は、複数のアモルファス金属薄膜積層体の間に形成され
ていてもよく、また任意の間隔をおいて形成されていて
もよく、或は積層体の少なくとも一つの最外表面上に配
置されていてもよい。

【００３２】この可撓性樹脂被覆層が導電性又は半導電
性であることが望ましい。複数のアモルファス金属薄膜
積層体の間に導電性又は半導電性可撓性樹脂被覆層が設
けられると、複数のメッキされた又はメッキされていな
いアモルファス金属薄膜の積層体の全体が導電性となり
好まし結果が得られる。特に、メッキしていないアモル
ファス金属薄膜が用いられる場合、積層体間に導電性又
は半導電性可撓性樹脂被覆層を設けることにより、磁界
シールド性とともに電界シールド性も改善され、性能の
良好な積層シートが得られる。

【００３３】上記可撓性樹脂被覆層の少なくとも１層
が、可撓性重合体樹脂からなるフィルム、又はシートを
貼着することにより形成されていてもよく、このような
フィルム又はシートは多孔質であってもよく、或は非多
孔質であってもよい。

【００３４】可撓性樹脂被覆層は、本発明の積層シート
に、所望の柔軟性、圧縮弾性、および衝撃や押圧に対す
る緩衝性、耐破断性などを与えることができる。すなわ
ち、積層シートに屈曲などの外力が作用したとき、この
可撓性樹脂被覆層が、変形することによってこの外力を
吸収し、アモルファス金属薄膜の伸びおよび圧縮を少な
くし、これによってアモルファス金属薄膜の裂断や折損
を防止し、かつ永久変形（折れ目の形成）を防止すると
いう緩衝作用を発揮する。このような積層シートは、核
磁気共鳴診断装置（ＭＲＩ）などの磁気シールドシー
ト、エレクトロニクス機器の被覆シート、包装収納用シ
ート、床シート、壁シート、或は建築用シート等として
有用なものである。

【００３５】本発明に用いられる可撓性重合体樹脂とし
ては、天然ゴム、ネオプレンゴム、クロロプレンゴム、
シリコーンゴム、ハイパロンその他の合成ゴム、または
ＰＶＣ樹脂、エチレン−酢酸ビニールコポリマー（ＥＶ
Ａ）樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、ポリウレタ
ン樹脂、ポリエチレン（ＰＥ）樹脂、ポリプロピレン
（ＰＰ）樹脂、ポリエステル樹脂、フッ素含有樹脂その
他の合成樹脂を用いることができる。このような樹脂材
料は、また、良好な防水性を有し、得られる積層シート
に所望の防水性並びに難燃性や機械的強度を与えること
ができる。可撓性樹脂被覆層は、０．０５mm以上の、よ
り好ましくは０．０５〜１．０mmの厚さを有することが
好ましく、また導電性物質を含んでいることが好まし
い。

【００３６】これらの可撓性樹脂被覆層は、上記の如き
ゴム又は樹脂のフィルム、溶液、ペースト又はストレー
トなどを用い、公知の方法、例えば、トッピング、カレ
ンダリング、コーティング、ディッピングなどの方法に
よって、アモルファス金属薄膜の積層体の表面上に形成
することができる。これらのゴム又は樹脂中には、可塑
剤、安定剤、着色剤、紫外線吸収剤などや他の機能付与
剤、例えば防炎剤、難燃化剤などが含まれていてもよ
い。

【００３７】従来、金属箔の表面に対し、防錆、および
腐食防止の目的で１〜１０μｍ程度の厚さの樹脂層を形
成することが知られているが、本発明の積層シートにお
いては、可撓性樹脂被覆層は一般に５０μｍ以上の厚さ
に形成され、この厚さは、好ましくは５０〜５０００μ
ｍであり、更に好ましくは１００〜３０００μｍであ
り、より一層好ましくは２００〜２０００μｍである。
また、本発明に用いられる可撓性樹脂被覆層は、上記の
厚さを有していても使用上十分な可撓性を示すことがで
きる。

【００３８】可撓性樹脂被覆層は、可撓・防水性重合体
樹脂の単一層から形成されていてもよいが、可撓・防水
性樹脂からなる基礎層と、この基礎層の上に形成され、
防汚・耐候性合成樹脂からなる表面層とを含んでなるも
のであってもよい。

【００３９】本発明に用いられる防汚・耐候性合成樹脂
としては、弗素含有樹脂およびアクリル樹脂を用いるこ
とができる。すなわち防汚・耐候性樹脂表面層は、基礎
層上に、弗素含有樹脂、又は、アクリル樹脂からなるフ
ィルムを貼着することによって形成される。

【００４０】一般に弗素含有樹脂は、難燃性かつ防汚、
耐候性であるが、通常のプラスチック接着剤になじまな
いためそのままでは、基礎層の表面に貼着することは困
難である。そこで、弗素含有樹脂フィルムの表面をプラ
イマー処理、コロナ放電又は低温プラズマ処理等を施し
て、これをできるだけ接着容易化活性化することによ
り、例えばポリ塩化ビニル、ポリエポキシ、ポリアクリ
ル、およびポリエステル樹脂などの接着剤との親和性を
増加せしめている。通常上記の処理によって、弗素含有
樹脂フィルムの表面部分について活性化が行われること
となる。このために、例えば１００〜２００Ｖ、４０〜
１００μＦ、短絡電流１〜２Ａの条件でコロナ放電処理
が行われる。かかる放電処理により、弗素含有樹脂フィ
ルムに所望の接着能が与えられるが、本発明に用いられ
る弗素含有樹脂フィルムの表面処理はこれに限定される
ものではなく、他の表面処理等により同等以上の効果を
奏するものであればよい。

【００４１】弗素含有樹脂フィルムを構成する樹脂とし
ては、エチレンの水素原子の１個以上が弗素原子と置換
されている単量体から合成される各種のポリフルオルエ
チレン、例えば、ポリテトラフルオルエチレン、又は一
部塩素を含む各種のポリフルオルクロルエチレン、例え
ばポリトリフルオルクロルエチレン等があるが、このほ
かポリ弗化ビニル、ポリ弗化ビニリデン、ポリジクロル
ジフルオルエチレン、その他も包含される。フィルムの
厚みは、一般に０．００１mm〜０．５mm、好ましくは５
〜５０μｍ程度であるが、耐候性・防汚性並びに耐久性
の目的を達成するものであれば、より厚く、又は、より
薄くすることができ特に限定はない。また、弗素含有樹
脂フィルムには、他の樹脂、例えばＭＭＡ等が混合又は
貼着複合される等混用されていても本発明の目的を達成
するものであれば差支えない。本発明に使用される弗素
含有樹脂フィルムの市販品としては、テドラーフィルム
（デュポン商標）、アフレックスフィルム（旭硝子社、
商標）、ＫＦＣフィルム（呉羽化学社、商標）等があ
る。

【００４２】本発明において、表面が実質的に平滑なフ
ィルム状の弗素含有樹脂が、基礎層の上面に貼着される
のが好ましいが、弗素含有樹脂溶液、又はエマルジョン
等を塗布する方法もある。本発明に用いられる弗素含有
樹脂フィルムは、１００kg／cm²以上の引張り強度を有
することが好ましい。

【００４３】本発明において防汚・耐候性樹脂表面層
は、ポリアクリル樹脂によって形成されてもよい。この
ために一般にはアクリル樹脂フィルムを用いるが、アク
リル樹脂の溶液又は、エマルジョンを、基礎層の上に塗
布し乾燥する方法を用いてもよい。

【００４４】本発明に用いられるアクリル樹脂フィルム
は、１００kg／cm²以上の引張り強度を有することが好
ましく、１〜５０ｇ／ｍ²、好ましくは３〜３０ｇ／ｍ
²の重量、又は、3 μｍ以上（通常は３〜５０μｍ)
の、更に好ましくは４〜３０μｍの厚さを有するもので
あることが好ましい。

【００４５】本発明に適用されるアクリル樹脂フィルム
は、Ｔダイ法又はインフレーション法、その他いずれの
方法で製造されたものでもよい。また、延伸フィルム、
未延伸フィルムのいずれでもよいが、フィルムの伸度は
１００〜３００％程度のものが好ましい。また、前述の
ように厚みは通常３〜５０μｍ程度であるが、十分な耐
候性・防汚性を達成するならば多少厚く又は薄くしても
よい。フィルム素材は、ポリアルキルメタクリレート系
フィルム、例えばメチルメタクリレート、エチルメタク
リレート、プロピルメタクリレート、ブチルメタクリレ
ート等を主材料とするもの、又は、アクリレート、酢酸
ビニル、塩化ビニル、スチレン、アクリロニトリル、メ
タクリロニトリル等のホモモノマー又はコモノマーを成
分とするホモポリマー又はコポリマーをフィルム状に成
型したものがよい。かかるフィルムは基礎層の表面に接
着剤を用いて接着するか又はその他の方法により貼着さ
れる。

【００４６】本発明において、可撓・防水性樹脂基礎層
上に形成される防汚・耐候性樹脂表面層は、上述のよう
な弗素含有樹脂およびアクリル樹脂の他に、ポリ弗化ビ
ニリデン樹脂層とアクリル樹脂層との積層体、又はポリ
弗化ビニリデン樹脂層と、アクリル樹脂層と、ポリ塩化
ビニル樹脂層との積層体からなるものであってもよい。
これら積層体においては、ポリ弗化ビニリデン樹脂層の
厚さは２〜３μｍ、アクリル樹脂層の厚さは２〜４μｍ
および、ポリ塩化ビニル樹脂層の厚さは４０〜４５μｍ
であることが好ましい。これらの可撓性重合体樹脂層
は、多孔質、すなわち発泡層であってもよい。このよう
な発泡多孔質層は所望の可撓性を有する限り硬質フォー
ムであってもよいが、一般には軟質フォームであること
が好ましい。

【００４７】発泡多孔質層の気孔率は、５０〜９９％
（発泡倍率：２〜１００倍）であることが好ましく、８
０〜９８％( 発泡倍率：５〜５０倍）であることがより
好ましい。通常は発泡倍率20〜60倍のものが用いられ
る。また、発泡多孔質シート層の圧縮抵抗は、２５％圧
縮において、１０kg／cm²以下であれば用途によっては
実用可能であるが、一般に０．５kg／cm²以下であるこ
とが好ましく、０．１ｋｇ／cm²以下であることがより
好ましい。発泡多孔質層の厚さには、格別の制限はな
く、積層シートの用途に応じて任意に設定することがで
きるが、一般に、０．５〜１００mmの範囲内にあること
が好ましく、１〜５０mmの範囲内にあることがより好ま
しい。

【００４８】発泡多孔質層は、アモルファス金属薄膜積
層体に結着されているが、発泡多孔質シートを予じめ作
成しておき、これを接着剤を用いて結着してもよく、或
は、発泡多孔質シートの接合表面部分を熱溶融して、融
着してもよい。また、発泡多孔質層は、アモルファス金
属薄膜積層体上で化学発泡させて形成してもよいし、或
は、気泡を含有する重合体塗料をアモルファス金属薄膜
積層体上に塗布し、これを固化する、所謂、機械発泡法
により形成してもよい。

【００４９】上述のような可撓性重合体発泡多孔質層を
含む被覆層は、アモルファス金属薄膜積層体の両面に形
成されてもよく、或は、その片面のみに、或は中間に形
成されてもよい。片面のみに形成された場合、アモルフ
ァス金属薄膜積層体の他の片面に、或は任意の部分に、
前述のような可撓性重合体樹脂の非多孔質層を含む被覆
層が結着されていてもよい。

【００５０】一般にアモルファス金属薄膜の引裂き強さ
は殆んど０に等しい程低く、低い負荷で容易に裂断す
る。またこのようなアモルファス金属薄膜は引張強さに
おいても比較的弱く、かつ、強度のバラツキが大きい。
例えば厚さ２５μｍのアモルファス金属薄膜の引張り強
さをＪＩＳ−Ｌ−１０９６（１９７９）．「一般織物試
験方法」の６．１２、引張り強さ及び伸び率６．１２．
１（１）Ａ法（ストリップ法）に準拠し、巾：３cm、把
み間隔：２０cm、引張りスピード：２００mm／分での条
件で測定すると、その引張り強さは、６５〜１２５ｋｇ
／３cm、平均１００ｋｇ／３cm程度の比較的弱いもので
あり、また測定値にバラツキが大きい、また、アモルフ
ァス金属薄膜は、一般に巾の狭いリボン状で提供されて
いるので、これらを並列に配列してシート状にすると、
たとえ、これらを、その対向している側縁部で、半田に
より、或は接着剤で接着しても、このシートの横方向の
引張り強さは不十分であり、しかもそのバラツキが大き
いという問題がある。そこで、包装用、被覆用に使用さ
れる場合、或は局部的に摩擦されたり、局部的に外力が
作用する用途に用いられる場合においても、本発明の積
層シートは、可撓性樹脂被覆層により補強されているた
め十分な実用性を有しいる。

【００５１】本発明の積層シートにおいて、可撓性樹脂
被覆層は、壁紙シートを構成する壁紙状シート層であっ
てもよい。この場合、得られる積層シートは電磁波シー
ルド性壁紙として有用である。本発明の積層シートにお
いて、その最外表面の少なくとも１つが、可撓性樹脂被
覆層により被覆されていてもよい。

【００５２】

【実施例】以下に本発明のアモルファス金属薄膜積層体
および積層シートを実施例により更に説明する。実施例１アモルファス合金（Ｆｅ：８１％、Ｂ：１３．５％、Ｓ
ｉ：３．５％、Ｃ：２％、商標：ＭＥＴＧＬＡＳＮ
ｏ．２６０５ＳＣ、アライド社製、巾７．６２cm、厚２
５μｍ）のリボン状体の全表面に、厚さ１μｍの銅メッ
キを施した。このアモルファス金属薄膜リボンを１３枚
並列し、それぞれの側縁端を半田接合して巾約１ｍの広
巾薄膜を作成した。このようにして作成した３枚のメッ
キ層付きアモルファス金属薄膜を積層し、対向する薄膜
の一つの全面に合成ゴム系接着剤（商標：ＳＣ１２Ｎ、
ソニーケミカル社製）を塗布し、これらを接着した。得
られたアモルファス金属薄膜積層体は４０ｄＢの電磁波
シールド性を有していた。

【００５３】上記のアモルファス金属薄膜積層体の一面
上に、発泡倍率４０倍( 気孔率：９７．５％）、厚さ５
mmのポリウレタンフォームを貼着して包材とした。この
積層シートを用いて、鋭角のコーナーを有する機器を包
み込んだところ発泡多孔質シート層は、機器の形状に応
じて圧縮変形し、アモルファス金属薄膜が伸長したり折
損することは全くなかった。

【００５４】実施例２実施例１記載と同様にして作成した巾１ｍの広巾メッキ
層付きアモルファス金属薄膜の１０枚を積層し、その長
さ方向の両端部（巾約１０mm）を実施例１と同様の接着
剤を用いて互に接着し一体のアモルファス金属薄膜層積
層体を得た。この積層体は、９０ｄＢの電磁波シールド
効果を示した。

【００５５】別に、下記組成：ポリ塩化ビニル樹脂１００重量部Ｄ．Ｏ．Ｐ．（可塑剤）７０〃ホウ酸バリウム（減煙剤）２０〃水酸化アルミニウム（難燃剤）１００〃硫酸バリウム（難燃剤）２００〃バリウム−亜鉛系安定剤２〃ケチンブラックＥＣ３〃の樹脂組成物から、巾１０５cm、厚さ０．３mmのフィル
ムを作成した。

【００５６】上記ポリ塩化ビニル樹脂フィルムの２枚
を、上記のアモルファス金属薄膜積層体の両面に、カレ
ンダーにより貼着し、アモルファス金属薄膜積層体の両
耳部よりはみ出している部分を互に接着して、２枚のフ
ィルムの間に、アモルファス金属薄膜積層体をパック
し、かつシールした。

【００５７】得られた積層シートは、多数のアモルファ
ス金属薄膜を含んでいるにも拘らず、実用上十分な柔軟
性、屈曲性、強度、および作業性を有し、かつ、９０ｄ
Ｂの電磁波シート効果を示した。

【００５８】上記と同様の操作を繰り返えして、積層シ
ートを作成した。但し、積層されたアモルファス金属薄
膜の両端部を接着剤接着しなかった。得られた積層シー
トも、実用上十分な柔軟性、屈曲性、強度、作業性を示
した。

【００５９】実施例３実施例１と同様の操作を行った。但し、接着剤として、
導電性を有するドータイトＦＥ−１０２（藤倉化成社
製、Ａｇ−Ｃｕ含有、電磁波シールド用アクリル系樹脂
接着剤、体積抵抗：１０^-4Ω−cm）を用いた。得られた
積層体および積層シートは、５０ｄＢの電磁波シールド
性を示した。

【００６０】実施例４実施例１と同様の操作を行った。但し、接着剤の代りに
アクリル樹脂系粘着剤を用いた。得られた積層体および
積層シートは良好な柔軟性を示し、実施例１と同様の電
磁波シールド性を示した。

【００６１】実施例５実施例１と同様の操作を行った。但し、先ずメッキされ
たアモルファス金属薄膜の広巾シートを作成し、その両
面上に、メッキされていないアモルファス金属薄膜リボ
ンを、そのタテ方向に２cm間隔で粘着剤を幅３mmに直線
状に塗布したものを積層貼着して、３層構造の積層体を
形成した。上記のようにして、メッキを省略したアモル
ファス金属薄膜を積層して安価に得られた積層体は、４
０ｄＢのすぐれた電磁波シールド性を示した。

【００６２】このように、メッキを省略したアモルファ
ス金属細巾リボン状薄膜を広巾基材をベースとして、そ
の全面上に順次、粘着剤又は接着剤で接合して広巾化
し、かつ、多層化することも、簡単な方法で可能になり
安価にアモルファス金属薄膜積層体および積層シートを
製造することができ、特にアモルファス金属薄膜を含む
広巾シートの商品化の道が開けた。

【００６３】実施例６実施例１で得られた広巾のメッキ層付きアモルファス金
属薄膜の５枚１組のものを３組用意し、各組のアモルフ
ァス金属薄膜の間に、ほゞ０．３５mm、又はほゞ０．３
３mmの発泡ポリウレタンシートを挟み込み、下記接着剤
の１種を使用して積層接着して積層シートを得た。接着剤（イ）ＳＣ−１２Ｎ（ロ）ドータイトＦＥ−１０２

【００６４】得られた積層シートは上記接着剤のいづれ
の場合も好ましい弾性を示し床シート（床材）として使
用するに好ましいものが得られた。また、得られた積層
シートのシールド効果とクッション効果も良好であっ
た。これらは良好な電磁波シールド性と、好ましい弾性
を有し、例えば電磁波シールド性敷物として有用なもの
であった。

【００６５】実施例７実施例６と同様の操作を行った。但し最外表裏両層のみ
を、メッキされたアモルファス金属薄膜により構成し、
中間の３層を、メッキなしのアモルファス金属薄膜リボ
ン（実施例１記載のものに同じ）を、隙間のないように
並列配置し、表裏両層と、中間３層相互に粘着接合して
積層シートとした。得られた積層シートは満足すべき電
磁波シールド効果を示した。

【００６６】

【発明の効果】本発明の積層体および積層シートは、複
数のアモルファス金属薄膜層を積層してなるアモルファ
ス金属薄膜積層体を含むものであるが、実用上十分な柔
軟性、屈曲性、強度、衝撃緩衝性、および作業性を有
し、更に、すぐれた電磁波シールド性を有しているの
で、電磁波シールド性の被覆、又は、包装シート、敷
物、或は壁紙シートなどとして有用なものである。ま
た、本発明の積層体および積層シートは上記用途におけ
る中間体製品又は完成製品のいづれに組み合わせて使用
することもできる。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数のアモルファス金属薄膜が積層して
なるアモルファス金属薄膜積層体。
【請求項２】前記積層された複数のアモルファス金属
薄膜が互に接着剤又は粘着剤により接着一体化されてい
る、請求項１に記載の積層体。
【請求項３】前記接着剤、又は粘着剤が導電性又は半
導電性を有する、請求項２に記載の積層体。
【請求項４】前記接着されたアモルファス金属薄膜の
接着面上において、前記接着剤又は粘着剤が１本以上の
線状、又は１個以上の点状に分布している、請求項２又
は３に記載の積層体。
【請求項５】前記接着剤又は粘着剤の分布面積の合計
が、前記アモルファス金属薄膜の接着面の面積に対し
１．０〜９０％の範囲内にある、請求項４に記載の積層
体。
【請求項６】前記積層された複数のアモルファス金属
薄膜間の接着剤又は粘着剤の塗布域が互に重複しない位
置に形成されている、請求項４に記載の積層体。
【請求項７】前記複数のアモルファス金属薄膜が、互
に積層され、この積層体が互に対向する２枚の可撓性重
合体樹脂シートの間にパックされ、一体化されている、
請求項１に記載の積層体。
【請求項８】前記アモルファス金属薄膜積層体中の、
少なくとも１個のアモルファス金属薄膜が、このアモル
ファス金属薄膜と、その少なくとも一面上に形成され、
かつ少なくとも１種の導電性金属からなるメッキ層とを
含むものである、請求項１に記載の積層体。
【請求項９】前記アモルファス金属薄膜積層体が、少
なくとも１個のメッキ層付きアモルファス金属薄膜と、
少なくとも１個のメッキ層を有しないアモルファス金属
薄膜とを含む、請求項１に記載の積層体。
【請求項１０】前記導電性金属メッキ層が、銅、ニッ
ケル、コバルト、鉄、アルミニウム、金、銀、錫、亜鉛
および上記金属から選ばれた少なくとも１種を含む合金
から選ばれた少なくとも１種を含んでなる、請求項８に
記載の積層体。
【請求項１１】前記アモルファス金属薄膜が互に平行
に配置された複数のアモルファス金属薄膜リボンを含ん
でなる、請求項１に記載の積層体。
【請求項１２】前記アモルファス金属薄膜リボンが、
その長手縁端部において、互に導電性接着剤又は半田に
より接合され、所望の巾を有する１体の薄膜に形成され
ている、請求項１１に記載の積層体。
【請求項１３】前記アモルファス金属薄膜リボンが、
その長手縁端部において、互に接着剤又は粘着剤により
接合され、所望の巾を有する一体の薄膜に形成されてい
る、請求項１１に記載の積層体。
【請求項１４】前記アモルファス金属薄膜が、Ｆｅ，
Ｃｏ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｃｕ，ＮｂおよびＴｉから選ばれた
少なくとも１員からなる主成分と、Ｂ，Ｓｉ，Ｃ，Ｃ
ｏ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｃｕ，Ｔｉ，およびＭｏ
から選ばれた少なくとも１員からなり、但し、前記主成
分に含まれる金属を含まない添加成分とを含んでなる、
請求項１に記載の積層体。
【請求項１５】前記アモルファス金属薄膜の各々が、
５〜１００μｍの厚さを有する、請求項１に記載の積層
体。
【請求項１６】前記アモルファス金属薄膜積層体が５
０〜５，０００μｍの合計厚さを有する、請求項１に記
載の積層体。
【請求項１７】前記アモルファス金属薄膜積層体内
の、積層された複数の薄膜層が互に重複しない接合域で
接合されている、請求項１に記載の積層体。
【請求項１８】前記導電性金属メッキ層が、０．１μ
ｍ以上の厚さを有する、請求項８に記載の積層体。
【請求項１９】複数のアモルファス金属薄膜を積層し
てなる少なくとも１個の積層体と、この積層体に積層さ
れており、かつ可撓性樹脂を主成分として含む少なくと
も１個の被覆層とを含む、アモルファス金属薄膜積層シ
ート。
【請求項２０】前記可撓性樹脂被覆層が、複数の前記
アモルファス金属薄膜積層体の間に形成されている、請
求項１９に記載の積層シート。
【請求項２１】前記可撓性樹脂被覆層が前記アモルフ
ァス金属薄膜積層体の少なくとも１つの最外表面上に配
置されている、請求項１９に記載の積層シート。
【請求項２２】前記可撓性樹脂被覆層が導電性又は半
導電性である、請求項１９〜２１のいづれか１項に記載
の積層シート。
【請求項２３】前記可撓性樹脂被覆層が、前記アモル
ファス金属薄膜積層体上に積層されている可撓性・防水
性重合体基層と、この可撓性・防水性重合体基層上に形
成された防汚耐候性重合体表面層とを含んでなる、請求
項１９〜２２のいづれか１項に記載の積層シート。
【請求項２４】前記防汚耐候性重合体表面層が、フッ
素含有重合体類およびポリアクリル重合体類から選ばれ
た少なくとも１種を含んでなる、請求項２３に記載の積
層シート。
【請求項２５】前記可撓性樹脂被覆層が、５０μｍ以
上の厚さを有する、請求項１９に記載の積層シート。
【請求項２６】前記可撓性樹脂被覆層の少なくとも１
層が多孔質である、請求項１９に記載の積層シート。