JPH0683957B2 - 円筒研磨装置 - Google Patents
円筒研磨装置Info
- Publication number
- JPH0683957B2 JPH0683957B2 JP63282559A JP28255988A JPH0683957B2 JP H0683957 B2 JPH0683957 B2 JP H0683957B2 JP 63282559 A JP63282559 A JP 63282559A JP 28255988 A JP28255988 A JP 28255988A JP H0683957 B2 JPH0683957 B2 JP H0683957B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- shaft
- clamp
- polishing
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Program-control systems
- G05B19/02—Program-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form
- G05B19/402—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by control arrangements for positioning, e.g. centring a tool relative to a hole in the workpiece, additional detection means to correct position
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/45—Nc applications
- G05B2219/45161—Grinding machine
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/50—Machine tool, machine tool null till machine tool work handling
- G05B2219/50152—Align axis cylinder, tube with rotation axis machine
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、自動芯出し機能を有する円筒研磨装置に関す
る。
る。
（従来の技術） 例えば、半導体製造において、半導体ウエーハは、FZ法
又はCZ法によって引き上げられた単結晶インゴットを軸
直角方向に薄くスライスすることによって得られるが、
インゴットはスライス前にその外周を円筒研磨装置によ
って研磨され、円柱状に成形される。
又はCZ法によって引き上げられた単結晶インゴットを軸
直角方向に薄くスライスすることによって得られるが、
インゴットはスライス前にその外周を円筒研磨装置によ
って研磨され、円柱状に成形される。
ところで、インゴットは円筒研磨後に最大直径が得られ
るようにその芯出しがなされるが、斯かる芯出し方法は
既に種々提案されている（例えば、特公昭60−17682
号、同61−33446号公報参照）。
るようにその芯出しがなされるが、斯かる芯出し方法は
既に種々提案されている（例えば、特公昭60−17682
号、同61−33446号公報参照）。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、従来はインゴットの芯出しは円筒研磨装
置とは別の芯出し装置によってなされ、このインゴット
は、該芯出し装置によってその両端面に付された研磨中
心が円筒研磨装置の回転中心に一致するように別のセッ
ト装置を用いて研磨装置にセットされていたため、装置
の数が増えてこれら装置の設置スペースが増すだけでな
く、インゴットの芯出しからセットに要する作業工数が
増えるという問題があった。又、インゴットの芯出しを
高精度に行なっても、該インゴットは芯出し装置からセ
ット装置を経て円筒研磨装置にセットされるため、その
間に誤差が不可避的に含まれ、インゴットは芯出し装置
によって算出された研磨中心を芯として高精度に研磨さ
れ得ないという問題がある。
置とは別の芯出し装置によってなされ、このインゴット
は、該芯出し装置によってその両端面に付された研磨中
心が円筒研磨装置の回転中心に一致するように別のセッ
ト装置を用いて研磨装置にセットされていたため、装置
の数が増えてこれら装置の設置スペースが増すだけでな
く、インゴットの芯出しからセットに要する作業工数が
増えるという問題があった。又、インゴットの芯出しを
高精度に行なっても、該インゴットは芯出し装置からセ
ット装置を経て円筒研磨装置にセットされるため、その
間に誤差が不可避的に含まれ、インゴットは芯出し装置
によって算出された研磨中心を芯として高精度に研磨さ
れ得ないという問題がある。
本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、その目的と
する処は、ワークの芯出しからセットまでを高精度に行
ない得る円筒研磨装置を提供するにある。
する処は、ワークの芯出しからセットまでを高精度に行
ない得る円筒研磨装置を提供するにある。
（課題を解決するための手段） 上記目的を達成すべく本発明は、ワークの端面に当接し
て該ワークを回転自在に支持する円筒状のクランプ軸
と、該クランプ軸の内部に進退自在に配される調整軸と
で構成される支持部と、ワークの軸方向複数箇所におけ
る断面形状を計測する計測部と、該計測部にて計測され
たワークの断面形状に基づいて研磨中心を算出する演算
部と、該演算部にて算出された研磨中心とワークの回転
中心とのズレ量に応じて前記クランプ軸の少なくとも一
方を回転駆動するクランプ軸回転手段と、前記調整軸を
ワークの軸直角方向に移動せしめる調整軸移動手段とで
構成される芯出し部と、クランプ軸の少なくとも一方を
ワークの軸方向に移動せしめるクランプ軸移動手段と、
調整軸をワークの軸方向に進退せしめる調整軸駆動手段
とで構成される駆動部を含んで円筒研磨装置を構成した
ことを特徴とする。
て該ワークを回転自在に支持する円筒状のクランプ軸
と、該クランプ軸の内部に進退自在に配される調整軸と
で構成される支持部と、ワークの軸方向複数箇所におけ
る断面形状を計測する計測部と、該計測部にて計測され
たワークの断面形状に基づいて研磨中心を算出する演算
部と、該演算部にて算出された研磨中心とワークの回転
中心とのズレ量に応じて前記クランプ軸の少なくとも一
方を回転駆動するクランプ軸回転手段と、前記調整軸を
ワークの軸直角方向に移動せしめる調整軸移動手段とで
構成される芯出し部と、クランプ軸の少なくとも一方を
ワークの軸方向に移動せしめるクランプ軸移動手段と、
調整軸をワークの軸方向に進退せしめる調整軸駆動手段
とで構成される駆動部を含んで円筒研磨装置を構成した
ことを特徴とする。
（作用） 前記支持部を構成するクランプ軸にてワークの両端を支
持し、芯出し部のクランプ軸回転手段によってクランプ
軸及びワークを回転させながら計測部にてワークの軸方
向複数箇所における断面形状を計測し、この計測結果に
基づき演算部で例えば公知の最小断面内接求心法によっ
て研磨中心を求める。
持し、芯出し部のクランプ軸回転手段によってクランプ
軸及びワークを回転させながら計測部にてワークの軸方
向複数箇所における断面形状を計測し、この計測結果に
基づき演算部で例えば公知の最小断面内接求心法によっ
て研磨中心を求める。
上記のように、研磨中心が求められると、ワークを当該
円筒研磨装置から取り外さないでそのまま芯出し部にて
研磨中心とワークの回転中心のズレが補正される。即
ち、両中心のズレ量は極座標（r,θ）にて表され、この
ズレ量に基づいて先ずワークがクランプ軸に支持された
状態でクランプ軸回転手段によって所定角度θだけ回転
せしめられる。その後、クランプ軸移動手段と調整軸駆
動手段が駆動されてワークの支持がクランプ軸から調整
軸に移され、次に調整軸移動手段によって調整軸がワー
クの軸直角方向にｒだけ移動せしめられると、この調整
軸に支持されたワークも同量だけ同方向へ移動し、斯く
てワークの芯ズレが補正され、その回転中心が研磨中心
に一致せしめられる。
円筒研磨装置から取り外さないでそのまま芯出し部にて
研磨中心とワークの回転中心のズレが補正される。即
ち、両中心のズレ量は極座標（r,θ）にて表され、この
ズレ量に基づいて先ずワークがクランプ軸に支持された
状態でクランプ軸回転手段によって所定角度θだけ回転
せしめられる。その後、クランプ軸移動手段と調整軸駆
動手段が駆動されてワークの支持がクランプ軸から調整
軸に移され、次に調整軸移動手段によって調整軸がワー
クの軸直角方向にｒだけ移動せしめられると、この調整
軸に支持されたワークも同量だけ同方向へ移動し、斯く
てワークの芯ズレが補正され、その回転中心が研磨中心
に一致せしめられる。
そして、上記状態を保ったままクランプ軸移動手段と調
整軸駆動手段を駆動してワークを再びクランプ軸にて支
持すれば、ワークの回転中心が研磨中心に一致した状態
で該ワークの円筒研磨がなされ、ワークにおいては研磨
後に最大直径が得られる。
整軸駆動手段を駆動してワークを再びクランプ軸にて支
持すれば、ワークの回転中心が研磨中心に一致した状態
で該ワークの円筒研磨がなされ、ワークにおいては研磨
後に最大直径が得られる。
以上のように本発明はそれ自体が自動芯出し機能を有す
るため、ワークの芯出しからセットまでの作業が能率良
く、高精度に行なわれる。
るため、ワークの芯出しからセットまでの作業が能率良
く、高精度に行なわれる。
（実施例） 以下に本発明の一実施例を添付図面に基づいて説明す
る。
る。
第１図は本発明に係る円筒研磨装置の斜視図、第２図は
同装置の縦断側面図、第３図は同装置の作用説明のため
のプロセスチャート、第４図はワークの回転中心と研磨
中心との関係を示す図、第５図乃至第９図は円筒研磨装
置の作用説明図である。
同装置の縦断側面図、第３図は同装置の作用説明のため
のプロセスチャート、第４図はワークの回転中心と研磨
中心との関係を示す図、第５図乃至第９図は円筒研磨装
置の作用説明図である。
先ず、第１図及び第２図に基づいて円筒研磨装置１の構
成を説明するに、図中、２は基台３上に水平に設けられ
るベースであって、該ベース２上には主軸台ベース４と
副軸台ベース14が設置されている。
成を説明するに、図中、２は基台３上に水平に設けられ
るベースであって、該ベース２上には主軸台ベース４と
副軸台ベース14が設置されている。
上記主軸台ベース４はベース２上に固定されており、副
軸台ベース14はベース２上を長さ方向（図中、左右方
向）に移動可能に設置されている。即ち、ベース２上に
は互いに平行な２本のレール5,5が長さ方向に敷設され
ており、これらレール5,5上に副軸台ベース14がスライ
ダ６…を介して摺動自在に載置されている。そして、こ
の副軸台ベース14上にはクランプ用シリンダ７が設置さ
れており、該クランプ用シリンダ７から延出するロッド
7aの先部は前記レール5,5上に設置された固定ベース８
に連結されており、この固定ベース８は固定ネジ９によ
ってレール5,5上に固定されている。
軸台ベース14はベース２上を長さ方向（図中、左右方
向）に移動可能に設置されている。即ち、ベース２上に
は互いに平行な２本のレール5,5が長さ方向に敷設され
ており、これらレール5,5上に副軸台ベース14がスライ
ダ６…を介して摺動自在に載置されている。そして、こ
の副軸台ベース14上にはクランプ用シリンダ７が設置さ
れており、該クランプ用シリンダ７から延出するロッド
7aの先部は前記レール5,5上に設置された固定ベース８
に連結されており、この固定ベース８は固定ネジ９によ
ってレール5,5上に固定されている。
又、上記主軸台ベース４、副軸台ベース14には円筒状の
主軸側クランプ軸10、副軸側クランプ20が各々ベアリン
グ11,11,21,21を介して回転自在に支承されており、こ
れらクランプ軸10,20内には、主軸台ベース４、副軸台
ベース14上にそれぞれ設置されたシリンダ12,22から延
出する主軸側調整軸13、副軸側調整軸23が各々臨んでい
る。
主軸側クランプ軸10、副軸側クランプ20が各々ベアリン
グ11,11,21,21を介して回転自在に支承されており、こ
れらクランプ軸10,20内には、主軸台ベース４、副軸台
ベース14上にそれぞれ設置されたシリンダ12,22から延
出する主軸側調整軸13、副軸側調整軸23が各々臨んでい
る。
而して、図示状態においては、シリコン単結晶インゴッ
ト等のワークＷがその両端面に当接するクランプ軸10,2
0によって挟持されているが、前記シリンダ12,22を駆動
すれば、調整軸13,23はワークＷの軸方向に進退動す
る。
ト等のワークＷがその両端面に当接するクランプ軸10,2
0によって挟持されているが、前記シリンダ12,22を駆動
すれば、調整軸13,23はワークＷの軸方向に進退動す
る。
ところで、第２図に示すように主軸台ベース４、副軸台
ベース14上には紙面垂直方向に長いレール15,25が各々
敷設されており、各レール15,25上には前記シリンダ12,
22がそれぞれスライダ16、26を介してワークＷの軸直角
方向（第２図の紙面垂直方向）に摺動自在に設置されて
いる。従って、各シリンダ12,22から延出する前記調整
軸13,23もワークＷの軸直角方向に移動可能である。そ
して、各スライダ16,26側方に突設されたアーム17,27に
は主軸台ベース４、副軸台ベース14に各々設置された位
置決め用モータ18,28から第２図の紙面垂直方向に延出
するボールネジ軸19,29が螺合挿通している。
ベース14上には紙面垂直方向に長いレール15,25が各々
敷設されており、各レール15,25上には前記シリンダ12,
22がそれぞれスライダ16、26を介してワークＷの軸直角
方向（第２図の紙面垂直方向）に摺動自在に設置されて
いる。従って、各シリンダ12,22から延出する前記調整
軸13,23もワークＷの軸直角方向に移動可能である。そ
して、各スライダ16,26側方に突設されたアーム17,27に
は主軸台ベース４、副軸台ベース14に各々設置された位
置決め用モータ18,28から第２図の紙面垂直方向に延出
するボールネジ軸19,29が螺合挿通している。
更に、主軸台ベース４には別の位置決め用モータ30が設
置されており、該モータ30の出力軸端にはギヤ31が結着
されており、このギヤ31は主軸側クランプ軸10の一端外
周に嵌着されたギヤ32に噛合している。
置されており、該モータ30の出力軸端にはギヤ31が結着
されており、このギヤ31は主軸側クランプ軸10の一端外
周に嵌着されたギヤ32に噛合している。
尚、以上説明したクランプ軸10,20及び調整軸13,23がワ
ークＷの支持部を構成し、位置決め用モータ18,28及び3
0が芯出し部を構成し、クランプ用シリンダ７及びシリ
ンダ12,22が駆動部を構成している。
ークＷの支持部を構成し、位置決め用モータ18,28及び3
0が芯出し部を構成し、クランプ用シリンダ７及びシリ
ンダ12,22が駆動部を構成している。
又、第１図に示すように当該円筒研磨装置１の長さ方向
には左右２本の支柱33,33が立設されており、これら支
柱33,33に水平に架設された支持レバー34には３つのイ
ンジケータ35…が位置調整自在に支持されている。これ
らインジケータ35…はワークＷの軸方向３箇所における
断面形状を計測する計測部を構成している。
には左右２本の支柱33,33が立設されており、これら支
柱33,33に水平に架設された支持レバー34には３つのイ
ンジケータ35…が位置調整自在に支持されている。これ
らインジケータ35…はワークＷの軸方向３箇所における
断面形状を計測する計測部を構成している。
更に、当該円筒研磨装置１は上記計測部にて計測された
ワークＷの断面形状に基づいて該ワークＷの研磨中心を
演算する演算部が設けられるが、この演算部は第１図に
示すようにCPU36、CRT37等を含んで構成される。
ワークＷの断面形状に基づいて該ワークＷの研磨中心を
演算する演算部が設けられるが、この演算部は第１図に
示すようにCPU36、CRT37等を含んで構成される。
次に、本円筒研磨装置１におけるワークＷのクランプか
ら円筒研磨に至る作用を第３図乃至第９図に基づいて説
明する。
ら円筒研磨に至る作用を第３図乃至第９図に基づいて説
明する。
先ず、第５図に示すようにワークＷを両クランプ軸10,2
0にてクランプしてこれを支持する（第３図のステップ
１）が、これは第１図及び第２図に示すクランプ用シリ
ンダ７を駆動して副軸台ベース14をレール5,5上でワー
クＷ側へ移動せしめることによってなされる。尚、この
とき、両調整軸13,23は第５図に示すようにワークＷの
端面から離れている。
0にてクランプしてこれを支持する（第３図のステップ
１）が、これは第１図及び第２図に示すクランプ用シリ
ンダ７を駆動して副軸台ベース14をレール5,5上でワー
クＷ側へ移動せしめることによってなされる。尚、この
とき、両調整軸13,23は第５図に示すようにワークＷの
端面から離れている。
次に、位置決め用モータ30を駆動すれば、これの回転は
ギヤ31,32を経てクランプ軸10に伝達され、両クランプ
軸10,20及びこれらクランプ軸10,20に挟持されたワーク
Ｗが回転せしめられる。そして、このワークＷが１回転
する間にインジケータ35…によってワークＷの軸方向３
箇所における断面形状が計測される（第３図のステップ
２）が、この断面形状のデータは演算部のCPU36に送ら
れ、ここで公知の最小断面内接求心法等によってワーク
Ｗの研磨中心が求められる（第３図のステップ３）とと
もに、この演算結果がCRT37に表示される。
ギヤ31,32を経てクランプ軸10に伝達され、両クランプ
軸10,20及びこれらクランプ軸10,20に挟持されたワーク
Ｗが回転せしめられる。そして、このワークＷが１回転
する間にインジケータ35…によってワークＷの軸方向３
箇所における断面形状が計測される（第３図のステップ
２）が、この断面形状のデータは演算部のCPU36に送ら
れ、ここで公知の最小断面内接求心法等によってワーク
Ｗの研磨中心が求められる（第３図のステップ３）とと
もに、この演算結果がCRT37に表示される。
上記のように研磨中心が求められると、ワークＷを当該
円筒研磨装置１から取り外さないのでそのまま芯出し部
にて該ワークＷの研磨中心と回転中心（クランプ軸10,2
0の中心）のズレが補正されるが、この補正は次のよう
にしてなされる。
円筒研磨装置１から取り外さないのでそのまま芯出し部
にて該ワークＷの研磨中心と回転中心（クランプ軸10,2
0の中心）のズレが補正されるが、この補正は次のよう
にしてなされる。
即ち、第４図に示すようにワークＷの回転中心Ｏ（0,
0）を原点とする極座標において研磨中心が図示の点Ｐ
（r,θ）にあるとすると、先ず、第５図に示すようにワ
ークＷをクランプ軸10、20にて支持した状態で位置決め
用モータ30が駆動され、ワークＷが角θだけ回転せしめ
られて回転中心Ｏと研磨中心Ｐとのズレのθ方向の補正
がなされ（第３図のステップ４）、研磨中心Ｐは第４図
に示すｘ座標上の点Ｐ′（r,0）へ移る。
0）を原点とする極座標において研磨中心が図示の点Ｐ
（r,θ）にあるとすると、先ず、第５図に示すようにワ
ークＷをクランプ軸10、20にて支持した状態で位置決め
用モータ30が駆動され、ワークＷが角θだけ回転せしめ
られて回転中心Ｏと研磨中心Ｐとのズレのθ方向の補正
がなされ（第３図のステップ４）、研磨中心Ｐは第４図
に示すｘ座標上の点Ｐ′（r,0）へ移る。
次に、第５図に示す状態から副軸側のシリンダ22が駆動
されて副軸側の調整軸23がワークＷに向かって移動せし
められ、該調整軸23が第６図に示すようにワークＷの一
方の端面（第６図の右端面）に押圧されると、第１図及
び第２図に示すクランプ用シリンダ７が駆動されて副軸
台ベース14全体がレール5,5上をワークＷから離れる方
向（第２図の右方向）に移動せしめられる。このとき、
調整軸23はワークＷの端面を押圧しており、第６図に示
すように副軸側のクランプ軸20がワークＷの端面から離
れるため、ワークＷの一端は調整軸23によって支持され
ることとなって副軸側のクランプ替えがなされる（第３
図のステップ５）。
されて副軸側の調整軸23がワークＷに向かって移動せし
められ、該調整軸23が第６図に示すようにワークＷの一
方の端面（第６図の右端面）に押圧されると、第１図及
び第２図に示すクランプ用シリンダ７が駆動されて副軸
台ベース14全体がレール5,5上をワークＷから離れる方
向（第２図の右方向）に移動せしめられる。このとき、
調整軸23はワークＷの端面を押圧しており、第６図に示
すように副軸側のクランプ軸20がワークＷの端面から離
れるため、ワークＷの一端は調整軸23によって支持され
ることとなって副軸側のクランプ替えがなされる（第３
図のステップ５）。
その後、主軸側のシリンダ12を駆動し、主軸側調整軸13
をワークＷの端面に当接せしめ、該調整軸13を副軸側の
調整軸23に作用する推力P2よりも大きな推力P1で押圧す
れば、第７図に示すようにワークＷ及び両調整軸13,23
が一体的に右動し、両クランプ軸10,20がワークＷの端
面から離れ、ワークＷの主軸側のクランプ替えがなされ
（第３図ステップ６）、該ワークＷはその両端を調整軸
13,23によって支持されることとなる。
をワークＷの端面に当接せしめ、該調整軸13を副軸側の
調整軸23に作用する推力P2よりも大きな推力P1で押圧す
れば、第７図に示すようにワークＷ及び両調整軸13,23
が一体的に右動し、両クランプ軸10,20がワークＷの端
面から離れ、ワークＷの主軸側のクランプ替えがなされ
（第３図ステップ６）、該ワークＷはその両端を調整軸
13,23によって支持されることとなる。
上記のようにワークＷが調整軸13,23によって支持され
ると、第１図及び第２図に示す両位置決め用モータ18,2
8が駆動されてボールネジ19,29が回転駆動され、これに
よって両シリンダ12,22がワークＷの軸直角方向（第２
図の紙面垂直方向）にｒだけ移動せしめられる。する
と、両調整軸13,23とこれらに支持されたワークＷが同
方向に同量ｒだけ移動せしめられて中心のズレのｒ方向
の補正がなされ（第３図のステップ７）、第４図に示す
点Ｐ′（r,0）にあった研磨中心が回転中心Ｏ（0,0）に
一致せしめられる。
ると、第１図及び第２図に示す両位置決め用モータ18,2
8が駆動されてボールネジ19,29が回転駆動され、これに
よって両シリンダ12,22がワークＷの軸直角方向（第２
図の紙面垂直方向）にｒだけ移動せしめられる。する
と、両調整軸13,23とこれらに支持されたワークＷが同
方向に同量ｒだけ移動せしめられて中心のズレのｒ方向
の補正がなされ（第３図のステップ７）、第４図に示す
点Ｐ′（r,0）にあった研磨中心が回転中心Ｏ（0,0）に
一致せしめられる。
以上のように両中心のズレが補正されると、主軸側のシ
リンダ12が駆動されて調整軸13が後退せしめられ、ワー
クＷは副軸側の調整軸23に押されて第８図に示すように
左動し、やがて該ワークＷの一端面がクランプ軸10に当
接し、調整軸13がワークＷの端面から離れた時点でワー
クＷの一端が主軸側のクランプ軸10に支持されて主軸側
のクランプ替えがなされる（第３図のステップ８）。
リンダ12が駆動されて調整軸13が後退せしめられ、ワー
クＷは副軸側の調整軸23に押されて第８図に示すように
左動し、やがて該ワークＷの一端面がクランプ軸10に当
接し、調整軸13がワークＷの端面から離れた時点でワー
クＷの一端が主軸側のクランプ軸10に支持されて主軸側
のクランプ替えがなされる（第３図のステップ８）。
次に、第１図及び第２図に示すクランプ用シリンダ７が
駆動されて副軸台ベース14全体がレール5,5上を図中、
左動せしめられ、副軸側クランプ軸20がワークＷの他端
面を押圧する。その後、シリンダ22を駆動して第９図に
示すように副軸側の調整軸23をワークＷの端面から離せ
ば、副軸側のクランプ替えが終了し（第３図のステップ
９）、ワークＷはクランプ軸10,20によって再び支持さ
れる。
駆動されて副軸台ベース14全体がレール5,5上を図中、
左動せしめられ、副軸側クランプ軸20がワークＷの他端
面を押圧する。その後、シリンダ22を駆動して第９図に
示すように副軸側の調整軸23をワークＷの端面から離せ
ば、副軸側のクランプ替えが終了し（第３図のステップ
９）、ワークＷはクランプ軸10,20によって再び支持さ
れる。
上記のようにワークＷをクランプ軸10,20にて支持した
状態で位置決め用モータ30を駆動すれば、ワークＷが回
転駆動され、ワークＷの回転中心が研磨中心に一致した
状態で該ワークＷの円筒研磨がなされ（第３図のステッ
プ10）、ワークＷにおいては研磨後に最大直径が得られ
る。
状態で位置決め用モータ30を駆動すれば、ワークＷが回
転駆動され、ワークＷの回転中心が研磨中心に一致した
状態で該ワークＷの円筒研磨がなされ（第３図のステッ
プ10）、ワークＷにおいては研磨後に最大直径が得られ
る。
以上説明したように、本発明に係る円筒研磨装置１自体
が自動芯出し、セット機能を有するため、当該円筒研磨
装置１に一旦ワークＷをセットすると、以後はこれを取
り外すことなく芯出しから加工までの作業を行なうこと
ができ、能率良く、高精度に研磨加工を行なうことがで
きる。
が自動芯出し、セット機能を有するため、当該円筒研磨
装置１に一旦ワークＷをセットすると、以後はこれを取
り外すことなく芯出しから加工までの作業を行なうこと
ができ、能率良く、高精度に研磨加工を行なうことがで
きる。
（発明の効果） 以上の説明で明らかな如く本発明によれば、該円筒研磨
装置はそれ自体が芯出し、セット機能を有するため、ワ
ークの芯出しから加工までの作業を能率良く、且つ高精
度に行なうことができるという効果が得られる。
装置はそれ自体が芯出し、セット機能を有するため、ワ
ークの芯出しから加工までの作業を能率良く、且つ高精
度に行なうことができるという効果が得られる。
第１図は本発明に係る円筒研磨装置の斜視図、第２図は
同装置の縦断側面図、第３図は同装置の作用説明のため
のプロセスチャート、第４図はワークの回転中心と研磨
中心との関係を示す図、第５図乃至第９図は円筒研磨装
置の作用説明図である。 １……円筒研磨装置、７……クランプ用シリンダ（クラ
ンプ軸移動手段）、10,20……クランプ軸、12,22……シ
リンダ（調整軸駆動手段）、13,23……調整軸、18,28…
…位置決め用モータ（調整軸移動手段）、30……位置決
め用モータ（クランプ軸回転手段）、35……インジケー
タ（計測部）、36……CPU（演算部）、Ｗ……ワーク。
同装置の縦断側面図、第３図は同装置の作用説明のため
のプロセスチャート、第４図はワークの回転中心と研磨
中心との関係を示す図、第５図乃至第９図は円筒研磨装
置の作用説明図である。 １……円筒研磨装置、７……クランプ用シリンダ（クラ
ンプ軸移動手段）、10,20……クランプ軸、12,22……シ
リンダ（調整軸駆動手段）、13,23……調整軸、18,28…
…位置決め用モータ（調整軸移動手段）、30……位置決
め用モータ（クランプ軸回転手段）、35……インジケー
タ（計測部）、36……CPU（演算部）、Ｗ……ワーク。
Claims (1)
- 【請求項１】ワークの端面に当接して該ワークを回転自
在に支持する円筒状のクランプ軸と、該クランプ軸の内
部に進退自在に配される調整軸とで構成される支持部
と、ワークの軸方向複数箇所における断面形状を計測す
る計測部と、該計測部にて計測されたワークの断面形状
に基づいて研磨中心を算出する演算部と、該演算部にて
算出された研磨中心とワークの回転中心とのズレ量に応
じて前記クランプ軸の少なくとも一方を回転駆動するク
ランプ軸回転手段と、前記調整軸をワークの軸直角方向
に移動せしめる調整軸移動手段とで構成される芯出し部
と、クランプ軸の少なくとも一方をワークの軸方向に移
動せしめるクランプ軸移動手段と、調整軸をワークの軸
方向に進退せしめる調整軸駆動手段とで構成される駆動
部を含んで構成されることを特徴とする円筒研磨装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63282559A JPH0683957B2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | 円筒研磨装置 |
| US07/432,432 US4951422A (en) | 1988-11-10 | 1989-11-06 | External cylindrical grinding unit |
| DE68913431T DE68913431T2 (de) | 1988-11-10 | 1989-11-09 | Aussenzylindrische Schleifeinheit. |
| EP89311583A EP0368648B1 (en) | 1988-11-10 | 1989-11-09 | External cylindrical grinding unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63282559A JPH0683957B2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | 円筒研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02131849A JPH02131849A (ja) | 1990-05-21 |
| JPH0683957B2 true JPH0683957B2 (ja) | 1994-10-26 |
Family
ID=17654053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63282559A Expired - Lifetime JPH0683957B2 (ja) | 1988-11-10 | 1988-11-10 | 円筒研磨装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4951422A (ja) |
| EP (1) | EP0368648B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0683957B2 (ja) |
| DE (1) | DE68913431T2 (ja) |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5201145A (en) * | 1990-03-31 | 1993-04-13 | Shin-Etsu Handotai Company, Limited | Monocrystal ingot attitude-adjusting/surface-grinding/conveying apparatus |
| US5108117A (en) * | 1990-11-28 | 1992-04-28 | Bryant Grinder Corporation | Workpart chuck positioning mechanism with independent shoes |
| US5213348A (en) * | 1990-11-28 | 1993-05-25 | Bryant Grinder Corporation | Workpart chuck positioning mechanism with independent shoes |
| US5249393A (en) * | 1992-01-21 | 1993-10-05 | Industrial Metal Products, Corp. | Brake drum micro-finishing apparatus |
| US5274566A (en) * | 1992-12-04 | 1993-12-28 | United Technologies Corporation | Aligning average axis of hollow workpiece cavity with rotary machine axis |
| JP2789983B2 (ja) * | 1993-01-28 | 1998-08-27 | 信越半導体株式会社 | 加工誤差補正装置 |
| DK12893A (da) * | 1993-02-04 | 1994-08-05 | Smidth & Co As F L | Fremgangsmåde til fremstilling af normal såvel som ultrafin cement |
| DE19703690A1 (de) * | 1996-04-15 | 1997-10-16 | Zeiss Carl Fa | Meßeinrichtung zur Vermessung von Werkstücken |
| DE19631620A1 (de) * | 1996-08-05 | 1998-02-12 | Albert Dick | Werkzeugmaschine mit Einrichtung zur Vermeidung oder Vereinfachung des Ausrichtens der Werkstücke |
| US6289587B1 (en) * | 1997-06-12 | 2001-09-18 | Xerox Corporation | Method to renew a spent fuser member |
| DE19837858A1 (de) * | 1998-08-20 | 2000-03-02 | Wacker Siltronic Halbleitermat | Schleifmaschine |
| DE102004012823A1 (de) * | 2004-03-16 | 2005-10-06 | Vollmer Werke Maschinenfabrik Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Einspannen und Positionieren von Werkstücken unterschiedlicher Länge zwischen zwei Spitzen |
| JP4511862B2 (ja) * | 2004-03-31 | 2010-07-28 | 住友電気工業株式会社 | ガラス管の製造方法及び製造装置 |
| JP5007682B2 (ja) | 2008-02-15 | 2012-08-22 | 信越半導体株式会社 | 円筒研削装置および研削方法 |
| JP5355916B2 (ja) * | 2008-03-21 | 2013-11-27 | 新日本工機株式会社 | 研削装置 |
| CN101564820B (zh) * | 2008-04-22 | 2011-12-21 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 滚圆设备和滚圆方法 |
| US8376809B2 (en) * | 2009-02-25 | 2013-02-19 | Sumco Corporation | Cylindrical grinder and cylindrical grinding method of ingot |
| CN102152208B (zh) * | 2010-12-30 | 2013-03-13 | 宁波大榭开发区综研化学有限公司 | 胶带曲面反翘性测试用管打磨装置 |
| EP2732910A4 (en) * | 2011-07-15 | 2015-03-25 | Makino Milling Machine | ROTATING WORKPIECE STICK |
| US9272442B2 (en) * | 2012-12-31 | 2016-03-01 | Sunedison, Inc. | Methods for aligning an ingot with mounting block |
| US9950402B2 (en) | 2012-12-31 | 2018-04-24 | Corner Star Limited | System and method for aligning an ingot with mounting block |
| CN110303413A (zh) * | 2018-12-07 | 2019-10-08 | 桐庐睦德机械制造有限公司 | 一种机械生产用打磨装置 |
| CN110883616A (zh) * | 2019-11-15 | 2020-03-17 | 湖北坚丰科技股份有限公司 | 一种新能源汽车电机轴的磨削方法 |
| CN113172513B (zh) * | 2021-05-06 | 2023-01-31 | 北京鑫昇科技有限公司 | 一种通信基站天线制作加工机械及加工方法 |
| JP7763467B2 (ja) * | 2021-11-05 | 2025-11-04 | 株式会社オーシャンズ | ワーク搬送装置、円筒研削装置及びズレ量補正方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3935766A (en) * | 1973-10-09 | 1976-02-03 | Masters Christopher F | Method and apparatus for machining cylindrical tubes |
| US4416570A (en) * | 1980-05-14 | 1983-11-22 | Argenbright Carl T | Precision work holder for machine tools |
| DE3446138A1 (de) * | 1984-12-18 | 1986-06-19 | Fortuna-Werke Maschinenfabrik Gmbh, 7000 Stuttgart | Verfahren zur bestimmung der position eines werkstueckes in einer nc-gesteuerten maschine sowie eine nc-gesteuerte maschine zur durchfuehrung eines solchen verfahrens |
-
1988
- 1988-11-10 JP JP63282559A patent/JPH0683957B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-11-06 US US07/432,432 patent/US4951422A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-11-09 DE DE68913431T patent/DE68913431T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-11-09 EP EP89311583A patent/EP0368648B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4951422A (en) | 1990-08-28 |
| JPH02131849A (ja) | 1990-05-21 |
| EP0368648B1 (en) | 1994-03-02 |
| DE68913431T2 (de) | 1994-08-25 |
| EP0368648A2 (en) | 1990-05-16 |
| EP0368648A3 (en) | 1991-01-23 |
| DE68913431D1 (de) | 1994-04-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH02131849A (ja) | 円筒研磨装置 | |
| CN102749041B (zh) | 一种螺旋桨型面轮廓误差测量仪及测量方法 | |
| CA2221156A1 (en) | Improvements in and relating to machine tools | |
| US4928437A (en) | Means and method for resetting a cylindrical grinding machine | |
| CN111331427A (zh) | 机床主轴头姿态角单值测量量具及测量方法 | |
| JP4029602B2 (ja) | 高精度プロファイル研削加工方法 | |
| JP2008036806A (ja) | 溝加工装置およびその加工位置補正方法 | |
| JP2613455B2 (ja) | インゴットの自動芯出し・セット装置及び自動円筒研磨装置 | |
| JP6360396B2 (ja) | 研削盤におけるワーク軸と砥石面との芯出し方法 | |
| JP3452618B2 (ja) | レンズ芯取機およびレンズ芯取り方法 | |
| JPH08347B2 (ja) | 円筒研削盤における偏心ワークの偏心部の自動芯出し、及び位相出し方法、並びにその装置 | |
| JP2896843B2 (ja) | 段付砥石の精度測定方法及び装置 | |
| JP2004330397A (ja) | 歯車ホーニング加工方法及び加工機械 | |
| JP4046490B2 (ja) | 加工工具の心高測定方法 | |
| CN117900571B (zh) | 一种蜗轮轴多蜗轮槽距的定位装置及多蜗轮的加工方法 | |
| JPH10122849A (ja) | レンズ芯取機における自動レンズ芯出し方法とその機構 | |
| JP2558201B2 (ja) | ボールナットねじ溝研削装置 | |
| JPH09210606A (ja) | ボール溝の測定装置 | |
| JP2569720Y2 (ja) | ボーリング工具の刃先位置補正装置 | |
| CN119589563A (zh) | 一种v型槽导轨在机加工测量系统及其方法 | |
| JPH07241918A (ja) | フレネルレンズ切削用刃物台 | |
| JP2003039203A (ja) | レンズセル加工装置 | |
| JPH0724199Y2 (ja) | 工作機械のスピンドル内面用研削機 | |
| JP2571141Y2 (ja) | 計測位置補正治具装置 | |
| JPH0466286B2 (ja) |