JPH0685491B2 - 圧電セラミツク共振子の製造方法 - Google Patents
圧電セラミツク共振子の製造方法Info
- Publication number
- JPH0685491B2 JPH0685491B2 JP20413286A JP20413286A JPH0685491B2 JP H0685491 B2 JPH0685491 B2 JP H0685491B2 JP 20413286 A JP20413286 A JP 20413286A JP 20413286 A JP20413286 A JP 20413286A JP H0685491 B2 JPH0685491 B2 JP H0685491B2
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- piezoelectric ceramic
- vibration
- ceramic resonator
- thickness
- resonator
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は通信機器，映像機器，音響機器等の各種電子機
器に用いられるフィルタや発振子として機能する圧電セ
ラミック共振子の製造方法に関するものである。
器に用いられるフィルタや発振子として機能する圧電セ
ラミック共振子の製造方法に関するものである。
従来の技術 圧電セラミック共振子は利用する周波数帯によって様々
な振動形態が利用されている。すなわち、LF帯からMF帯
にかけては長さ方向振動や広がり振動が用いられ、HF帯
からVHF帯にかけては厚みたて振動，厚みすべり振動，
弾性表面波振動等が用いられている。そして材料によっ
て周波数定数が一定なので、共振子の寸法によって共振
周波数が決まる。また、利用する振動以外の振動を必要
な程度まで減少させて使う必要がある。
な振動形態が利用されている。すなわち、LF帯からMF帯
にかけては長さ方向振動や広がり振動が用いられ、HF帯
からVHF帯にかけては厚みたて振動，厚みすべり振動，
弾性表面波振動等が用いられている。そして材料によっ
て周波数定数が一定なので、共振子の寸法によって共振
周波数が決まる。また、利用する振動以外の振動を必要
な程度まで減少させて使う必要がある。
長さ方向振動や広がり振動を用いた従来の圧電セラミッ
ク共振子の構成を第４図に示す。第４図において、１は
圧電セラミック、2,3は対向電極である。このような圧
電セラミック共振子は、板状の焼結体を得、両面に対向
電極を付与し、分極してから個々の圧電セラミック共振
子に分割して製造される。また、板状の焼結体を得る方
法としては、次の３つの方法のいずれかで行われてい
る。すなわち、ブロック状の焼結体を作り、これを板
状にスライスする。シート成形により板状の成形体を
得、これを焼成する。押出成形により板状の成形体を
得、これを焼成するといった方法である。このような長
さ方向振動や広がり振動を用いた圧電セラミック共振子
は、不要な厚みたて振動を減少させるため、第４図に示
す形状から研磨剤や研磨紙等を用いて周辺部の面取りが
行われていた。
ク共振子の構成を第４図に示す。第４図において、１は
圧電セラミック、2,3は対向電極である。このような圧
電セラミック共振子は、板状の焼結体を得、両面に対向
電極を付与し、分極してから個々の圧電セラミック共振
子に分割して製造される。また、板状の焼結体を得る方
法としては、次の３つの方法のいずれかで行われてい
る。すなわち、ブロック状の焼結体を作り、これを板
状にスライスする。シート成形により板状の成形体を
得、これを焼成する。押出成形により板状の成形体を
得、これを焼成するといった方法である。このような長
さ方向振動や広がり振動を用いた圧電セラミック共振子
は、不要な厚みたて振動を減少させるため、第４図に示
す形状から研磨剤や研磨紙等を用いて周辺部の面取りが
行われていた。
発明が解決しようとする問題点 このような従来の製造方法では、面取りという工程が増
え、しかも効率良く面取りを行うためには比較的粗い研
磨剤または研磨紙を使うため、角が欠け易く、使用する
長さ方向振動または広がり振動のところに不要なスプリ
アスが発生し易い。また、面取りが一様に行われにく
く、素子間にバラツキが発生するという欠点を有してい
た。
え、しかも効率良く面取りを行うためには比較的粗い研
磨剤または研磨紙を使うため、角が欠け易く、使用する
長さ方向振動または広がり振動のところに不要なスプリ
アスが発生し易い。また、面取りが一様に行われにく
く、素子間にバラツキが発生するという欠点を有してい
た。
本発明はこのような問題点を解決するもので、量産性に
優れ、不要な厚みたて振動を減少させることができる圧
電セラミック共振子の製造方法を提供することを目的と
するものである。
優れ、不要な厚みたて振動を減少させることができる圧
電セラミック共振子の製造方法を提供することを目的と
するものである。
問題点を解決するための手段 本発明は上記問題点を解決するために、押出成形または
シート成形により平坦な板状成形体を得、これに両面か
らプレス金型を用いて圧力を加え溝を加工し、分割する
ことにより、個々の圧電セラミック共振子の周辺部の一
部または全部に厚みの傾斜をつけてなるものである。
シート成形により平坦な板状成形体を得、これに両面か
らプレス金型を用いて圧力を加え溝を加工し、分割する
ことにより、個々の圧電セラミック共振子の周辺部の一
部または全部に厚みの傾斜をつけてなるものである。
作用 この方法により、圧電セラミック共振子の周辺部に厚み
の傾斜をつけることにより、厚みたて振動の振動する寸
法が一定でなくなり、不要な厚みたて振動を減少させる
ことができる。しかも、連続した成形体のときに圧電セ
ラミック共振子の厚みに傾斜をつけるため、量産性に優
れ、焼結体で面取りするときのように端面を粗すことも
なく、均一性にも優れているものである。
の傾斜をつけることにより、厚みたて振動の振動する寸
法が一定でなくなり、不要な厚みたて振動を減少させる
ことができる。しかも、連続した成形体のときに圧電セ
ラミック共振子の厚みに傾斜をつけるため、量産性に優
れ、焼結体で面取りするときのように端面を粗すことも
なく、均一性にも優れているものである。
実施例 以下、本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明する。
明する。
まず、チタン酸鉛，ジルコン酸鉛，マグネシウムニオブ
酸鉛の三成分系に二酸化マンガンを添加した組成の圧電
セラミック原料100重量部に対して、メチルセルロース
４重量部，プロピレングリコール５重量部，マイクロク
リスタリンワックス１重量部，水15重量部を加え、通常
の方法で混合混練して押出成形用原料とし、押出成形機
で第２図に示すような厚さ0.6mmで巾120mmの平坦な板状
成形体４を押出成形した。この平坦な板状成形体４をプ
レス金型にくっつかないように適当に乾燥させ、約50mm
角に切断した。次に、この板状成形体５をプレス金型
（図示せず）を用いて50kg/cm2の成形圧力で両面から圧
力を加え、第３図に示すように溝６を加工した。次に、
これを焼成し、両面に銀ペーストをスクリーン印刷し焼
付けた。次いで、これを分極し、第１図に示す形状の個
々の圧電セラミック共振子に切断した。この時、プレス
金型による溝６により、切断後の個々の圧電セラミック
共振子７の周辺部に厚みの傾斜８を形成した。これによ
り厚みが一様でなくなり、広がり振動の共振子におい
て、不要な厚みたて振動を減少させることができた。ま
た、従来のように焼結体で面取りした場合に比べ、広が
り振動のところに不要なスプリアスが発生し難い。な
お、第１図で9,10は対向電極である。
酸鉛の三成分系に二酸化マンガンを添加した組成の圧電
セラミック原料100重量部に対して、メチルセルロース
４重量部，プロピレングリコール５重量部，マイクロク
リスタリンワックス１重量部，水15重量部を加え、通常
の方法で混合混練して押出成形用原料とし、押出成形機
で第２図に示すような厚さ0.6mmで巾120mmの平坦な板状
成形体４を押出成形した。この平坦な板状成形体４をプ
レス金型にくっつかないように適当に乾燥させ、約50mm
角に切断した。次に、この板状成形体５をプレス金型
（図示せず）を用いて50kg/cm2の成形圧力で両面から圧
力を加え、第３図に示すように溝６を加工した。次に、
これを焼成し、両面に銀ペーストをスクリーン印刷し焼
付けた。次いで、これを分極し、第１図に示す形状の個
々の圧電セラミック共振子に切断した。この時、プレス
金型による溝６により、切断後の個々の圧電セラミック
共振子７の周辺部に厚みの傾斜８を形成した。これによ
り厚みが一様でなくなり、広がり振動の共振子におい
て、不要な厚みたて振動を減少させることができた。ま
た、従来のように焼結体で面取りした場合に比べ、広が
り振動のところに不要なスプリアスが発生し難い。な
お、第１図で9,10は対向電極である。
本実施例では、厚み方向の片側だけに厚みの傾斜をつけ
たが、これは両側につけても良い。また、周辺部全部に
厚みの傾斜をつけたが、これも一部だけでも同様な効果
が得られる。さらに、焼成，電極付け，分極後に個々に
切断して分割したが、成形体のときに個々に分割してか
ら、焼成，電極付け、分極しても良い。さらに、本実施
例では角形の共振子を製造したが、円形の共振子も可能
である。また、押出成形により平坦な板状成形体を得た
が、シート成形により平坦な板状成形体を得ても以下全
く同様にして共振子を作ることができる。
たが、これは両側につけても良い。また、周辺部全部に
厚みの傾斜をつけたが、これも一部だけでも同様な効果
が得られる。さらに、焼成，電極付け，分極後に個々に
切断して分割したが、成形体のときに個々に分割してか
ら、焼成，電極付け、分極しても良い。さらに、本実施
例では角形の共振子を製造したが、円形の共振子も可能
である。また、押出成形により平坦な板状成形体を得た
が、シート成形により平坦な板状成形体を得ても以下全
く同様にして共振子を作ることができる。
発明の効果 以上のように本発明の方法によれば、量産に適した方法
で不要な厚みたて振動を減少させた長さ方向振動や広が
り振動を用いた圧電セラミック共振子を製造することが
でき、実用的に極めて有用である。
で不要な厚みたて振動を減少させた長さ方向振動や広が
り振動を用いた圧電セラミック共振子を製造することが
でき、実用的に極めて有用である。
第１図〜第３図は本発明の一実施例を説明する図で、第
１図は切断された圧電セラミック共振子を示す図、第２
図は平坦な板状成形体を示す図、第３図はプレス金型に
より溝加工した板状成形体を示す図、第４図は従来の圧
電セラミック共振子を示す図である。 ４……平坦な板状成形体、５……板状成形体、６……
溝、７……圧電セラミック共振子、８……厚みの傾斜。
１図は切断された圧電セラミック共振子を示す図、第２
図は平坦な板状成形体を示す図、第３図はプレス金型に
より溝加工した板状成形体を示す図、第４図は従来の圧
電セラミック共振子を示す図である。 ４……平坦な板状成形体、５……板状成形体、６……
溝、７……圧電セラミック共振子、８……厚みの傾斜。
Claims (1)
- 【請求項１】押出成形またはシート成形により平坦な板
状成形体を得、これに両面からプレス金型を用いて圧力
を加え溝を加工し、分割することにより個々の圧電セラ
ミック共振子の周辺部の一部または全部に厚みの傾斜を
つけてなる圧電セラミック共振子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20413286A JPH0685491B2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 圧電セラミツク共振子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20413286A JPH0685491B2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 圧電セラミツク共振子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6360617A JPS6360617A (ja) | 1988-03-16 |
| JPH0685491B2 true JPH0685491B2 (ja) | 1994-10-26 |
Family
ID=16485365
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20413286A Expired - Lifetime JPH0685491B2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 圧電セラミツク共振子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0685491B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0211008A (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電共振子 |
| US5410208A (en) * | 1993-04-12 | 1995-04-25 | Acuson Corporation | Ultrasound transducers with reduced sidelobes and method for manufacture thereof |
| US8756776B1 (en) * | 2005-12-09 | 2014-06-24 | Western Digital Technologies, Inc. | Method for manufacturing a disk drive microactuator that includes a piezoelectric element and a peripheral encapsulation layer |
| US8643980B1 (en) | 2008-12-15 | 2014-02-04 | Western Digital (Fremont), Llc | Micro-actuator enabling single direction motion of a magnetic disk drive head |
-
1986
- 1986-08-29 JP JP20413286A patent/JPH0685491B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6360617A (ja) | 1988-03-16 |
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