JPS6360617A - 圧電セラミツク共振子の製造方法 - Google Patents
圧電セラミツク共振子の製造方法Info
- Publication number
- JPS6360617A JPS6360617A JP61204132A JP20413286A JPS6360617A JP S6360617 A JPS6360617 A JP S6360617A JP 61204132 A JP61204132 A JP 61204132A JP 20413286 A JP20413286 A JP 20413286A JP S6360617 A JPS6360617 A JP S6360617A
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- Japan
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- piezoelectric ceramic
- ceramic resonator
- thickness
- resonator
- molded body
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は通信機器、映像機器、音響機器等の各種電子機
器に用いられるフィルタや発振子として機能する圧電セ
ラミック共振子の製造方法に関するものである。
器に用いられるフィルタや発振子として機能する圧電セ
ラミック共振子の製造方法に関するものである。
従来の技術
圧電セラミック共振子は利用する周波数帯によって様々
な振動形態が利用されている。すなわち、ＬＦ帯からＨ
Ｆ帯にかけては長さ方向振動や広がり振動が用いられ、
ＨＦ帯から７１（Ｆ帯にかけては厚みたて振動、厚みす
べり振動２弾性表面波振動等が用いられている。そして
材料によって周波数定数が一定なので、共振子の寸法に
よって共振周波数が決まる。また、利用する振動以外の
振動を必要な程度まで減少させて使う必要がある。
な振動形態が利用されている。すなわち、ＬＦ帯からＨ
Ｆ帯にかけては長さ方向振動や広がり振動が用いられ、
ＨＦ帯から７１（Ｆ帯にかけては厚みたて振動、厚みす
べり振動２弾性表面波振動等が用いられている。そして
材料によって周波数定数が一定なので、共振子の寸法に
よって共振周波数が決まる。また、利用する振動以外の
振動を必要な程度まで減少させて使う必要がある。
長さ方向振動や広がり振動を用いた従来の圧電セラミッ
ク共振子の構成を第４図に示す。第４図において、１は
圧電セラミック、２，３は対向型。
ク共振子の構成を第４図に示す。第４図において、１は
圧電セラミック、２，３は対向型。
極である。このような圧電セラミック共振子は、板状の
焼結体を得、両面に対向電極を付与し、分極してから個
々の圧電セラミック共振子に分割して製造される。また
、板状の焼結体を得る方法としては、次の３つの方法の
いずれかで行われている。すなわち、■ブロック状の焼
結体を作り、これを板状にスライスする。■シート成形
により板状の成形体を得、これを焼成する。■押出成形
により板状の成形体を得、これを焼成するといった方法
である。このような長さ方向振動や広がり振動を用いた
圧電セラミ、ツク共振子（は、不図な厚みだて振動を減
少させるため、第４図に示す形状から研磨剤や研磨紙等
を用いて周辺部の面取シが行われていた。
焼結体を得、両面に対向電極を付与し、分極してから個
々の圧電セラミック共振子に分割して製造される。また
、板状の焼結体を得る方法としては、次の３つの方法の
いずれかで行われている。すなわち、■ブロック状の焼
結体を作り、これを板状にスライスする。■シート成形
により板状の成形体を得、これを焼成する。■押出成形
により板状の成形体を得、これを焼成するといった方法
である。このような長さ方向振動や広がり振動を用いた
圧電セラミ、ツク共振子（は、不図な厚みだて振動を減
少させるため、第４図に示す形状から研磨剤や研磨紙等
を用いて周辺部の面取シが行われていた。
発明が解決しようとする問題点
このような従来の製造方法では、面取りという工程が増
え、しかも効率良く面取りを行うだめには比較的粗い研
磨剤まだは研磨紙を使うため、角が欠は易く、使用する
長さ方向振動まだは広がり振動のところに不要なスプリ
アスが発生し易い。
え、しかも効率良く面取りを行うだめには比較的粗い研
磨剤まだは研磨紙を使うため、角が欠は易く、使用する
長さ方向振動まだは広がり振動のところに不要なスプリ
アスが発生し易い。
また、面取りが一様に行われにくり、素子間にバラツキ
が発生するという欠点を有していた。
が発生するという欠点を有していた。
本発明はこのような問題点を解決するもので、量産性に
優れ、不要な厚みたて振動を減少させることができる圧
電セラミック共振子の製造方法を提供することを目的と
するものである。
優れ、不要な厚みたて振動を減少させることができる圧
電セラミック共振子の製造方法を提供することを目的と
するものである。
問題点を解決するだめの手段
本発明は上記問題点を解決するために、押出成形または
シート成形により平坦な板状成形体を得、これに両面か
らプレス金型を用いて圧力を加え溝を加工し、分割する
ことにより、個々の圧電セラミック共振子の周辺部の一
部まだは全部に厚みの傾斜をつけてなるものである。
シート成形により平坦な板状成形体を得、これに両面か
らプレス金型を用いて圧力を加え溝を加工し、分割する
ことにより、個々の圧電セラミック共振子の周辺部の一
部まだは全部に厚みの傾斜をつけてなるものである。
作用
この方法により、圧電セラミック共振子の周辺部に厚み
の傾斜をつけることにより、厚みたて振動の振動する寸
法が一定でなくなり、不要な厚みたて振動を減少させる
ことができる。しかも、連続した成形体のときに圧電セ
ラミック共振子の厚みに傾斜をつけるため、量産性に優
れ、焼結体で面取りするときのように端面を粗すことも
なく、均一性にも優れているものである。
の傾斜をつけることにより、厚みたて振動の振動する寸
法が一定でなくなり、不要な厚みたて振動を減少させる
ことができる。しかも、連続した成形体のときに圧電セ
ラミック共振子の厚みに傾斜をつけるため、量産性に優
れ、焼結体で面取りするときのように端面を粗すことも
なく、均一性にも優れているものである。
実施例
以下、本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明する。
明する。
まず、チタン酸鉛、ジルコン酸鉛、マグネシウムニオブ
酸鉛の三成分系に二酸化マンガンを添加した組成の圧電
セラミツク原料１ｏｏ重量部に対して、メチルセルロー
ス４重量部、プロピレングリコール６重量部、マイクロ
クリスタリンワックス１重量部、水１５重量部を加え、
通常の方法で混合混練して押出成形用原料とし、押出成
形機で第２図に示すような厚さ０．６鵬で巾１２０誌の
平坦な版状成形体４を押出成形した。この平坦な板状成
形体４をプレス金型にくっつかないように適当に乾燥さ
せ、約６０鵡角に切断した。次に、この板状成形体６を
プレス金型（図示せず）を用いて、ｒｓｏｋｔ）／ｃ７
Ｊの成形圧力で両面から圧力を加え、第３図に示すよう
に溝６を加工した。次に、これを焼成し、両面に銀ペー
ストをスクリーン印刷し焼付けた。次いで、これを分極
し、第１図に示す形状の個々の圧電セラミック共振子に
切断した。
酸鉛の三成分系に二酸化マンガンを添加した組成の圧電
セラミツク原料１ｏｏ重量部に対して、メチルセルロー
ス４重量部、プロピレングリコール６重量部、マイクロ
クリスタリンワックス１重量部、水１５重量部を加え、
通常の方法で混合混練して押出成形用原料とし、押出成
形機で第２図に示すような厚さ０．６鵬で巾１２０誌の
平坦な版状成形体４を押出成形した。この平坦な板状成
形体４をプレス金型にくっつかないように適当に乾燥さ
せ、約６０鵡角に切断した。次に、この板状成形体６を
プレス金型（図示せず）を用いて、ｒｓｏｋｔ）／ｃ７
Ｊの成形圧力で両面から圧力を加え、第３図に示すよう
に溝６を加工した。次に、これを焼成し、両面に銀ペー
ストをスクリーン印刷し焼付けた。次いで、これを分極
し、第１図に示す形状の個々の圧電セラミック共振子に
切断した。
この時、プレス金型による溝６により、切断後の個々の
圧電セラミック共振子７の周辺部に厚みの傾斜８を形成
した。これにより厚みが一様でなくなり、広がり振動の
共振子において、不要な厚みたて振動を減少させること
ができた。まだ、従来のように焼結体で面取りした場合
に比べ、−広がり振動のところに不要なスプリアスが発
生し難い。
圧電セラミック共振子７の周辺部に厚みの傾斜８を形成
した。これにより厚みが一様でなくなり、広がり振動の
共振子において、不要な厚みたて振動を減少させること
ができた。まだ、従来のように焼結体で面取りした場合
に比べ、−広がり振動のところに不要なスプリアスが発
生し難い。
なお、第１図で９．１０は対向電極である。
本実施例では、厚み方向の片側だけに厚みの傾斜をつけ
だが、これは両側につけても良い。また、周辺部全部に
厚みの傾斜をつけたが、これも一部だけでも同様な効果
が得られる。また、焼成、電極付け９分極後に個々に切
断して分割したが、成形体のときに個々に分割してから
、焼成、電極付け２分極しても良い。さらに、本実施例
では角形の共振子を製造しだが、円形の共振子も可能で
ある。また、押出成形により平坦な板状成形体を得たが
、シート成形により平坦な板状成形体を得ても以下全く
同様にして共振子を作ることができる。
だが、これは両側につけても良い。また、周辺部全部に
厚みの傾斜をつけたが、これも一部だけでも同様な効果
が得られる。また、焼成、電極付け９分極後に個々に切
断して分割したが、成形体のときに個々に分割してから
、焼成、電極付け２分極しても良い。さらに、本実施例
では角形の共振子を製造しだが、円形の共振子も可能で
ある。また、押出成形により平坦な板状成形体を得たが
、シート成形により平坦な板状成形体を得ても以下全く
同様にして共振子を作ることができる。
発明の効果
以上のように本発明の方法によれば、量産に適した方法
で不要な厚みたて振動を減少させた長さ方向振動や広が
り振動を用いた圧電セラミック共振子を製造することが
でき、実用的に極めて有用である。
で不要な厚みたて振動を減少させた長さ方向振動や広が
り振動を用いた圧電セラミック共振子を製造することが
でき、実用的に極めて有用である。
第１図〜第３図は本発明の一実施例を説明する図で、第
１図は切断された圧電セラミック共振子を示す図、第２
図は平坦な板状成形体を示す図、第３図はプレス金型に
より溝加工した板状成形体を示す図、第４図は従来の圧
電セラＳ ’７り共振子を示す図である。 ４・・・・・・平坦な板状成形体、６・・・・・・板状
成形体、６・・・・・・溝、７・・・・・・圧電セラミ
ック共振子、８・・・・・・厚みの傾斜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第３
図 ６
１図は切断された圧電セラミック共振子を示す図、第２
図は平坦な板状成形体を示す図、第３図はプレス金型に
より溝加工した板状成形体を示す図、第４図は従来の圧
電セラＳ ’７り共振子を示す図である。 ４・・・・・・平坦な板状成形体、６・・・・・・板状
成形体、６・・・・・・溝、７・・・・・・圧電セラミ
ック共振子、８・・・・・・厚みの傾斜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第３
図 ６
Claims (1)
- 押出成形またはシート成形により平坦な板状成形体を
得、これに両面からプレス金型を用いて圧力を加え溝を
加工し、分割することにより個々の圧電セラミック共振
子の周辺部の一部または全部に厚みの傾斜をつけてなる
圧電セラミック共振子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20413286A JPH0685491B2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 圧電セラミツク共振子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20413286A JPH0685491B2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 圧電セラミツク共振子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6360617A true JPS6360617A (ja) | 1988-03-16 |
| JPH0685491B2 JPH0685491B2 (ja) | 1994-10-26 |
Family
ID=16485365
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20413286A Expired - Lifetime JPH0685491B2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 | 圧電セラミツク共振子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0685491B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0211008A (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電共振子 |
| EP0620048A3 (en) * | 1993-04-12 | 1995-11-29 | Acuson | Ultrasound transducers with reduced sidelobes and method for manufacture thereof. |
| US8643980B1 (en) | 2008-12-15 | 2014-02-04 | Western Digital (Fremont), Llc | Micro-actuator enabling single direction motion of a magnetic disk drive head |
| US8756776B1 (en) * | 2005-12-09 | 2014-06-24 | Western Digital Technologies, Inc. | Method for manufacturing a disk drive microactuator that includes a piezoelectric element and a peripheral encapsulation layer |
-
1986
- 1986-08-29 JP JP20413286A patent/JPH0685491B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0211008A (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電共振子 |
| EP0620048A3 (en) * | 1993-04-12 | 1995-11-29 | Acuson | Ultrasound transducers with reduced sidelobes and method for manufacture thereof. |
| US8756776B1 (en) * | 2005-12-09 | 2014-06-24 | Western Digital Technologies, Inc. | Method for manufacturing a disk drive microactuator that includes a piezoelectric element and a peripheral encapsulation layer |
| US20160300590A1 (en) * | 2005-12-09 | 2016-10-13 | Western Digital Technologies, Inc. | Method for manufacturing a disk drive microactuator that includes a piezoelectric element and a peripheral encapsulation layer |
| US8643980B1 (en) | 2008-12-15 | 2014-02-04 | Western Digital (Fremont), Llc | Micro-actuator enabling single direction motion of a magnetic disk drive head |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0685491B2 (ja) | 1994-10-26 |
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