JPH0685904U - 流体圧シリンダの位置検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 装着溝内にセンサケースを取り付けると、自
動的に装着溝の中心にセンサケースが位置決め固定され
るようにする。 【構成】 センサケース１４が装着される装着溝１２が
シリンダ本体１１に形成されている。装着溝１２は半円
形の底面１８と、この底面１８から相互に平行となって
真っ直ぐに延びる両側面１９と、リブ１６に形成された
傾斜面２０とにより形成されている。センサケース１４
の横断面形状は装着溝１２の横断面形状に対応するとと
もに僅かに小さい寸法に設定されている。センサケース
１４の端部に形成された切り欠き部２５には固定部材２
８が配置され、センサケース１４と固定部材２８とにね
じ結合されるねじ部材２７によってセンサケース１４は
シリンダ本体１１に固定される。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は流体圧シリンダ等の流体作動機器におけるピストン等の移動部材の位 置を検出する流体圧シリンダの位置検出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

流体圧シリンダ内に往復動自在に装着されて流体により作動するピストンの位 置を検出するために、流体圧シリンダのシリンダ本体に形成された装着溝にセン サを取り付けるようにした位置検出装置が用いられている。

【０００３】 従来の位置検出装置としては、実開平2-87104 号公報に示されるようなものが あり、図７（Ａ）はこの位置検出装置を示し、図７（Ｂ）はこの位置検出装置を 流体圧シリンダのシリンダ本体に装着した状態を示す。

【０００４】 図示するように、センサケース１は横断面が四辺形となっており、樹脂により 成形され内部に図示しない磁気検出素子が組み込まれている。このセンサケース １をシリンダ本体２に装着するために、シリンダ２には幅寸法Ｄとなった断面四 辺形の装着溝３が形成されており、この装着溝３はリブ４の間に幅寸法ｄとなっ て形成されたスリット５を介して外部に開口されている。

【０００５】 センサケース１は幅寸法ｄよりも小さい幅に形成され、装着溝３の中に収容さ れるようになっている。このセンサケース１の先端部にはここに上部片１ａと下 部片１ｂとを設けることによりクランプ板収容孔６が形成されており、この収容 孔６の中に切り欠き７部を通してクランプ板８が挿入されるようになっている。

【０００６】 このクランプ板８には、先端が下部片１ｂに当接するねじ部材９がねじ結合さ れており、クランプ板８の先端部をリブ４に締結することによりセンサケース１ が装着溝３内で固定されるようになっている。

【０００７】 ところで、近年では半導体の製造工程を始めとする種々の自動生産装置にあっ ては、小型化された流体圧シリンダを使用することが要望されているが、図７に 示すような従来の位置検出装置を設けた流体圧シリンダでは、小型化に限度があ った。なぜならば、シリンダ本体を小型化すると、センサケース１自体も小型化 せざるを得ない、たとえば幅および上下寸法が３〜４mm程度となったセンサケー ス１の先端に上部片１ａと下部片１ｂとを形成することが困難となるか、形成で きたとしても強度が十分とならないという問題点が発生した。

【０００８】 しかも、装着溝３の底面の両側部分は、デッドスペースとなってしまい、シリ ンダ本体の角部に装着溝３を形成するタイプでは、その部分とシリンダ内の中空 孔との干渉を避けるためにシリンダを小型化することが困難となる。

【０００９】 図７に示された位置検出装置の改良を示すと図８の通りであり、この図に示す 位置検出装置は実開平3-46005 号公報に記載されている。なお、図８においては 、図７に示された部材と共通する部材には同一の符号が付されている。

【００１０】 この位置検出装置にあっては、センサケース１の端部に幅方向の収容孔６ａを 形成し、この中に収容孔６ａの断面形状と同様の断面形状のクランプ板８を貫通 させるようにしており、このクランプ板８にねじ結合されるねじ部材９の先端を 装着溝３の底面に当接させるようにしている。

【００１１】 この場合には、図７の場合と相違してねじ部材９によりセンサケース１の下部 片１ａには締め付けによる応力が作用しない構造となっているので、クランプ板 ８とセンサケース１とにガタが存在すると、センサケース１を止め付けた状態で もセンサケース１がガタ付くことになる。また、この場合には、このガタを防止 するために、ねじ部材９としてタッピングねじを用いて上部片１ａを締結するこ とが困難である。なぜならば、この場合には、図７に示す場合と同様に、センサ ケース１の先端部に上部片１ａと下部片１ｂとを設けているので、上部片１ａの 厚みが薄くなり、ねじ部材９を締め付ける際にいわゆるタッピングねじを用いて 上部片１ａにねじ孔を形成すると、上部片１ａに亀裂が発生する恐れがあるから である。

【００１２】 図９は実開平3-69703 号公報に示された位置検出装置を示す図であり、この場 合には、樹脂製のセンサケース１自体に装着溝３のリブ４に当接する突起部１ｃ を形成し、センサケース１の内部にナット８ａを埋め込むようにしている。この 位置検出装置にあっては、ねじ部材９をナット８ａにねじ結合して締結した場合 には、締結力はセンサケース１自体を介してリブ４に伝達されることになるので 、強い締結力を加えると、センサケース１の突起部１ｃが折損する恐れがある。

【００１３】 そして、前述したそれぞれの従来技術にあっては、センサケース１を装着溝３ 内の中心位置に正確に位置決めすることが容易ではなかった。なぜならば、装着 溝３内にセンサケース１を挿入し易くするために、センサケース１の幅寸法を装 着溝３の幅寸法よりも小さく設定しなければならないので、センサケース１を装 着溝３内に挿入したときには、センサケース１と装着溝３との間にはガタが発生 しており、ねじ部材９を用いてセンサケース１を締結する際に、所定の位置にセ ンサケース１を位置決めすることが容易でない。

【００１４】 このため、装着溝３内の中心位置にセンサケース１を締結する作業には慎重を 要することになり、センサケースの装着作業の作業性が良好とならなかった。

【００１５】 実開平3-93607 号公報には、センサケース１の断面形状を円形とした位置検出 装置が示されている。この位置検出装置を示すと図１０の通りである。

【００１６】 図示するように、流体圧シリンダ１には断面が円形となった装着溝３を形成し 、センサケース１の断面形状を装着溝３の断面形状よりもやや小径の円形断面と している。センサケース１を締結するために、センサケース１には形成されたね じ孔１ｄにねじ部材９を結合するようにしている。

【００１７】 この場合には、センサケース１を装着溝３内に挿入する際に、図１０において 矢印で示す方向のセンサケース１の姿勢を所定の姿勢に設定することが困難であ り、センサケース１内に組み込まれたセンサ素子の姿勢をシリンダ本体内のピス トンに対して所望の状態に設定することが困難となるという問題点があった。

【００１８】

【考案が解決しようとする課題】

本考案の目的は、センサケースを装着溝内に挿入した後にねじ部材を用いてセ ンサケースを締結すると、センサケース自体が装着溝内の所定の位置に位置決め されるようにした中心出しの機能を有する位置検出装置を提供することにある。

【００１９】 また、本考案の他の目的は、小型の流体圧シリンダに適用し得る位置検出装置 を提供することにある。

【００２０】 本考案のさらに他の目的は、小型の流体圧シリンダに対応させてセンサケース を小型にしても、これを装着溝内に締結するためのねじ部材としてタッピングね じを用いてセンサケース自体にねじ孔を形成しつつねじ部材を取り付けることが できる位置検出装置を提供することにある。

【００２１】 本考案の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添 付図面から明らかになるであろう。

【００２２】

【課題を解決するための手段】

本願において開示される考案のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば 、以下のとおりである。

【００２３】 すなわち、センサケースが装着される装着溝は、半円形の底面とこの底面から 相互にほぼ平行となって真っ直ぐに延びる両側面とリブに設けられた傾斜面とに より形成されている。傾斜面は相互にスリットに向けて上向きに傾斜して相互に 対向している。センサケースは装着溝の断面形状に対応した断面形状となり僅か に小さい寸法となっており、ねじ部材により装着溝に固定される。このねじ部材 を締め付けると、センサケースの傾斜面は装着溝の傾斜面に圧接することにより 、センサケースは装着溝の中心に位置決めされる。 センサケースの端部を切り欠いてその部分に固定部材を配置し、ねじ部材がセ ンサケースと固定部材とにねじ結合するようになっている。

【００２４】

【作用】

ねじ部材をねじ止めすると、装着溝の傾斜面にセンサケースの傾斜面が圧接す ることになり、センサケースはこの傾斜面の作用により装着溝の中心に向けて位 置決めがなされる。したがって、センサケースを装着溝に取り付ける作業にあっ ては、ねじ部材によりセンサケースを止め付ける作業を行うのみで、センサケー スを所定の姿勢ないし位置となるように固定させることができ、シリンダ本体内 のピストンに設けられた磁石とセンサケース内に組み込まれたセンサ素子との距 離ないし位置関係を所望の状態に設定することができる。

【００２５】 装着溝の底面が半円形となっているので、シリンダ本体の角部に装着溝を形成 した場合に装着溝自体をシリンダ本体内の中空孔に接近させることができ、シリ ンダ本体を小型化することができる。そして、小型化しつつ、センサケースの厚 みを大きくすることができるので、センサ素子を収容するための内部容積を十分 に確保することができる。

【００２６】 ねじ部材は切り欠き部に配置された固定部材と締結部とにねじ結合することに なるので、ねじ結合する雌ねじの長さを十分に確保することができ、樹脂製のセ ンサケースにねじ部材を取り付けるようにしても、センサケースが破損すること がなく、タッピングねじを用いることが可能となる。

【００２７】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。 （実施例１） 図１（Ａ）および図１（Ｂ）は本考案の一実施例に係る流体圧シリンダの位置 検出装置を示す正面図および側面図であり、図２はセンサケースの先端部を示す 斜視図であり、図３（Ａ）は図２の正面図であり、図３（Ｂ）は一部切り欠き側 面図である。

【００２８】 流体圧シリンダ１０は、図１に示すように、全体的にほぼ直方体となったシリ ンダ本体１１を有しており、このシリンダ本体１１は、たとえば押し出し成形等 によって形成されている。この成形時に、シリンダ本体１１にはセンサケースを 取り付けるための装着溝１２が形成される。図示する場合には３つの装着溝１２ が形成されており、それぞれの装着溝１２はシリンダ本体１１の長手方向に沿っ て延びている。

【００２９】 シリンダ本体１１内には、図示しないピストンを軸方向に往復動自在に収容す る中空孔が形成されており、このピストンを先端に有するピストンロッド１３が シリンダ本体１１の一端部から突出している。

【００３０】 センサケース１４は装着溝１２の断面形状にほぼ対応し僅かに小さい寸法の横 断面形状を有する棒状となっており、その先端部が図２および図３に示されてい る。このセンサケース１４内には、中央部分にリードスイッチ等の有接点式のセ ンサ素子ないしＩＣスイッチ等の無接点式のセンサ素子が組み込まれており、ピ ストンロッド１３の先端の図示しないピストンに取り付けられた磁石の磁力によ りオンオフ信号を発するようになっている。この信号は図１（Ｂ）に示すケーブ ル１５により図示しない制御部に送られる。

【００３１】 図示するシリンダ本体１１には３つの装着溝１２が形成されており、そのうち の２つにセンサケース１４が装着されている。それぞれの装着溝１２を拡大して 示すと、図３（Ａ）の通りである。

【００３２】 図示するように、装着溝１２の外部側に位置させてシリンダ本体１１には２つ のリブ１６が形成されており、これらのリブ１６は相互に幅方向に突出して相互 間にスリット１７が形成されている。そして、このスリット１７を介して装着溝 １２は外部に連通される。装着溝１２の幅をＤとし、スリット１７の幅をｄとす ると、幅ｄは幅Ｄよりも小さく設定されている。

【００３３】 装着溝１２は、半円形の底面１８と、この底面１８の端部からシリンダ本体１ １の外面に向けて真っ直ぐに延びる左右の両側面１９と、それぞれのリブ１６に 形成された傾斜面２０とにより形成されている。そして、２つの傾斜面２０はス リット１７に向けて上向きに傾斜するとともに相互に対向し合っている。

【００３４】 センサケース１４は装着溝１２の断面形状に対応した断面形状となっている。 つまり、半円形状の底面２１と真っ直ぐな左右両側面２２とリブ１６の傾斜面２ ０に対応して傾斜した傾斜面２３とを有し、上面にはスリット１７に対応した突 起部２４が形成されている。

【００３５】 このセンサケース１４の先端部には、図３（Ｂ）に示すように、半円形の底部 側の部分に切り欠き部２５を形成することにより、傾斜面２３側に締結部２６が 設けられている。

【００３６】 この締結部２６にはねじ部材２７がねじ結合しており、さらにこのねじ部材２ ７には固定部材２８がねじ結合している。この固定部材２８はセンサケース１４ の両側面２２相互間の幅寸法と同一かそれよりも小さく設定され、しかもセンサ ケース１４の先端面から突出しない寸法に設定されている。さらに、固定部材２ ８には、ねじ部材２７とのねじ結合部分を長くするために、下部に小径突起部２ ９が設けられている。

【００３７】 ねじ部材２７の上端部には、図３（Ｂ）に示すように、ドライバー等の工具３ ０を係合させるスリ割り３１が形成されている。図示する場合には、ねじ部材２ ７は外径が２mmのセルフタッピングねじを用いており、汎用性を考慮して2.５mm 用のマイナスドライバーでも使用できるように、内径が2.８mm程度のざぐり穴３ ２がセンサケース１４に形成されている。

【００３８】 上述した構造のセンサケース１４をシリンダ本体１１の装着溝１２に取り付け るには、装着溝１２内にセンサケース１４を滑り込ませる。このときには、セン サケース１４の横断面の形状が装着溝１２の横断面よりも僅かに小さい寸法に設 定されているので、容易に滑り込ませることができる。

【００３９】 その後、ドライバー等の工具３０を用いてねじ部材２７を回転させると、ねじ 部材２７の先端が装着溝１２の底面に当接し、センサケース１４の傾斜面つまり 押圧面２３がリブ１６の傾斜面２０に圧接する。このとき、リブ１６の両傾斜面 ２０とセンサケース１４の傾斜面２３との圧接により、センサケース１４にはそ の幅方向中心部に向かう位置決め力が加えられることになり、自動的にセンサケ ース１４は所定の姿勢となって装着溝１２に取り付けられる。したがって、セン サケース１４を取り付けた状態におけるセンサ素子と磁石との距離を設定値通り に一定とすることができ、位置調整作業が不要となる。

【００４０】 装着溝１２の底面は半円形となっているので、装着溝１２の断面形状をほぼ四 辺形とした場合に比して装着溝のデットスペースがなくなることになる。しかも 、シリンダ本体１１を押し出し成形するための金型に角部がなくなることから、 その金型の寿命が長くなる。そして、センサケース１４には半円形の底面１８か ら真っ直ぐに延びる両側面１９を形成したことから、センサケース１４の断面積 をシリンダ本体１１を小型化しつつ大きくすることができ、センサケース１４内 のセンサ素子のためのスペースを十分に確保することができる。

【００４１】 （実施例２） 図４（Ａ）は本考案の他の実施例に係るシリンダ本体１１の断面図であり、図 ４（Ｂ）は同図（Ａ）に示された何れかの装着溝１２に取り付けられたセンサケ ース１４を示す断面図である。

【００４２】 この場合には、前述した実施例にあっては装着溝１２の中心を中空孔の径方向 中心線と一致させて装着溝１２を形成したのに対して、装着溝１２の中心を中空 孔の径方向中心線からずらし、装着溝１２をシリンダ本体１１の角部側に寄せて 配置している。図４において符号３３はシリンダ本体１１内に形成された中空孔 を示す。

【００４３】 図４に示す位置検出装置にあっては、装着溝１２の半円形の底面１８と中空孔 ３３との間を所定の肉厚とすることができ、二点鎖線で示すように、装着溝１２ を四辺形とした場合に比して、装着溝１２を中空孔３３に近づけることが可能と なるので、シリンダ本体１１を小型化することが可能となる。装着溝１２とセン サケース１４の形状は前記実施例と同様である。

【００４４】 （実施例３） 図５（Ａ),（Ｂ）はそれぞれ本考案のさらに他の実施例に係る流体圧シリンダ の位置検出装置を示す図である。この場合には、シリンダ本体１１に形成された 装着溝１２の形状は前述した実施例と同様となっているが、センサケース１４の 先端部には前記実施例における切り欠き部２５は形成されていない。したがって 、ねじ部材２７はセンサケース１４にこれを径方向に貫通してねじ結合されると ともに、このねじ部材２７の先端は装着溝１２の底面１８に当接するようになっ ている。

【００４５】 この場合には、ねじ部材２７がねじ結合する雌ねじの長さをセンサケース１４ に十分に確保することができ、ねじ部材２７を締め付ける際に、センサケース１ ４の破損ないし折損が防止される。しかも、前記実施例と同様に自動的にセンサ ケース１４の姿勢を調整するという中心位置決めの機能が得られる。

【００４６】 （実施例４） 図６（Ａ）〜図６（Ｃ）は本考案のさらに他の実施例に係る流体圧シリンダの 位置検出装置を示す図である。 この場合も、装着溝１２の断面形状は前述したそれぞれの実施例と同様である が、図１〜図４に示した実施例と相違して、センサケース１４の先端部にはスリ ット側の部分に切り欠き部２５が形成されている。したがって、センサケース１ ４の底面側の部分に締結部２６が設けられている。

【００４７】 切り欠き部２５の位置には固定部材２８ａが配置されるようになっており、こ の固定部材２８ａは図示するように外周形状が六角形となり、外面が装着溝１２ の側面１９に係合するようになっている。また、この端面には図示するように、 傾斜面２３ａが形成されている。

【００４８】 この固定部材２８ａにねじ結合するねじ部材２７の先端部を係合させる凹部３ ４が、センサケース１４の締結部２６に形成されている。

【００４９】 したがって、この実施例にあっては、ねじ部材２７を締め付けると、固定部材 ２８の外周面が側面１９に係合した状態で傾斜面２３ａがリブ１６の傾斜面２０ に押圧することにより、センサケース１４の中心が装着溝１２の中心に位置決め される。これにより、センサケース１４内のセンサ素子の姿勢ないし位置が所定 の状態に設定される。なお、固定部材２８ａの外周面形状としては、六角形以外 に四角形等のように、外面が側面１９と係合して固定部材２８ａの回転が阻止さ れる形状であればどのような形状でも良い。

【００５０】 以上、本考案者によってなされた考案を実施例に基づき具体的に説明したが、 本考案は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種 々変更可能であることはいうまでもない。

【００５１】

【考案の効果】

本願において開示される考案のうち、代表的なものによって得られる効果を簡 単に説明すれば、下記のとおりである。

【００５２】 (1).センサケースを収容する装着溝はリブにより形成される傾斜面を有している ので、センサケースをねじ部材により締結すると、傾斜面の作用によりセンサケ ースは自動的に装着溝の中心位置に位置決め固定され、センサケースの装着作業 を容易に行うことができる。

【００５３】 (2).センサケースはその深さ方向に厚みを持たせることができるので、センサ素 子を収容するための容積を十分に確保することができる。

【００５４】 (3).装着溝の底面は半円形となっており、これに対応させてセンサケースの底面 も半円形となっているので、装着溝のデットスペースを無くすことができ、装着 溝をシリンダ本体内の中空孔内に接近させることができる。

【００５５】 (4).装着溝を中空孔内に接近させることができるので、装着溝を含めたシリンダ 本体の形状を小型化することができる。

【００５６】 (5).センサケースを装着溝内に固定するためのねじ部材は、センサケースに形成 された長いねじ孔にねじ結合されるので、センサケース全体の厚みを大きくする ことなく、ねじ結合部の強度を高めることができ、ねじ孔部の折損や破損が防止 される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例に係る流体圧シリンダの位置
検出装置を示す正面図（Ａ）および側面図（Ｂ）であ
る。

【図２】図１に示されたセンサケースの先端部を示す斜
視図である。

【図３】図１（Ａ）の要部を示す拡大断面図（Ａ）およ
び図（Ａ）における３Ｂ−３Ｂ線に沿う断面図（Ｂ）で
ある。

【図４】本考案の他の実施例に係る流体圧シリンダの位
置検出装置を示す断面図（Ａ）およびその要部を示す断
面図（Ｂ）である。

【図５】本考案のさらに他の実施例に係る流体圧シリン
ダの位置検出装置を示す拡大断面図（Ａ）および同図に
示されたセンサケースの側面図（Ｂ）である。

【図６】本考案のさらに他の実施例に係る流体圧シリン
ダの位置検出装置を示す拡大断面図（Ａ）、同図（Ａ）
に示されたセンサケースを示す側面図（Ｂ）および同図
（Ａ）の平面図（Ｃ）である。

【図７】従来の位置検出装置を示す斜視図（Ａ）および
同図における７Ｂ−７Ｂ線に沿う断面図（Ｂ）である。

【図８】他の従来の位置検出装置を示す断面図（Ａ）お
よび同図における８Ｂ−８Ｂ線に沿う断面図（Ｂ）であ
る。

【図９】流体圧シリンダの位置検出装置のさらに他の従
来例を示す断面図である。

【図１０】流体圧シリンダの位置検出装置のさらに他の
従来例を示す断面図である。

【符号の説明】

１ センサケース １ａ 上部片 １ｂ 下部片 １ｃ 突起部 ２ シリンダ本体 ３ 装着溝 ４ リブ ５ スリット ６ クランプ板収容孔 ６ａ 収容孔 ７ 切り欠き部 ８ クランプ板 ８ａ ナット ９ ねじ部材 １０ 流体圧シリンダ １１ シリンダ本体 １２ 装着溝 １３ ピストンロッド １４ センサケース １５ ケーブル １６ リブ １７ スリット １８ 底面 １９ 側面 ２０ 傾斜面 ２１ 底面 ２２ 側面 ２３ 傾斜面 ２３ａ 傾斜面 ２４ 突起部 ２５ 切り欠き部 ２６ 締結部 ２７ ねじ部材 ２８ 固定部材 ２８ａ 固定部材 ２９ 突起部 ３０ 工具 ３１ スリ割り ３２ ざぐり穴 ３３ 中空孔 ３４ 凹部

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体圧シリンダのシリンダ本体に長手方
   向に沿って延びる装着溝を形成し、内部にセンサ素子が
   組み込まれたセンサケースを前記装着溝内に装着するよ
   うにした流体圧シリンダの位置検出装置において、 前記装着溝の幅方向に突出して相互間に前記装着溝を外
   部に連通させるスリットを形成するリブを前記シリンダ
   本体に設け、 半円形の底面と、当該底面から前記シリンダ本体の外面
   に向けて真っ直ぐに延びる両側面と、これらの両側面に
   連なって前記スリットに向けて上向きに傾斜して前記リ
   ブに形成された両傾斜面とにより前記装着溝を形成し、 前記センサケースの横断面の形状を前記装着溝に対応し
   た形状に形成し、 当該先端部の半円形側の部分に切り欠き部を形成して前
   記リブの傾斜面に対応した傾斜面を有する締結部を前記
   センサケースの先端部に設け、 前記切り欠き部に配置される固定部材にねじ結合すると
   ともに前記底面に当接するねじ部材を前記締結部を貫通
   して取り付け、 前記固定部材と前記リブの傾斜面との間で前記センサケ
   ースの締結部を締め付けることにより前記センサケース
   が前記装着溝の中心に位置決めされて固定されるように
   したことを特徴とする流体圧シリンダの位置検出装置。
2. 【請求項２】 流体圧シリンダのシリンダ本体に長手方
   向に沿って延びる装着溝を形成し、内部にセンサ素子が
   組み込まれたセンサケースを前記装着溝内に装着するよ
   うにした流体圧シリンダの位置検出装置において、 前記装着溝の幅方向に突出して相互間に前記装着溝を外
   部に連通させるスリットを形成するリブを前記シリンダ
   本体に設け、 半円形の底面と、当該底面から前記シリンダ本体の外面
   に向けて真っ直ぐに延びる両側面と、これらの両側面に
   連なって前記スリットに向けて上向きに傾斜して前記リ
   ブに形成された両傾斜面とにより前記装着溝を形成し、 前記センサケースの横断面の形状を前記装着溝に対応し
   た形状に形成し、 前記底面に当接するねじ部材を前記センサケースに取り
   付け、前記ねじ部材を締結することにより前記センサケ
   ースが前記装着溝の中心に位置決めされて固定されるよ
   うにしたことを特徴とする流体圧シリンダの位置検出装
   置。
3. 【請求項３】 流体圧シリンダのシリンダ本体に長手方
   向に沿って延びる装着溝を形成し、内部にセンサ素子が
   組み込まれたセンサケースを前記装着溝内に装着するよ
   うにした流体圧シリンダの位置検出装置において、 前記装着溝の幅方向に突出して相互間に前記装着溝を外
   部に連通させるスリットを形成するリブを前記シリンダ
   本体に設け、 半円形の底面と、当該底面から前記シリンダ本体の外面
   に向けて真っ直ぐに延びる両側面と、これらの両側面に
   連なって前記スリットに向けて上向きに傾斜して前記リ
   ブに形成された両傾斜面とにより前記装着溝を形成し、 前記センサケースの横断面の形状を前記装着溝に対応し
   た形状に形成し、 前記センサケースの先端部のうち当該先端部のスリット
   部側の部分に切り欠き部を形成し、 前記センサケース部に当接するねじ部材を前記切り欠き
   部に配置される固定部材にねじ結合するとともに、当該
   固定部材に前記リブの傾斜面に当接する傾斜面を形成
   し、 前記固定部材の傾斜面を前記リブの傾斜面に押圧するこ
   とにより前記センサケースが前記装着溝の中心に位置決
   めされて固定されるようにしたことを特徴とする流体圧
   シリンダの位置検出装置。