JPH0686755B2 - エアフィルタ設置用天井フレームの継手 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、クリーンルームにおいて、エアフィルタを
設置するために天井に吊り下げられた格子状の天井フレ
ームのチャンネル材を相互に接続するために用いる継手
に関するものである。

〔従来の技術〕

半導体工業、電子工業、精密機械工業、製薬工業、病院
手術室等で使用されるクリーンルームの天井には、格子
状に形成された天井フレーム（53）が吊り下げられてお
り、その上にエアフィルタ（57）が設置されている。さ
らに、エアフィルタ（57）と天井フレーム（53）の接続
部分には、シール材（60）が充填され、空気が漏れない
ようになっている。

第４図及び第５図は、上記天井フレーム（53）の継手
（52）部分を示しており、継手（52）は十字形に溝を形
成した本体部（52a）と、本体部（52a）の上面に立設さ
れたボス（54）からなり、本体部（52a）の溝にチャン
ネル材（51）を接続するようにしている。

ボス（54）にはネジ穴（55）が形成されており、天井か
ら吊り下げられた吊りボルト（56）を螺着することによ
り天井フレーム（53）を天井に吊り下げできるようにな
っている。

そして、照明器具、間仕切り、垂れ壁、ウエハー搬送装
置などを天井から吊り下げる必要がある場合には、天井
フレーム（53）のチャンネル材（51）に吊り下げられて
いた。

尚、図中符号59はエアフィルタ（57）のフィルタ枠（5
8）に設けられたスカート部であり、チャンネル材（5
1）に充填されたシール材（60）の中に挿入されるよう
になっている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

チャンネル材（51）は、照明器具などの軽いものであれ
ば吊り下げることができるが、間仕切り、垂れ壁、特に
ウエハー搬送装置などの重量の重いものを吊り下げると
チャンネル材（51）の強度が不充分であるので、歪むと
いう問題点があった。従って、上記のような重量の重い
ものを吊り下げるには、直接天井から吊りボルトで吊り
下げる必要があり、そのために吊りボルトを挿通するた
めの孔をチャンネル材（51）に明ける必要があった。し
かしながらこの場合、コーキング材によるシールが完全
に行なわれないと、エアフィルタ上流側の汚れた空気が
エアフィルタ下流の清浄空間側に漏洩する恐れがあると
いう問題点があった。さらに、チャンネル材（51）に孔
を明けると天井フレーム（53）の強度を低下させるとい
う問題点があった。

この発明は、上記問題点を解決すべくなされたもので、
その目的とするところは、空気が漏洩する恐れがなく重
量の重いものを吊り下げできるようにすることにある。

〔問題点を解決するための手段〕

このため、この発明では、十字形に溝を形成し、それぞ
れの溝にチャンネル材（２）を接続するようにした本体
部（3a）の中心に、吊りボルト（８）を螺合するネジ穴
（７）で形成したボス（６）を立設したエアフィルタ設
置用天井フレームの継手であって、被吊下物（16）を吊
り下げるための止めビス（15）を螺合するネジ穴（13）
をボス（６）に前記ネジ穴（７）と貫通しないように非
貫通部（6a）を設けて同軸に形成したものとした。

〔作用〕

継手（３）は、吊りボルト（８）係止用のネジ穴（７）
を利用して天井に吊り下げられ、被吊下物（16）は継手
（３）のネジ穴（13）を利用して吊り下げられる。ネジ
穴（７）とネジ穴（13）の間には、非貫通部（6a）を設
けているので、この部分から空気が洩れることがない。

また、ネジ穴（７）とネジ穴（13）は同軸に形成されて
いるので、ウエハー搬送装置等の重量の重い被吊下物
（16）を継手（３）に吊り下げても、継手（３）に接続
したチャンネル材（２）に影響を与えることがない。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図面に従って説明する。

第１図は、この発明に係るエアフィルタ設置用天井フレ
ームの継手を示す斜視図である。エアフィルタ設置用天
井フレーム（１）は、上方が開放されたチャンネル材
（２）と、チャンネル材（２）同志を格子状に接続する
継手（３）からなり、さらに、チャンネル材（２）と継
手（３）はリベット（４）で固着されている。

継手（３）は、十字形に溝を形成した本体部（3a）と、
本体部（3a）の中心に立設したボス（６）からなり、ボ
ス（６）の上部には天井から吊り下げられた吊りボルト
（８）と螺着するネジ穴（７）が形成されている。ま
た、前記ボス（６）の下部にはネジ穴（13）が形成され
ており、さらに前記ネジ穴（７）とネジ穴（13）との間
には非貫通部（6a）が設けられている。尚、（５）はチ
ャンネル材（２）を嵌合する際の位置決め用の突起であ
る。

チャンネル材（２）の内側及び継手（３）の溝内にはシ
ール材（９）が充填され、さらにこのシール材（９）に
エアフィルタ（10）のフィルタ枠（11）のスカート部
（12）が挿入されて空気洩れが生じないようになってい
る。

この継手（３）を使用して格子状に形成された天井フレ
ーム（１）は、ネジ穴（７）に吊りボルト（８）が螺着
されて天井に吊り下げられる。

垂れ壁、カーテン、ウエハー搬送装置等の被吊下物（1
6）の継手（３）への固着は、被吊下物（16）の端部に
固着した吊下部材（14）に止めビス（15）を通し、ボス
（６）の下部のネジ穴（13）に螺着することによってな
される。

尚、前記継手（３）の下部に被吊下物（16）を吊り下げ
ない場合は、第３図に示すように、ネジ穴（13）を化粧
ビス（17）等で閉塞しても良い。

〔発明の効果〕

この発明の継手は上述のような構成を有しており、この
発明の継手（３）を使用すれば、被吊下物（16）の重量
が継手（３）に接続したチャンネル材（２）にかからな
いので、従来吊り下げ不可能であった。間仕切り、垂れ
壁、ウエハー搬送装置等の重量の重いものでも吊り下げ
ることができるようになる。また、ボス（６）のネジ穴
（７）（13）は非貫通部（6a）を設けているので、汚れ
た空気がネジ穴（７）（13）を通って下流の洗浄域に漏
洩することは全くない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の継手を使用した天井フレームの斜
視図。第２図はそのA-A線断面図。第３図はボスに化粧
ビスを螺合した状態を示す断面図。第４図は従来の継手
を使用した天井フレームの斜視図。第５図はそのA-A線
断面図。 （２）……チャンネル材 （３）……継手 （3a）……本体部 （６）……ボス （6a）……非貫通部 （７）……ネジ穴 （８）……吊りボルト （13）……ネジ穴 （15）……止めビス （16）……被吊下物

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 7521−2Ｅ Ｅ０４Ｂ 5/55 Ｋ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】十字形に溝を形成し、それぞれの溝にチャ
   ンネル材（２）を接続するようにした本体部（3a）の中
   心に、吊りボルト（８）を螺合するネジ穴（７）を形成
   したボス（６）を立設したエアフィルタ設置用天井フレ
   ームの継手であって、被吊下物（16）を吊り下げるため
   の止めビス（15）を螺合するネジ穴（13）をボス（６）
   に前記ネジ穴（７）と貫通しないように非貫通部（6a）
   を設けて同軸に形成したことを特徴とするエアフィルタ
   設置用天井フレームの継手。