JPH0687045B2 - 透明物体のピット自動検査装置 - Google Patents
透明物体のピット自動検査装置Info
- Publication number
- JPH0687045B2 JPH0687045B2 JP18008288A JP18008288A JPH0687045B2 JP H0687045 B2 JPH0687045 B2 JP H0687045B2 JP 18008288 A JP18008288 A JP 18008288A JP 18008288 A JP18008288 A JP 18008288A JP H0687045 B2 JPH0687045 B2 JP H0687045B2
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- Japan
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- stage
- pit
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、透明な物体の表面に発生している微細な穴様
の欠陥、すなわち、ピットを検査する透明物体のピット
自動検査装置に関するものである。
の欠陥、すなわち、ピットを検査する透明物体のピット
自動検査装置に関するものである。
従来の技術 顕微鏡による物体表面の微細な欠陥などの検査作業は、
顕微鏡像を目視検査する場合が多く、非常な労力と時間
を要している。かつ、測定者による個人誤差や、疲労が
おおきく、目視検査の自動化の要請はつよかった。
顕微鏡像を目視検査する場合が多く、非常な労力と時間
を要している。かつ、測定者による個人誤差や、疲労が
おおきく、目視検査の自動化の要請はつよかった。
これに応える装置として、最近、自動焦点合わせ機構の
付いた自動Ｘ−Ｙステージを持つ光学顕微鏡と、テレビ
カメラと、コンピュータとを組み合わせた自動検査シス
テムが発表されている（西塚 広著：最新目視検査の自
動化:151〜163頁:1986・８・28（株）テクノシステム
刊）。この装置では、顕微鏡像をディジタル変換し、２
値化して、物体表面の画像として認識している。
付いた自動Ｘ−Ｙステージを持つ光学顕微鏡と、テレビ
カメラと、コンピュータとを組み合わせた自動検査シス
テムが発表されている（西塚 広著：最新目視検査の自
動化:151〜163頁:1986・８・28（株）テクノシステム
刊）。この装置では、顕微鏡像をディジタル変換し、２
値化して、物体表面の画像として認識している。
しかし、従来の顕微鏡による目視検査の自動化は、対象
が主にIC用ウェハの結晶構造や、ICチップの表面欠陥の
ように単に物体の表面を検査するにとどまり、表面から
内部に向かって生じた欠陥、すなはち、ピットを検査し
ようとしても、単に表面に付着した異物とピットとの識
別が出来ず、この様な目的に利用することは不可能であ
った。
が主にIC用ウェハの結晶構造や、ICチップの表面欠陥の
ように単に物体の表面を検査するにとどまり、表面から
内部に向かって生じた欠陥、すなはち、ピットを検査し
ようとしても、単に表面に付着した異物とピットとの識
別が出来ず、この様な目的に利用することは不可能であ
った。
ピット検査が要求される一例として、放射線、特に中性
子を利用する設備とか、中性子が二次的に発生する機器
を扱う機会が増えているが、その際、使用される速中性
子用個人被ばく線量測定用の固体飛跡検出器が挙げられ
る（道家；応用物理vol.53 no.8 p681 1984）。
子を利用する設備とか、中性子が二次的に発生する機器
を扱う機会が増えているが、その際、使用される速中性
子用個人被ばく線量測定用の固体飛跡検出器が挙げられ
る（道家；応用物理vol.53 no.8 p681 1984）。
測定は、プラスチック板上に生じた小さな放射線損傷
を、例えば、水酸化ナトリウムでエッチングし、そのエ
ッチピットを顕微鏡で拡大し、目視で数えることによっ
てなされている。しかし、顕微鏡の視野で観察するの
は、被検査体表面像であって、エッチピット以外の異物
や、速中性子以外の放射線の軌跡も含まれ、その判別は
困難である。
を、例えば、水酸化ナトリウムでエッチングし、そのエ
ッチピットを顕微鏡で拡大し、目視で数えることによっ
てなされている。しかし、顕微鏡の視野で観察するの
は、被検査体表面像であって、エッチピット以外の異物
や、速中性子以外の放射線の軌跡も含まれ、その判別は
困難である。
そこで、目視検査に際しては、顕微鏡の焦点を被検査体
の内部に向かって約10〜50ミクロンずらせ観察すれば、
ピットとピット以外の画像が容易に判別できることを利
用して、両者を判別している。すなわち、被検査体表面
のピットと異物の画像は、ともに周辺部に対して、円
形、または環状の暗部として観察されるが、顕微鏡の焦
点を被検査体の内部に向かって10〜50ミクロンずらせる
と、ピットの内部画像にあっては、その中心部の輝度が
大きくなる、すなわち、明るくなるが、表面に付着した
異物では中心部も黒色領域として観察されるからであ
る。
の内部に向かって約10〜50ミクロンずらせ観察すれば、
ピットとピット以外の画像が容易に判別できることを利
用して、両者を判別している。すなわち、被検査体表面
のピットと異物の画像は、ともに周辺部に対して、円
形、または環状の暗部として観察されるが、顕微鏡の焦
点を被検査体の内部に向かって10〜50ミクロンずらせる
と、ピットの内部画像にあっては、その中心部の輝度が
大きくなる、すなわち、明るくなるが、表面に付着した
異物では中心部も黒色領域として観察されるからであ
る。
典型的な例を第２図に示す。第２図において、左側の列
には、被検査体表面における画像を、中央の列には、左
側の列の画像に対応する、焦点をずらした内部の画像
を、右側の列には、判定結果を示したものである。
には、被検査体表面における画像を、中央の列には、左
側の列の画像に対応する、焦点をずらした内部の画像
を、右側の列には、判定結果を示したものである。
発明が解決しようとする課題 本発明は、透明物体表面の異物とピットとを識別し、ピ
ットのみを自動的に検出する装置を提供することを目的
とする。
ットのみを自動的に検出する装置を提供することを目的
とする。
課題を解決するための手段 上記課題を解決するための本願第１の発明の構成は、次
の通りである。
の通りである。
イ．透明物体からなる被検査体が載置されるステージ
と、 ロ．該ステージに載置される被検査体に対向して設けら
れた顕微鏡と、 ハ．該ステージに対して、前記顕微鏡とは反対側に設け
られ、前記被検査体の透過光を顕微鏡に投ずる光源と ニ．前記ステージと前記顕微鏡とを相対的に、前記被検
査体表面の面方向、およびこれと垂直な方向に移動せし
める移動機構と、 ホ．前記顕微鏡にて取り込まれた前記被検査体の被検査
部分の画像を、ビデオ信号として出力するテレビカメラ
と、 ヘ．該ビデオ信号を、ディジタル変換するA/D変換器
と、前記画像の輝度が所定のしきい値以下である黒色領
域を抽出する２値化回路と、各黒色領域の中心座標を求
める演算器と、前記ディジタル変換によって得られたデ
ィジタルデータと前記２値化回路で得られた２値化デー
タと前記移動機構により焦点を被検査体の内方に移動せ
しめて得られる内部画像の輝度のデータとを記憶するメ
モリとからなる画像処理装置と、 ト．被検査体表面の黒色領域の中心部近傍における輝度
と、これに対応する領域における被検査体内部画像の輝
度とを比較して、内部画像の輝度のほうが明るい場合を
ピットと判定する判定器と、 チ．前記判定器により順次得られるピット判定結果を加
算する加算器と、 からなる透明物体のピット自動検査装置である。
と、 ロ．該ステージに載置される被検査体に対向して設けら
れた顕微鏡と、 ハ．該ステージに対して、前記顕微鏡とは反対側に設け
られ、前記被検査体の透過光を顕微鏡に投ずる光源と ニ．前記ステージと前記顕微鏡とを相対的に、前記被検
査体表面の面方向、およびこれと垂直な方向に移動せし
める移動機構と、 ホ．前記顕微鏡にて取り込まれた前記被検査体の被検査
部分の画像を、ビデオ信号として出力するテレビカメラ
と、 ヘ．該ビデオ信号を、ディジタル変換するA/D変換器
と、前記画像の輝度が所定のしきい値以下である黒色領
域を抽出する２値化回路と、各黒色領域の中心座標を求
める演算器と、前記ディジタル変換によって得られたデ
ィジタルデータと前記２値化回路で得られた２値化デー
タと前記移動機構により焦点を被検査体の内方に移動せ
しめて得られる内部画像の輝度のデータとを記憶するメ
モリとからなる画像処理装置と、 ト．被検査体表面の黒色領域の中心部近傍における輝度
と、これに対応する領域における被検査体内部画像の輝
度とを比較して、内部画像の輝度のほうが明るい場合を
ピットと判定する判定器と、 チ．前記判定器により順次得られるピット判定結果を加
算する加算器と、 からなる透明物体のピット自動検査装置である。
被検査体のピットの状況が、一定のパターンにある場合
には、上記本第１の発明を、さらに、合理化することが
可能であり、これが次に示す構成からなる本第２の発明
である。
には、上記本第１の発明を、さらに、合理化することが
可能であり、これが次に示す構成からなる本第２の発明
である。
イ．透明物体からなる被検査体が載置されるステージ
と、 ロ．該ステージに載置される被検査体に対向して設けら
れた顕微鏡と、 ハ．前記ステージに対して、前記顕微鏡とは反対側に設
けられ、前記被検査体の透過光を顕微鏡に投ずる光源と ニ．前記ステージと前記顕微鏡とを相対的に、前記被検
査体表面の面方向、およびこれと垂直な方向に移動せし
める移動機構と、 ホ．前記顕微鏡にて取り込まれた前記被検査体の被検査
部分の画像を、ビデオ信号として出力するテレビカメラ
と、 ヘ．該ビデオ信号を、ディジタル変換するA/D変換器
と、前記画像の輝度が所定のしきい値以下である黒色領
域を抽出する２値化回路と、各黒色領域の中心座標を求
める演算器と、前記ディジタル変換によって得られたデ
ィジタルデータと前記移動機構により焦点を被検査体の
内方に移動せしめて得られる内部の２値化画像のデータ
を記憶するメモリとからなる画像処理装置と、 ト．被検査体表面の黒色領域の中心部近傍に対応する被
検査体の内部領域が、２値化画像において白色である場
合をピットと判定する判定器と、 チ．前記判定器により順次得られるピット判定結果を加
算する加算器と、 からなる透明物体のピット自動検査装置である。
と、 ロ．該ステージに載置される被検査体に対向して設けら
れた顕微鏡と、 ハ．前記ステージに対して、前記顕微鏡とは反対側に設
けられ、前記被検査体の透過光を顕微鏡に投ずる光源と ニ．前記ステージと前記顕微鏡とを相対的に、前記被検
査体表面の面方向、およびこれと垂直な方向に移動せし
める移動機構と、 ホ．前記顕微鏡にて取り込まれた前記被検査体の被検査
部分の画像を、ビデオ信号として出力するテレビカメラ
と、 ヘ．該ビデオ信号を、ディジタル変換するA/D変換器
と、前記画像の輝度が所定のしきい値以下である黒色領
域を抽出する２値化回路と、各黒色領域の中心座標を求
める演算器と、前記ディジタル変換によって得られたデ
ィジタルデータと前記移動機構により焦点を被検査体の
内方に移動せしめて得られる内部の２値化画像のデータ
を記憶するメモリとからなる画像処理装置と、 ト．被検査体表面の黒色領域の中心部近傍に対応する被
検査体の内部領域が、２値化画像において白色である場
合をピットと判定する判定器と、 チ．前記判定器により順次得られるピット判定結果を加
算する加算器と、 からなる透明物体のピット自動検査装置である。
からなる透明物体のピット自動検査装置である。
本第１の発明においては、被検査体の表面近傍におい
て、黒色領域として抽出された領域の中心座標近傍にお
ける輝度と、同一領域において顕微鏡の焦点を被検査体
の内方にずらして測定される輝度とが比較され、ピット
が判定される。
て、黒色領域として抽出された領域の中心座標近傍にお
ける輝度と、同一領域において顕微鏡の焦点を被検査体
の内方にずらして測定される輝度とが比較され、ピット
が判定される。
これに対し、本第２の発明においては、被検査体表面近
傍において抽出された黒色領域の中心座標近傍におい
て、顕微鏡の焦点を被検査体内方にずらし、対応する中
心座標近傍の２値化画像が白色であれば、ピットと判定
される。
傍において抽出された黒色領域の中心座標近傍におい
て、顕微鏡の焦点を被検査体内方にずらし、対応する中
心座標近傍の２値化画像が白色であれば、ピットと判定
される。
作用 前記のように構成された本第１の発明にかかる装置にお
いて、被検査体表面の各欠陥をまず表面画像の黒色領域
として補足し、補足された各黒色領域の中心座標近傍の
輝度をもとめ、次いでこれに対応する各黒色領域の中心
点において、顕微鏡の焦点を被検査体の内方にずらし、
中心座標近傍における内部画像の輝度を測定し、もとの
輝度と比較して、後者の輝度のほうが明るいときその欠
陥はピットと判定され、それ以外の画像は、他の欠陥で
あると判定される。
いて、被検査体表面の各欠陥をまず表面画像の黒色領域
として補足し、補足された各黒色領域の中心座標近傍の
輝度をもとめ、次いでこれに対応する各黒色領域の中心
点において、顕微鏡の焦点を被検査体の内方にずらし、
中心座標近傍における内部画像の輝度を測定し、もとの
輝度と比較して、後者の輝度のほうが明るいときその欠
陥はピットと判定され、それ以外の画像は、他の欠陥で
あると判定される。
さらに、本第２のの発明にあっては、上記黒色領域の中
心座標近傍に対応する内部２値化画像が白色のときには
ピットとして処理され、黒色のときには他の欠陥である
と判定される。
心座標近傍に対応する内部２値化画像が白色のときには
ピットとして処理され、黒色のときには他の欠陥である
と判定される。
実施例 以下、図面を参照しながら本発明を説明する。
第１図は、本発明の一実施例の構成を説明するための全
体構成図である。
体構成図である。
第３図は、本第１の発明の実施例における、各画面ごと
の画像処理手順を示すフローチャートである。
の画像処理手順を示すフローチャートである。
第１図において、X,Y,Z軸方向に自動的に移動可能なＸ
−Ｙ−Ｚステージ３上にセットされた被検査体１は、前
記ステージ３に対して顕微鏡２の反対側に設けられた光
源５によって、透過照明される。駆動装置４の自動操作
によって、顕微鏡２の焦点が、被検査体の所定の画像の
表面に合わせられる（第３図,s2）。顕微鏡２は、被検
査体の表面像を撮像・拡大する。テレビカメラ６は、受
像した顕微鏡像を、ビデオ信号に変換する。
−Ｙ−Ｚステージ３上にセットされた被検査体１は、前
記ステージ３に対して顕微鏡２の反対側に設けられた光
源５によって、透過照明される。駆動装置４の自動操作
によって、顕微鏡２の焦点が、被検査体の所定の画像の
表面に合わせられる（第３図,s2）。顕微鏡２は、被検
査体の表面像を撮像・拡大する。テレビカメラ６は、受
像した顕微鏡像を、ビデオ信号に変換する。
画像処理装置７において、テレビカメラ６からのビデオ
信号は、A/D変換器（アナログ／ディジタル変換器）８
によってディジタル信号に変換され、メモリ９に記憶さ
れる（s3）。画像情報を２次元ディジタルデータにする
には、空間的にＭ×Ｎ画素に標本化し、各画素の濃度情
報を、Ｌビットに量子化する。また、取り込んだディジ
タルデータは、２値化回路10で所定のしきい値で２値化
され、黒色領域として抽出される（s4）。２値化された
データもまた、メモリ９に記憶される。演算器11は、メ
モリ９から２値化データを読みだし、各領域の重心座標
をもとめ（s5）、その輝度を測定する（s6）。本実施例
では、中心座標に重心を採用した。黒色領域として認識
される画像には、ピットの他に異物も含まれている。
信号は、A/D変換器（アナログ／ディジタル変換器）８
によってディジタル信号に変換され、メモリ９に記憶さ
れる（s3）。画像情報を２次元ディジタルデータにする
には、空間的にＭ×Ｎ画素に標本化し、各画素の濃度情
報を、Ｌビットに量子化する。また、取り込んだディジ
タルデータは、２値化回路10で所定のしきい値で２値化
され、黒色領域として抽出される（s4）。２値化された
データもまた、メモリ９に記憶される。演算器11は、メ
モリ９から２値化データを読みだし、各領域の重心座標
をもとめ（s5）、その輝度を測定する（s6）。本実施例
では、中心座標に重心を採用した。黒色領域として認識
される画像には、ピットの他に異物も含まれている。
Ｘ−Ｙ−Ｚステージ３はＺ軸方向に移動し、顕微鏡の焦
点が被検査体内方にずらされ（s7）、輝度が測定される
（s8）。移動は、駆動装置４で自動的に行われる。移動
量は、ピットの深さによるが、放射線エッチピットの場
合では、10ないし50ミクロンが適当である。得られた内
部画像は、表面画像の場合と同様に処理されて、ディジ
タルデータとしてメモリ９に記憶される。
点が被検査体内方にずらされ（s7）、輝度が測定される
（s8）。移動は、駆動装置４で自動的に行われる。移動
量は、ピットの深さによるが、放射線エッチピットの場
合では、10ないし50ミクロンが適当である。得られた内
部画像は、表面画像の場合と同様に処理されて、ディジ
タルデータとしてメモリ９に記憶される。
判定器12においては、メモリ９から表面画像における黒
色領域の重心部の輝度と、これに対応する内部画像の輝
度とを読み出して、比較し、内部画像の輝度のほうが、
指定した一定のしきい値ε以上に明るい場合をピットと
判定する（s9）。すべての黒色領域について、判定を繰
返し（s9）。すべての黒色領域について、判定を繰返し
（s11）、判定結果がピットであるときには、加算器13
において順次加算しピットの総数を求める（s10）。
色領域の重心部の輝度と、これに対応する内部画像の輝
度とを読み出して、比較し、内部画像の輝度のほうが、
指定した一定のしきい値ε以上に明るい場合をピットと
判定する（s9）。すべての黒色領域について、判定を繰
返し（s9）。すべての黒色領域について、判定を繰返し
（s11）、判定結果がピットであるときには、加算器13
において順次加算しピットの総数を求める（s10）。
Ｘ−Ｙ−Ｚステージ３の自動操作により、顕微鏡２の視
野を変えながら、第３図に示したフローチャートの操作
を繰り返すことにより、被検査体上のある定められた面
積内にあるピットを自動的に計数し、結果を出力装置1
4、たとえばプリンタに出力する。
野を変えながら、第３図に示したフローチャートの操作
を繰り返すことにより、被検査体上のある定められた面
積内にあるピットを自動的に計数し、結果を出力装置1
4、たとえばプリンタに出力する。
第４図は、本第２の発明の実施例を示すフローチャート
である。
である。
顕微鏡２と、テレビカメラ６で撮像された被検査体１の
表面の顕微鏡像は（第４図,s22,s23）、ディジタル変換
され、２値化されて黒色領域として抽出される（s2
4）。この中には、検出すべきピット以外の欠陥も含ま
れている。
表面の顕微鏡像は（第４図,s22,s23）、ディジタル変換
され、２値化されて黒色領域として抽出される（s2
4）。この中には、検出すべきピット以外の欠陥も含ま
れている。
抽出された黒色領域の中心座標として重心が求められる
（s25）。Ｘ−Ｙ−Ｚステージ３の自動操作により、顕
微鏡２の焦点は、被検査体１の内方に移行され（s2
6）、取り込まれた画像（s27）は、所定のしきい値で２
値化される（s28）。さきに抽出された被検査体表面の
黒色領域の中心座標近傍に対応する被検査体内部の２値
化画像の色が判定され（s29）、白色の場合、ピットと
して計数される（s30）。画面内の全ての黒色領域につ
いて、同じ操作が繰り返される（s31）。
（s25）。Ｘ−Ｙ−Ｚステージ３の自動操作により、顕
微鏡２の焦点は、被検査体１の内方に移行され（s2
6）、取り込まれた画像（s27）は、所定のしきい値で２
値化される（s28）。さきに抽出された被検査体表面の
黒色領域の中心座標近傍に対応する被検査体内部の２値
化画像の色が判定され（s29）、白色の場合、ピットと
して計数される（s30）。画面内の全ての黒色領域につ
いて、同じ操作が繰り返される（s31）。
発明の効果 以上に説明したように、本発明によれば、従来目視に頼
っていた透明物体のピットの数を、他の欠陥と識別しつ
つ、自動的に計数することができる。
っていた透明物体のピットの数を、他の欠陥と識別しつ
つ、自動的に計数することができる。
さらに、ピットの画像が円形であることから、被検査体
表面の黒色領域の形状の、たとえば真円度を求め、一定
の基準のもとに識別、判定させる操作を組み合わせるこ
とにより、同時に表面傷などの識別が可能になる。
表面の黒色領域の形状の、たとえば真円度を求め、一定
の基準のもとに識別、判定させる操作を組み合わせるこ
とにより、同時に表面傷などの識別が可能になる。
本第２の発明では、濃淡画像処理装置よりも製作が容易
で、安価な、２値画像処理装置を利用することができ
る。
で、安価な、２値画像処理装置を利用することができ
る。
第１図〜第４図は本発明の一実施例を示し、第１図は、
全体の概念を示すブロック図、第２図は、２値化された
画像と、その判定の例を示し、第３図は、本第１の発明
の操作フローチャート、第４図は、本第２の発明におけ
る操作フローチャートである。
全体の概念を示すブロック図、第２図は、２値化された
画像と、その判定の例を示し、第３図は、本第１の発明
の操作フローチャート、第４図は、本第２の発明におけ
る操作フローチャートである。
Claims (2)
- 【請求項１】イ．透明物体からなる被検査体が載置され
るステージと、 ロ．該ステージに載置される被検査体に対向して設けら
れた顕微鏡と、 ハ．該ステージに対して、前記顕微鏡とは反対側に設け
られ、前記被検査体の透過光を顕微鏡に投ずる光源と ニ．前記ステージと前記顕微鏡とを相対的に、前記被検
査体表面の面方向、およびこれと垂直な方向に移動せし
める移動機構と、 ホ．前記顕微鏡にて取り込まれた前記被検査体の被検査
部分の画像を、ビデオ信号として出力するテレビカメラ
と、 ヘ．該ビデオ信号を、ディジタル変換するA/D変換器
と、前記画像の輝度が所定のしきい値以下である黒色領
域を抽出する２値化回路と、各黒色領域の中心座標を求
める演算器と、前記ディジタル変換によって得られたデ
ィジタルデータと前記２値化回路で得られた２値化デー
タと前記移動機構により焦点を被検査体の内方に移動せ
しめて得られる内部画像の輝度のデータとを記憶するメ
モリとからなる画像処理装置と、 ト．被検査体表面の黒色領域の中心部近傍における輝度
と、これに対応する領域における被検査体内部画像の輝
度とを比較して、内部画像の輝度のほうが明るい場合を
ピットと判定する判定器と、 チ．前記判定器により順次得られるピット判定結果を加
算する加算器と、 からなる透明物体のピット自動検査装置。 - 【請求項２】イ．透明物体からなる被検査体が載置され
るステージと、 ロ．該ステージに載置される被検査体に対向して設けら
れた顕微鏡と、 ハ．前記ステージに対して、前記顕微鏡とは反対側に設
けられ、前記被検査体の透過光を顕微鏡に投ずる光源と ニ．前記ステージと前記顕微鏡とを相対的に、前記被検
査体表面の面方向、およびこれと垂直な方向に移動せし
める移動機構と、 ホ．前記顕微鏡にて取り込まれた前記被検査体の被検査
部分の画像を、ビデオ信号として出力するテレビカメラ
と、 ヘ．該ビデオ信号を、ディジタル変換するA/D変換器
と、前記画像の輝度が所定のしきい値以下である黒色領
域を抽出する２値化回路と、各黒色領域の中心座標を求
める演算器と、前記ディジタル変換によって得られたデ
ィジタルデータと前記移動機構により焦点を被検査体の
内方に移動せしめて得られる内部の２値化画像のデータ
を記憶するメモリとからなる画像処理装置と、 ト．被検査体表面の黒色領域の中心部近傍に対応する被
検査体の内部領域が、２値化画像において白色である場
合をピットと判定する判定器と、 チ．前記判定器により順次得られるピット判定結果を加
算する加算器と、 からなる透明物体のピット自動検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18008288A JPH0687045B2 (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | 透明物体のピット自動検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18008288A JPH0687045B2 (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | 透明物体のピット自動検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0231141A JPH0231141A (ja) | 1990-02-01 |
| JPH0687045B2 true JPH0687045B2 (ja) | 1994-11-02 |
Family
ID=16077140
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18008288A Expired - Lifetime JPH0687045B2 (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | 透明物体のピット自動検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0687045B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0528031A4 (en) * | 1991-03-06 | 1993-10-20 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Method of automatically detecting defects of object to be inspected |
| JP6531579B2 (ja) * | 2015-09-10 | 2019-06-19 | 株式会社Sumco | ウェーハ検査方法およびウェーハ検査装置 |
-
1988
- 1988-07-19 JP JP18008288A patent/JPH0687045B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| ＮＵＣＬＥＡＲＩＮＳＴＲＵＭＥＮＴＳＡＮＤＭＥＴＨＯＤＳＩＮＰＨＹＳＩＣＳ；ＲＥＳＥＡＲＣＨＢ２３（’８７）３６９−３７３ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0231141A (ja) | 1990-02-01 |
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