JPH0688233A - 真空蒸着装置 - Google Patents
真空蒸着装置Info
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- JPH0688233A JPH0688233A JP23720692A JP23720692A JPH0688233A JP H0688233 A JPH0688233 A JP H0688233A JP 23720692 A JP23720692 A JP 23720692A JP 23720692 A JP23720692 A JP 23720692A JP H0688233 A JPH0688233 A JP H0688233A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 蒸発るつぼの交換、メンテナンス時に真空容
器を大気開放することなく、しかも休止時間が短い真空
蒸着装置を提供することにある。 【構成】 蒸発るつぼを収容した真空の蒸着室１０内に
薄板状の被蒸着部材を連続して通過させて真空蒸着する
真空蒸着装置において、蒸着室１０に真空遮断弁１５を
介して設けられ、交換用の蒸発るつぼ１３を加熱する加
熱手段１９を有する準備室１６を備えたことを特徴とし
ている。
器を大気開放することなく、しかも休止時間が短い真空
蒸着装置を提供することにある。 【構成】 蒸発るつぼを収容した真空の蒸着室１０内に
薄板状の被蒸着部材を連続して通過させて真空蒸着する
真空蒸着装置において、蒸着室１０に真空遮断弁１５を
介して設けられ、交換用の蒸発るつぼ１３を加熱する加
熱手段１９を有する準備室１６を備えたことを特徴とし
ている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、蒸発るつぼを収容した
真空容器内に、薄板状の被蒸着部材を連続して通過させ
て真空蒸着する真空蒸着装置に関する。
真空容器内に、薄板状の被蒸着部材を連続して通過させ
て真空蒸着する真空蒸着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】金属からなる蒸着部材を、薄板状の被蒸
着部材に連続的に被膜を形成する装置として真空蒸着装
置がある。
着部材に連続的に被膜を形成する装置として真空蒸着装
置がある。
【０００３】図３は従来のこの種の真空蒸着装置（ライ
ボルト社製（ドイツ））の外観斜視図であり、図４はそ
の主要部の模式図である。
ボルト社製（ドイツ））の外観斜視図であり、図４はそ
の主要部の模式図である。
【０００４】図３及び図４において、真空蒸着装置は、
真空容器としての蒸着室（以下蒸着室という）１と、蒸
着室１に接続され蒸着室１を真空にするための真空ポン
プ２と、蒸着室１内に配置され連続的に被膜を形成すべ
き薄板状の被蒸着部材３が巻き付けられた供給ロール４
と、蒸着室１内に設けられ被膜となるべき蒸着材料を収
容する蒸発つるぼ（以下るつぼという）５と、蒸着室１
に取り付けられ、蒸着材料に電子ビームを照射して蒸発
させ、供給ロール４から引き出された被蒸着部材３に蒸
着材料の被膜を形成するための電子銃６と、蒸着済みの
被蒸着部材３を巻き取る巻き取りロール７と、蒸着室１
に挿入取出し可能に設けられ使用済みのるつぼ５ａを交
換するためのるつぼ交換室８とで構成されている。
真空容器としての蒸着室（以下蒸着室という）１と、蒸
着室１に接続され蒸着室１を真空にするための真空ポン
プ２と、蒸着室１内に配置され連続的に被膜を形成すべ
き薄板状の被蒸着部材３が巻き付けられた供給ロール４
と、蒸着室１内に設けられ被膜となるべき蒸着材料を収
容する蒸発つるぼ（以下るつぼという）５と、蒸着室１
に取り付けられ、蒸着材料に電子ビームを照射して蒸発
させ、供給ロール４から引き出された被蒸着部材３に蒸
着材料の被膜を形成するための電子銃６と、蒸着済みの
被蒸着部材３を巻き取る巻き取りロール７と、蒸着室１
に挿入取出し可能に設けられ使用済みのるつぼ５ａを交
換するためのるつぼ交換室８とで構成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来の真空蒸着装置には以下のような問題点がある。
た従来の真空蒸着装置には以下のような問題点がある。
【０００６】(1) 使用中のるつぼが破損または不具合が
生じて交換したり、メンテナンスを行ったりする場合に
蒸着室を大気開放しなければならず、装置規模が大きく
なると再排気時、すなわち休止時に長時間を要する。
生じて交換したり、メンテナンスを行ったりする場合に
蒸着室を大気開放しなければならず、装置規模が大きく
なると再排気時、すなわち休止時に長時間を要する。
【０００７】(2) るつぼの材質がセラミック系やグラフ
ァイト系の場合、新品のるつぼはガスを多量に吸収して
いるため、そのまま直接蒸着室内に入れた場合、ガス出
しに長時間を要する。
ァイト系の場合、新品のるつぼはガスを多量に吸収して
いるため、そのまま直接蒸着室内に入れた場合、ガス出
しに長時間を要する。
【０００８】(3) 蒸着室の外部で新品のるつぼを加熱し
てガス出しを行う場合、ガス出しした後に蒸着室に挿入
するまでの間に大気中のガスを吸収してしまう。
てガス出しを行う場合、ガス出しした後に蒸着室に挿入
するまでの間に大気中のガスを吸収してしまう。
【０００９】(4) るつぼ交換室には、るつぼを加熱する
加熱手段や蒸着材料を供給する装置がないため、ガス出
しや初期溶湯作りができない。
加熱手段や蒸着材料を供給する装置がないため、ガス出
しや初期溶湯作りができない。
【００１０】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、蒸発るつぼの交換、メンテナンス時に真空容器を大
気開放することなく、しかも休止時間が短い真空蒸着装
置を提供することにある。
し、蒸発るつぼの交換、メンテナンス時に真空容器を大
気開放することなく、しかも休止時間が短い真空蒸着装
置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、蒸発るつぼを収容した真空容器内に、薄板
状の被蒸着部材を連続して通過させて真空蒸着する真空
蒸着装置において、真空容器に、真空遮断弁を介して設
けられ、交換用の蒸発るつぼを加熱する加熱手段を有す
る準備室を備えたものである。
に本発明は、蒸発るつぼを収容した真空容器内に、薄板
状の被蒸着部材を連続して通過させて真空蒸着する真空
蒸着装置において、真空容器に、真空遮断弁を介して設
けられ、交換用の蒸発るつぼを加熱する加熱手段を有す
る準備室を備えたものである。
【００１２】また、本発明の真空蒸着装置は、真空容器
に、真空遮断弁を介して設けられ、使用済みの蒸発るつ
ぼを収容する取出し室を備えたものである。
に、真空遮断弁を介して設けられ、使用済みの蒸発るつ
ぼを収容する取出し室を備えたものである。
【００１３】
【作用】上記構成によれば、真空容器に真空遮断弁を介
して準備室が設けられているので、準備室を大気開放し
ても真空容器の真空状態が保持される。また、準備室が
加熱手段を有するので、真空蒸着作業中に同時に交換用
のるつぼのガス出しを行うことができ、真空蒸着装置を
ガス出しのために休止することなく交換用のるつぼを使
用することができる。
して準備室が設けられているので、準備室を大気開放し
ても真空容器の真空状態が保持される。また、準備室が
加熱手段を有するので、真空蒸着作業中に同時に交換用
のるつぼのガス出しを行うことができ、真空蒸着装置を
ガス出しのために休止することなく交換用のるつぼを使
用することができる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
て詳述する。
【００１５】図１は本発明の真空蒸着装置の一実施例の
主要部の平面模式図である。
主要部の平面模式図である。
【００１６】同図において真空蒸着装置は、真空容器と
しての蒸着室１０と、この蒸着室１０に接続され蒸着室
１０の真空引きを行う真空ポンプ１１と、蒸着室１０内
を連続的に通過すると共に、被膜を形成すべき薄板状の
被蒸着部材１２と、蒸着室１０内に設けられこの被蒸着
部材１２上に被膜を形成すべき蒸着材料を収容する交換
用のるつぼ１３と、蒸着室１０に取り付けられ蒸着材料
に電子ビームを照射して蒸発させ、被蒸着部材１２に蒸
着材料の被膜を形成するための電子銃１４と、蒸着室１
０の側面に取り付けられ蒸着室１０を開放または遮断す
ることが可能な真空遮断弁１５と、この真空遮断弁１５
に取り付けられ交換用のるつぼ１３及び使用済みのるつ
ぼ１３ａを収容する準備室１６と、準備室１６に接続さ
れ準備室１６を真空にする真空ポンプ１７と、準備室１
６に設けられ交換用のるつぼ１３内に蒸発材料を供給す
る材料供給装置１８と、準備室１６内に設けられ交換用
のるつぼ１３を加熱する加熱手段１９とで構成されてい
る。
しての蒸着室１０と、この蒸着室１０に接続され蒸着室
１０の真空引きを行う真空ポンプ１１と、蒸着室１０内
を連続的に通過すると共に、被膜を形成すべき薄板状の
被蒸着部材１２と、蒸着室１０内に設けられこの被蒸着
部材１２上に被膜を形成すべき蒸着材料を収容する交換
用のるつぼ１３と、蒸着室１０に取り付けられ蒸着材料
に電子ビームを照射して蒸発させ、被蒸着部材１２に蒸
着材料の被膜を形成するための電子銃１４と、蒸着室１
０の側面に取り付けられ蒸着室１０を開放または遮断す
ることが可能な真空遮断弁１５と、この真空遮断弁１５
に取り付けられ交換用のるつぼ１３及び使用済みのるつ
ぼ１３ａを収容する準備室１６と、準備室１６に接続さ
れ準備室１６を真空にする真空ポンプ１７と、準備室１
６に設けられ交換用のるつぼ１３内に蒸発材料を供給す
る材料供給装置１８と、準備室１６内に設けられ交換用
のるつぼ１３を加熱する加熱手段１９とで構成されてい
る。
【００１７】準備室１６には、交換用のるつぼ１３を挿
入するための挿入扉と、使用済みのるつぼ１３ａを取出
すための取出し扉が設けられており（共に図示せず）、
通常はこれらの挿入扉や取出し扉は閉じられている。
入するための挿入扉と、使用済みのるつぼ１３ａを取出
すための取出し扉が設けられており（共に図示せず）、
通常はこれらの挿入扉や取出し扉は閉じられている。
【００１８】真空遮断弁１５は、真空蒸着作業中や、準
備室１６内に交換用のるつぼ１３を挿入したり、準備室
１６から使用済みのるつぼ１３ａを取出したり、交換用
のるつぼ１３をガス出しのために加熱したりする時には
蒸着室１０と準備室１６との間を遮断し、準備室１６内
から蒸着室１０内へ交換用のるつぼ１３を移動したり、
蒸着室１０内から準備室１６内へ使用済みのるつぼ１３
ａを移動したりする時には蒸着室１０と準備室１６との
間を開放するようになっている。
備室１６内に交換用のるつぼ１３を挿入したり、準備室
１６から使用済みのるつぼ１３ａを取出したり、交換用
のるつぼ１３をガス出しのために加熱したりする時には
蒸着室１０と準備室１６との間を遮断し、準備室１６内
から蒸着室１０内へ交換用のるつぼ１３を移動したり、
蒸着室１０内から準備室１６内へ使用済みのるつぼ１３
ａを移動したりする時には蒸着室１０と準備室１６との
間を開放するようになっている。
【００１９】各るつぼ１３、１３ａの、蒸着室１０内と
準備室１６内との間の移動は、図示しない移動機構によ
り行われるようになっている。
準備室１６内との間の移動は、図示しない移動機構によ
り行われるようになっている。
【００２０】被蒸着部材１２には薄板鋼板、金属や樹脂
等の材料からなるフィルムやテープ等が用いられ、蒸着
室１０内に連続的に供給されるようになっている。
等の材料からなるフィルムやテープ等が用いられ、蒸着
室１０内に連続的に供給されるようになっている。
【００２１】ここで、交換用のるつぼ１３のガス出しを
行う理由について述べる。
行う理由について述べる。
【００２２】例えば、蒸着材料にＡｌ（アルミニウム）
を用いた場合、Ａｌの融点は約６６０℃であるが、蒸発
温度を約１５００℃程度とすると、るつぼ１３のガス出
しには１０００℃以上の温度が望ましい。したがってる
つぼ１３のガス出し時に、るつぼ１３内に蒸着材料が収
容されていると、この蒸着材料が溶解して水等の不純物
が混入してしまう。そこで不純物を除去するためにるつ
ぼ１３を空のまま加熱してガス出しを行うのである。
を用いた場合、Ａｌの融点は約６６０℃であるが、蒸発
温度を約１５００℃程度とすると、るつぼ１３のガス出
しには１０００℃以上の温度が望ましい。したがってる
つぼ１３のガス出し時に、るつぼ１３内に蒸着材料が収
容されていると、この蒸着材料が溶解して水等の不純物
が混入してしまう。そこで不純物を除去するためにるつ
ぼ１３を空のまま加熱してガス出しを行うのである。
【００２３】次に実施例の作用を述べる。
【００２４】使用中のるつぼ１３ｂを交換または修理す
る場合、真空遮断弁１５を遮断した状態で準備室１６に
交換用のるつぼ１３を挿入し、真空ポンプ１７で真空引
きすると共に加熱手段１９によってこのるつぼ１３を加
熱することによりあらかじめガス出しをしておく。ガス
出し処理の済んだ交換用のるつぼ１３内に、材料供給装
置１８から初期溶湯作りに必要な量だけ蒸着材料を供給
する。交換用るつぼ１３に蒸着材料の供給した後真空遮
断弁１５を開放し、蒸着室１０から準備室１６へ使用済
みのるつぼ１３ａを矢印方向に移動すると共に、準備室
１６から蒸着室１０へ交換用のるつぼ１３を矢印の方向
に移動する。両るつぼ１３、１３ａを移動した後真空遮
断弁１５を遮断し、真空ポンプ１１、電子銃１４等を作
動すると共に、被蒸着部材１２を連続的に搬送して蒸着
プロセスを行う。
る場合、真空遮断弁１５を遮断した状態で準備室１６に
交換用のるつぼ１３を挿入し、真空ポンプ１７で真空引
きすると共に加熱手段１９によってこのるつぼ１３を加
熱することによりあらかじめガス出しをしておく。ガス
出し処理の済んだ交換用のるつぼ１３内に、材料供給装
置１８から初期溶湯作りに必要な量だけ蒸着材料を供給
する。交換用るつぼ１３に蒸着材料の供給した後真空遮
断弁１５を開放し、蒸着室１０から準備室１６へ使用済
みのるつぼ１３ａを矢印方向に移動すると共に、準備室
１６から蒸着室１０へ交換用のるつぼ１３を矢印の方向
に移動する。両るつぼ１３、１３ａを移動した後真空遮
断弁１５を遮断し、真空ポンプ１１、電子銃１４等を作
動すると共に、被蒸着部材１２を連続的に搬送して蒸着
プロセスを行う。
【００２５】蒸着室１０に真空遮断弁１５を介して準備
室１６が設けられているので、準備室１６を大気開放し
て交換用のるつぼ１３を挿入したり、使用済みのるつぼ
１３ａを取出しても蒸着室１０内の真空状態が保持され
る。また、準備室１６が加熱手段１９を有するので、真
空蒸着作業中に同時に交換用のるつぼ１３のガス出しを
行うことができ、従来のように真空蒸着装置をガス出し
のために休止することがなく、交換用のるつぼ１３を短
時間に蒸着室１０内で使用することができる。
室１６が設けられているので、準備室１６を大気開放し
て交換用のるつぼ１３を挿入したり、使用済みのるつぼ
１３ａを取出しても蒸着室１０内の真空状態が保持され
る。また、準備室１６が加熱手段１９を有するので、真
空蒸着作業中に同時に交換用のるつぼ１３のガス出しを
行うことができ、従来のように真空蒸着装置をガス出し
のために休止することがなく、交換用のるつぼ１３を短
時間に蒸着室１０内で使用することができる。
【００２６】図２は本発明の真空蒸着装置の他の実施例
の平面模式図である。
の平面模式図である。
【００２７】同図において図１に示した実施例との相違
点は、蒸着室２０に真空遮断弁２１を介して使用済みの
るつぼ２２を収容する取出し室２３が設けられた点であ
る。
点は、蒸着室２０に真空遮断弁２１を介して使用済みの
るつぼ２２を収容する取出し室２３が設けられた点であ
る。
【００２８】この真空蒸着装置内の使用中のるつぼ２２
ａを交換する場合、前述と同様に、真空遮断弁２４を遮
断した状態で準備室２５内に交換用のるつぼ２２ｂを挿
入し、真空ポンプ２６を作動させて真空引きを行うと共
に，加熱手段２７を作動させて交換用のるつぼ２２ｂの
ガス出しを行い、ガス出しが終了したるつぼ２２ｂ内に
材料供給装置２８より蒸発材料を必要量だけ供給してお
く。真空遮断弁２１を開放し、使用済みのるつぼ２２を
蒸着室２０から取出し室２３へ矢印の方向に移動し、取
出し室２３内に使用済みのるつぼ２２が移動した後真空
遮断弁２１を遮断し、真空遮断弁２４を開放して準備室
２５から蒸着室２０へ交換用のるつぼ２２ｂを矢印の方
向に移動させる。交換用のるつぼ２２ｂが蒸着室２０内
に移動した後、真空ポンプ２９、電子銃３０等を作動さ
せて蒸着プロセスを開始する。このとき真空ポンプ３１
を作動して取出し室２３内の真空引きを行う。
ａを交換する場合、前述と同様に、真空遮断弁２４を遮
断した状態で準備室２５内に交換用のるつぼ２２ｂを挿
入し、真空ポンプ２６を作動させて真空引きを行うと共
に，加熱手段２７を作動させて交換用のるつぼ２２ｂの
ガス出しを行い、ガス出しが終了したるつぼ２２ｂ内に
材料供給装置２８より蒸発材料を必要量だけ供給してお
く。真空遮断弁２１を開放し、使用済みのるつぼ２２を
蒸着室２０から取出し室２３へ矢印の方向に移動し、取
出し室２３内に使用済みのるつぼ２２が移動した後真空
遮断弁２１を遮断し、真空遮断弁２４を開放して準備室
２５から蒸着室２０へ交換用のるつぼ２２ｂを矢印の方
向に移動させる。交換用のるつぼ２２ｂが蒸着室２０内
に移動した後、真空ポンプ２９、電子銃３０等を作動さ
せて蒸着プロセスを開始する。このとき真空ポンプ３１
を作動して取出し室２３内の真空引きを行う。
【００２９】以上のように本実施例によれば、蒸着室１
０に真空遮断弁１５を介して準備室１６が設けられてい
るので、準備室１６を大気開放しても蒸着室１０の真空
状態が保持される。また、準備室１６が加熱手段１９を
有するので、真空蒸着作業中に同時に交換用のるつぼ１
３のガス出しを行うことができ、真空蒸着装置をガス出
しのために休止することなく交換用のるつぼ１３を使用
することができる。
０に真空遮断弁１５を介して準備室１６が設けられてい
るので、準備室１６を大気開放しても蒸着室１０の真空
状態が保持される。また、準備室１６が加熱手段１９を
有するので、真空蒸着作業中に同時に交換用のるつぼ１
３のガス出しを行うことができ、真空蒸着装置をガス出
しのために休止することなく交換用のるつぼ１３を使用
することができる。
【００３０】尚、本実施例ではるつぼを用いて説明した
が、これに限定されるものではなく、ライナーを用いて
もよい。また、蒸発材料を供給する供給装置が蒸着室に
設けられてもよい。
が、これに限定されるものではなく、ライナーを用いて
もよい。また、蒸発材料を供給する供給装置が蒸着室に
設けられてもよい。
【００３１】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
な優れた効果を発揮する。
【００３２】(1) るつぼの交換時間が大幅に短縮でき
る。
る。
【００３３】(2) るつぼの交換、メンテナンスのために
蒸着室を大気開放する必要がなくなり、無駄な真空排気
時間がなくなる。
蒸着室を大気開放する必要がなくなり、無駄な真空排気
時間がなくなる。
【００３４】(3) 準備室が加熱手段を有しているので、
交換前にるつぼのガス出しを行うことができる。
交換前にるつぼのガス出しを行うことができる。
【００３５】(4) るつぼ加熱後に蒸発材料を入れること
によって、発生ガスによる蒸発材料への不純物混入を防
止することができる。
によって、発生ガスによる蒸発材料への不純物混入を防
止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の真空蒸着装置の一実施例の主要部の平
面模式図である。
面模式図である。
【図２】本発明の真空蒸着装置の他の実施例の平面模式
図である。
図である。
【図３】従来の真空蒸着装置の外観斜視図である。
【図４】図３に示した真空蒸着装置の主要部の模式図で
ある。
ある。
１０、２０ 蒸着室 １１、１７、２６、２９、３１ 真空ポンプ １２ 被蒸着部材 １３、２２ｂ 交換用のるつぼ １３ａ、２２ 使用済みのるつぼ １３ｂ、２２ａ 使用中のるつぼ １４、３０ 電子銃 １５、２１、２４ 真空遮断弁 １６ 準備室 １８、２８ 材料供給装置 １９、２７ 加熱手段 ２３ 取出し室
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 根橋 清 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東二テクニカルセンタ ー内
Claims (2)
- 【請求項１】 蒸発るつぼを収容した真空容器内に、薄
板状の被蒸着部材を連続して通過させて真空蒸着する真
空蒸着装置において、前記真空容器に、真空遮断弁を介
して設けられ、交換用の蒸発るつぼを加熱する加熱手段
を有する準備室を備えたことを特徴とする真空蒸着装
置。 - 【請求項２】 前記真空容器に、他の真空遮断弁を介し
て設けられ、使用済みの蒸発るつぼを収容する取出し室
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の真空蒸着装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23720692A JP3257056B2 (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | 真空蒸着装置 |
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