JPH069018Y2 - 真空装置用覗窓 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、真空装置の覗窓の構造に関するものである。

［従来の技術］ 薄膜作製用真空装置の覗窓は、装置外部から人間が内部
を観察するために設けられている。蒸着装置における蒸
着源、スパッタ装置におけるターゲット等を観察する目
的で使用される場合には透明な窓が内側から飛来する蒸
着原子とかスパッタ原子に被覆され膜が付着し、これが
長時間続くとやがて窓が不透明になり外側から内部を観
察することが不可能となる。通常は窓の内側に手動式の
シャッターを設けて観察する時にだけシャッターを開き
観察不要の場合にはシャッターを閉じるようにして使用
する。

［考案が解決しようとする課題］ しかし手動のシャッターは人間の操作がどうしてもゆっ
くりしてしまうために本当に必要な観察時間以上に相当
多くの時間をシャッターが開いた状態となり、従って窓
が比較的短い時間のうちに不透明になってしまう欠点が
あった。またしばしば閉じることを忘れてしまうことが
あった。

［考案の目的］ 本考案はこのような問題を解決し、実際に観察必要な場
合にだけシャッターが開いてそれ以外の時間には通常は
自動的に閉じた状態が維持されるような、簡単で経済的
な覗窓の構造を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、本考案ではシャッターを
先端に固定して回転させるシャフトの後端にピニオンを
固定し、このピニオンと組み合わせたラックをコイルス
プリングの力で動作させ、通常はシャッターが閉じた状
態に保持し、ラックを押し付ける別の力を与えるときだ
けシャッターが開くようにする。

［作用］ このような構造の覗窓を用いて、ラックを押し付ける力
を与えながら窓から真空室内部を観察することができ、
ラックを押し付ける力を解除するとシャッターが自動的
に閉じる。従来のシャフトを回す操作に対してラックを
押すか押さないかの単純な操作だけでシャッターの開閉
操作が直ちに行われ、かつ通常はシャッターが閉じた状
態に維持される。

［実施例］ 次に図面により本考案の具体的実施例の構造について説
明する。第１図は本考案による覗窓の一部断面図、第２
図は第１図の矢視Ｉ−Ｉよりみた平面図を示す。

真空チャンバーの壁面１に設けられた口１０に合わせて
ニップル２がＯリング２１を介してボルト２３により締
め付けられ、真空気密を維持しながら取り付けられてい
る。ニップル２の壁面と反対側には透明なガラス円板３
がＯリング２２を介して押えフランジ４とボルト２４に
より真空気密を維持しながら固定されている。覗窓の気
密封止が行なれる透明ガラス円板３の内面には、気密封
止には関係しないがシールドガラス３１が止め金具によ
り支持され密接して設置されている。シールドガラス３
１は本考案の必須条件ではないが、もしこれがない場合
には透明ガラス円板３自体が不透明となるので実用上は
大切な役割を果たす。矢印Ａの示す方向から人間が覗窓
を通して真空容器の内側を観察することが出来る。

ニップル２の上部にはガイドポート５が設けられ、この
ガイドポート５の部分からシャッター回転用のシャフト
６がニップル２の管内に導入されている。

導入されたシャフト６の先端に円板状のシャッター６２
がネジ６３により固定されている。シャフト６を構成す
るシャフト棒６１とガイドポート５との間の気密保持は
Ｏリング６４で維持される。ガイドポートの上側大気側
にはラジアルベアリング６が設けられ、シャフト棒６１
の回転を円滑に行なう作用をはたす。またニップル２の
管外の上方に露出したシャフト６の後端にはピニオン６
５がピン６６により固定されている。ガイドポート上部
はフランジ状になっておりブラケット７１がネジ７６で
固定されている。ブラケット７１の内側には、ラック７
２が配置されている。このラック７２は、ラック７２の
移動方向の両側にラックシャフト７３を有しており、ブ
ラケット７１の両側に設けられた穴７７，７８をラック
シャフト７２が貫くことによりラック７２は直線移動可
能な状態でブラッケト７１に支持されている。そして、
このラック７２は、前述のピニオン６５と噛み合ってい
る。

ラック７２の一端に結合した一方の側のラックシャフト
７３のまわりには、コイルスプリング７５が設けられほ
かの力が働かない状態ではコイルスプリング７５の力に
よりラック７２はブラケット７１の一方（穴７７側）の
端壁に押し付けられ、その状態でシャッター６２は閉じ
た状態を維持する。ラック７２の別の方の一端に結合し
た他方の側のラックシャフト７３の先端には、ツマミ７
４が設けられており、これに矢印Ｂに示す方向の力が与
えられるとラック７２も矢印Ｃの方向に移動しこれに応
じてピニオン６５が矢印Ｄに示すように回転する。ラッ
ク７２とコイルスプリング７５はブラケット７１の別の
端壁に押し付けられて止まるがそのときのシャッター６
２は完全に閉じた状態から約９０°回転して、２点鎖線
６２で示すように、矢印Ａから真空内部を観察するとき
に殆んどさまたげにならない。再びツマミ７４に与える
力（矢印Ｂ）を取り除くとコイルスプリング７５の動作
によりラック７２が矢印Ｃと逆の方向に動きシャッター
６２が最初の完全に閉じた状態に戻る。

（考案の効果） 本考案の覗窓を用いることにより、シャッターは、ラッ
クを押し付ける力を与えているだけ開き、ラックを押し
付ける力を解除すると直ちに閉じる。簡単な構造で覗窓
が薄膜で被覆されることを抑制する経済的効果は大き
い。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案による覗窓の組立断面図。 第２図は第１図の矢視Ｉ−Ｉからみたときの平面図であ
る。 １……真空容器壁、２……ニップル、 ３……透明ガラス円板、５……ガイドポート、 ６……シャフト、６２……シャッター、 ６５……ピニオン、７２……ラック、 ７３……ラックシャフト、７５……コイルスプリング。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】両端にフランジを備え、中間にガイドポー
   トを備えた管状のニップルと、ニップルの一端のフラン
   ジにＯリングを介して透明ガラス円板を真空気密封止し
   て取付けた真空装置用覗窓であって、ガイドポートの部
   分からニップルの管内にシャフトが導入されてその導入
   されたシャフトの先端にはシャッターが固定され、シャ
   フトの後端はニップルの管外に露出してその露出した部
   分の後端にはピニオンが固定され、このピニオンを回転
   させるラックと、このラックを直線移動可能に保持した
   ラックシャフトと、ラックシャフトを保持したブラケッ
   トと、ラックが直線移動してシャッターが開く向きにピ
   ニオンが回転した際にラックを元の位置に復帰させるよ
   うな逆向きの力をラックに与えるように配置されたコイ
   ルスプリングとを具備し、これらピニオン、ラック、コ
   イルスプリングの動作により通常はシャッターが閉じた
   状態を保ち、ラックを押し付けて直線移動させる力を与
   えるときだけシャッターが開く構造の真空装置用覗窓。